JPH0227509A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜磁気ヘッドに関し、特に、外部の磁気的
なノイズなどの影響を受けにくい薄膜磁気ヘッドに関す
る。

〔従来の技術〕

たとえば、磁気テープあるいは磁気ディスクのような磁
性面記録媒体に対する情報の記録密度の増大に呼応する
べく、これらの記憶媒体に磁束を媒介として情報の記録
・再生動作を行う磁気ヘッドとして微細化が容易な薄膜
磁気ヘッドが用いられるに至っている。

従来、このような薄膜磁気ヘッドとしては、たとえば、
特開昭５５−８４０１９号公報に開示される構造のもの
が知られている。

すなわち、導体薄膜にフォトリソグラフィを施して形成
される渦巻き状コイルと、この渦巻き状コイルの一部を
絶縁膜を介して挟持するとともに中央側で接続されるこ
とによって渦巻き状コイルに鎖交し外側において磁気ギ
ャップをなす上側磁性薄膜および下側磁性膜からなるヨ
ーク構造と、前記下側磁性膜または上側磁性膜の一部で
構成され、渦巻き状コイルの中央側の内端部に接続され
る第１の引出線と、渦巻き状コイルの外端部に当該渦巻
き状コイルと同時に形成された第２の引出線とで薄膜磁
気ヘッドを構成したものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記のような構造の従来の薄膜磁気ヘッドに
おいては、渦巻き状コイルの中央部内で互いに接続した
磁性薄膜によって構成されるヨーク構造と、当該渦巻き
状コイルの内端部に接続され、磁性薄膜によって構成さ
れる第１の引出線とが近接した状態になるため、磁性体
からなる第１の引出線を通じて外部から導かれる磁気的
なノイズが、ヨーク構造における磁気ギャップを介して
記憶媒体との間で授受される微弱な磁束に影響を与える
ことは避けられず、この微弱な磁束に不安定なゆらぎを
生じる、いわゆるウィグルが発生するなどして薄膜磁気
ヘッドの動作の信頼性が低下するという問題がある。

そこで、本発明の目的は、引出線構造を介して外部から
磁性ヨークに作用する磁気的なノイズを排除して、動作
の信頼性を向上させた薄膜磁気ヘッドを提供することに
ある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、以下の通りである。

すなわち、本発明の薄膜磁気ヘッドは、一層または多層
をなす渦巻き状コイルと、この渦巻き状コイルに鎖交し
、一部に磁気ギャップを有する磁気ヨークと、渦巻き状
コイルの中央側の内端部に接続される第１の引出線構造
と、渦巻き状コイルの外側の外端部に接続される第２の
引出線構造とからなる薄膜磁気ヘッドであって、第１の
引出線構造を非磁性体で構成したものである。

また、本発明の薄膜磁気ヘッドは、一層または多層をな
す渦巻き状コイルと、この渦巻き状コイルに鎖交し、一
部に磁気ギャップを有する磁気ヨークと、烏巻き状コイ
ルの中央側の内端部に接続される第１の引出線構造と、
渦巻き状コイルの外側の外端部に接続される第２の引出
線構造とからなる薄膜磁気ヘッドであって、第１の引出
線構造を磁性体で構成するとともに、この第１の引出線
構造の渦巻き状コイルの内端部に対する接続端が磁気ヨ
ークを取り囲む分岐部をなすようにしたものである。

〔作用〕

上記した前者の薄膜磁気ヘッドによれば、渦巻き状コイ
ルの中央部において磁性ヨークに近接する第１の引出線
構造が非磁性体で構成されているので、外部の磁気的な
ノイズなどが第１の引出線構造を通じて磁性ヨークに伝
わることを阻止でき、磁性ヨークの磁気ギャップを介し
て記憶媒体と授受される微弱な磁束の不安定なゆらぎな
どが確実に防止され、薄膜磁気ヘッドの動作の信頼性を
向上させることができる。

また、上記した後者の薄膜磁気ヘッドによれば、渦巻き
状コイルの中央部において磁性ヨークに近接する第１の
引出線構造が磁性体で構成されているとともに、渦巻き
状コイルに対する接続端が磁性ヨークを取り囲む分岐を
なしているので、たとえば、第１の引出線構造の分岐部
における磁気抵抗を磁性ヨークよりも小さくすることで
、外部から第１の引出線構造を通じて到来する磁気的な
ノイズを分岐部によって磁性ヨークを迂回するように導
くことができる。

