JPH02278208A - エネルギガイド - Google Patents
エネルギガイドInfo
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- JPH02278208A JPH02278208A JP1101034A JP10103489A JPH02278208A JP H02278208 A JPH02278208 A JP H02278208A JP 1101034 A JP1101034 A JP 1101034A JP 10103489 A JP10103489 A JP 10103489A JP H02278208 A JPH02278208 A JP H02278208A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、エネルギガイドに関するものであり、特に
ＣＯ２レーザまたはＣＯレーザのエネルギビームを搬送
するための中空導波路として適したエネルギガイドに関
するものである。
ＣＯ２レーザまたはＣＯレーザのエネルギビームを搬送
するための中空導波路として適したエネルギガイドに関
するものである。
［従来の技術および発明が解決しようとする課題］従来
のエネルギガイドを製造する方法としては、たとえば特
開昭６１−１８８５０６号公報に開示された方法がある
。この公報に従来技術として開示された方法は、外面を
鏡面に仕上げたアルミニウムパイプの外側にゲルマニウ
ム層を高周波スパッタリングにより形成し、その外側に
ニッケルを直接めっきし、最後にアルミニウムパイプを
水酸化ナトリウム水溶液等のエツチング液で除去する方
法である。しかしながら、このような方法によれば、装
置が高価なものとなり、コストが高くなるという問題点
があった。
のエネルギガイドを製造する方法としては、たとえば特
開昭６１−１８８５０６号公報に開示された方法がある
。この公報に従来技術として開示された方法は、外面を
鏡面に仕上げたアルミニウムパイプの外側にゲルマニウ
ム層を高周波スパッタリングにより形成し、その外側に
ニッケルを直接めっきし、最後にアルミニウムパイプを
水酸化ナトリウム水溶液等のエツチング液で除去する方
法である。しかしながら、このような方法によれば、装
置が高価なものとなり、コストが高くなるという問題点
があった。
また、この公報において発明として開示された方法は、
導電性プラスチックからなる中空体の内壁に複屈折率が
大きい金属をめっきすることにより金属膜を形成し、さ
らにその金属膜の内壁に直接ゲルマニウムあるいはシリ
コンをめっきによってコーティングする方法である。
導電性プラスチックからなる中空体の内壁に複屈折率が
大きい金属をめっきすることにより金属膜を形成し、さ
らにその金属膜の内壁に直接ゲルマニウムあるいはシリ
コンをめっきによってコーティングする方法である。
このような従来の方法により得られるエネルギガイドは
、金属パイプもしくはプラスチックパイプの上に金属層
等を形成するものであるため、形成される金属層は金属
パイプおよびプラスチックパイプの内壁面の表面の粗れ
の影響を受け、エネルギ伝播の際の損失が大きくなる。
、金属パイプもしくはプラスチックパイプの上に金属層
等を形成するものであるため、形成される金属層は金属
パイプおよびプラスチックパイプの内壁面の表面の粗れ
の影響を受け、エネルギ伝播の際の損失が大きくなる。
この発明の目的は、かかる従来の問題点を解消し、安定
した低損失のエネルギガイドを提供することにある。
した低損失のエネルギガイドを提供することにある。
この発明のエネルギガイドは、パイレックスバイブまた
は石英バイブの内壁面に、有機金属の熱分解法により金
属層および誘電体層を形成することを特徴としている。
は石英バイブの内壁面に、有機金属の熱分解法により金
属層および誘電体層を形成することを特徴としている。
第１図は、この発明の一実施例を示す断面図である。第
１図を参照して、パイレックスガラスチューブまたは石
英チューブ１の内壁面には、有機金属の熱分解法により
金属層２が形成されており、この金属層２の上には、さ
らに誘電体層３が形成されている。金属層２としては、
たとえばＡＱが用いられる。また誘電体層３としては、
ＴｅまたはＳｌなどが用いられる。金属層２としては、
Ａ史の代わりに、Ｚｎ、Ｓｎ″またはＡｇなどを用いる
こともできる。
１図を参照して、パイレックスガラスチューブまたは石
英チューブ１の内壁面には、有機金属の熱分解法により
金属層２が形成されており、この金属層２の上には、さ
らに誘電体層３が形成されている。金属層２としては、
たとえばＡＱが用いられる。また誘電体層３としては、
ＴｅまたはＳｌなどが用いられる。金属層２としては、
Ａ史の代わりに、Ｚｎ、Ｓｎ″またはＡｇなどを用いる
こともできる。
［作用］
この発明のエネルギガイドでは、バイレクスパイブまた
は石英バイブの内壁面に、金属層および誘電体層を形成
している。パイレクスパイブまたは石英バイブの内壁面
は、従来の金属バイブやプラスチックパイプの内壁面に
比べ、平滑性に優れているため、エネルギ伝播の際の損
失を小さくすることができる。
は石英バイブの内壁面に、金属層および誘電体層を形成
している。パイレクスパイブまたは石英バイブの内壁面
