JPH0227225A - 光干渉信号抽出装置 - Google Patents
光干渉信号抽出装置Info
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- JPH0227225A JPH0227225A JP63176811A JP17681188A JPH0227225A JP H0227225 A JPH0227225 A JP H0227225A JP 63176811 A JP63176811 A JP 63176811A JP 17681188 A JP17681188 A JP 17681188A JP H0227225 A JPH0227225 A JP H0227225A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 97
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 20
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は被測定光の波長分布等を測定する場合に用い
られる光干渉信号抽出装置に関する。
られる光干渉信号抽出装置に関する。
「従来の技術」
第4図に従来用いられている光干渉信号抽出装置を示す
0図中10は被測定光を射出する光源、20は光路差を
掃引することができる光干渉計を示す、この例ではマイ
ケルソン干渉計を示すがその他にファブリペロ干渉計を
用いることもできる。
0図中10は被測定光を射出する光源、20は光路差を
掃引することができる光干渉計を示す、この例ではマイ
ケルソン干渉計を示すがその他にファブリペロ干渉計を
用いることもできる。
マイケルソン干渉計20は分波及び合波動作を行なうハ
ーフミラ−21と、固定光路24を形成するための固定
ミラー22と、可変光路25を形成するための可動ミラ
ー23とによって構成される。
ーフミラ−21と、固定光路24を形成するための固定
ミラー22と、可変光路25を形成するための可動ミラ
ー23とによって構成される。
光源10から出射された被測定光11はハーフミラ−2
1によって固定光路24と可変光路25とに分波され、
固定光路24と可動光路25を通った光は再びハーフミ
ラ−21によって合波され、その合波された光は受光器
30で電気信号SAに変換される。
1によって固定光路24と可変光路25とに分波され、
固定光路24と可動光路25を通った光は再びハーフミ
ラ−21によって合波され、その合波された光は受光器
30で電気信号SAに変換される。
ハーフミラ−21において合波される際に固定光路24
を通った光と可変光路25を通った光は光路差の違いに
よって位相差が与えられ、その位相差の違いによって干
渉を起す、光の干渉は可動ミラー23の動きに同期して
発生する。よって光干渉計20から出力される光は干渉
光になっておリ、この干渉光を受光器30で電気信号に
変換することによって第5図に示すような光干渉信号S
Aを得ることができる。この干渉信号SAを周波数分析
することにより被測定光11のスペクトラムを描かせる
ことができる。
を通った光と可変光路25を通った光は光路差の違いに
よって位相差が与えられ、その位相差の違いによって干
渉を起す、光の干渉は可動ミラー23の動きに同期して
発生する。よって光干渉計20から出力される光は干渉
光になっておリ、この干渉光を受光器30で電気信号に
変換することによって第5図に示すような光干渉信号S
Aを得ることができる。この干渉信号SAを周波数分析
することにより被測定光11のスペクトラムを描かせる
ことができる。
「発明が解決しようとする課題」
第5図に示した干渉信号は被測定光11の光パワーが安
定している場合の波形を示す。このように被測定光11
の光パワーが安定している場合はSN比のよい干渉信号
を得ることができる。
定している場合の波形を示す。このように被測定光11
の光パワーが安定している場合はSN比のよい干渉信号
を得ることができる。
これに対し、比測定光11の光パワーが第6図に示すよ
うに変動している場合は干渉信号のSN比が悪くなり、
従って周波数分析してスペクトラムを描かせた場合に、
そのスペクトラムに被測定光11が持つ光パワーの変動
成分もスペクトラムとして表示され、被測定器11の波
長分布を正確に測定することができない欠点がある。
うに変動している場合は干渉信号のSN比が悪くなり、
従って周波数分析してスペクトラムを描かせた場合に、
そのスペクトラムに被測定光11が持つ光パワーの変動
成分もスペクトラムとして表示され、被測定器11の波
長分布を正確に測定することができない欠点がある。
この発明の目的は被測定光が持つ光パワー変動に基づく
雑音を除去することができる光干渉信号抽出装置を提供
するにある。
雑音を除去することができる光干渉信号抽出装置を提供
するにある。
「課題を解決するための手段」
この発明では光干渉計から出射される干渉光を受光器に
よって電気信号に変換し、光干渉信号を得ると共に、こ
の光干渉信号を低域通過が波器に分岐して低域通過が波
