JPH02260476A - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータInfo
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- JPH02260476A JPH02260476A JP1079726A JP7972689A JPH02260476A JP H02260476 A JPH02260476 A JP H02260476A JP 1079726 A JP1079726 A JP 1079726A JP 7972689 A JP7972689 A JP 7972689A JP H02260476 A JPH02260476 A JP H02260476A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 75
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 51
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 13
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、圧電素子等のように伸縮する伸縮手段が発生
する変位の方向及び大きさを変換し、変換後の変位によ
って、駆動対象物を駆動するアクチュエータに関する。
する変位の方向及び大きさを変換し、変換後の変位によ
って、駆動対象物を駆動するアクチュエータに関する。
かかるアクチュエータの一例として、特開昭60−62
880号公報に開示された圧電モータが公知となってい
る。該公報に示された圧電モータにおいては、第7図に
示したように、互いに平行に設けられた平行平板1及び
2の相互間を、平行平板1及び2に対して傾斜して互い
に平行に設けられる複数の連結部材3によって連結して
振動子5を形成し、振動子5を構成する平行平板2の外
側に圧電振動子6を付設した構成となっている。
880号公報に開示された圧電モータが公知となってい
る。該公報に示された圧電モータにおいては、第7図に
示したように、互いに平行に設けられた平行平板1及び
2の相互間を、平行平板1及び2に対して傾斜して互い
に平行に設けられる複数の連結部材3によって連結して
振動子5を形成し、振動子5を構成する平行平板2の外
側に圧電振動子6を付設した構成となっている。
この圧電振動子6に高周波電圧を印加し、圧電振動子6
を平行平板1,2に垂直な方向に振動させると、振動子
5によって振動の方向及び振幅の大きさが変換され、振
動子5を構成する平行平板1は、図示したように、その
運動軌跡が楕円の振動をする。この平行平板1に回転子
7を押し付けておくことによって、回転子7を平行平板
1の上面に沿って移動させることができるようになって
いる。
を平行平板1,2に垂直な方向に振動させると、振動子
5によって振動の方向及び振幅の大きさが変換され、振
動子5を構成する平行平板1は、図示したように、その
運動軌跡が楕円の振動をする。この平行平板1に回転子
7を押し付けておくことによって、回転子7を平行平板
1の上面に沿って移動させることができるようになって
いる。
しかし、第7図に示した圧電モータにおいては、振動子
5の外側に圧電振動子6を配設しているため、装置の小
型化が難しかった。
5の外側に圧電振動子6を配設しているため、装置の小
型化が難しかった。
上述の事情に鑑み、本発明者は、この第7図に示した圧
電モータにおける振動の方向及び振幅の大きさを変換す
る原理を利用し、かつ、小型のアクチュエータを得る目
的から、第8図に示したように、振動子5と同様に構成
された変位変換機構8を構成する平行平板1及び2相互
間に、圧電素子10を配設した構造のアクチュエータ(
未出願)を案出した。圧電素子10は、電圧を印加する
と印加された電圧の強度に応じて、歪み(変位)若しく
は力を生ずる圧′電体を積層したもので、この圧電素子
10が、上下方向に伸長すると平行平板1及び連結部材
3は、連結部材3の平行平板2との結合部を支点として
揺動するようになっている。
電モータにおける振動の方向及び振幅の大きさを変換す
る原理を利用し、かつ、小型のアクチュエータを得る目
的から、第8図に示したように、振動子5と同様に構成
された変位変換機構8を構成する平行平板1及び2相互
間に、圧電素子10を配設した構造のアクチュエータ(
未出願)を案出した。圧電素子10は、電圧を印加する
と印加された電圧の強度に応じて、歪み(変位)若しく
は力を生ずる圧′電体を積層したもので、この圧電素子
10が、上下方向に伸長すると平行平板1及び連結部材
3は、連結部材3の平行平板2との結合部を支点として
揺動するようになっている。
このアクチュエータの各部の寸法を第8図に示したよう
に、平行部材1.2相互間の間隔をL1圧電素子10の
伸長によって生ずるしの増加分をΔL1連結部材3の両
端間の平行平板1.2が延在する方向における距離を8
1圧電素子10の伸長によって生ずる平行平板1.2相
互間の平行平板1,2が延在する方向における相対移動
