JPH02246130A - 部品の実装方法 - Google Patents
部品の実装方法Info
- Publication number
- JPH02246130A JPH02246130A JP6681489A JP6681489A JPH02246130A JP H02246130 A JPH02246130 A JP H02246130A JP 6681489 A JP6681489 A JP 6681489A JP 6681489 A JP6681489 A JP 6681489A JP H02246130 A JPH02246130 A JP H02246130A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pad
- metal member
- metal layer
- electronic component
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 61
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 61
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 31
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 8
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 abstract description 8
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100229738 Mus musculus Gpank1 gene Proteins 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/303—Surface mounted components, e.g. affixing before soldering, aligning means, spacing means
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3431—Leadless components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
電子部品の第1のパッドが回路基板の第2のパッドに液
体合金によって接続されることで実装が行われるように
形成された部品の実装方法に関し、電子部品を回路基板
に実装する作業を容易し、作業の能率化を図ることを目
的とし、 第1のパッドには室温で固体状の金属部材を固着させ、
第2のパッドには該金属部材に対して合金化可能な金属
より成る金属層を積層させ、該金属部材と該金属層とを
介在させることで該第1のパッドを該第2のパッドに当
接させ、該金属部材溶融させることにより該第1のパッ
ドと該第2のパッドとの間に該金属部材と該金IINと
によって合金化、生成された室温で液体状となる液体合
金による接点が形成されるようにする。
体合金によって接続されることで実装が行われるように
形成された部品の実装方法に関し、電子部品を回路基板
に実装する作業を容易し、作業の能率化を図ることを目
的とし、 第1のパッドには室温で固体状の金属部材を固着させ、
第2のパッドには該金属部材に対して合金化可能な金属
より成る金属層を積層させ、該金属部材と該金属層とを
介在させることで該第1のパッドを該第2のパッドに当
接させ、該金属部材溶融させることにより該第1のパッ
ドと該第2のパッドとの間に該金属部材と該金IINと
によって合金化、生成された室温で液体状となる液体合
金による接点が形成されるようにする。
本発明は電子部品の第1のパッドが回路基板の第2のパ
ッドに液体合金によって接続されることで実装が行われ
るように形成された部品の実装方法に関する。
ッドに液体合金によって接続されることで実装が行われ
るように形成された部品の実装方法に関する。
近年、コンピュータシステムの高速化、高密度実装化に
伴い、半導体素子などの電子部品ではLCC(Lead
less Chip Carrier)などを用いたS
MT(Surface Mount Technolo
g)等が使用されるようになった。
伴い、半導体素子などの電子部品ではLCC(Lead
less Chip Carrier)などを用いたS
MT(Surface Mount Technolo
g)等が使用されるようになった。
しかし、このような電子部品が実装される回路基板は、
−船釣に、セラミック材などによって形成されているた
め、例えば、LCCを回路基板に実装した場合・は、両
者間には熱膨張係数に大きな違いがあり、パワーオンま
たはオフ時および運搬または保管時の温度変化によって
、接合部にはその温度変化による機械的なストレスが生
じることになる。
−船釣に、セラミック材などによって形成されているた
め、例えば、LCCを回路基板に実装した場合・は、両
者間には熱膨張係数に大きな違いがあり、パワーオンま
たはオフ時および運搬または保管時の温度変化によって
、接合部にはその温度変化による機械的なストレスが生
じることになる。
したがって、このような電子部品と回路基板との接合部
