JPH02247093A - Ldチップキャリア固定構造 - Google Patents

Ldチップキャリア固定構造

Info

Publication number
JPH02247093A
JPH02247093A JP1066024A JP6602489A JPH02247093A JP H02247093 A JPH02247093 A JP H02247093A JP 1066024 A JP1066024 A JP 1066024A JP 6602489 A JP6602489 A JP 6602489A JP H02247093 A JPH02247093 A JP H02247093A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip carrier
peltier element
chip
ceramic substrate
embedded
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1066024A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2619523B2 (ja
Inventor
Shunichi Sato
俊一 佐藤
Takayuki Masuko
益子 隆行
Shoichi Miura
三浦 省一
Tetsushi Higaki
桧垣 哲史
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP1066024A priority Critical patent/JP2619523B2/ja
Publication of JPH02247093A publication Critical patent/JPH02247093A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2619523B2 publication Critical patent/JP2619523B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 LDチップキャリア固定構造に関し、 ペルチェ素子のセラミック基板上に金属部材を埋め込み
、これを介在させることによりLDチップキャリアとペ
ルチェ素子とのレーザ溶接による簡易であり且つ確実な
固定を可能にすると共に、両者の密着性をより向上させ
得るLDチップキャリア固定構造を提供することを目的
とし、LDチップを搭載した金属材で成るLDチップキ
ャリアとペルチェ素子のセラミック基板とを固定する構
造において、LDチップキャリアとセラミック基板との
接触面に近接するセラミック基板上の領域に金属部材を
埋め込み且つLDチップキャリアと金属部材との間に所
定の間隙を設け、LDチップキャリア及び金属部材にま
たがってレーザ照射を行うことによりこれらを溶着させ
、以てLDチップキャリアとペルチェ素子のセラミック
基板とを密着固定するように構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、LDチップを搭載した金属材で成るLDチッ
プキャリアをペルチェ素子の絶縁用のセラミック基板に
固定する構造に関する。
〔従来の技術〕
光通信用の発光側のレーザ・ダイオード(以下、LD)
モジュールにおいては、安定した性能を確保する等のた
めLDチップの適正な温度管理を行っている(例えば、
温度が変化すると発振波長が変化する)。これは例えば
第3図に示す如く、LDチップ(図示せず)を搭載する
金属材で成るLDチップキャリア51をペルチェ素子5
2の絶縁用セラミック基板52aに密着固定し、このペ
ルチェ素子52によりLDチップの温度制御を行ってい
る。LDチップキャリア51とセラミック基板52aと
の固定は熱伝達性(主として冷却特性)及び取付は強度
の面からセラミック基板52aの取付は上面をメタライ
ズ(Au) 53 シた後、この上にLDチップキャリ
ア51を全面的に密着させて半田54にて取付は固定し
ている。
〔発明が解決しようとする課題〕 しかるに、従来の半田付けによる固定方法ではその半田
付けの信頼性向上等のため不活性ガス雰囲気内で作業を
行わなければならず、また、半田54のクリープ現象に
よりLDチップキャリア51の所望の取付は精度を維持
しにくいという不都合がある。このため、不活性ガス雰
囲気内での作業が不要であり取付は強度上価れたレーザ
溶接によりLDチップキャリア51を固定することがで
きれば望ましい。しかしながら、セラミック材料はレー
ザ溶接できないため、セラミック基板52aは勿論のこ
と、これをメタライズしたとしても、このセラミック基
板52aとLDチップキャリア51とを直接レーザ溶接
することは実際上できない。
また、LDチップキャリアとペルチェ素子との間に透き
間があると、その断熱空間によりペルチェ素子によるL
Dチップの冷却(加熱)効率が低下するため、LDチッ
プキャリアとセラミック基板(ペルチェ素子)とは密着
させることが望まれる。
以上の点に鑑み本発明においては、セラミック基板上に
金属部材を埋め込め、これを介在させることによりLD
チップキャリアとセラミック基板とのレーザ溶接を可能
にすると共に、両者の密着性をより向上させ得るLDチ
ップキャリア固定構造を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を解決するために本発明に係るLDチップキャ
リア固定構造によれば、LDチップを搭載した金属材で
成るLDチップキャリアとペルチェ素子のセラミック基
板とを固定する構造において、LDチップキャリアとセ
ラミック基板との接触面に近接するセラミック基板上の
領域に金属部材を埋め込み且つLDチップキャリアと金
属部材との間に所定の間隙を設け、LDチップキャリア
及び金属部材にまたがってレーザ照射を行うことにより
これらを溶着させ、以てLDチップキャリアとペルチェ
素子のセラミック基板とを密着固定することを構成上の
特徴とする。
〔作 用〕
ペルチェ素子のセラミック基板上に埋め込んだ金属部材
とLDチップキャリアとがレーザ照射されて溶着する。
これによりLDチップキャリアとペルチェ素子とが確実
に固定される。しかも、参々漏部材及びLDチップキャ
リア間に所定の間隙があるため、溶着後にこの部分に凝
縮力による密着力が作用して両部材間の密着性が向上す
る。
〔実施例〕
以下、図示実施例に基づき本発明を説明する。
第1及び2図は本発明の一実施例を示し、1は図示しな
いLDチップを搭載するステンレス鋼製のLDチップキ
ャリア、2はペルチェ素子である。
−iにペルチェ素子は、2種類の導体を互いに両端で接
続して電流を流したときに起きる吸熱・発熱現象を利用
して小容量のものを主として冷却することに用いられる
。2aはペルチェ素子2絶縁用のセラミン、り基板であ
る。
前述の如く、LDチップキャリア1とセラミック基板2
aとを直接レーザ溶接して固定することは困難であるの
で、先ずセラミック基板2aに低熱伝導性金属、例えば
ステンレス鋼を焼結等の方法により埋め込み(この場合
、上方に抜けにくいように例えば図示の如く逆T字状に
埋め込む)、さらにこの埋め込み部材5の上面とLDチ
ップキャリア1及びセラミック基板2aの接触面Sとの
間に段差H(0〜50IIm程度)を設ける。そして、
LDチップキャリア1及び埋め込み部材5にまたがって
レーザ照射を行う。これにより、両部材15のレーザ照
射部が溶けて一体化し、LDチップキャリア1を埋め込
み部材5ひいてはペルチェ素子2のセラミック基板2a
に固定することができる。すなわち、レーザ溶接が可能
となり上記従来の半田イ」け作業に伴う不都合を一掃で
きる。しかも段差Hを設けであるので、レーザ溶接部(
照射部)Aにおいて溶着後の凝固収縮により両部材1゜
5間に引張力が内在することになり、LDチップキャリ
ア1及びセラミック基板2aの接触面Sにおける密着性
が高まる結果、段差を設けずに単に固定するものと比較
してペルチェ素子2によるLDチップ(図示せず)の冷
却(あるいは加熱)効率を維持・向上させることが可能
となる。
尚、レーザ溶接部Aは図示の如く不連続でもあるいは連
続的に線に沿って行ってもよい。
〔発明の効果〕
以上の如く本発明によれば、半田付けに伴う上記従来技
術の不都合を一掃でき、レーザ溶接により手軽に且つ確
実にLDチップキャリアをペルチェ素子に固定すること
ができ、また両者の密着性向上による冷却(加熱)効率
の維持・向上が図れる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係るLDチップキャリア固定構造の一
実施例の斜視図、 第2図は第1図に示す実施例の正面図、第3図は従来の
LDチップキャリア固定構造の正面図である。 ■・・・LDチップキャリア、 2a・・・セラミック基板、 A・・・レーザ溶接部、 S・・・接触面。 2・・・ペルチェ素子、 5・・・埋め込み部材、 H・・・段差、

