JPH0227650A - Ｍｓ／ｍｓ装置 - Google Patents
Ｍｓ／ｍｓ装置Info
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- JPH0227650A JPH0227650A JP63176692A JP17669288A JPH0227650A JP H0227650 A JPH0227650 A JP H0227650A JP 63176692 A JP63176692 A JP 63176692A JP 17669288 A JP17669288 A JP 17669288A JP H0227650 A JPH0227650 A JP H0227650A
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- mass spectrometry
- spectrometry system
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- ions
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、２台の質量分析装置を縦続接続した所謂ＭＳ
／ＭＳ装置に関する。
／ＭＳ装置に関する。
［従来技術〕
ＭＳ／ＭＳ装置は、複雑な構造を持つ物質の分子構造解
析を行う上で極めて有用な装置である。
析を行う上で極めて有用な装置である。
このＭ Ｓ ／Ｍ Ｓ装置では、第１の質量分析装置（
ＭＳ−１）において特定の質量を持つイオンのみを選択
的に取出し、取出した親イオンを例えばガス分子と衝突
させて解離させ、派生した娘イオンを第２の質量分析装
置（ＭＳ−２）に導入して質量分析し、娘イオンのマス
スペクトルを得ている。
ＭＳ−１）において特定の質量を持つイオンのみを選択
的に取出し、取出した親イオンを例えばガス分子と衝突
させて解離させ、派生した娘イオンを第２の質量分析装
置（ＭＳ−２）に導入して質量分析し、娘イオンのマス
スペクトルを得ている。
この娘イオンスペクトルの分解能を向上させるためには
、ＭＳ−２として二重収束質量分析装置を用いることが
必要であり、現在、円筒電場と扇形磁場を組み合わせた
二重収束質量分析装置をＭＳ−１及びＭＳ−２として使
用する大型のＭＳ／ＭＳ装置が実用化されている。
、ＭＳ−２として二重収束質量分析装置を用いることが
必要であり、現在、円筒電場と扇形磁場を組み合わせた
二重収束質量分析装置をＭＳ−１及びＭＳ−２として使
用する大型のＭＳ／ＭＳ装置が実用化されている。
この実用化されているＭＳ／ＭＳ装置では、ＭＳ−２と
して掃引型の二重収束質量分析装置が用いられている。
して掃引型の二重収束質量分析装置が用いられている。
しかしながら掃引型の質量分析装置では、イオン検出器
が１つで、検出器に入射していないイオンは全て捨てら
れるため感度の面では不利で、感度が要求される場合に
は、乾板等の空間分解能を持つイオン検出器を用いる同
時検出型の質量分析装置をＭＳ−２として使用する方が
好ましい。
が１つで、検出器に入射していないイオンは全て捨てら
れるため感度の面では不利で、感度が要求される場合に
は、乾板等の空間分解能を持つイオン検出器を用いる同
時検出型の質量分析装置をＭＳ−２として使用する方が
好ましい。
［発明が解決しようとする課題］
ところで、親イオンから派生する娘イオンは、全て親イ
オンとほぼ同じ速度ｖ□で飛行すると考えられており、
各娘イオンはその質量ｍに比例したエネルギー（ｍｖｏ
２／２）を持つ。
オンとほぼ同じ速度ｖ□で飛行すると考えられており、
各娘イオンはその質量ｍに比例したエネルギー（ｍｖｏ
２／２）を持つ。