これにより、磁性ヨークの磁気ギャップを介して記憶媒
体と授受される微弱な磁束が外部の磁気的なノイズによ
って不安定にゆらぐことが防止され、薄膜磁気ヘッドの
動作の信頼性を向上させることができる。

〔実施例１〕 第１図は、本発明の一実施例である薄膜磁気ヘッドの要
部を示す平面図である。

たとえば、アルミナなどからなる非磁性の基板１の上に
は、磁性ヨーク２を構成する下部磁性膜２ａと、第１の
引出線構造３とが所定の図形に形成されている。

この場合、第１の引出線構造３は、たとえば、下部磁性
膜２ａとは異なる非磁性の導体で構成されている。

下部磁性膜２ａおよび第１の引出線構造３は、所定の形
状に被着された絶縁膜４によって隠蔽されており、さら
にこの絶縁膜４の上には、導体からなる渦巻き状コイル
５が形成されている。

この渦巻き状コイル５の中央部側の内端１５ａは下部に
位置する絶縁膜４の穿設された透孔４ａを通じて下側の
第１の引出線構造３の端部に電気的に接続されている。

また、渦巻き状コイル５の外端１５ｂは、当該渦巻き状
コイル５と同時に同一の導体で形成された東２の引出線
構造６に対し、一体に接続されている。

さらに、渦巻き状コイル５の上には、図示しない絶縁膜
を介して、前記下部磁性膜２ａと対になる図示しない上
部磁性膜が被着されており、この上部磁性膜と下部磁性
膜２ａとは、渦巻き状コイル５の中央部において、図示
しない前記絶縁膜に穿設された透孔７ａを介して相互に
接続されているとともに、渦巻き状コイル５の外部にふ
いて基板１の外縁部に臨む位置で磁気ギャップＧをなす
ことで、渦巻き状コイル５に鎖交する磁性ヨーク２を構
成している。

そして、図示しない記憶媒体の磁性面に磁性ヨーク２の
磁気ギャップＧを近接させ、その状態で渦巻き状コイル
５に第２の引出線構造６および前記第１の引出線構造３
を介して外部の図示しない制御装置などから所定の情報
に対応する波形に変調された電気信号を通じる際に磁気
ギャップＧに形成される漏れ磁束によって記憶媒体の磁
性面を磁化することで情報の記録動作が行われるととも
に、所定の状態に磁化された記憶媒体側から磁性ヨーク
２に作用する磁束によって渦巻き状コイル５に誘起され
る電流を検知することで情報の再生動作が行われるもの
である。

ここで、磁性ヨーク２の磁気ギャップＧを介して記憶媒
体との間で授受される磁束は一般に掻めて微弱であるた
め、たとえば、従来のように渦巻き状コイル５の中央部
において磁性ヨーク２に近接した状態で当該渦巻き状コ
イル５の内端部５ａに接続される第１の引出線構造３を
磁性体で構成する場合には、外部の磁気的なノイズなど
が第１の引出線構造３を通じて磁性ヨーク２に磁気的な
悪影響を及ぼすことは避けられず、前述のようなウィグ
ルなどの薄膜磁気ヘッドの動作を不安定にする有害な現
象が発生するという問題がある。

ところが、本実施例の場合には、第１の引出線構造３が
非磁性体で構成されているため外部の磁気的なノイズが
第１の引出線構造３を伝って磁性ヨーク２に作用するこ
とを阻止できる。

これにより、ウィグルなどの有害な現象が発生すること
が防止され、薄膜磁気ヘッドの動作の信頼性を向上させ
ることができる。

〔実施例２〕 第２図は、本発明の他の実施例である薄膜磁気ヘッドの
要部を示す平面図である。

本実施例２の場合には、基板１の上に形成される第１の
引出線構造８を、たとえば下部磁性膜２ａと同一の磁性
体で同時に形成するとともに、渦巻き状コイル５の内端
１５ａに対する接続端８ａが下部磁性膜２ａと図示しな
い上部磁性膜とで構成される磁性ヨーク２を取り囲む分
岐部８ｂをなすようにするとともに、磁気抵抗が磁性ヨ
ーク２よりも充分小さくなるように当該分岐部８ｂにお
ける断面積を充分大きく設定したところが前記実施例１
の場合と異なるものである。

これにより、外部から磁性体の第１の引出線構造８を介
して磁性ヨーク２の側に到来する磁気的ノイズによる有
害な磁束が磁性ヨーク２を迂回するように導かれるので
、磁気的ノイズによる有害な磁束が磁性ヨーク２を通過
することを阻止できる。