は、温度変化による機械的なストレスを生じることのな
いように形成されることが望まれている。
は、温度変化による機械的なストレスを生じることのな
いように形成されることが望まれている。
従来は第3図の従来の説明図に示すように構成されてい
た。第3図の(a) (b)は側面図、(C)は接点部
の要部側面図である。
た。第3図の(a) (b)は側面図、(C)は接点部
の要部側面図である。
第3図の(a)に示すように、先づ、電子部品1の所定
面に配列され、信弯の入出力が行われる第1のパッド3
にはボール半田10を固着させることで、それぞれの第
1のパッド3にバンプの形成を行う。
面に配列され、信弯の入出力が行われる第1のパッド3
にはボール半田10を固着させることで、それぞれの第
1のパッド3にバンプの形成を行う。
次に、バンブの形成が行われた電子部品1は(a)に示
すように、セラミック材などによって形成され、所定の
パターン配線を備えた回路基板2に積載する。
すように、セラミック材などによって形成され、所定の
パターン配線を備えた回路基板2に積載する。
この場合の積載は、所定の第1のパッド3が回路基板2
の実装面2Aに形成され、所定のパターン配線に接続さ
れた第2のパッド4に当接されるよう位置決めされ、加
熱によってポール半田10を溶融させるポンデイグ処理
で行われる。
の実装面2Aに形成され、所定のパターン配線に接続さ
れた第2のパッド4に当接されるよう位置決めされ、加
熱によってポール半田10を溶融させるポンデイグ処理
で行われる。
したがって、それぞれの第1のパッド3はポール半田1
0を介在することで第2のパッド4に接続され、第1の
パッド3と第2のパッド4とが電気導通を有するように
接続されることが行われていた。
0を介在することで第2のパッド4に接続され、第1の
パッド3と第2のパッド4とが電気導通を有するように
接続されることが行われていた。
しかし、このようなポール半田10によって接続を行う
構成では、電子部品1と回路基板2との熱膨張係数、お
よび、熱容量の違いによって、例えば、パワーオンまた
はオフによる温度変化によって、ポール半田10に機械
的なストレスが発生することになり、第3図の(b)に
示す6部の如く亀裂が生じる。
構成では、電子部品1と回路基板2との熱膨張係数、お
よび、熱容量の違いによって、例えば、パワーオンまた
はオフによる温度変化によって、ポール半田10に機械
的なストレスが発生することになり、第3図の(b)に
示す6部の如く亀裂が生じる。
したがって、第1のパッド3と第2のパッド4とにおけ
名゛電気導通が切断されたり、または、電気抵抗が増加
することにる。
名゛電気導通が切断されたり、または、電気抵抗が増加
することにる。
そこで、(C)に示すように、第1のパッド3と第2の
パッド4と間に液体金属、または、液体合金による接点
11を形成することが特開昭58−130540号で提
案されている。
パッド4と間に液体金属、または、液体合金による接点
11を形成することが特開昭58−130540号で提
案されている。
したがって、このような接点11は、通常、室温で液体
状の液体金属、または、液体合金によって形成が行われ
るよう、先づ、液体状のボール12を形成し、ボール1
2を第1のパッド3に付着させ、次に、第2のパッド4
にボール12を当接させよ°うに形成される。
状の液体金属、または、液体合金によって形成が行われ
るよう、先づ、液体状のボール12を形成し、ボール1
2を第1のパッド3に付着させ、次に、第2のパッド4
にボール12を当接させよ°うに形成される。
しかし、このような液体状のボール12を多数形成する
こと、更に、それ等のボール12を第1のパッド3に付
着させることは、取り扱いが困難となる。
こと、更に、それ等のボール12を第1のパッド3に付
着させることは、取り扱いが困難となる。
したがって、電子部品を回路基板に実装する場合、作業
性が悪くなり、作業能率が低く、工数を要する問題を有
している≦。
性が悪くなり、作業能率が低く、工数を要する問題を有
している≦。
そこで、電子部品を回路基板に実装する作業を容易し、
作業の能率化を図ることを目的とする。
作業の能率化を図ることを目的とする。
第1図の(a) (b)は本発明の原理説明図である。
第1図の(a)(b)に示すように、第1のパッド3に
は室温で固体状の金WA部材5を固着させ、第2のパッ
ド4には該金属部材5に対して合金化可能な金属より成
る金属層6を積層させ、該金属部材5と該金属層6とを
介在させることで該第1のパッド3を該第2のパッド4
に当接させ、該金属部材5を溶融することにより該第1
のパッド3と該第2のパッド4との間に該液体金属5と
該金rI!4WI6とによって合金化、生成された室温
で液体状の液体合金による接点7が形成されるように構
成する。
は室温で固体状の金WA部材5を固着させ、第2のパッ
ド4には該金属部材5に対して合金化可能な金属より成
る金属層6を積層させ、該金属部材5と該金属層6とを
介在させることで該第1のパッド3を該第2のパッド4
に当接させ、該金属部材5を溶融することにより該第1
のパッド3と該第2のパッド4との間に該液体金属5と
該金rI!4WI6とによって合金化、生成された室温
で液体状の液体合金による接点7が形成されるように構
成する。
このように構成することによって前述の課題は解決され
る。
る。
部材5に溶は込み、合金化、生成されることで室温で液