従って、ＭＳ＝２にはその質量に比例した広い範囲にわ
たるエネルギーを持った娘イオンが入射することになる
。ところが、円筒電場と一様磁場を組み合わせ、空間分
解能を持つイオン検出器を設けた同時検出型二重収束質
量分析装置をＭＳ−２として使用した場合、円筒電場を
通過できる娘イオンは、エネルギーが所定値の±５％程
度（エネルギー幅で１０％程度）のものに限られるため
、広いエネルギー範囲（即ち広い質量範囲）の娘イオン
を質量分析することができない。
たるエネルギーを持った娘イオンが入射することになる
。ところが、円筒電場と一様磁場を組み合わせ、空間分
解能を持つイオン検出器を設けた同時検出型二重収束質
量分析装置をＭＳ−２として使用した場合、円筒電場を
通過できる娘イオンは、エネルギーが所定値の±５％程
度（エネルギー幅で１０％程度）のものに限られるため
、広いエネルギー範囲（即ち広い質量範囲）の娘イオン
を質量分析することができない。
以上のような理由により、Ｍ Ｓ ／Ｍ Ｓ装置におい
て、広い質量範囲の娘イオンを同時検出型質量分析装置
により感度良く質量分析することは従来不可能であった
。
て、広い質量範囲の娘イオンを同時検出型質量分析装置
により感度良く質量分析することは従来不可能であった
。
本発明は、広い質量範囲の娘イオンスペクトルを感度良
く取得することのできるＭＳ／ＭＳ装置を提供すること
を目的としている。
く取得することのできるＭＳ／ＭＳ装置を提供すること
を目的としている。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため、本発明のＭＳ／ＭＳ装置は、
イオン源と、該イオン源からの被分析イオンが導入され
る第１の質量分析系と、該第１の質量分析系を通過した
イオンが入射するコレクタスリットと、該コレクタスリ
ットを通過したイオンを解離させる手段と、解離により
生成されたイオンが導入される第２の質量分析系と、該
第２の質量分析系を出射したイオンが質量電荷比に応じ
て展開収束される収束面に沿って配置される空間分解能
を有するイオン検出器と、前記イオン源で生成されるイ
オンの運動エネルギーを掃引する第１の掃引手段と、該
第１の掃引手段によるイオンの運動エネルギー掃引にか
かわらず、常に所定の質量電荷比のイオンが前記コレク
タスリットを通過するように、前記第１の質量分析系を
上記運動エネルギー掃引に関連して掃引する第２の掃引
手段とを備えたことを特徴としている。
イオン源と、該イオン源からの被分析イオンが導入され
る第１の質量分析系と、該第１の質量分析系を通過した
イオンが入射するコレクタスリットと、該コレクタスリ
ットを通過したイオンを解離させる手段と、解離により
生成されたイオンが導入される第２の質量分析系と、該
第２の質量分析系を出射したイオンが質量電荷比に応じ
て展開収束される収束面に沿って配置される空間分解能
を有するイオン検出器と、前記イオン源で生成されるイ
オンの運動エネルギーを掃引する第１の掃引手段と、該
第１の掃引手段によるイオンの運動エネルギー掃引にか
かわらず、常に所定の質量電荷比のイオンが前記コレク
タスリットを通過するように、前記第１の質量分析系を
上記運動エネルギー掃引に関連して掃引する第２の掃引
手段とを備えたことを特徴としている。
［作用］
本発明のＭＳ／ＭＳ装置においては、イオン源における
イオン加速電圧が掃引されるとともに、そのイオン加速
電圧掃引にかかわらず、常に所定の質量電荷比のイオン
が前記コレクタスリットを通過するように、前記第１の
質量分析系がイオン加速電圧掃引に関連して掃引される
。これにより、コレクタスリットを通過し解離手段に入
射する親イオンの質量電荷比は常に一定に保たれ、しか