距離をXと定めると、相対移動距離Xは、次式によって
近似的に求められる。
に、平行部材1.2相互間の間隔をL1圧電素子10の
伸長によって生ずるしの増加分をΔL1連結部材3の両
端間の平行平板1.2が延在する方向における距離を8
1圧電素子10の伸長によって生ずる平行平板1.2相
互間の平行平板1,2が延在する方向における相対移動
距離をXと定めると、相対移動距離Xは、次式によって
近似的に求められる。
X−Δ L (L/S)
従って、圧aX子10の伸長によって生ずる平行平板1
.2相互間の相対移動距離Xは、圧電素子10の発生す
る変位(ΔL)のL/S倍となる。
.2相互間の相対移動距離Xは、圧電素子10の発生す
る変位(ΔL)のL/S倍となる。
ここで、L−2〇−鵬、S−1量■、とすれば、L/5
−20となり、圧電素子10が発生する伸長変位の20
倍の変位が得られることとなる。すなわち、圧電素子1
0の発生する最大変位が20μmとすれば、このアクチ
ュエータでは、これを0.4m鵬まで拡大できる。
−20となり、圧電素子10が発生する伸長変位の20
倍の変位が得られることとなる。すなわち、圧電素子1
0の発生する最大変位が20μmとすれば、このアクチ
ュエータでは、これを0.4m鵬まで拡大できる。
この場合、アクチュエータから駆動対象物に対して作用
させ得る力の大きさは、変位の拡大にほぼ反比例して小
さ(なり、圧電素子10が発生する力の約1/20とな
る。
させ得る力の大きさは、変位の拡大にほぼ反比例して小
さ(なり、圧電素子10が発生する力の約1/20とな
る。
また、第9図若しくは第10図に示したように、平行平
板1及び2を円環状若しくは円板状に形成すれば、圧電
素子10の発生する変位を円周方向の変位に変換できる
。なお、第9図に示したアクチュエータは、円環状に形
成された平行平板1゜2相互間を連結した複数の連結部
材3相互間に、圧電素子10を配した構造となっており
、第10図に示したアクチュエータは、円板状に形成さ
れた平行平板1.2相互間を外周部にて連結部材3によ
って連結し、平行平板1.2の中央部に圧電素子10を
配した構造となっている。
板1及び2を円環状若しくは円板状に形成すれば、圧電
素子10の発生する変位を円周方向の変位に変換できる
。なお、第9図に示したアクチュエータは、円環状に形
成された平行平板1゜2相互間を連結した複数の連結部
材3相互間に、圧電素子10を配した構造となっており
、第10図に示したアクチュエータは、円板状に形成さ
れた平行平板1.2相互間を外周部にて連結部材3によ
って連結し、平行平板1.2の中央部に圧電素子10を
配した構造となっている。
この場合、平行平板1,2相互間に生ずる相対回転角度
αは、平行平板1,2の半径をRとすれば、次式によっ
て求まる。
αは、平行平板1,2の半径をRとすれば、次式によっ
て求まる。
α−X/R
−ΔL (L/S)/R(rad)
また、そのとき、アクチュエータの出力トルクTは、一
つの圧電素子10が発生する伸長力をF1圧電素子10
の数をnとすれば、次式によって求まる。
つの圧電素子10が発生する伸長力をF1圧電素子10
の数をnとすれば、次式によって求まる。
T−RnF(S/L)
上述したように、第8図、第9図及び第10図に示した
アクチュエータにおいては、変位変換機構8を構成する
平行平板1及び2相互間の空間に、圧電素子10を配し
ているので、第7図に示した圧電モータに比し、小型と
なっている。
アクチュエータにおいては、変位変換機構8を構成する
平行平板1及び2相互間の空間に、圧電素子10を配し
ているので、第7図に示した圧電モータに比し、小型と
なっている。
しかし、第8図、第9図及び第10図に示したアクチュ
エータにおいては、圧電素子10の伸縮によって、圧電
素子10の発生する変位ΔL分だけ、圧電素子10の伸
縮方向における平行平板1及び2の相互間隔が変化する
欠点がある。
エータにおいては、圧電素子10の伸縮によって、圧電
素子10の発生する変位ΔL分だけ、圧電素子10の伸
縮方向における平行平板1及び2の相互間隔が変化する
欠点がある。
そこで、本発明は、上述の事情に鑑み、小型に構成でき
、圧電素子等の伸縮手段の伸縮方向における変位が生じ
ないアクチュエータを提供することを目的としている。
、圧電素子等の伸縮手段の伸縮方向における変位が生じ
ないアクチュエータを提供することを目的としている。
上述の目的を達成するため、本発明によるアクチュエー
タにおいては、第1及び第2平行部材を互いに平行に設
け、これらの相互間をこれらに対)7て傾斜して互いに
平行な少な(とも二つの第1連結部材によって連結し、
第2平行部材に対して平行に第3平行部材を設け、第2
及び第3平行部((の相互間をこれらに対して傾斜して
互いに平行な少なくとも二つの第2連結部材によって連
結して形成した変位変換機構と、第1及び第2平行部材
相互間に設けられ、これらの相対間隔を伸縮させる第1
伸縮手段と、第2及び第3平行部材相互間に設けられ、
第1伸縮手段と反対の伸縮動作をして、これらの相対間
隔を伸縮させる第2伸縮手段とを備えたことを特徴とし
ている。
タにおいては、第1及び第2平行部材を互いに平行に設