この結果、図示しない記憶媒体に対する目的の情報の授
受に際して磁性ヨーク２の磁気ギャップＧに形成される
微弱な磁束に対する外部の磁気的なノイズの悪影響が緩
和され、薄膜磁気ヘッドの動作の信頼性を向上させるこ
とができる。

また、本実施例２の場合には、第１の引出線構造８を、
磁性ヨーク２を構成する下部磁性膜２ａと同時に同一の
磁性物質を用いて形成することにより、従来と同一の工
程数で製作することができ、工程数が増加するという不
利もない。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、以下の通りである。

本発明の薄膜磁気ヘッドは、一層または多層をなす渦巻
き状コイルと、この渦巻き状コイルに鎖交し、一部に磁
気ギャップを有する磁気ヨークと、前記渦巻き状コイル
の中央側の内端部に接続される第１の引出線構造と、前
記渦巻き状コイルの外側の外端部に接続される第２の引
出線構造とからなる薄膜磁気ヘッドであって、前記第１
の引出線構造が非磁性体からなる構造であるため、渦巻
き状コイルの中央部において磁性ヨークに近接する第１
の引出線構造が非磁性体で構成されているので、外部の
磁気的なノイズなどが第１の引出線構造を通じて磁性ヨ
ークに伝わることを阻止でき、磁性ヨークの磁気ギャッ
プを介して記憶媒体と授受される微弱な磁束の不安定な
ゆらぎなどが確実に防止され、薄膜磁気ヘッドの動作の
信頼性を向上させることができる。

また、本発明の薄膜磁気ヘッドは、一層または多層をな
す烏巻き状コイルと、この渦巻き状コイルに鎖交し、一
部に磁気ギャップを有する磁気ヨークと、前記渦巻き状
コイルの中央側の内端部に接続される第１の引出線構造
と、前記渦巻き状コイルの外側の外端部に接続される第
２の引出線構造とからなる薄膜磁気ヘッドであって、前
記第１の引出線構造が磁性体から、なり、かつ該第１の
引出線構造の前記渦巻き状コイルの内端部に対する接続
端は、前記磁気ヨークを取り囲む分岐部をなしているの
で、たとえば、第１の引出線構造の分岐部における磁気
抵抗を磁性ヨークよりも小さくすることで、外部から第
１の引出線構造を通じて導かれる磁気的なノイズを分岐
部によって磁性ヨークを迂回するように導くことができ
、磁性ヨークの磁気ギャップを介して記憶媒体と授受さ
れる微弱な磁束が外部の磁気的なノイズによって不安定
にゆらぐことが防止され、薄膜磁気ヘッドの動作の信頼
性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である薄膜磁気ヘッドの要部
を示す平面図、 第２図は本発明の他の実施例である薄膜磁気ヘッドの要
部を示す平面図である。 １・・・基板、２・・・磁性ヨーク、２ａ・・・下部磁
性膜、３・・・第１の引出線構造、４・・・絶縁膜、４
ａ・・・透孔、５・・・渦巻き状コイル、５ａ・・・内
端部、５ｂ・・・外端部、６・・・第２の引出線構造、
７ａ・・・透孔、８・・・第１の引出線構造、８ａ・・
・接続端、８ｂ・・・分岐部、Ｇ・・・磁気ギャップ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、一層または多層をなす渦巻き状コイルと、この渦巻
   き状コイルに鎖交し、一部に磁気ギャップを有する磁気
   ヨークと、前記渦巻き状コイルの中央側の内端部に接続
   される第１の引出線構造と、前記渦巻き状コイルの外側
   の外端部に接続される第２の引出線構造とからなる薄膜
   磁気ヘッドであって、前記第１の引出線構造が非磁性体
   からなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 ２、一層または多層をなす渦巻き状コイルと、この渦巻
   き状コイルに鎖交し、一部に磁気ギャップを有する磁気
   ヨークと、前記渦巻き状コイルの中央側の内端部に接続
   される第１の引出線構造と、前記渦巻き状コイルの外側
   の外端部に接続される第２の引出線構造とからなる薄膜
   磁気ヘッドであって、前記第１の引出線構造が磁性体か
   らなり、かつ該第１の引出線構造の前記渦巻き状コイル
   の内端部に対する接続端は、前記磁気ヨークを取り囲む
   分岐部をなしていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。