器から光干渉信号の低域信号成分を抽出し、この低域信
号成分で元の光干渉信号を除算するように構成したもの
である。
よって電気信号に変換し、光干渉信号を得ると共に、こ
の光干渉信号を低域通過が波器に分岐して低域通過が波
器から光干渉信号の低域信号成分を抽出し、この低域信
号成分で元の光干渉信号を除算するように構成したもの
である。
「作 用」
この発明の構成によれば光干渉信号を低域通過が波器で
が波することによってその出力に光干渉信号の低域成分
を抽出する。この光干渉信号の低域成分は被測定光の光
パワー変動に該当する。
が波することによってその出力に光干渉信号の低域成分
を抽出する。この光干渉信号の低域成分は被測定光の光
パワー変動に該当する。
よってこの低域信号成分で元の光干渉信号を除算するこ
とによって、その除算結果に光パワー変動に伴なう雑音
を含まない光干渉信号を抽出することができる。
とによって、その除算結果に光パワー変動に伴なう雑音
を含まない光干渉信号を抽出することができる。
どのように雑音を含まない光干渉信号を得ることができ
ることによって、例えば光スペクトラムを観測する場合
に、光スペクトラムに雑音のスペクトラムが重畳するこ
とがない、よりて正しい光スペクトラムを観測すること
ができる。
ることによって、例えば光スペクトラムを観測する場合
に、光スペクトラムに雑音のスペクトラムが重畳するこ
とがない、よりて正しい光スペクトラムを観測すること
ができる。
「実施例」
第1図にこの発明の一実施例を示す。
第1図において、第4図と対応する部分には同一符号を
付し、その重複説明は省略するが、この発明においては
受光器30から出力される光干渉信号SAを低域通過ろ
波器40に分岐し、この低域通過f波器40から光干渉
信号SAの低域成分を抽出する。
付し、その重複説明は省略するが、この発明においては
受光器30から出力される光干渉信号SAを低域通過ろ
波器40に分岐し、この低域通過f波器40から光干渉
信号SAの低域成分を抽出する。
光干渉信号の低域成分は被測定光11の直流的な光パワ
ー変動である。つまり被測定光源IOが商用電源で励起
されている場合には50乃至601L或は100乃至1
2〇七の雑音が混入する。またi流点灯の場合でも直流
電源電圧の変動によって低い周波数の光パワー変動が生
じる。この光パワー変動を雑音成分SBとして低域通過
が波器40によって抽出し、この雑音成分SBを除算器
50に入力する。
ー変動である。つまり被測定光源IOが商用電源で励起
されている場合には50乃至601L或は100乃至1
2〇七の雑音が混入する。またi流点灯の場合でも直流
電源電圧の変動によって低い周波数の光パワー変動が生
じる。この光パワー変動を雑音成分SBとして低域通過
が波器40によって抽出し、この雑音成分SBを除算器
50に入力する。
除算器50には元の光干渉信号SAも人力され、除算器
50で光干渉信号SAを雑音成分SBで除算する。この
除算によって出力端51には雑音成分を含まない光干渉
信号を抽出することができる。
50で光干渉信号SAを雑音成分SBで除算する。この
除算によって出力端51には雑音成分を含まない光干渉
信号を抽出することができる。
つまり第2図Aに示すように被測定光aXOの光パワー
が変動しているとすると、光干渉信号SAは第2図Bに
示すように低周波の雑音が重畳する。この低周波の雑音
を低域通過が波器40で第2図Cに示すように抽出し、
この雑音成分SBで元の光干渉信号SAを除算すること
によって元の光干渉信号SAから雑音成分SBを除去し
た第2図りに示す光干渉信号SCを得ることができる。
が変動しているとすると、光干渉信号SAは第2図Bに
示すように低周波の雑音が重畳する。この低周波の雑音
を低域通過が波器40で第2図Cに示すように抽出し、
この雑音成分SBで元の光干渉信号SAを除算すること
によって元の光干渉信号SAから雑音成分SBを除去し
た第2図りに示す光干渉信号SCを得ることができる。
このように雑音成分SBを除去した光干渉信号SCを周
波数分析し、その各周波数成分の分布を表示器に表示す
ることによって被測定光11の光スペクトラムを表示す
ることができる。
波数分析し、その各周波数成分の分布を表示器に表示す
ることによって被測定光11の光スペクトラムを表示す
ることができる。
この光スペクトラムは雑音成分のスペクトラムを含まな
いから正しい光のスペクトラムを観測することができる
。
いから正しい光のスペクトラムを観測することができる
。
第3図にこの発明の変形実施例を示す。
この実施例では被測定光11の他に基準光源60から基
準光61を与える。この基準光源60は例えばヘリウム
−ネオンレーザのように狭スペクトル特性を持つ光源を
用いる。
準光61を与える。この基準光源60は例えばヘリウム
−ネオンレーザのように狭スペクトル特性を持つ光源を
用いる。
基準光61も光干渉計20の内部では固定光路24と可
変光路25を通ってハーフミラ−21で合波され、干渉
光として取出され、受光器52で受光して電気信号に変
換する。
変光路25を通ってハーフミラ−21で合波され、干渉
光として取出され、受光器52で受光して電気信号に変