け、これらの相互間をこれらに対)7て傾斜して互いに
平行な少な(とも二つの第1連結部材によって連結し、
第2平行部材に対して平行に第3平行部材を設け、第2
及び第3平行部((の相互間をこれらに対して傾斜して
互いに平行な少なくとも二つの第2連結部材によって連
結して形成した変位変換機構と、第1及び第2平行部材
相互間に設けられ、これらの相対間隔を伸縮させる第1
伸縮手段と、第2及び第3平行部材相互間に設けられ、
第1伸縮手段と反対の伸縮動作をして、これらの相対間
隔を伸縮させる第2伸縮手段とを備えたことを特徴とし
ている。
また、変位変換機構の第1及び第2連結部材を平行部材
に垂直な一直線を中心に放射状に配置して、第1、第2
及び第3平行部材を連結しすることとしても良い。
に垂直な一直線を中心に放射状に配置して、第1、第2
及び第3平行部材を連結しすることとしても良い。
このような構成となっているので、本発明によるアクチ
ュエータにおいては、第1伸縮手段の伸長(または収縮
)によって生ずる第1及び第2東行部材相互間の第1伸
縮手段の伸縮方向における変位と、第2伸縮手段の収縮
(または伸長)によって生ずる第2及び第3平行部材相
互間の第2伸縮手段の伸縮方向における変位とが相殺さ
れるようになっている。
ュエータにおいては、第1伸縮手段の伸長(または収縮
)によって生ずる第1及び第2東行部材相互間の第1伸
縮手段の伸縮方向における変位と、第2伸縮手段の収縮
(または伸長)によって生ずる第2及び第3平行部材相
互間の第2伸縮手段の伸縮方向における変位とが相殺さ
れるようになっている。
以下、本発明の実施例について第1図〜第6図を参照し
つつ、説明する。
つつ、説明する。
第1図は、本発明によるアクチュエータの一実施例の一
部分を示した斜視図である。
部分を示した斜視図である。
図示したように、本発明によるアクチュエータは、互い
に平行に設けられた平板状の第1、第2、第3平行部材
11.12.13と、第1平行部材11及び第2平行部
材12を相互に連結する平板状の第1連結部材15と、
第2平行部材12及び第3平行部材13を相互に連結す
る平板状の第2連結部材16とから構成された変位変換
機構17を6している。第1平行部材11、第2平行部
材12、第3平行部材13は、第1平行部材11と第2
平行部材12との相互間隔及び第2平行部材12と第3
平行部材13との相互間隔が、互いに等(、くなるよう
に配置され、また、第1連結部材15及び第2連結部材
16は、第1、第2及び第3平行部材11.12及び1
3が延在する方向(以下、単に延在方向と称す)に対し
て傾斜して設けられており、第1連結部材15と第2連
結部材16とは、第2平行部材12に対して対称に配置
されている。
に平行に設けられた平板状の第1、第2、第3平行部材
11.12.13と、第1平行部材11及び第2平行部
材12を相互に連結する平板状の第1連結部材15と、
第2平行部材12及び第3平行部材13を相互に連結す
る平板状の第2連結部材16とから構成された変位変換
機構17を6している。第1平行部材11、第2平行部
材12、第3平行部材13は、第1平行部材11と第2
平行部材12との相互間隔及び第2平行部材12と第3
平行部材13との相互間隔が、互いに等(、くなるよう
に配置され、また、第1連結部材15及び第2連結部材
16は、第1、第2及び第3平行部材11.12及び1
3が延在する方向(以下、単に延在方向と称す)に対し
て傾斜して設けられており、第1連結部材15と第2連
結部材16とは、第2平行部材12に対して対称に配置
されている。
第1平行部材11と第2平行部材12との相互間には、
これらの相対間隔を伸縮させる第1伸縮手段として、圧
電素子18がその上下両端にて第1及び第2平行部材1
1及び12に固定されて配設されており、第2平行部材
12と第3平行部材13との相互間には、これらの相対
間隔を伸縮させる第2伸縮手段として、圧電素子19が
その上下両端にて第2及び第3平行部材12及び13に
固定されて配設されている。圧電素子18及び19は、
電圧を印加すると印加された電圧の強度に応じて、歪み
(変位)若しくは力を生ずる圧電体を積層したもので、
圧電素子18及び圧電素子19の伸縮動作は、互いに逆
の動作をするように$lIr8される。すなわち、圧電
素子18が伸長するときは、圧電素子19は収縮し、圧
電素子18が収縮するときは、圧電素子19は伸長する
ように制御される。なお、この圧電素子18及び19の
伸縮動作の制御は、図示しない駆動回路により所定の電
圧がこれら圧電素子18及び19に印加されることによ
って行なわれるようになっている。
これらの相対間隔を伸縮させる第1伸縮手段として、圧
電素子18がその上下両端にて第1及び第2平行部材1
1及び12に固定されて配設されており、第2平行部材
12と第3平行部材13との相互間には、これらの相対
間隔を伸縮させる第2伸縮手段として、圧電素子19が
その上下両端にて第2及び第3平行部材12及び13に
固定されて配設されている。圧電素子18及び19は、
電圧を印加すると印加された電圧の強度に応じて、歪み
(変位)若しくは力を生ずる圧電体を積層したもので、
圧電素子18及び圧電素子19の伸縮動作は、互いに逆