も、そのエネルギーが掃引される。この様に、質ｆｆｉ
電荷比が一定で、エネルギーが変化する親イオンを解離
手段へ導入することにより、第２の質量分析系へ入射す
る娘イオンのエネルギーを掃引することができ、この様
な娘イオンを第２の質量分析系により空間分解能を有す
るイオン検出器上へ展開収束すれば、広い質量範囲に渡
る娘イオンスペクトルを取得することができる。
イオン加速電圧が掃引されるとともに、そのイオン加速
電圧掃引にかかわらず、常に所定の質量電荷比のイオン
が前記コレクタスリットを通過するように、前記第１の
質量分析系がイオン加速電圧掃引に関連して掃引される
。これにより、コレクタスリットを通過し解離手段に入
射する親イオンの質量電荷比は常に一定に保たれ、しか
も、そのエネルギーが掃引される。この様に、質ｆｆｉ
電荷比が一定で、エネルギーが変化する親イオンを解離
手段へ導入することにより、第２の質量分析系へ入射す
る娘イオンのエネルギーを掃引することができ、この様
な娘イオンを第２の質量分析系により空間分解能を有す
るイオン検出器上へ展開収束すれば、広い質量範囲に渡
る娘イオンスペクトルを取得することができる。
以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳説する。
［実施例］
第１図は本発明の一実施例を示すイオン光学図である。
第１図において第１の質量分析装置ＭＳ−１としては、
イオン源１、主スリット２、円筒電場３、扇形磁場４、
コレクタスリット５から構成される通常の掃引型二重収
束質量分析装置が用いられ、その後方に衝突室６及び第
２の質量分析装置ＭＳ−２が配置される。ＭＳ−２とし
ては、スリット７、円筒電場８．スリット９．扇形磁場
１０．２次元イオン検出器１１から構成される同時検出
型二重収束質量分析装置が用いられる。１２は掃引信号
を発生する掃引回路で、掃引信号は、イオン加速電源１
３へ送られると共に、演算回路１４を介して電場電源１
５及び磁場電源１６へ倶給される。
イオン源１、主スリット２、円筒電場３、扇形磁場４、
コレクタスリット５から構成される通常の掃引型二重収
束質量分析装置が用いられ、その後方に衝突室６及び第
２の質量分析装置ＭＳ−２が配置される。ＭＳ−２とし
ては、スリット７、円筒電場８．スリット９．扇形磁場
１０．２次元イオン検出器１１から構成される同時検出
型二重収束質量分析装置が用いられる。１２は掃引信号
を発生する掃引回路で、掃引信号は、イオン加速電源１
３へ送られると共に、演算回路１４を介して電場電源１
５及び磁場電源１６へ倶給される。
上記構成において、イオン源１で生成されイオン加速電
源１３から発生するイオン加速電圧により等しいエネル
ギーが与えられたイオンは、円筒電場３及び扇形磁場４
を通過し、この円筒電場３及び線形磁場４から構成され
る二重収束質量分析系の二重収束点に配置されるコレク
タスリット５上にマススペクトルとして展開収束される
。磁場強度を変更することによりこのマススペクトルが
コレクタスリット上を移動するため、磁場強度を適宜選
ぶことにより、スペクトル中の所望のイオンがコレクタ
スリットを通過するように設定することができる。
源１３から発生するイオン加速電圧により等しいエネル
ギーが与えられたイオンは、円筒電場３及び扇形磁場４
を通過し、この円筒電場３及び線形磁場４から構成され
る二重収束質量分析系の二重収束点に配置されるコレク
タスリット５上にマススペクトルとして展開収束される
。磁場強度を変更することによりこのマススペクトルが
コレクタスリット上を移動するため、磁場強度を適宜選
ぶことにより、スペクトル中の所望のイオンがコレクタ
スリットを通過するように設定することができる。