換する。
基準光源60として狭スペクトル特性の光を射出する光
源を用いることによって受光器52から出力される光干
渉信号SDは振幅値が可動ミラー23の動きに対して大
きく変動しない信号を得ることができる。この基準光干
渉信号をN逓倍器53に与え、N逓倍した信号をサンプ
リングクロックとして取出し、このサンプリングクロッ
クをAD変換器54に供給し、AD変換器54で受光器
30から出力される被測定光11の光干渉信号SAをA
D変換する。
源を用いることによって受光器52から出力される光干
渉信号SDは振幅値が可動ミラー23の動きに対して大
きく変動しない信号を得ることができる。この基準光干
渉信号をN逓倍器53に与え、N逓倍した信号をサンプ
リングクロックとして取出し、このサンプリングクロッ
クをAD変換器54に供給し、AD変換器54で受光器
30から出力される被測定光11の光干渉信号SAをA
D変換する。
AD変換器54のAD変換出力はディジタルローパスフ
ィルタ55と、ディジタル除算器56に与える。
ィルタ55と、ディジタル除算器56に与える。
ディジタルローパスフィルタ55は光干渉信号SAの中
から低域の雑音成分SBを抽出し、この雑音成分SBを
除算器56に与え、雑音成分SBで元の光干渉信号SA
を除算する。尚この例では光干渉信号SAに係数boを
乗算した場合を示す。
から低域の雑音成分SBを抽出し、この雑音成分SBを
除算器56に与え、雑音成分SBで元の光干渉信号SA
を除算する。尚この例では光干渉信号SAに係数boを
乗算した場合を示す。
この係数50は例えば光干渉計20内において固定光路
24と可変光路25の光路差がゼロの近傍における被測
定光11の光パワーの値、又は光路差ゼロの点を中心に
その前後の区間の光パワーの平均値とすることができる
。結果としてこの例では時間の経過と共に刻々変化する
雑音成分SBと光路差ゼロ点付近の光パワーb、の比を
光干渉信号SAに乗算したことと等価となる。
24と可変光路25の光路差がゼロの近傍における被測
定光11の光パワーの値、又は光路差ゼロの点を中心に
その前後の区間の光パワーの平均値とすることができる
。結果としてこの例では時間の経過と共に刻々変化する
雑音成分SBと光路差ゼロ点付近の光パワーb、の比を
光干渉信号SAに乗算したことと等価となる。
除算器56の出力には雑音成分SBが除去された光干渉
信号SCが出力される。この光干渉信号SCを周波数分
析器57で周波数分析することにより、表示器58に被
測定光11の光スペクトラムを表示することができる。
信号SCが出力される。この光干渉信号SCを周波数分
析器57で周波数分析することにより、表示器58に被
測定光11の光スペクトラムを表示することができる。
また包路線検波器59を設け、この包路線検波器59で
光干渉信号の振幅の変化を表示器60に表示することに
よって被測定光11の可干渉性の有無を知ることができ
る。
光干渉信号の振幅の変化を表示器60に表示することに
よって被測定光11の可干渉性の有無を知ることができ
る。
更にディジタルローパスフィルタ55の出力をそのまま
表示器61に表示させることによって被測定光11の変
動を観測することができる。
表示器61に表示させることによって被測定光11の変
動を観測することができる。
「発明の効果」
以上説明したようにこの発明によれば被測定光11の光
パワーが変動していても、その変動成分を除去して光ス
ペクトラムを測定することができる。
パワーが変動していても、その変動成分を除去して光ス
ペクトラムを測定することができる。
よって被測定光が持つ光パワー変動が混入しない光スペ
クトラムを表示することができるため正しい光スペクト
ラムの測定を行なうことができる。
クトラムを表示することができるため正しい光スペクト
ラムの測定を行なうことができる。
第1図はこの発明の一実施例を説明するためのブロック
図、第2図はこの発明の詳細な説明するための波形図、
第3図はこの発明の変形実施例を説明するためのブロッ
ク図、第4図は従来の技術を説明するためのブロック図
、第5図及び第6図は光干渉信号の波形を説明するため
の波形図であ10:被測定光源、11:被測定光、20
:光干渉計、21:ハーフミラ−,22:固定ミラー2
3:可動ミラー、24:固定光路、25:可変光路、3
0:受光器、40:低域通過が波器、5o、ss:除算
器。 特許出願人:株式会社アトパンテスト
図、第2図はこの発明の詳細な説明するための波形図、
第3図はこの発明の変形実施例を説明するためのブロッ
ク図、第4図は従来の技術を説明するためのブロック図
、第5図及び第6図は光干渉信号の波形を説明するため
の波形図であ10:被測定光源、11:被測定光、20
:光干渉計、21:ハーフミラ−,22:固定ミラー2
3:可動ミラー、24:固定光路、25:可変光路、3
0:受光器、40:低域通過が波器、5o、ss:除算
器。 特許出願人:株式会社アトパンテスト
Claims (1)
- (1)A、光路差を掃引可能な光干渉計と、 B、この光干渉計の出力光を電気信号に変換する受光器
と、 C、この受光器から出力される干渉光信号を平滑する低