は、従来の金属バイブやプラスチックパイプの内壁面に
比べ、平滑性に優れているため、エネルギ伝播の際の損
失を小さくすることができる。
［実施例］
第２図は、この発明のエネルギガイドを製造する装置の
一例を示す概略構成図である。バイレクスバイブまたは
石英バイブ１の一方端１０には、パイプ１３が途中に設
けられた配管により誘電体層形成用有機金属供給容器６
が接続されており、バルブ１４を有した配管により、金
属層形成用有機金属供給容器７が接続されている。誘電
体層形成用有機金属供給容器６および金属層形成用有機
金属供給容器７には、それぞれキャリアガスボンベ５か
らのキャリアガスが供給されている。誘電体層形成用有
機金属供給容器６には、バルブ１５および流量計８を介
してキャリアガスボンベ５からのキャリアガスが供給さ
れる。金属層形成用有機金属供給容器７には、バルブ１
６および流量計９を介して、キャリアガスボンベ５から
のキャリアガスが供給される。
一例を示す概略構成図である。バイレクスバイブまたは
石英バイブ１の一方端１０には、パイプ１３が途中に設
けられた配管により誘電体層形成用有機金属供給容器６
が接続されており、バルブ１４を有した配管により、金
属層形成用有機金属供給容器７が接続されている。誘電
体層形成用有機金属供給容器６および金属層形成用有機
金属供給容器７には、それぞれキャリアガスボンベ５か
らのキャリアガスが供給されている。誘電体層形成用有
機金属供給容器６には、バルブ１５および流量計８を介
してキャリアガスボンベ５からのキャリアガスが供給さ
れる。金属層形成用有機金属供給容器７には、バルブ１
６および流量計９を介して、キャリアガスボンベ５から
のキャリアガスが供給される。
パイレックスバイブまたは石英バイブ１のまわりには加
熱炉４が設けられている。パイレックスバイブまたは石
英バイブ１の他方端１１側には、廃ガス処理装置１２が
配管によって接続されている。
熱炉４が設けられている。パイレックスバイブまたは石
英バイブ１の他方端１１側には、廃ガス処理装置１２が
配管によって接続されている。
金属層２を形成する際には、バルブ１４および１６が開
けられ、キャリアガスボンベ５から流量計９によって流
量がコントロールされたキャリアガスが、金属層形成用
有機金属供給容器７内に導入される。このキャリアガス
によって、金属層形成用有機金属供給容器７内の有機金
属がバルブ１４を通りパイレックスバイブまたは石英バ
イブ１の一方端１０側から導入される。導入された有機
金属は、パイレックスバイブまたは石英パイプ１内で熱
分解し、パイレックスバイブまたは石英バイブ１の内壁
面に金属層２が形成される。反応後のガスおよび未反応
のガスは他方端１１側から排出され、廃ガス処理装置１
２によって処理され外部に排出される。
けられ、キャリアガスボンベ５から流量計９によって流
量がコントロールされたキャリアガスが、金属層形成用
有機金属供給容器７内に導入される。このキャリアガス
によって、金属層形成用有機金属供給容器７内の有機金
属がバルブ１４を通りパイレックスバイブまたは石英バ
イブ１の一方端１０側から導入される。導入された有機
金属は、パイレックスバイブまたは石英パイプ１内で熱
分解し、パイレックスバイブまたは石英バイブ１の内壁
面に金属層２が形成される。反応後のガスおよび未反応
のガスは他方端１１側から排出され、廃ガス処理装置１
２によって処理され外部に排出される。
金属層２の形成が終了すると、バルブ１４および１６を
閉じ、次にバルブ１３および１５を開ける。キャリアガ
スボンベ５からのキャリアガスは、流量計８によって流
量がコントロールされ、誘電体層形成用有機金属供給容
器６内に供給される。
閉じ、次にバルブ１３および１５を開ける。キャリアガ
スボンベ５からのキャリアガスは、流量計８によって流
量がコントロールされ、誘電体層形成用有機金属供給容
器６内に供給される。
このキャリアガスによって、誘電体層形成用の有機金属
は、バルブ１３を通り、パイレックスバイブまたは石英
バイブ１の一方端１０側から内部に導入される。導入さ
れた有機金属は、加熱炉４によって加熱され、金属層２
の上に誘電体層３を形成する。反応後のガスおよび未反
応のガスは、他方端１１側から排出されて、廃ガス処理
装置１２によって処理され、外部に排出される。
は、バルブ１３を通り、パイレックスバイブまたは石英
バイブ１の一方端１０側から内部に導入される。導入さ
れた有機金属は、加熱炉４によって加熱され、金属層２
の上に誘電体層３を形成する。反応後のガスおよび未反
応のガスは、他方端１１側から排出されて、廃ガス処理
装置１２によって処理され、外部に排出される。
第２図に示す装置を用いて、石英バイブの内壁面に金属
層および＃［体層を以下のようにして形成した。
層および＃［体層を以下のようにして形成した。
内径１ 、０ ｍ ｍ ｓ外径１．５ｍｍ、長さ１，５
ｍの石英バイブを用い、この石英バイブの内面に、（Ｃ
Ｈ，）、Ａｌｌの熱分解により、金属層としてＡｍ層を
形成した。このＡｍ層の上に、さらに（ＣＨ３） ４
Ｇ ｅの熱分解により、誘電体層としてＧｅ層を形成し
た。
ｍの石英バイブを用い、この石英バイブの内面に、（Ｃ
Ｈ，）、Ａｌｌの熱分解により、金属層としてＡｍ層を
形成した。このＡｍ層の上に、さらに（ＣＨ３） ４