このようにしてＭＳ−１で選ばれた特定イオンすなわち
親イオンは、衝突室６へ入射し、衝突室内のガス分子と
衝突する。このガス分子との衝突解離により発生した娘
イオンは、スリット９を介して電場強度及び磁場強度が
一定に保持されるＭＳ−２へ導入され、ＭＳ−２の２次
元イオン検出器１１上の、質量に応じて定まった位置へ
到達する。
親イオンは、衝突室６へ入射し、衝突室内のガス分子と
衝突する。このガス分子との衝突解離により発生した娘
イオンは、スリット９を介して電場強度及び磁場強度が
一定に保持されるＭＳ−２へ導入され、ＭＳ−２の２次
元イオン検出器１１上の、質量に応じて定まった位置へ
到達する。
本発明ではイオン源１におけるイオン加速電圧を掃引す
ると共に、そのイオン加速電圧掃引にかかわらず、常に
所定の質量電荷比の親イオンが前記コレクタスリット５
を通過するように、ＭＳ−１の質量分析系がイオン加速
電圧掃引に関連して掃引される。このように、所定の質
量電荷比の親イオンが常にコレクタスリット５を通過す
るようにするためのＭＳ−１の電場強度及び磁場強度の
条件について以下に検討する。
ると共に、そのイオン加速電圧掃引にかかわらず、常に
所定の質量電荷比の親イオンが前記コレクタスリット５
を通過するように、ＭＳ−１の質量分析系がイオン加速
電圧掃引に関連して掃引される。このように、所定の質
量電荷比の親イオンが常にコレクタスリット５を通過す
るようにするためのＭＳ−１の電場強度及び磁場強度の
条件について以下に検討する。
一般に、二重収束質量分析装置においては、質ｆｆｉｍ
ｏ、運動エネルギーＵ、のイオンが中心軌道を通って二
重収束点に達するためには、（１）。
ｏ、運動エネルギーＵ、のイオンが中心軌道を通って二
重収束点に達するためには、（１）。
（２）式が成立することが必要であり、ＭＳ−１につい
ても当然（１）、（２）式が成立する。
ても当然（１）、（２）式が成立する。
Ｅ、 −βｔｒｏ ・・・ （
１）Ｂ ｏ ＝ Ｑ Ｊｌ「コＵ ｃ）
−（２）（１）、（２）式においてＥ Ｏ＊ ＢＯ
は二重収束質量分析装置を構成する電場と磁場の強度で
あり、α、βは装置固有の定数である。
１）Ｂ ｏ ＝ Ｑ Ｊｌ「コＵ ｃ）
−（２）（１）、（２）式においてＥ Ｏ＊ ＢＯ
は二重収束質量分析装置を構成する電場と磁場の強度で
あり、α、βは装置固有の定数である。
ここで、イオン加速電圧を変化させることにより、運動
エネルギーをＵ３に変化させた時も、質量ｍＱの親イオ
ンが中心軌道を通って二重収束点に達するとすると、そ
の時の電場及び磁場強度をＥｘ、ＢＸとすれば、（３）
、（４）式が成立する。
エネルギーをＵ３に変化させた時も、質量ｍＱの親イオ
ンが中心軌道を通って二重収束点に達するとすると、そ
の時の電場及び磁場強度をＥｘ、ＢＸとすれば、（３）
、（４）式が成立する。
ＥＸ−βＵｘ ・・・（３）Ｂ、 −αｆ
ｉ了Ｕ、 −（４）（１）〜（４）式より、α、
βを消去すると下式が得られる。
ｉ了Ｕ、 −（４）（１）〜（４）式より、α、
βを消去すると下式が得られる。
Ｅ、＝Ｅｏ （Ｕｘ／Ｕｏ ） −（５）
Ｂｘ＝Ｂｏ １丁子フ’ＵＯ−（６） 従って、予めＵ。＊ ＥＯ＊ ＢＯを求めておき、
その後イオン加速電圧を掃引することによりＵ８を掃引
すると同時に、電場強度ＥＸを（５）式に従って掃引し
、且つ磁場強度Ｂｘを（６）式に従って掃引すれば、イ
オン加速電圧の掃引にかかわらず常に所定質ｆｆｉｍｏ
の親イオンがコレクタスリット５を通過することになる
。換言すれば、掃引の期間中宮に一定質量ｍＱの親イオ
ンがコレクタスリット５から取り出されると共に、その
質量ｍＯの親イオンの運動エネルギーが時間と共に掃引
されることになる。