の動作をするように$lIr8される。すなわち、圧電
素子18が伸長するときは、圧電素子19は収縮し、圧
電素子18が収縮するときは、圧電素子19は伸長する
ように制御される。なお、この圧電素子18及び19の
伸縮動作の制御は、図示しない駆動回路により所定の電
圧がこれら圧電素子18及び19に印加されることによ
って行なわれるようになっている。
このように構成されたアクチュエータの動作について第
2図を参照しつつ説明する。
2図を参照しつつ説明する。
第2図は、上述のように構成されたアクチュエータを模
式的に示した側面図である。
式的に示した側面図である。
図示したように、圧電素子18を伸長させると、第1及
び第2平行部材11及び12の相対間隔が拡張され、こ
れに伴い、第1連結部材15が第2平行部材12に対し
て相対的に回転する。この回転によって、第1平行部材
11は、延在方向及びこれに垂直な方向において、第2
平行部材12に対して相対的に平行移動する。すなわち
、変位変換機構17の上半分は、第2図に二点鎖線で示
【7た状態に変形し、圧電素子18の変位の方向及び変
位の大きさを、第1.及び第2平行部材11及び12の
間の相対変位に変換するようになっている。
び第2平行部材11及び12の相対間隔が拡張され、こ
れに伴い、第1連結部材15が第2平行部材12に対し
て相対的に回転する。この回転によって、第1平行部材
11は、延在方向及びこれに垂直な方向において、第2
平行部材12に対して相対的に平行移動する。すなわち
、変位変換機構17の上半分は、第2図に二点鎖線で示
【7た状態に変形し、圧電素子18の変位の方向及び変
位の大きさを、第1.及び第2平行部材11及び12の
間の相対変位に変換するようになっている。
また、圧電素子18が伸長するときは、圧電素子19が
収縮させられるので、第2及び第3平行部材12及び1
3の相対間隔が狭められ、これに伴い、第2連結部材1
6が第2平行部材12に対しCl11えI的に回転する
。この回転によって、第3平行部材13は、延在方向及
びこれに垂直な方向におい°C1第2平行部材12に対
して相対的に平行移動する。すなわち、変位変換機構1
7の下半分は、第2図に二点鎖線で示した状態に変形し
、圧電素子19の変位の方向及び変位の大きさを、第2
及び第3平行部材12及び13の間の相対変位に変換す
るようになっている。
収縮させられるので、第2及び第3平行部材12及び1
3の相対間隔が狭められ、これに伴い、第2連結部材1
6が第2平行部材12に対しCl11えI的に回転する
。この回転によって、第3平行部材13は、延在方向及
びこれに垂直な方向におい°C1第2平行部材12に対
して相対的に平行移動する。すなわち、変位変換機構1
7の下半分は、第2図に二点鎖線で示した状態に変形し
、圧電素子19の変位の方向及び変位の大きさを、第2
及び第3平行部材12及び13の間の相対変位に変換す
るようになっている。
従って、第1伸縮手段たる圧電素子18の伸長変位ΔL
1と、第2伸縮手段たる圧電素子19の収縮変位ΔL2
とが等しければ、該伸長変位に伴う垂直方向の変位と該
収縮変位に伴う垂直方向の変位は相殺されて、第1及び
第3平行部材11及び13相互間における圧電素子18
及び19の伸縮方向における変位は生じないこととなる
。
1と、第2伸縮手段たる圧電素子19の収縮変位ΔL2
とが等しければ、該伸長変位に伴う垂直方向の変位と該
収縮変位に伴う垂直方向の変位は相殺されて、第1及び
第3平行部材11及び13相互間における圧電素子18
及び19の伸縮方向における変位は生じないこととなる
。
これに対し、第1及び第3平行部材11及び13相互間
における延在方向の相対変位については、第1平行部材
11の第2平行部材12に対する変位S1と、第3平行
部材13の第2平行部材12に対する変位S2とが加え
合わされ、大きな相対変位が得られることとなる。
における延在方向の相対変位については、第1平行部材
11の第2平行部材12に対する変位S1と、第3平行
部材13の第2平行部材12に対する変位S2とが加え
合わされ、大きな相対変位が得られることとなる。
従って、第3平行部材13を延在方向において固定して
おけば、第1平行部材11の第3平行部材13に対する
相対変位によって、対象物(図示せず)を駆動すること
ができ、逆に、第1平行部材11を固定しておけば、第
3平行部材13の第1平行部材11に対する相対変位に
よって\対象物(図示せず)を駆動することができるよ
うになっている。
おけば、第1平行部材11の第3平行部材13に対する
相対変位によって、対象物(図示せず)を駆動すること
ができ、逆に、第1平行部材11を固定しておけば、第
3平行部材13の第1平行部材11に対する相対変位に
よって\対象物(図示せず)を駆動することができるよ
うになっている。
第3図に、上述した本発明によるアクチュエータの変形
例を模式的に示す。
例を模式的に示す。
第3図に示したアクチュエータにおいては、変位変換機
構17を構成する第1及び第2連結部材15及び16が
延在方向において交互にずれて配置されており、いわゆ
る千鳥配置となっている。
構17を構成する第1及び第2連結部材15及び16が
