JPH02278638A - 電子銃装置 - Google Patents
電子銃装置Info
- Publication number
- JPH02278638A JPH02278638A JP1100995A JP10099589A JPH02278638A JP H02278638 A JPH02278638 A JP H02278638A JP 1100995 A JP1100995 A JP 1100995A JP 10099589 A JP10099589 A JP 10099589A JP H02278638 A JPH02278638 A JP H02278638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- electron beam
- electron gun
- gun device
- filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 11
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、電子銃装置に関し、更に詳しくはライン状の
電子ビームを出力する電子銃装置のカソードの支持構造
に関するものである。
電子ビームを出力する電子銃装置のカソードの支持構造
に関するものである。
（従来の技術）
電子銃装置の一種に、ライン状の電子ビームを出力する
ように構成されたものがある。
ように構成されたものがある。
第３図は、このような電子銃装置の概念構成図である。
図において、１はライン状に形成されたフィラメントで
あり、通電に応じて第１の熱電子２を放出する。３は例
えばＪＯＯｍｍ程度の長さのライン状に形成されたカソ
ードであり、一定の間隔を保ってフィラメント１と対向
するように配置されている。該カソード３はコの字状に
形成され、カソード支持体３ａによって支持されている
。カッ−１３はフィラメント１に対して所定の電位差を
持っている。フィラメント１から放出される第１の熱電
子２は電位差により加速されてカソード３に衝突し、カ
ソード３を加熱する。カソード３は加熱に応じて第２の
熱電子４を放出する。
あり、通電に応じて第１の熱電子２を放出する。３は例
えばＪＯＯｍｍ程度の長さのライン状に形成されたカソ
ードであり、一定の間隔を保ってフィラメント１と対向
するように配置されている。該カソード３はコの字状に
形成され、カソード支持体３ａによって支持されている
。カッ−１３はフィラメント１に対して所定の電位差を
持っている。フィラメント１から放出される第１の熱電
子２は電位差により加速されてカソード３に衝突し、カ
ソード３を加熱する。カソード３は加熱に応じて第２の
熱電子４を放出する。
５はグリッドであり、フィメント］を内包する第１のカ
バー６の端面に固定されている。グリッド５は、カソー
ド３から出力される第２の熱電子４の集束形成を制御す
る。７はアノードてあり、第２のカバー８の開口部の内
周に固定されている。
バー６の端面に固定されている。グリッド５は、カソー
ド３から出力される第２の熱電子４の集束形成を制御す
る。７はアノードてあり、第２のカバー８の開口部の内
周に固定されている。
アノード７は、グリッド５で集束形成された第２の熱電
子４を電子ビームつとして引き出す。
子４を電子ビームつとして引き出す。
なお、例えばカソード３に加速電圧を印加しない時フィ
ラメント１には一２ＫＶが加えられ、カソード３はＯｖ
に保たれ、グリッド５には一６ＫＶが加えられる。これ
により、フィラメント１とカソード３の電位差は２ＫＶ
になり、カソード３とグリッド５の電位差は６ＫＶにな
り、フィラメント１とグリッド５の電位差は４ＫＶにな
る。そして、カソード３は、フィラメント１から出力さ
れる第１の熱電子の衝撃により２０００°に以上の高温
に加熱されることになる。
ラメント１には一２ＫＶが加えられ、カソード３はＯｖ
に保たれ、グリッド５には一６ＫＶが加えられる。これ
により、フィラメント１とカソード３の電位差は２ＫＶ
になり、カソード３とグリッド５の電位差は６ＫＶにな
り、フィラメント１とグリッド５の電位差は４ＫＶにな
る。そして、カソード３は、フィラメント１から出力さ
れる第１の熱電子の衝撃により２０００°に以上の高温
に加熱されることになる。
ところで、このような高温に加熱されるライン状のカソ
ード３を支持するのにあたっては、カッド動作時の熱膨
張による変形や重力による撓みなどに対する対策が不可
欠である。
ード３を支持するのにあたっては、カッド動作時の熱膨
張による変形や重力による撓みなどに対する対策が不可
欠である。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、上述のカソード３はコの字状に形成され
ていることから、カソード動作時にはカソードが熱膨張
により変形してカソード３とグリッド５やアノード７な