体状の液体合金が形成され、液体合金による接点7によ
って第1と第2のパッド3.4との間が電気的に接続さ
れるようにしたものである。
体状の液体合金が形成され、液体合金による接点7によ
って第1と第2のパッド3.4との間が電気的に接続さ
れるようにしたものである。
したがって、従来のような液体化したボール12による
接続と異なり、電子部品1を回路基板2に実装する際、
液体状の扱い難いボール12を台のパッド3に付着させ
る必要がなく、第1のバット3には固体状の金属部材5
を、第2のパッド4には金属層6を形成することで第1
と第2のパッド3゜4間には液体合金によるの接点7が
容易1こ形成することができ、作業能率の向上を図るこ
とができる。
接続と異なり、電子部品1を回路基板2に実装する際、
液体状の扱い難いボール12を台のパッド3に付着させ
る必要がなく、第1のバット3には固体状の金属部材5
を、第2のパッド4には金属層6を形成することで第1
と第2のパッド3゜4間には液体合金によるの接点7が
容易1こ形成することができ、作業能率の向上を図るこ
とができる。
即ち、電子部品1の第1のパッド3に室温で固体状の金
属部材5を固着させ、一方、回路基板2の第2のパッド
4に金属層6を積層することで、第1のパッド3が第2
のパッド4に重ね合わせることで、金属部材5を溶融さ
せ、金属層6が金属〔実施例〕 以下本発明を第2図を参考に詳細に説明する。
属部材5を固着させ、一方、回路基板2の第2のパッド
4に金属層6を積層することで、第1のパッド3が第2
のパッド4に重ね合わせることで、金属部材5を溶融さ
せ、金属層6が金属〔実施例〕 以下本発明を第2図を参考に詳細に説明する。
第2図は本発明による一実施例の説明図で、(11)は
側面図、 (bl) (b2) (cl) (c2)お
よび(d)は実装工程図である。
側面図、 (bl) (b2) (cl) (c2)お
よび(d)は実装工程図である。
第2図の(a)に示すように電子部品1の第1のパッド
3に固着された金属部材5と、回路基板2の第2のパッ
ド4に積層された金属1m16とによって合金化される
ことで生成された液体合金による接点7が第1と第2の
パッド3.4に形成されるようにしたものである。
3に固着された金属部材5と、回路基板2の第2のパッ
ド4に積層された金属1m16とによって合金化される
ことで生成された液体合金による接点7が第1と第2の
パッド3.4に形成されるようにしたものである。
また、電子部品1の所定個所にはスペーサ8が、回路基
板2には接続バッド9がそれぞれ設けられ、互いが半田
11によって固着され、第1のバット3と第2のパッド
4とが位置決めされている。
板2には接続バッド9がそれぞれ設けられ、互いが半田
11によって固着され、第1のバット3と第2のパッド
4とが位置決めされている。
そこで、このように生成された液体合金による接点7を
介在させることで第1のパッド3を第2のバット4に電
気的に接続することは以下の実装工程によって行うこと
ができる。
介在させることで第1のパッド3を第2のバット4に電
気的に接続することは以下の実装工程によって行うこと
ができる。
先づ、実装すべき電子部品lには(bl)に示すように
、第1のパッド3に隣接してスペーサ8を設け、(b2
〉に示すように、第1のパッド3には所定量の金属部材
5を固着させ、また、スペーサ8には予備半田付けによ
り半田11を固着する。
、第1のパッド3に隣接してスペーサ8を設け、(b2
〉に示すように、第1のパッド3には所定量の金属部材
5を固着させ、また、スペーサ8には予備半田付けによ
り半田11を固着する。
この場合の金属部材5としては、例えば、ガリュウム(
Ga)を用いると、室温(25℃)では固体化されてい
るので取り扱いが容易で、また、第1のパッド3に固着
させることは、室温(25℃)の状態で若干の加熱を加
える行える。
Ga)を用いると、室温(25℃)では固体化されてい
るので取り扱いが容易で、また、第1のパッド3に固着
させることは、室温(25℃)の状態で若干の加熱を加
える行える。
一方、回路基板2は(cl)に示すように、第2のパッ
ド4が配列された実装面2Aには電子部品1のスペーサ
8に合致される接続パッド9を設け、(c2)に示すよ
うに、第ンのパッド4には前述の金属部材5に溶融され
る金属層6を積層する。
ド4が配列された実装面2Aには電子部品1のスペーサ
8に合致される接続パッド9を設け、(c2)に示すよ
うに、第ンのパッド4には前述の金属部材5に溶融され
る金属層6を積層する。
この場合の金属層としは、例えば、錫(Sn)またはイ
ンジニウム(In)が適している。
ンジニウム(In)が適している。
次に、(d)に示すように、電子部品1を回路基板2の
実装面2Aに積載し、スペーサ8を接続パッド9に合致
させることで位置決めを行い、所定の圧力Pによって電
子部品1を押圧して、加熱を行う。
実装面2Aに積載し、スペーサ8を接続パッド9に合致
させることで位置決めを行い、所定の圧力Pによって電
子部品1を押圧して、加熱を行う。
そこで、金属部材5に金属層6が溶は込み、合金化され
、金属部材5より融点の低い、室温(25℃)で液体状
となる液体合金が生成される。
、金属部材5より融点の低い、室温(25℃)で液体状
となる液体合金が生成される。
したがって、第1と第2のパッド3.4の間には室温(