延在方向において交互にずれて配置されており、いわゆ
る千鳥配置となっている。
そのほかの構成は、第1図及び第2図に示したアクチュ
エータと同様となっており、その動作も第1図及び第2
図に示したアクチュエータと同様となっている。
エータと同様となっており、その動作も第1図及び第2
図に示したアクチュエータと同様となっている。
更に、第4図及び第5図に、圧電素子18及び19の直
線変位を第1及び第3平行部材11及び13相互間の相
対的な回転変位に変換する変位変換機構20を有したア
クチュエータを示す。第4図(a)はそのアクチュエー
タの平面図であり、第4図(b)はその縦断面図であり
、第5図はその展開側面図である。
線変位を第1及び第3平行部材11及び13相互間の相
対的な回転変位に変換する変位変換機構20を有したア
クチュエータを示す。第4図(a)はそのアクチュエー
タの平面図であり、第4図(b)はその縦断面図であり
、第5図はその展開側面図である。
第4図及び第5図に示したアクチュエータにおいては、
変位変換機構20は、基本的に、上述した変位変換機構
17と同様に、互いに平行に設けられた平板状の第1、
第2、第3平行部材11.12.13と、第1平行部材
11及び第2平行部材12を相互に連結する平板状の第
1連結部材15と、第2平行部材12及び第3平行部材
13を相互に連結する平板状の第2連結部材16とから
構成される。ただし、平行部材11.12及び13は円
環状の平板として形成され、それらの中心が一直線上に
並ぶように配されている。また、第1及び第2連結部材
15及び16は、平行部材11.12.13の中心が一
致した直線を中心とした円周上に配され、第1、及び第
2平行部材11及び12の相互間と、第2及び第3平行
部材12及び13の相互間とを、それぞれ、連結してい
る。
変位変換機構20は、基本的に、上述した変位変換機構
17と同様に、互いに平行に設けられた平板状の第1、
第2、第3平行部材11.12.13と、第1平行部材
11及び第2平行部材12を相互に連結する平板状の第
1連結部材15と、第2平行部材12及び第3平行部材
13を相互に連結する平板状の第2連結部材16とから
構成される。ただし、平行部材11.12及び13は円
環状の平板として形成され、それらの中心が一直線上に
並ぶように配されている。また、第1及び第2連結部材
15及び16は、平行部材11.12.13の中心が一
致した直線を中心とした円周上に配され、第1、及び第
2平行部材11及び12の相互間と、第2及び第3平行
部材12及び13の相互間とを、それぞれ、連結してい
る。
変位変換機構20は、最初に、連結部材15及び16を
平行部材11.12.13に対して垂直に設け、その後
、第2平行部材12を第1及びt143平行部材11及
び13に対して円周方向に相対的に回転させることによ
って、第5図に示したように、連結部材15及び16を
捩じって、平行部材11.12.13に対して傾斜させ
て形成される。
平行部材11.12.13に対して垂直に設け、その後
、第2平行部材12を第1及びt143平行部材11及
び13に対して円周方向に相対的に回転させることによ
って、第5図に示したように、連結部材15及び16を
捩じって、平行部材11.12.13に対して傾斜させ
て形成される。
なお、切削加工、若しくは、鋳造加工によって、最初か
ら連結部材15.16が平行部材に対して傾斜させられ
た状態で変位変換機構20を形成することもできる。
ら連結部材15.16が平行部材に対して傾斜させられ
た状態で変位変換機構20を形成することもできる。
このようにして構成されたアクチュエータの動作につい
て説明する。
て説明する。
第1及び第2平行部材11及び12相互間の間隔を圧電
素子18によって伸長させると、第1連結部材15は、
その傾斜が垂直になる方向に移動する。この連結部材の
移動によって、第1平行部材11は、第2平行部材12
に対して相対的に回転させられるようになっている。ま
た、これと同時に、第2及び第3平行部材12及び13
相互間の間隔を圧電索子19によって収縮させると、第
2連結部材16は、その平行部材に対する傾き角が大き
くなり、第2平行部材12は、第3平行部材13に対し
て相対的に回転させられるようになっている。
素子18によって伸長させると、第1連結部材15は、
その傾斜が垂直になる方向に移動する。この連結部材の
移動によって、第1平行部材11は、第2平行部材12
に対して相対的に回転させられるようになっている。ま
た、これと同時に、第2及び第3平行部材12及び13
相互間の間隔を圧電索子19によって収縮させると、第
2連結部材16は、その平行部材に対する傾き角が大き
くなり、第2平行部材12は、第3平行部材13に対し
て相対的に回転させられるようになっている。
従って、第1伸縮手段たる圧電素子18の伸長変位と、
第2伸縮手段たる圧電素子19の収縮変位とが等しけれ
ば、該伸長変位に伴う垂直方向の変位と該収縮変位に伴
う垂直方向の変位は相殺されて、第1及び第3平行部材
11及び13相互間における圧電素子18及び19の伸
縮方向における変位は生じないこととなる。