Ｂｘ＝Ｂｏ １丁子フ’ＵＯ−（６） 従って、予めＵ。＊ ＥＯ＊ ＢＯを求めておき、
その後イオン加速電圧を掃引することによりＵ８を掃引
すると同時に、電場強度ＥＸを（５）式に従って掃引し
、且つ磁場強度Ｂｘを（６）式に従って掃引すれば、イ
オン加速電圧の掃引にかかわらず常に所定質ｆｆｉｍｏ
の親イオンがコレクタスリット５を通過することになる
。換言すれば、掃引の期間中宮に一定質量ｍＱの親イオ
ンがコレクタスリット５から取り出されると共に、その
質量ｍＯの親イオンの運動エネルギーが時間と共に掃引
されることになる。
実際の掃引は、掃引回路１２及び演算回路１４によって
行われる。掃引回路１２からの鋸歯状掃引信号により、
イオン加速電圧が掃引されると、それに対応してイオン
の運動エネルギーＵＸが鋸歯状に掃引される。演算回路
１４は、掃引信号。
行われる。掃引回路１２からの鋸歯状掃引信号により、
イオン加速電圧が掃引されると、それに対応してイオン
の運動エネルギーＵＸが鋸歯状に掃引される。演算回路
１４は、掃引信号。
オペレータから入力された親イオンの質ｆｆｉｍｏ及び
該親イオンについて予め求めであるＥ Ｏ＋ Ｂ Ｏ
の値に基づき、（５）、（６）式からＥｘ、Ｂｘを求め
、Ｅｘ倍信号電場電源１５へ送り、Ｂｘ倍信号磁場電源
１６へ送る。
該親イオンについて予め求めであるＥ Ｏ＋ Ｂ Ｏ
の値に基づき、（５）、（６）式からＥｘ、Ｂｘを求め
、Ｅｘ倍信号電場電源１５へ送り、Ｂｘ倍信号磁場電源
１６へ送る。
尚、（５）、（６）式を変形すると、下式が得られる。
ＢＸ ２／Ｅｘ −Ｂｏ ２／Ｅｏ −一定−（７）こ
の（７）式から分るように、イオン加速電圧の掃引に連
動して掃引される電場強度Ｅｘと磁場強度Ｂｘの間には
、Ｊ３Ｘ２ ／Ｅｘ−一定なる関係が維持される。
の（７）式から分るように、イオン加速電圧の掃引に連
動して掃引される電場強度Ｅｘと磁場強度Ｂｘの間には
、Ｊ３Ｘ２ ／Ｅｘ−一定なる関係が維持される。
以上のような掃引に伴ってコレクタスリット５から取り
出された一定質量ｍ□の親イオンが衝突室６へ入射して
解離し、質量ｍ１及びｍ２の２種の娘イオンが生成され
るものとする。この２種のイオンは、親イオンと同じ速
度で飛行を続けるため、それぞれの娘イオンの持つエネ
ルギーＵ。
出された一定質量ｍ□の親イオンが衝突室６へ入射して
解離し、質量ｍ１及びｍ２の２種の娘イオンが生成され
るものとする。この２種のイオンは、親イオンと同じ速
度で飛行を続けるため、それぞれの娘イオンの持つエネ
ルギーＵ。
Ｕ２は下式で表わされるように質量に比例した値となり
、第２図に示すように、親イオンのエネルギーＵｘの掃
引につれて掃引される。
、第２図に示すように、親イオンのエネルギーＵｘの掃
引につれて掃引される。
Ｕｔ ＝ （ｍｌ ／ｍｏ ） Ｕｘ −（７）Ｕ
２− （ｍ２／ｍｏ ）Ｕｘ −（８）このよう
にして生成された２種の娘イオン及び解離しなかった親
イオンは、スリット７を通過してＭＳ−２へ導入される
。ＭＳ−２の電場８の強度は、例えばエネルギーＵ、の
イオンが該電場の中心軌道を通るような値に固定されて
いるため、そのＵア±５％の範囲のイオンだけが該電場
８及びスリット９を通過することができる。第２図にお
いて斜線を施したエネルギー範囲がその通過許容範囲で
あり、ＵＸ ＋ ｔｒ、 ＋ Ｕ２がその範囲を通過す
る期間”Ｏｒ ｔＩｔ ｉ２のみ、それぞれのイオ
ンが電場８及びスリット９を通過して磁場１０へ入射す
る。この磁場１０の強度も一定値に固定されており、期
間ｔｏに磁場１０へ入射した質量ｍＱの親イオンは、第
３図に示すように、磁場１０によってその質量に応じた
偏向を受け、イオン検出器１１上の質量によって決まっ
た位置Ｐ （ｍｏ）（例えばイオン検出器１１の右端）