25℃)では液体状となる液体合金による接点7が形成
され、接点7によって第1と第2のパッド3.4の間が
電気導通を有するように接続され、スペーサ8は接続パ
ッド9に半田11によって固着されることになる。
25℃)では液体状となる液体合金による接点7が形成
され、接点7によって第1と第2のパッド3.4の間が
電気導通を有するように接続され、スペーサ8は接続パ
ッド9に半田11によって固着されることになる。
この場合、金属部材5としてガリ二つム(Ga)を用い
、金属層6として錫(Sn)を用いると、ガリュウム(
Ga)に錫(Sn)が、溶は込み、合金化により、ガリ
ュウム(Ga)より融点の低い約30℃で液化するGa
−3nの液体合金が生成され、Ga−5nの液体合金よ
り成る接点7によって第1と第2のパッド14間の接続
が行われことになる。
、金属層6として錫(Sn)を用いると、ガリュウム(
Ga)に錫(Sn)が、溶は込み、合金化により、ガリ
ュウム(Ga)より融点の低い約30℃で液化するGa
−3nの液体合金が生成され、Ga−5nの液体合金よ
り成る接点7によって第1と第2のパッド14間の接続
が行われことになる。
また、この接点7は、温度が上昇することで直ちに液化
されるため、前述のような収縮の差によるストレスの発
生は皆無となり、かつ、部品の実装時は固体状であるた
め、取り扱いが容易で作業能率の向上が図れる。
されるため、前述のような収縮の差によるストレスの発
生は皆無となり、かつ、部品の実装時は固体状であるた
め、取り扱いが容易で作業能率の向上が図れる。
くシ、第1と第2のパッド3.4間の接続をより確実に
することがてきる。
することがてきる。
以上説明したように、本発明によれば、第1のパッドに
室温で固体状の金属部材を固着させ、第2のパッドには
金属部材に溶は込む金属層を積層し、金属部材と金WI
4層とによって室温て液体状となる合金化、生成された
液体合金の接点によって第1と第2のパッド間を接続す
ることが行われるようにしたものである。
室温で固体状の金属部材を固着させ、第2のパッドには
金属部材に溶は込む金属層を積層し、金属部材と金WI
4層とによって室温て液体状となる合金化、生成された
液体合金の接点によって第1と第2のパッド間を接続す
ることが行われるようにしたものである。
したがって、従来のような液体化されたボールによって
接続を行う場合に比較して、作業性が良く、電子部品の
実装作業の効率化が図れ、安定した接続が得られ、接続
信頼性の向上が図れ、実用的効果は大である。
接続を行う場合に比較して、作業性が良く、電子部品の
実装作業の効率化が図れ、安定した接続が得られ、接続
信頼性の向上が図れ、実用的効果は大である。
更に、このような金属層6を金属部材5に溶は込ませる
合金化により接点7を生成することは\第2のパッド4
に対する金属部材5の濡れ性を良
合金化により接点7を生成することは\第2のパッド4
に対する金属部材5の濡れ性を良
第1図の(a) (b)は本発明の原理説明図。
第2図は本発明による一実施例の説明図で、(a)は側
面図、 (bl)(b2) (cl) (c2)および
(d)す。 図において、 1は電子部品。 3は第1のパッド。 5は金属部材。 7は接点。 2は回路基板。 4は第2のパッド。 6は金属層。 2Aは実装面を示す。 (α〕 2ト咽−B月σ)P工里官之日月口 笛 1 図 (α〕 7i−発明1;よる一実犯例の説明口 笛2 図、(’?01) (Cイ ) (C2) 不でB月1−よ;一実施例の6延日目図男 2図(1め2)
面図、 (bl)(b2) (cl) (c2)および
(d)す。 図において、 1は電子部品。 3は第1のパッド。 5は金属部材。 7は接点。 2は回路基板。 4は第2のパッド。 6は金属層。 2Aは実装面を示す。 (α〕 2ト咽−B月σ)P工里官之日月口 笛 1 図 (α〕 7i−発明1;よる一実犯例の説明口 笛2 図、(’?01) (Cイ ) (C2) 不でB月1−よ;一実施例の6延日目図男 2図(1め2)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 電子部品(1)に形成された第1のパッド(3)が回
路基板(2)に形成された第2のパッド(4)に電気導
通を有するように接続されることで該回路基板(2)の
実装面(2A)に該電子部品(1)の実装が行われる部
品の実装方法であって、 前記第1のパッド(3)には室温で固体状の金属部材(
5)を固着させ、前記第2のパッド(4)には該金属部
材(5)に対して合金化可能な金属より成る金属層(6
)を積層させ、該金属部材(5)と該金属層(6)とを
介在させることで該第1のパッド(3)を該第2のパッ
ド(4)に当接させ、該金属部材(5)を溶融させるこ
とにより該第1のパッド(3)と該第2のパッド(4)
との間に該金属部材(5)と該金属層(6)とによって
合金化、生成された室温で液体状となる液体合金による
接点(7)が形成されることを特徴とする部品の実装方
法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6681489A JP2697098B2 (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | 部品の実装方法 |