域通過ろ波器と、 D、上記受光器から出力される干渉光信号を上記低域通
過ろ波器の出力信号で除算する 除算器と、 を具備して成る光干渉信号抽出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63176811A JP2784468B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 光干渉信号抽出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63176811A JP2784468B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 光干渉信号抽出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0227225A true JPH0227225A (ja) | 1990-01-30 |
JP2784468B2 JP2784468B2 (ja) | 1998-08-06 |
Family
ID=16020255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63176811A Expired - Fee Related JP2784468B2 (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | 光干渉信号抽出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2784468B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0432035U (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-16 | ||
JPH1188227A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-30 | Sony Corp | スペクトラム拡散信号検出方法および装置 |
WO2011074452A1 (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 干渉計及び該干渉計を用いたフーリエ分光分析器 |
CN103201603A (zh) * | 2010-10-28 | 2013-07-10 | 柯尼卡美能达株式会社 | 干涉仪以及傅立叶变换分光分析装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59178325A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-09 | Shimadzu Corp | フ−リエ変換分光光度計 |
JPS6212929A (ja) * | 1985-07-09 | 1987-01-21 | Olympus Optical Co Ltd | 光学式情報再生装置におけるトラツキングエラ−信号検出装置 |
JPS633230A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-08 | Advantest Corp | 光デジタルスペクトルアナライザ |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP63176811A patent/JP2784468B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2525982Y2 (ja) * | 1990-07-09 | 1997-02-12 | 株式会社アドバンテスト | 掃引型光干渉装置 |
JPH1188227A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-30 | Sony Corp | スペクトラム拡散信号検出方法および装置 |
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US9025156B2 (en) | 2009-12-14 | 2015-05-05 | Konica Minolta Holdings, Inc. | Interferometer and fourier spectrometer using same |
CN103201603A (zh) * | 2010-10-28 | 2013-07-10 | 柯尼卡美能达株式会社 | 干涉仪以及傅立叶变换分光分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2784468B2 (ja) | 1998-08-06 |
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Legal Events
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