どとの相互位置関係が変化してしまい、カソード３の全
面から均一に電子ビームを引き出すことか困難になるこ
とがある。
ていることから、カソード動作時にはカソードが熱膨張
により変形してカソード３とグリッド５やアノード７な
どとの相互位置関係が変化してしまい、カソード３の全
面から均一に電子ビームを引き出すことか困難になるこ
とがある。
本発明は、このような点に鑑みてなされたちのであり、
その目的は、ライン状のカソードを高温に加熱される動
作時にも安定に支持でき、安定な電子ビームが得られる
電子銃装置を提供することにある。
その目的は、ライン状のカソードを高温に加熱される動
作時にも安定に支持でき、安定な電子ビームが得られる
電子銃装置を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
前記した課題を解決する本発明は、ライン状のフィラメ
ントから放出される第１の熱電子をライン状のカソード
に衝突させて第２の熱電子を発生させるように構成され
た電子銃装置において、前記カソードの両端部を長手方
向にのみ移動自在に支持するカソード支持手段を設けた
ことを特徴とする。
ントから放出される第１の熱電子をライン状のカソード
に衝突させて第２の熱電子を発生させるように構成され
た電子銃装置において、前記カソードの両端部を長手方
向にのみ移動自在に支持するカソード支持手段を設けた
ことを特徴とする。
（作用）
カソードが高温に加熱されて熱膨張により長手方向に伸
びても、カソードの両端部は長手方向に移動可能に支持
されているのでカソードの両端は外側に移動することが
できる。従って、従来のようにカソードが変形すること
はなく、均一な電子ビーム放出が得られる。また、カソ
ードの両端部は長手方向にのみ移動可能に支持されてい
るのてカソードが回転することはなく、断面形状が矩形
の場合にも他の電極との相対位置関係は常に一定に保た
れることになる。
びても、カソードの両端部は長手方向に移動可能に支持
されているのでカソードの両端は外側に移動することが
できる。従って、従来のようにカソードが変形すること
はなく、均一な電子ビーム放出が得られる。また、カソ
ードの両端部は長手方向にのみ移動可能に支持されてい
るのてカソードが回転することはなく、断面形状が矩形
の場合にも他の電極との相対位置関係は常に一定に保た
れることになる。
（実施例）
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例の要部の構成図、第２図は第
１図の要部の拡大部分断面図であり、第３図と同一の部
分には同一の符号を付けている。
１図の要部の拡大部分断面図であり、第３図と同一の部
分には同一の符号を付けている。
これら図において、１０は凸字状に形成されたカソード
取付部材であり、カソード３の両端部に直角になるよう
に電子ビーム溶接などにより一体化されている。該カソ
ード取付部材１０の水平辺部にはカソード３の長手方向
と平行にスライド穴１１が設けられている。１２はカソ
ード支持部材である。該カソード支持部材１２には、カ
ソード取付部材１０の水平辺部に設けられているスライ
ド穴１１に移動可能に嵌め合うスライドピン１３及びカ
ソード取付部材１０の垂直辺部を両側から挾んで回転を
規制するように支持ロッド１４，１５が設けられている
。］６は絶縁６υ子であり、カソード支持部材１２が固
定されている。
取付部材であり、カソード３の両端部に直角になるよう
に電子ビーム溶接などにより一体化されている。該カソ
ード取付部材１０の水平辺部にはカソード３の長手方向
と平行にスライド穴１１が設けられている。１２はカソ
ード支持部材である。該カソード支持部材１２には、カ
ソード取付部材１０の水平辺部に設けられているスライ
ド穴１１に移動可能に嵌め合うスライドピン１３及びカ
ソード取付部材１０の垂直辺部を両側から挾んで回転を
規制するように支持ロッド１４，１５が設けられている
。］６は絶縁６υ子であり、カソード支持部材１２が固
定されている。
カソード３の取り付けにあたっては、カソード３の両端
部に設けられたカソード取（＝１部材］０のスライド穴
１１にカソード支持部材１２に設けられているスライド
ピン１３を嵌め合わせるとともに、カソード取付部材１
０の垂直辺部をカソード支持部材１２に設けられている
支持ロッド１４１５間に挿入する。なお、フィラメント
１はこのようにして支持されるカソード３と平行になる
ように配置する。
部に設けられたカソード取（＝１部材］０のスライド穴
１１にカソード支持部材１２に設けられているスライド
ピン１３を嵌め合わせるとともに、カソード取付部材１
０の垂直辺部をカソード支持部材１２に設けられている
支持ロッド１４１５間に挿入する。なお、フィラメント
１はこのようにして支持されるカソード３と平行になる
ように配置する。
このような構成において、フィラメント１に電流を流し
て熱電子が十分放出される温度まで加熱する。カソード