第2伸縮手段たる圧電素子19の収縮変位とが等しけれ
ば、該伸長変位に伴う垂直方向の変位と該収縮変位に伴
う垂直方向の変位は相殺されて、第1及び第3平行部材
11及び13相互間における圧電素子18及び19の伸
縮方向における変位は生じないこととなる。
これに対し、第1及び第3平行部材11及び13相互間
における円周方向の相対変位については、第1平行部材
11の第2平行部材12に対する変位と、第3平行部材
13の第2平行部材〕2に対する変位とが加え合わされ
、大きな相対変位が得られることとなる。
における円周方向の相対変位については、第1平行部材
11の第2平行部材12に対する変位と、第3平行部材
13の第2平行部材〕2に対する変位とが加え合わされ
、大きな相対変位が得られることとなる。
従って、第3平行部材13を円周方向において固定して
おけば、第1平行部材11の第3平行部材13に対する
相対変位によって、対象物(図示せず)を駆動すること
ができ、逆に、第1平行部材11を固定しておけば、第
3平行部材13の第1平行部材11に対する相対変位に
よって、対象物(図示せず)を駆動することができるよ
うになっている。
おけば、第1平行部材11の第3平行部材13に対する
相対変位によって、対象物(図示せず)を駆動すること
ができ、逆に、第1平行部材11を固定しておけば、第
3平行部材13の第1平行部材11に対する相対変位に
よって、対象物(図示せず)を駆動することができるよ
うになっている。
なお、第4図及び第5図に示したアクチュエータにおい
ては、第1及び第2連結部材15及び16と、圧電素子
18及び19とを第2平行部材12を間にして対称に配
置しであるが、このアクチュエータにおいても、第3図
に示したアクチュエータと同様に、第1及び第2連結部
材15及び16と、圧電素子18及び19とを円周方向
において、交互に千鳥配置した構造としても良い。この
場合にも、第4図及び第5図に示したアクチュエータと
同様に動作する。
ては、第1及び第2連結部材15及び16と、圧電素子
18及び19とを第2平行部材12を間にして対称に配
置しであるが、このアクチュエータにおいても、第3図
に示したアクチュエータと同様に、第1及び第2連結部
材15及び16と、圧電素子18及び19とを円周方向
において、交互に千鳥配置した構造としても良い。この
場合にも、第4図及び第5図に示したアクチュエータと
同様に動作する。
また、第4図及び第5図に示したアクチュエータにおい
ては、圧電素子18及び19を、それぞれ、第1連結部
材15相互間及び第2連結部材16相互間に配置してい
るが、第1、第2及び第3平行部材11.12及び13
を、中央部にくり抜き部分のない円板状に形成し、その
中央部に大径の圧電素子を配置しても良いし、小径の圧
電素子をまとめて配置しても良い。この場合にも、第4
図及び第5図に示したアクチュエータと同様に動作する
。
ては、圧電素子18及び19を、それぞれ、第1連結部
材15相互間及び第2連結部材16相互間に配置してい
るが、第1、第2及び第3平行部材11.12及び13
を、中央部にくり抜き部分のない円板状に形成し、その
中央部に大径の圧電素子を配置しても良いし、小径の圧
電素子をまとめて配置しても良い。この場合にも、第4
図及び第5図に示したアクチュエータと同様に動作する
。
上述した変位変換機構20を有したアクチュエータにお
いては、変位変換機構20を構成する第1、第2及び第
3平行部材11.12及び13は、円環状の平板となっ
ているが、その形状は、円環状に限定されるものではな
く、三角形や四角形等の多角形状であっても良い。
いては、変位変換機構20を構成する第1、第2及び第
3平行部材11.12及び13は、円環状の平板となっ
ているが、その形状は、円環状に限定されるものではな
く、三角形や四角形等の多角形状であっても良い。
なお、上述した実施例においては、圧電索子19に電圧
を印加することによって、第2及び第3平行部材12及
び13の相互間隔を収縮させる事としているが、圧電素
子19への電圧印加を停止したときに、変位変換機構1
7及び20自身の弾性によって該相互間隔が収縮するよ
うに構成しておくことも可能である。
を印加することによって、第2及び第3平行部材12及
び13の相互間隔を収縮させる事としているが、圧電素
子19への電圧印加を停止したときに、変位変換機構1
7及び20自身の弾性によって該相互間隔が収縮するよ
うに構成しておくことも可能である。
また、上述した実施例においては、変位変換機構17及
び20はラーメン構造となっているが、トラス構造であ
ってもよい。
び20はラーメン構造となっているが、トラス構造であ
ってもよい。
以り説明したように、本発明によるアクチュエクにおい
ては、第1伸縮手段の伸縮によって生ずる第1及び第2
平行部材相互間の第1伸縮手段の伸縮方向における変位
と、第2伸縮手段の伸縮によって生ずる第2及び第3平
行部材相互間の第2伸縮手段の伸縮方向における変位と
が相殺されるようになっているので、圧電素子等の伸縮
手段の伸縮方向における変位を伴うことなく、伸縮手段
によって生じる変位を直角なり向に変換して取り出すこ
とが出来、また、変位の大きさを拡大して取り出すこと