Ｇ ｅの熱分解により、誘電体層としてＧｅ層を形成し
た。
ＡｆＬ層を形成する際の、（ＣＨａ）、ＡｆＬの熱分解
温度は５５０℃とし１．／１層の膜厚は５μｍとした。
温度は５５０℃とし１．／１層の膜厚は５μｍとした。
Ｇｅ層を形成する際の、（ＣＨ３）４Ｇｅの熱分解温度
は５００℃とし、Ｇｅ層の膜厚は０．５μｍとした。
は５００℃とし、Ｇｅ層の膜厚は０．５μｍとした。
このようにして得られたエネルギガイド内に、ＣＯ□レ
ーザビームを投入した結果、５００Ｗの投入出力に対し
、損失は０．０５ｄＢであった。
ーザビームを投入した結果、５００Ｗの投入出力に対し
、損失は０．０５ｄＢであった。
これに対し、従来の方法によりプラスチックバイブ内に
金属をめっきし、この金属膜の上に直接ゲルマニウムを
めっきしてコーティングしたエネルギガイドを用いた場
合には、同じ５００Ｗの投入出力に対し、損失は０．２
ｄＢであった。
金属をめっきし、この金属膜の上に直接ゲルマニウムを
めっきしてコーティングしたエネルギガイドを用いた場
合には、同じ５００Ｗの投入出力に対し、損失は０．２
ｄＢであった。
［発明の効果］
以上説明したように、この発明のエネルギガイドでは、
パイレックスバイブまたは石英バイブの内壁面に金属層
および誘電体層を形成しており、バイレクスパイブまた
は石英バイブの内壁面が平滑であるため、従来の金属バ
イブやプラスチックバイブを用いたエネルギガイドに比
べ安定した低損失のエネルギガイドとすることができる
。
パイレックスバイブまたは石英バイブの内壁面に金属層
および誘電体層を形成しており、バイレクスパイブまた
は石英バイブの内壁面が平滑であるため、従来の金属バ
イブやプラスチックバイブを用いたエネルギガイドに比
べ安定した低損失のエネルギガイドとすることができる
。
第１図は、この発明の一実施例を示す断面図である。第
２図は、この発明のエネルギガイドを製造する装置の一
例を示す概略構成図である。 図において、１はバイレックスバイブまたは石英バイブ
、２は金属層、３は誘電体層を示す。 第１図
２図は、この発明のエネルギガイドを製造する装置の一
例を示す概略構成図である。 図において、１はバイレックスバイブまたは石英バイブ
、２は金属層、３は誘電体層を示す。 第１図
Claims (1)
- （１）パイレックスパイプまたは石英パイプの内壁面に
、有機金属の熱分解法により金属層および誘電体層を形
成したことを特徴とする、エネルギガイド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1101034A JPH02278208A (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | エネルギガイド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1101034A JPH02278208A (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | エネルギガイド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02278208A true JPH02278208A (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=14289886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1101034A Pending JPH02278208A (ja) | 1989-04-20 | 1989-04-20 | エネルギガイド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02278208A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004170484A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-06-17 | Yuji Matsuura | ビームホモジナイザ |
| DE19756868B4 (de) * | 1997-02-07 | 2013-08-14 | Hitachi Cable, Ltd. | Hohlwellenleiter und Verfahren zu seiner Herstellung |
-
1989
- 1989-04-20 JP JP1101034A patent/JPH02278208A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19756868B4 (de) * | 1997-02-07 | 2013-08-14 | Hitachi Cable, Ltd. | Hohlwellenleiter und Verfahren zu seiner Herstellung |
| JP2004170484A (ja) * | 2002-11-18 | 2004-06-17 | Yuji Matsuura | ビームホモジナイザ |
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