３には、フィラメント１に対して正（プラス）になる電
位を印加する。フィラメント１から放出された熱電子は
カソード３に向かって加速されてカソード３に衝突し、
その運動エネルギーを熱に変換してカソード３を加熱す
る。これにより、カソード３も熱電子を放出することに
なる。
て熱電子が十分放出される温度まで加熱する。カソード
３には、フィラメント１に対して正（プラス）になる電
位を印加する。フィラメント１から放出された熱電子は
カソード３に向かって加速されてカソード３に衝突し、
その運動エネルギーを熱に変換してカソード３を加熱す
る。これにより、カソード３も熱電子を放出することに
なる。
ところで、高温に加熱されたカソード３は、熱膨張によ
り伸びる。例えば、長さが１００ｍｍ程度のカソードの
場合には長手方向の伸びは１ｍｍ以上になってしまう。
り伸びる。例えば、長さが１００ｍｍ程度のカソードの
場合には長手方向の伸びは１ｍｍ以上になってしまう。
しかしながら、本発明におけるこのようなカッド３の伸
びは、カソード３の両端部に設けられているカソード取
付部材１０がカソード支持部材］２に向かってスライド
することにより吸収されることになり、従来のカソード
のような反り等の変形を生じることはなく、均一な電子
ビーム放出が得られる。
びは、カソード３の両端部に設けられているカソード取
付部材１０がカソード支持部材］２に向かってスライド
することにより吸収されることになり、従来のカソード
のような反り等の変形を生じることはなく、均一な電子
ビーム放出が得られる。
また、カソード３の両端部は支持ロッド１４゜１５によ
り長手方向にのみ移動可能に支持されてスライドピン１
３を中心としたカソード３の回転を防止しているので、
カソード３の断面形状が矩形の場合にも他の電極との相
対位置関係は常に一定に保たれることになる。
り長手方向にのみ移動可能に支持されてスライドピン１
３を中心としたカソード３の回転を防止しているので、
カソード３の断面形状が矩形の場合にも他の電極との相
対位置関係は常に一定に保たれることになる。
また、カソード３の支持構造にピン１３を使用している
のて、カソード取ｆ」部材］０からカソード支持部材１
２への熱伝導損失を低減でき、カッド３の長手方向の温
度均一性を向上させることができる。
のて、カソード取ｆ」部材］０からカソード支持部材１
２への熱伝導損失を低減でき、カッド３の長手方向の温
度均一性を向上させることができる。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように、本発明によれば、ライン状
のカソードを高温に加熱される動作時にも安定に支持で
き、安定な電子ビームが得られる電子銃装置を提供する
ことかできる。
のカソードを高温に加熱される動作時にも安定に支持で
き、安定な電子ビームが得られる電子銃装置を提供する
ことかできる。
第１図は本発明の一実施例の要部の構成図、第２図は第
１図の要部の拡大部分断面図、第３図は従来の電子銃装
置の概念構成図である。 １・・フィラメント ３・・・カソード１０・・
・カソード取付部材 １１・・・スライド穴１２・・・
カソード支持部材 １３・・・スライドピン１．４．１
５・・・支持ロッド １６・・・絶縁６す子特許出願人
北海道電力株式会社外１１名
１図の要部の拡大部分断面図、第３図は従来の電子銃装
置の概念構成図である。 １・・フィラメント ３・・・カソード１０・・
・カソード取付部材 １１・・・スライド穴１２・・・
カソード支持部材 １３・・・スライドピン１．４．１
５・・・支持ロッド １６・・・絶縁６す子特許出願人
北海道電力株式会社外１１名
Claims (1)
- ライン状のフィラメントから放出される第１の熱電子を
ライン状のカソードに衝突させて第２の熱電子を発生さ
せるように構成された電子銃装置において、前記カソー
ドの両端部を長手方向にのみ移動自在に支持するカソー
ド支持手段を設けたことを特徴とする電子銃装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1100995A JPH0648618B2 (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 電子銃装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1100995A JPH0648618B2 (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 電子銃装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02278638A true JPH02278638A (ja) | 1990-11-14 |