が出来る。
ては、第1伸縮手段の伸縮によって生ずる第1及び第2
平行部材相互間の第1伸縮手段の伸縮方向における変位
と、第2伸縮手段の伸縮によって生ずる第2及び第3平
行部材相互間の第2伸縮手段の伸縮方向における変位と
が相殺されるようになっているので、圧電素子等の伸縮
手段の伸縮方向における変位を伴うことなく、伸縮手段
によって生じる変位を直角なり向に変換して取り出すこ
とが出来、また、変位の大きさを拡大して取り出すこと
が出来る。
第1図は直線変位を生ずる本発明によるアクチュエータ
の実施例を示した斜視図、第2図は第1図に示し、たア
クチュエータを模式的に示した正面図、第3図は第1図
に示したアクチュエータの変形例を模式的に示した正面
図、第4図(a)及び(b)は回転変位を生ずる本発明
によるアクチュエータの実施例を示した平面図及び縦断
面図、第5図は第4図に示したアクチュエータの展開側
面図、第6図は第4図に示したアクチュエータの変1i
9例を示した展開側面図、第7図は従来のアクチュ・、
エータを示した正面図、第8図は本発明者が従来のアク
チュエータを小型化するべく案出したアクチュエータの
正面図、第9図(a)は本発明者が従来のアクチュエー
タを小型化するべく案出し、たアクチュエータであって
、第8図に示したアクチュエータと異なるアクチュエー
タの平面図、第9図(b)はその展開側面図、第10図
(a)は本発明者が従来のアクチュエータを小型化する
べく案出したアクチュエータであって、第8図に示した
アクチュエータと異なるアクチュエータの平面図、第1
0図(b)はその展開側面図である。 11・・・第1平行部材、12・・・第2平行部材、1
3・・・第3平行部材、15・・・第1連結部材、。 16・・・第2連結部材、17.20・・・変位変換機
構、18.19・・・圧電素子。
の実施例を示した斜視図、第2図は第1図に示し、たア
クチュエータを模式的に示した正面図、第3図は第1図
に示したアクチュエータの変形例を模式的に示した正面
図、第4図(a)及び(b)は回転変位を生ずる本発明
によるアクチュエータの実施例を示した平面図及び縦断
面図、第5図は第4図に示したアクチュエータの展開側
面図、第6図は第4図に示したアクチュエータの変1i
9例を示した展開側面図、第7図は従来のアクチュ・、
エータを示した正面図、第8図は本発明者が従来のアク
チュエータを小型化するべく案出したアクチュエータの
正面図、第9図(a)は本発明者が従来のアクチュエー
タを小型化するべく案出し、たアクチュエータであって
、第8図に示したアクチュエータと異なるアクチュエー
タの平面図、第9図(b)はその展開側面図、第10図
(a)は本発明者が従来のアクチュエータを小型化する
べく案出したアクチュエータであって、第8図に示した
アクチュエータと異なるアクチュエータの平面図、第1
0図(b)はその展開側面図である。 11・・・第1平行部材、12・・・第2平行部材、1
3・・・第3平行部材、15・・・第1連結部材、。 16・・・第2連結部材、17.20・・・変位変換機
構、18.19・・・圧電素子。
Claims (3)
- 1.第1及び第2平行部材を互いに平行に設け、これら
の相互間をこれらに対して傾斜して互いに平行な少なく
とも二つの第1連結部材によって連結し、前記第2平行
部材に対して平行に第3平行部材を設け、前記第2及び
第3平行部材の相互間をこれらに対して傾斜して互いに
平行な少なくとも二つの第2連結部材によって連結して
形成した変位変換機構と、 前記第1及び第2平行部材相互間に設けられ、これらの
相対間隔を伸縮させる第1伸縮手段と、前記第2及び第
3平行部材相互間に設けられ、前記第1伸縮手段と反対
の伸縮動作をして、これらの相対間隔を伸縮させる第2
伸縮手段とを備えたことを特徴とするアクチュエータ。 - 2.前記変位変換機構を構成する第1及び第2連結部材
が互いに平行に設けられる代わりに、前記平行部材に対
して垂直な一直線を中心とした円周上に配置されている
ことを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ。 - 3.前記第1及び第2伸縮手段の伸縮動作は相互に位相
が逆で変位が同一であることを特徴とする請求項1また
は2記載のアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1079726A JPH02260476A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1079726A JPH02260476A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | アクチュエータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02260476A true JPH02260476A (ja) | 1990-10-23 |
Family
ID=13698207