DE69022605T DE69022605T2 (de) | 1989-02-28 | 1990-02-07 | Elektrische Verbindungsvorrichtung. |
EP90102348A EP0385142B1 (en) | 1989-02-28 | 1990-02-07 | Electrical connecting apparatus |
CA002010306A CA2010306C (en) | 1989-02-28 | 1990-02-19 | Connecting apparatus |
US07/483,170 US5017738A (en) | 1989-02-28 | 1990-02-22 | Connecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6681489A JP2697098B2 (ja) | 1989-03-17 | 1989-03-17 | 部品の実装方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02246130A true JPH02246130A (ja) | 1990-10-01 |
JP2697098B2 JP2697098B2 (ja) | 1998-01-14 |
Family
ID=13326699
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6681489A Expired - Fee Related JP2697098B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-03-17 | 部品の実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2697098B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2698168A1 (fr) * | 1992-11-13 | 1994-05-20 | Commissariat Energie Atomique | Procédé de mesure de paramètres diélectriques et magnétiques d'un matériau solide, utilisant un brasage de ce matériau sur un porte-échantillon. |
EP0854520A2 (en) * | 1997-01-20 | 1998-07-22 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Method for mounting optical semiconductor device on supporting substrate |
US5818244A (en) * | 1992-11-13 | 1998-10-06 | Commissariat A L'energie Atomique | Brazed solid material specimen holder for apparatus that measures dielectric and magnetic parameters |
JP2011194542A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Fujifilm Corp | 微小構造体の製造方法及び基板構造体 |
-
1989
- 1989-03-17 JP JP6681489A patent/JP2697098B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2698168A1 (fr) * | 1992-11-13 | 1994-05-20 | Commissariat Energie Atomique | Procédé de mesure de paramètres diélectriques et magnétiques d'un matériau solide, utilisant un brasage de ce matériau sur un porte-échantillon. |
WO1994011746A1 (fr) * | 1992-11-13 | 1994-05-26 | Commissariat A L'energie Atomique | Procede de mesure de parametres dielectriques et magnetiques d'un materiau solide, utilisant un brasage de ce materiau sur un porte-echantillon, et dispositifs de mise en ×uvre de ce procede |
US5818244A (en) * | 1992-11-13 | 1998-10-06 | Commissariat A L'energie Atomique | Brazed solid material specimen holder for apparatus that measures dielectric and magnetic parameters |