| JPH0648618B2 JPH0648618B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=14288886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1100995A Expired - Lifetime JPH0648618B2 (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | 電子銃装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648618B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015517192A (ja) * | 2012-04-17 | 2015-06-18 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | 両頭電極マニピュレータ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6434751U (ja) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 |
-
1989
- 1989-04-20 JP JP1100995A patent/JPH0648618B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6434751U (ja) * | 1987-08-26 | 1989-03-02 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015517192A (ja) * | 2012-04-17 | 2015-06-18 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | 両頭電極マニピュレータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0648618B2 (ja) | 1994-06-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100261007B1 (ko) | 이온주입실에 이용되는 이온발생 소오스 | |
| US7042145B2 (en) | Electron beam projector provided with a linear thermionic emitting cathode for electron beam heating | |
| JPH02278638A (ja) | 電子銃装置 | |
| Loschialpo et al. | High‐current density, high‐brightness electron beams from large‐area lanthanum hexaboride cathodes | |
| JPH02239559A (ja) | イオン源 | |
| JPH1125872A (ja) | イオン発生装置 | |
| JP2000030642A (ja) | Ｘ線管装置 | |
| JP3117261B2 (ja) | フィラメント | |
| US3440474A (en) | Resilient means for supporting a directly heated planar cathode | |
| JP3168862B2 (ja) | 画像表示装置の製造方法 | |
| JP2005251502A (ja) | 電界電子放出装置 | |
| JPH0654641B2 (ja) | 電子銃装置 | |
| JPH01157043A (ja) | リニア型電子銃 | |
| JPH05205678A (ja) | リニア電子銃 | |
| JP2526303B2 (ja) | リニアフィラメント型電子銃 | |
| TW201142898A (en) | Filament support method, electron gun, and processing device | |
| KR200185295Y1 (ko) | 음극선관용 인라인형 전자총 | |
| JPH0625881Y2 (ja) | 電子銃のカソード支持構造 | |
| JPH02278639A (ja) | 電子銃装置 | |
| JPH05174702A (ja) | 長尺カソードの加熱装置 | |
| KR100223840B1 (ko) | 칼라음극선관용 전자총 | |
| KR200185281Y1 (ko) | 음극선관용 인라인형 전자총 | |
| JPH02234337A (ja) | リニア型電子銃装置 | |
| JPH01217843A (ja) | 電子衝撃形電子銃 | |
| JPH02278640A (ja) | 電子銃装置 |