へ到達する。また、期間ｔ１に磁場１０へ入射した質ｆ
ｌｋｍＩの娘イオンは、同様にイオン検出器１１上の位
ｉ！Ｐ （ｍ＋ ） ヘ到達し、期間【２に磁場１０へ
入射した質ｆｆ１ｍ２の娘イオンは、同様にイオン検出
器１１上の位ｆｉ！ｔＰ（ｍｚ）へ到達する。イオン検
出器１１として例えば写真乾板が使用されているとすれ
ば、掃引終了時点では、乾板には質量ｍ０の親イオンか
ら始まるマススペクトルが記録されている。このスペク
トルは、電場を通過したあるエネルギー幅のイオンを同
時にとらえており、掃引がそのエネルギー幅進む期間に
わたり積分されるため、空間分解能を持たない単一のイ
オン検出器を用いる通常の掃引型質量分析装置をＭＳ−
２として使用する場合に比べ桁違いに感度の向上したも
のとなる。
２− （ｍ２／ｍｏ ）Ｕｘ −（８）このよう
にして生成された２種の娘イオン及び解離しなかった親
イオンは、スリット７を通過してＭＳ−２へ導入される
。ＭＳ−２の電場８の強度は、例えばエネルギーＵ、の
イオンが該電場の中心軌道を通るような値に固定されて
いるため、そのＵア±５％の範囲のイオンだけが該電場
８及びスリット９を通過することができる。第２図にお
いて斜線を施したエネルギー範囲がその通過許容範囲で
あり、ＵＸ ＋ ｔｒ、 ＋ Ｕ２がその範囲を通過す
る期間”Ｏｒ ｔＩｔ ｉ２のみ、それぞれのイオ
ンが電場８及びスリット９を通過して磁場１０へ入射す
る。この磁場１０の強度も一定値に固定されており、期
間ｔｏに磁場１０へ入射した質量ｍＱの親イオンは、第
３図に示すように、磁場１０によってその質量に応じた
偏向を受け、イオン検出器１１上の質量によって決まっ
た位置Ｐ （ｍｏ）（例えばイオン検出器１１の右端）
へ到達する。また、期間ｔ１に磁場１０へ入射した質ｆ
ｌｋｍＩの娘イオンは、同様にイオン検出器１１上の位
ｉ！Ｐ （ｍ＋ ） ヘ到達し、期間【２に磁場１０へ
入射した質ｆｆ１ｍ２の娘イオンは、同様にイオン検出
器１１上の位ｆｉ！ｔＰ（ｍｚ）へ到達する。イオン検
出器１１として例えば写真乾板が使用されているとすれ
ば、掃引終了時点では、乾板には質量ｍ０の親イオンか
ら始まるマススペクトルが記録されている。このスペク
トルは、電場を通過したあるエネルギー幅のイオンを同
時にとらえており、掃引がそのエネルギー幅進む期間に
わたり積分されるため、空間分解能を持たない単一のイ
オン検出器を用いる通常の掃引型質量分析装置をＭＳ−
２として使用する場合に比べ桁違いに感度の向上したも
のとなる。
また、空間分解能をもつイオン検出器を用いるが掃引は
行わない従来の同時検出型質量分析装置をＭＳ−２とし
て使用する場合に比べ、広い質量範囲にわたる娘イオン
スペクトルを得ることが可能である。
行わない従来の同時検出型質量分析装置をＭＳ−２とし
て使用する場合に比べ、広い質量範囲にわたる娘イオン
スペクトルを得ることが可能である。
なお、本発明は上述した実施例に限定されることなく幾
多の変形が可能である。例えば、イオン検出器として、
乾板ではなく、半導体技術により微小検出器を数多く並
べた２次元検出器を用いれば、電気的な検出が可能とな
る。その場合には、各微小検出器毎にその出力を電気的
に積分あるいは８１算する手段を設ける必要がある。
多の変形が可能である。例えば、イオン検出器として、
乾板ではなく、半導体技術により微小検出器を数多く並
べた２次元検出器を用いれば、電気的な検出が可能とな
る。その場合には、各微小検出器毎にその出力を電気的
に積分あるいは８１算する手段を設ける必要がある。
また、上記実施例ではＭＳ−１として電場と磁場を備え
た二重収束質量分析装置を使用したが、必ずしもその必
要はなく、例えば磁場のみを備えた単収束の質量分析装