EP0854520A2 (en) * | 1997-01-20 | 1998-07-22 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Method for mounting optical semiconductor device on supporting substrate |
EP0854520A3 (en) * | 1997-01-20 | 1999-06-16 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Method for mounting optical semiconductor device on supporting substrate |
US6087194A (en) * | 1997-01-20 | 2000-07-11 | Oki Electric Industry Co., Ltd. | Composite unit of optical semiconductor device and supporting substrate and method for mounting optical semiconductor device on supporting substrate |
JP2011194542A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Fujifilm Corp | 微小構造体の製造方法及び基板構造体 |
US8974626B2 (en) | 2010-03-23 | 2015-03-10 | Fujifilm Corporation | Method of manufacturing micro structure, and substrate structure |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2697098B2 (ja) | 1998-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5473814A (en) | Process for surface mounting flip chip carrier modules | |
US3614832A (en) | Decal connectors and methods of forming decal connections to solid state devices | |
US5598036A (en) | Ball grid array having reduced mechanical stress | |
US6140696A (en) | Vertically mountable semiconductor device and methods | |
US5367435A (en) | Electronic package structure and method of making same | |
US6253986B1 (en) | Solder disc connection | |
JPH06103703B2 (ja) | 半田付け方法 | |
JP3838331B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法、回路基板並びに電子機器 | |
JP2000137785A (ja) | 非接触型icカードの製造方法および非接触型icカード | |
US20030116860A1 (en) | Semiconductor package with low resistance package-to-die interconnect scheme for reduced die stresses | |
JPS63114138A (ja) | ワイヤ積層ボンデイング方法 | |
JP3509507B2 (ja) | バンプ付電子部品の実装構造および実装方法 | |
US6868604B2 (en) | Method for forming an electrical structure | |
JPH02246130A (ja) | 部品の実装方法 | |
JP3279470B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2005123463A (ja) | 半導体装置及びその製造方法、半導体装置モジュール、回路基板並びに電子機器 | |
JPH118474A (ja) | 多層基板の製造方法 | |
JP2633745B2 (ja) | 半導体装置の実装体 | |
JPH04212277A (ja) | プリント配線板への端子の接続法 | |
JPH0239448A (ja) | フィルムキャリアテープ | |
JP2004259886A (ja) | 半導体装置、電子デバイス、電子機器、半導体装置の製造方法および電子デバイスの製造方法 | |
JP2721790B2 (ja) | 半導体装置の封止方法 | |
JP2000294586A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JPH04167553A (ja) | 半導体装置 | |
JPS6360540A (ja) | 接続端子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |