JPH02278777A - 内部ミラー型Ｈｅ―Ｎｅレーザ管 - Google Patents
内部ミラー型Ｈｅ―Ｎｅレーザ管Info
- Publication number
- JPH02278777A JPH02278777A JP10044089A JP10044089A JPH02278777A JP H02278777 A JPH02278777 A JP H02278777A JP 10044089 A JP10044089 A JP 10044089A JP 10044089 A JP10044089 A JP 10044089A JP H02278777 A JPH02278777 A JP H02278777A
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- electrodes
- light path
- glass
- glass substrate
- laser tube
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、新規な構造の内部ミラー型ＨｅＮｅレーザ管
に関する。
に関する。
従来の内部ミラー型Ｈｅ−Ｎｅレーザ管は、円筒形の真
空容器中に内径ｌｌｌ１ｆｆｉ程度のガラス細管を有し
、この細管の両端に設置した電極間で直流放電（数ｍＡ
、１〜２ｋＶ）を行なうことによりガスを励起する構造
を有している。
空容器中に内径ｌｌｌ１ｆｆｉ程度のガラス細管を有し
、この細管の両端に設置した電極間で直流放電（数ｍＡ
、１〜２ｋＶ）を行なうことによりガスを励起する構造
を有している。
上述した従来の内部ミラー型Ｈｅ−Ｎｅレーザ管では、
高圧直流放電を行うため、高電圧出力の直流電源を必要
とし、さらに、カソードは電離イオンによるスパッタを
防止するため、表面を酸化処理した大面積のアルミ板を
使用する必要があった。また、細管とカソードを有する
構造のため量産の自動化が行ないに＜＜、また外形寸法
の小型化にも限界があった。
高圧直流放電を行うため、高電圧出力の直流電源を必要
とし、さらに、カソードは電離イオンによるスパッタを
防止するため、表面を酸化処理した大面積のアルミ板を
使用する必要があった。また、細管とカソードを有する
構造のため量産の自動化が行ないに＜＜、また外形寸法
の小型化にも限界があった。
本発明の内部ミラー型Ｈｅ−Ｎｅレーザ管は、ガラス、
セラミック等の誘電体基板上に１ｍｍ程度のギャップで
２列に形成された高さ１ｍｍ程度の電極およびこの電極
の列に対しほぼ垂直な面を持ち電極の列の両端に設置さ
れた２板の反射鏡と、さらに、これらを気密にシールす
る真空外囲器とをしている。
セラミック等の誘電体基板上に１ｍｍ程度のギャップで
２列に形成された高さ１ｍｍ程度の電極およびこの電極
の列に対しほぼ垂直な面を持ち電極の列の両端に設置さ
れた２板の反射鏡と、さらに、これらを気密にシールす
る真空外囲器とをしている。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の第１の実施例の上面図、第２図は第１図のＡ
−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面図である。ガ
ラス基板１上に１ｍｍ程度のギャップで、２列に配置さ
れた電極２からリード線３が伸びている。全反射鏡４は
、ガラス基板１上にフリットガラスで固定されており、
ミラー支持体５を介して側面容器６に取付けられ角度調
整が可能な出力ミラー５′と共にレーザ共振器を構成し
ている。ガラス基板１、側面容器６およびカバー７は、
互いにフリットガラスでシールされており、リード線３
はガラス基板１と側面容器６とのシール部分ではさまれ
ており、気密を保ちながら外部へ導かれている。排気管
８で管内を排気後、ＨｅとＮｅガスを導入する。
は本発明の第１の実施例の上面図、第２図は第１図のＡ
−Ａ断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ断面図である。ガ
ラス基板１上に１ｍｍ程度のギャップで、２列に配置さ
れた電極２からリード線３が伸びている。全反射鏡４は
、ガラス基板１上にフリットガラスで固定されており、
ミラー支持体５を介して側面容器６に取付けられ角度調
整が可能な出力ミラー５′と共にレーザ共振器を構成し
ている。ガラス基板１、側面容器６およびカバー７は、
互いにフリットガラスでシールされており、リード線３
はガラス基板１と側面容器６とのシール部分ではさまれ
ており、気密を保ちながら外部へ導かれている。排気管
８で管内を排気後、ＨｅとＮｅガスを導入する。
第４図は、本発明のＨｅ−Ｎｅレーザ管を駆動する回路
の一例を示す。高周波交流電源９は、抵抗器１０，１１
，１２．１３を介して電極２に接続される。抵抗器１０
〜１３の値は、各電極間の放電がほぼ一様に行なわれる
ように決められる。
の一例を示す。高周波交流電源９は、抵抗器１０，１１
，１２．１３を介して電極２に接続される。抵抗器１０
〜１３の値は、各電極間の放電がほぼ一様に行なわれる
ように決められる。
従来の直流放電タイプのレーザ管では電流密度が６〜７
ｍＡ／ ｍｍ２で最適条件となっているが、本発明に
もこれを適用すると、電極面積を１対あたり約ｌｍｍＸ
１２ｍ１１とすると電極１対あたり約８０ｍＡの電流が
必要となる０本実施例の場合電極対は４対であるから合
計３００〜３５０ｍＡの電流が必要となる。また、放電
電圧は、ＩＯＶ近傍になる。
ｍＡ／ ｍｍ２で最適条件となっているが、本発明に
もこれを適用すると、電極面積を１対あたり約ｌｍｍＸ
１２ｍ１１とすると電極１対あたり約８０ｍＡの電流が
必要となる０本実施例の場合電極対は４対であるから合
計３００〜３５０ｍＡの電流が必要となる。また、放電
電圧は、ＩＯＶ近傍になる。
ここで、交流電源９の周波数をある一定値以上に上げる
と、電離ガス（Ｎｅイオン）が電極間を走って、相手側
に衝突する以前に逆電圧をかけることができる。このた
め、このＮｅイオンによる電極のスパッタおよびガスの
消耗を最小限とすることが可能である。
と、電離ガス（Ｎｅイオン）が電極間を走って、相手側
に衝突する以前に逆電圧をかけることができる。このた
め、このＮｅイオンによる電極のスパッタおよびガスの
消耗を最小限とすることが可能である。
このように本実施例のレーザ管は、ガラス管ではなくガ
ラス板を用いてレーザ管を組立てているので量産化が容
易であり、電極間隔が狭いので動作電圧を低くでき、電
源も低価格にできる利点がある。
ラス板を用いてレーザ管を組立てているので量産化が容
易であり、電極間隔が狭いので動作電圧を低くでき、電
源も低価格にできる利点がある。
第５図は本発明の第２の実施例の正面図、第６図は側面
図である。この実施例では第１の実施例で説明したレー
ザ管のガラス基板１の底面にヒートシンク１４が接着さ
れている。この実施例では、放電によって発生する数ワ
ットの熱をこのヒートシンクを介して放熱するため、ガ
ラス基板１の温度を比較的低く保つことができ、より安
定なレーザ動作が得られるという利点がある。
図である。この実施例では第１の実施例で説明したレー
ザ管のガラス基板１の底面にヒートシンク１４が接着さ
れている。この実施例では、放電によって発生する数ワ
ットの熱をこのヒートシンクを介して放熱するため、ガ
ラス基板１の温度を比較的低く保つことができ、より安
定なレーザ動作が得られるという利点がある。
以上説明したように本発明は、ガラス基板上に光路に沿
って設置した電極間で光と直交する方向に高周波交流放
電を行なう構造を採用しているので、（ａ）動作電圧が
従来に比較して低い（１ｋＶ→ｌ０Ｖ）、（ｂ）電極が
小さくて済むため小型化が可能である。（Ｃ）量産時に
自動化を行ないやすくコストダウンがはかれる。（ｄ）
複雑な高圧直流安定化電源の必要がなくなり、システム
としての低価格化が図れる。（ｅ）リード線のピッチを
変えれば、通常のプリント基板に実装も可能となる。な
どの多くの利点がある。
って設置した電極間で光と直交する方向に高周波交流放
電を行なう構造を採用しているので、（ａ）動作電圧が
従来に比較して低い（１ｋＶ→ｌ０Ｖ）、（ｂ）電極が
小さくて済むため小型化が可能である。（Ｃ）量産時に
自動化を行ないやすくコストダウンがはかれる。（ｄ）
複雑な高圧直流安定化電源の必要がなくなり、システム
としての低価格化が図れる。（ｅ）リード線のピッチを
変えれば、通常のプリント基板に実装も可能となる。な
どの多くの利点がある。
第１図は、本発明の第１の実施例の上面図、第２図は、
第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は、第１図のＢ−Ｂ断面
図、第４図は、本発明のＨｅ−Ｎｅレーザ管の駆動回路
の一例、第５図は、本発明の第２の実施例の正面図、第
６図は第５図の側面図（一部省略）である。 １・・・ガラス基板、２・・・電極、３・・・リード線
、４・・・全反射ミラー、５・・・ミラー支持体、５′
・・・出力ミラー ６・・・側面容器、７・・・カバー
８・・・排気管、９・・・交流電源、１０〜１３・・
・抵抗器、１４・・・ヒートシンク。
第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は、第１図のＢ−Ｂ断面
図、第４図は、本発明のＨｅ−Ｎｅレーザ管の駆動回路
の一例、第５図は、本発明の第２の実施例の正面図、第
６図は第５図の側面図（一部省略）である。 １・・・ガラス基板、２・・・電極、３・・・リード線
、４・・・全反射ミラー、５・・・ミラー支持体、５′
・・・出力ミラー ６・・・側面容器、７・・・カバー
８・・・排気管、９・・・交流電源、１０〜１３・・
・抵抗器、１４・・・ヒートシンク。
Claims (1)
- ガラス等の誘電体基板上に、光路に沿って２列に対向し
て電極を設け、前記光路と直交する方向に交流放電を行
なうことによりガスを励起し、前記光路の両端部に設置
された２枚の反射鏡からなる光共振器により励起ガスよ
りの輻射を増幅することによってレーザ発振を得ること
を特徴とする内部ミラー型Ｈｅ−Ｎｅレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10044089A JPH02278777A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | 内部ミラー型Ｈｅ―Ｎｅレーザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10044089A JPH02278777A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | 内部ミラー型Ｈｅ―Ｎｅレーザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02278777A true JPH02278777A (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=14273998
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10044089A Pending JPH02278777A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | 内部ミラー型Ｈｅ―Ｎｅレーザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02278777A (ja) |
-
1989
- 1989-04-19 JP JP10044089A patent/JPH02278777A/ja active Pending
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