置をＭＳ−１として使用することもできる。その場合で
も、（５）式に基づく電場の掃引がなくなるだけで、Ｍ
Ｓ−１の磁場強度ＢＸを（６）式に基づいて掃引するこ
とに変わりはない。
た二重収束質量分析装置を使用したが、必ずしもその必
要はなく、例えば磁場のみを備えた単収束の質量分析装
置をＭＳ−１として使用することもできる。その場合で
も、（５）式に基づく電場の掃引がなくなるだけで、Ｍ
Ｓ−１の磁場強度ＢＸを（６）式に基づいて掃引するこ
とに変わりはない。
さらに、ＭＳ−２として用いる同時検出型質量分析装置
としては、例えばＭ ａｔｔａｕｃｈ Ｈｅｒｚｏｇ型
質量分析装置も採用でき、そうすれば、更に広い′Ｒｍ
範囲にわたる娘イオンスペクトルを取得することが可能
である。
としては、例えばＭ ａｔｔａｕｃｈ Ｈｅｒｚｏｇ型
質量分析装置も採用でき、そうすれば、更に広い′Ｒｍ
範囲にわたる娘イオンスペクトルを取得することが可能
である。
［効果］
以上詳述した如く、本発明によれば、空間分解能を有す
るイオン検出器を備えた同時検出型質量分析装置をＭＳ
−２として用いたＭＳ／ＭＳ装置において、イオン源で
生成されるイオンの運動エネルギーを掃引すると共に、
その掃引にかかわらずＭＳ−１で常に一定質量のイオン
が選択されるようにＭＳ−１の質量分析場を掃引するこ
とにより、ＭＳ−１で一定質量の親イオンを選択し且つ
その運動エネルギーを掃引するようにしたため、広い質
量範囲にわたる娘イオンスペクトルを高い感度で取得す
ることのできるＭＳ／ＭＳ装置が実現される。
るイオン検出器を備えた同時検出型質量分析装置をＭＳ
−２として用いたＭＳ／ＭＳ装置において、イオン源で
生成されるイオンの運動エネルギーを掃引すると共に、
その掃引にかかわらずＭＳ−１で常に一定質量のイオン
が選択されるようにＭＳ−１の質量分析場を掃引するこ
とにより、ＭＳ−１で一定質量の親イオンを選択し且つ
その運動エネルギーを掃引するようにしたため、広い質
量範囲にわたる娘イオンスペクトルを高い感度で取得す
ることのできるＭＳ／ＭＳ装置が実現される。
第１図は本発明の一実施例を示すイオン光学図であり、
第２図および第３図はその動作を説明するための図であ
る。 １：イオン源 ２：主スリット３．８二円筒電
場 ４．１０：扇形磁場５：コレクタスリット ６
：衝突室 １１：２次元イオン検出器 １２：掃引回路 １３：イオン加速電源１４：演算回
路 １５：電場電源 １６二磁場電源 特許出願人 日本電子株式会社
第２図および第３図はその動作を説明するための図であ
る。 １：イオン源 ２：主スリット３．８二円筒電
場 ４．１０：扇形磁場５：コレクタスリット ６
：衝突室 １１：２次元イオン検出器 １２：掃引回路 １３：イオン加速電源１４：演算回
路 １５：電場電源 １６二磁場電源 特許出願人 日本電子株式会社
Claims (4)
- （１）イオン源と、該イオン源からの被分析イオンが導
入される第１の質量分析系と、該第１の質量分析系を通
過したイオンが入射するコレクタスリットと、該コレク
タスリットを通過したイオンを解離させる手段と、解離
により生成されたイオンが導入される第２の質量分析系
と、該第２の質量分析系を出射したイオンが質量電荷比
に応じて展開収束される収束面に沿って配置される空間
分解能を有するイオン検出器と、前記イオン源で生成さ
れるイオンの運動エネルギーを掃引する第１の掃引手段
と、該第１の掃引手段によるイオンの運動エネルギー掃
引にかかわらず、常に所定の質量電荷比のイオンが前記
コレクタスリットを通過するように、前記第１の質量分
析系を上記運動エネルギー掃引に関連して掃引する第２
の掃引手段とを備えたことを特徴とするＭＳ／ＭＳ装置