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1079726A Pending JPH02260476A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02260476A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5828158A (en) * | 1996-02-29 | 1998-10-27 | Figest Bv | Traveling wave piezoelectric motor |
US6548938B2 (en) * | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
US6664714B2 (en) * | 2000-03-23 | 2003-12-16 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US7187102B2 (en) | 2002-02-06 | 2007-03-06 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezoelectric motor control |
US7224099B2 (en) | 2004-04-20 | 2007-05-29 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Molded piezoelectric apparatus |
US7342347B2 (en) | 2001-09-21 | 2008-03-11 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezomotor with a guide |
US7368853B2 (en) | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
-
1989
- 1989-03-30 JP JP1079726A patent/JPH02260476A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5828158A (en) * | 1996-02-29 | 1998-10-27 | Figest Bv | Traveling wave piezoelectric motor |
US6664714B2 (en) * | 2000-03-23 | 2003-12-16 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6690101B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-02-10 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6825592B2 (en) | 2000-03-23 | 2004-11-30 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6870304B2 (en) | 2000-03-23 | 2005-03-22 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Vibratory motors and methods of making and using same |
US7173362B2 (en) | 2000-03-23 | 2007-02-06 | Bjoern Magnussen | Vibratory motors and methods of making and using same |
US6548938B2 (en) * | 2000-04-18 | 2003-04-15 | Viking Technologies, L.C. | Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator |
US7342347B2 (en) | 2001-09-21 | 2008-03-11 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezomotor with a guide |
US7187102B2 (en) | 2002-02-06 | 2007-03-06 | Elliptec Resonant Actuator Ag | Piezoelectric motor control |
US7368853B2 (en) | 2002-04-22 | 2008-05-06 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof |
US7224099B2 (en) | 2004-04-20 | 2007-05-29 | Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft | Molded piezoelectric apparatus |
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