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、LDチップを搭載した金属材で成るLDチップキャ
    リア(1)とペルチェ素子(2)のセラミック基板(2
    a)とを固定する構造において、LDチップキャリア(
    1)とセラミック基板(2a)との接触面(S)に近接
    するセラミック基板(2a)上の領域に金属部材(5)
    を埋め込み且つLDチップキャリア(1)と金属部材(
    5)との間に所定の間隙(H)を設け、LDチップキャ
    リア(1)及び金属部材(5)にまたがってレーザ照射
    を行うことによりこれらを溶着させ、以てLDチップキ
    ャリア(1)とペルチェ素子(2)のセラミック基板(
    2a)とを密着固定することを特徴とするLDチップキ
    ャリア固定構造。
JP1066024A 1989-03-20 1989-03-20 Ldチップキャリア固定構造 Expired - Lifetime JP2619523B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1066024A JP2619523B2 (ja) 1989-03-20 1989-03-20 Ldチップキャリア固定構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1066024A JP2619523B2 (ja) 1989-03-20 1989-03-20 Ldチップキャリア固定構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH02247093A true JPH02247093A (ja) 1990-10-02
JP2619523B2 JP2619523B2 (ja) 1997-06-11

Family

ID=13303939

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1066024A Expired - Lifetime JP2619523B2 (ja) 1989-03-20 1989-03-20 Ldチップキャリア固定構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2619523B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5960142A (en) * 1996-08-13 1999-09-28 Nec Corporation Peltier cooler and semiconductor laser module using Peltier cooler
JP2005114298A (ja) * 2003-10-10 2005-04-28 Citizen Watch Co Ltd 温度調節装置
CN1311208C (zh) * 2002-04-22 2007-04-18 小原株式会社 电阻焊接装置的冷却方法
US7241966B2 (en) * 2004-09-02 2007-07-10 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Wafer level package fabrication method using laser illumination

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5960142A (en) * 1996-08-13 1999-09-28 Nec Corporation Peltier cooler and semiconductor laser module using Peltier cooler
CN1311208C (zh) * 2002-04-22 2007-04-18 小原株式会社 电阻焊接装置的冷却方法
JP2005114298A (ja) * 2003-10-10 2005-04-28 Citizen Watch Co Ltd 温度調節装置
US7241966B2 (en) * 2004-09-02 2007-07-10 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Wafer level package fabrication method using laser illumination

Also Published As

Publication number Publication date
JP2619523B2 (ja) 1997-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4807956A (en) Opto-electronic head for the coupling of a semi-conductor device with an optic fiber, and a method to align this semi-conductor device with this fiber
US7060515B2 (en) Method of manufacturing a laser diode package
RU2304294C2 (ru) Присоединение оптического компонента к оптоэлектронным модулям
US6353202B1 (en) Apparatus and method for producing a chip-substrate connection
US8213481B2 (en) Semiconductor laser module and manufacturing method therefor
EP0462742B1 (en) Photonics module and alignment method
JPH11340581A (ja) レ―ザダイオ―ドパッケ―ジング
JPS61277908A (ja) 固体の調節固定方法と装置及びそれを用いて製造したデバイス
JP4765853B2 (ja) 半導体装置の製造方法
EP0824281B1 (en) Peltier cooler and use in a semiconductor laser module
JPH02217162A (ja) ヒータ装置、ヒータ・バー及びはんだ付け方法
JP2001319984A (ja) 光半導体素子用パッケージおよび前記パッケージを用いた光半導体素子モジュール
CN102822710B (zh) 激光装置及其制造方法
US6670570B2 (en) Methods and apparatus for localized heating of metallic and non-metallic surfaces
US7759604B2 (en) Method for high-precision fixing of a miniaturized component on a support plate
JPH02247093A (ja) Ldチップキャリア固定構造
US7483456B2 (en) Diode laser module and method for the production thereof
Cheng et al. Effect of Au thickness on laser beam penetration in semiconductor laser packages
JP2001144364A (ja) 半導体モジュール及び半導体モジュールの半導体レーザ素子の取り付け方法
JPH04243181A (ja) 半導体レーザモジュール
JPH05267794A (ja) 半導体レーザモジュールのチップキャリア固定構造
JPS60231582A (ja) レ−ザ溶接方法
JPH06289258A (ja) 半導体レーザ装置
JPH11195842A (ja) 基板への光学部品の半田付け
JP2926885B2 (ja) 半導体レーザ