。 - （２）前記第１の質量分析系は電場と磁場を備えた二重
収束質量分析系で、前記第２の掃引手段は、該二重収束
質量分析系を構成する磁場の強度Ｂと電場の強度Ｅを、
前記第１の掃引手段による掃引に関連してＢ２／Ｅ比を
一定値に保持しつつ同時に掃引することを特徴とする請
求項１記載のＭＳ／ＭＳ装置。 - （３）前記第１の質量分析系は電場と磁場を備えた二重
収束質量分析系で、前記第２の掃引手段は、該二重収束
質量分析系を構成する磁場の強度Ｂと電場の強度Ｅを、
前記第１の掃引手段によるイオンの運動エネルギーＵの
掃引に関連して次式にしたがって同時に掃引することを
特徴とする請求項１記載のＭＳ／ＭＳ装置。 Ｅ＝Ｋ＿１Ｕ（Ｋ＿１は定数） Ｂ＝Ｋ＿２√Ｕ（Ｋ＿２は定数） - （４）前記第１の質量分析系は磁場を備えた単収束質量
分析系で、前記第２の掃引手段は、該単収束質量分析系
を構成する磁場の強度Ｂを、前記第１の掃引手段による
イオンの運動エネルギーＵの掃引に関連して次式に従っ
て掃引することを特徴とする請求項１記載のＭＳ／ＭＳ
装置。 Ｂ＝Ｋ＿２√Ｕ（Ｋ＿２は定数）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176692A JP2616970B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63176692A JP2616970B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227650A true JPH0227650A (ja) | 1990-01-30 |
| JP2616970B2 JP2616970B2 (ja) | 1997-06-04 |
Family
ID=16018068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63176692A Expired - Fee Related JP2616970B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | Ｍｓ／ｍｓ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2616970B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5688250A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-17 | Jeol Ltd | Mass spectrograph |
| JPS5946550A (ja) * | 1982-09-09 | 1984-03-15 | Jeol Ltd | 質量分析装置 |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP63176692A patent/JP2616970B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5688250A (en) * | 1979-12-20 | 1981-07-17 | Jeol Ltd | Mass spectrograph |
| JPS5946550A (ja) * | 1982-09-09 | 1984-03-15 | Jeol Ltd | 質量分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2616970B2 (ja) | 1997-06-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |