JPH02236682A - Automatic inspection device - Google Patents

Automatic inspection device

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JPH02236682A
JPH02236682A JP1058166A JP5816689A JPH02236682A JP H02236682 A JPH02236682 A JP H02236682A JP 1058166 A JP1058166 A JP 1058166A JP 5816689 A JP5816689 A JP 5816689A JP H02236682 A JPH02236682 A JP H02236682A
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inspection
inspected
image processing
television camera
processing device
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矢沢 栄一
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Abstract

PURPOSE:To attain secondary inspection by means of re-photographing even when a checking time is shortened, and to obtain a high deciding accuracy by executing the quality inspection and decision of a object to be checked in parallel with the movement of a photographing viewpoint. CONSTITUTION:A defective part number obtained by a primary inspection is stored into a storage 13, the defective part number is applied to an X-Y table controller 5 as an inspection part number I, the defective part is photographed by a television camera again, and thus the secondary inspection is attained. Further before the output of an inspected and decided result from a picture processor 9, the photographing viewpoint is moved. Thus even when the inspection time is shortened, the secondary inspection is attained, and the high deciding accuracy can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] 《産業上の利用分野》 本発明は自動検査装置に関し、特に、印劉配線板の電子
部品の実装状態の良否の判定等に好適の自動検査装置に
関する。
[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to an automatic inspection device, and in particular, an automatic inspection device suitable for determining the quality of the mounting state of electronic components on an In-Liu wiring board. Regarding.

《従来の技術》 近時、各種電子機器では印刷配線板が採用されている。《Conventional technology》 Recently, printed wiring boards have been used in various electronic devices.

この印刷配線板においては、基板自動挿入機及び自動装
着機等の自動機械を使用することにより、抵抗器及びコ
ンデンサ等の電子部品が基板に実装されている。電子部
品の実装状態はテレビカメラで撮影され、コンピュータ
による画像処理が行われてその良否が判断される。
In this printed wiring board, electronic components such as resistors and capacitors are mounted on the board by using automatic machines such as an automatic board insertion machine and an automatic mounting machine. The mounted state of electronic components is photographed by a television camera, and the image is processed by a computer to determine its quality.

第3図はこのような電子部品の実装状態の良否を自動的
゜に判定することができる従来の自動検査装置を示すブ
ロック図であり、第4図はその動作を説明するためのフ
ローチャートである。
FIG. 3 is a block diagram showing a conventional automatic inspection device that can automatically determine the quality of the mounting state of such electronic components, and FIG. 4 is a flowchart for explaining its operation. .

先ず、被検査物(電子部品が実装された印刷配線板》1
をX−Yテーブル2上に載置する。このX−Yテーブル
2の上方に固定されたテレビカメラ3により印刷配線板
1の電子部品の実装状態が搬彰される。画像分解能はテ
レビカメラ3に取り付1プる光学レンズ4の拡大率によ
り決定され、画像分解能を向上させるために光学レンズ
4の拡大率を大きくすると、&! !1 ?JA野が狭
くなってしまう。
First, the object to be inspected (printed wiring board with electronic components mounted) 1
is placed on the X-Y table 2. A television camera 3 fixed above the X-Y table 2 shows the mounting state of electronic components on the printed wiring board 1. The image resolution is determined by the magnification of the optical lens 4 attached to the television camera 3, and if the magnification of the optical lens 4 is increased to improve the image resolution, &! ! 1? The JA field becomes narrower.

そこで、印刷配線板1の電子部品の実装状態を検査する
場合のように、比較的検査範囲が広く且つ微細な部分を
検査する必要があるときには、光学レンズ4として拡大
率が大きいものを使用し、テレビカメラ3の搬影視点を
移動させることにより印刷配線板1の全域を劃Iるよう
にしている。
Therefore, when it is necessary to inspect a relatively wide inspection range and minute parts, such as when inspecting the mounting state of electronic components on the printed wiring board 1, an optical lens 4 with a large magnification is used. By moving the projection viewpoint of the television camera 3, the entire area of the printed wiring board 1 is viewed.

第3図では、X−Yテーブル2を移動させて印刷配線板
1の各部位を順次撥影ずるJzうにしでいる。
In FIG. 3, the X-Y table 2 is moved to sequentially repel images of each part of the printed wiring board 1.

X−Yテーブル2はX−Yテーブル制御装置5により移
動が制御され、X−Yテーブル制御装置5は主制御装置
6により制御される。
The movement of the X-Y table 2 is controlled by an X-Y table control device 5, and the X-Y table control device 5 is controlled by a main control device 6.

第4図のステップS1において、主制御装置6は、印刷
配線板1の検査しようとする部位(検査部位)を示す検
査部位番号Iを1に初期化する。
In step S1 of FIG. 4, the main controller 6 initializes to 1 an inspection site number I indicating a site (inspection site) of the printed wiring board 1 to be inspected.

次に、ステップS2において、主制御装置2tま検査部
位番号1を示すデータをX−Yテーブル制御%A置5に
与え、X−Yテーブル制御装置5は検査部位番号1で示
される検査部位(以下、検査部位1という)がテレビカ
メラ3の撮影視野に入るようにX一Yテーブル2を移動
させる。ステップS3では、X−Yテーブル2の移動が
終了したか否かが判断され、終了した場合には処理をス
テップ$4に移行づる。ステップS4において、テレビ
カメラ3は印刷配線板1の検査部位1を撮影し、撮影に
よって得られた画像信りをA/D変換回路7に出力する
。A/D変挽回路7は画像信号をディジタル信号に変換
してフレームメモリ8に与え、スレームメモリ8は画像
データを記憶する。
Next, in step S2, the main controller 2t gives data indicating the inspection site number 1 to the X-Y table control %A position 5, and the X-Y table control device 5 sends data indicating the inspection site number 1 ( The X-Y table 2 is moved so that the inspection site 1 (hereinafter referred to as the inspection site 1) is within the field of view of the television camera 3. In step S3, it is determined whether or not the movement of the X-Y table 2 has been completed, and if it has been completed, the process moves to step $4. In step S4, the television camera 3 photographs the inspection site 1 of the printed wiring board 1, and outputs the resulting image to the A/D conversion circuit 7. The A/D conversion circuit 7 converts the image signal into a digital signal and supplies it to the frame memory 8, and the frame memory 8 stores the image data.

フレームメモリ8に記憶された画像データは画像処理装
置9において画像処理されて電位部品の実装状態の良否
が判定される。ところで、前述したように、画像分解能
を向上させていることから、躍彰視野が狭く、賊影部位
の視点変更回数(X−Yテーブル2の移動回数)が比較
的多い。従って、X−Yテーブル2の移動に要する時間
が長く、検査に長時間を必要とする。そこで、第3図の
装置では、フレームメモリ8が画像データを記憶した直
後に、画像処理装置9によるIlil影画像の画像処理
と次の検査部位に対応したX−Yテーブル2の移動とを
同時に行って動作時間の短縮を計っている。
The image data stored in the frame memory 8 is subjected to image processing in an image processing device 9 to determine whether the mounting state of the potential components is good or bad. By the way, as described above, since the image resolution is improved, the field of view is narrow, and the number of times the viewpoint of the shadow region is changed (the number of times the X-Y table 2 is moved) is relatively large. Therefore, the time required to move the X-Y table 2 is long, and the inspection requires a long time. Therefore, in the apparatus shown in FIG. 3, immediately after the frame memory 8 stores the image data, the image processing device 9 processes the Ilil shadow image and moves the X-Y table 2 corresponding to the next examination region at the same time. We are trying to shorten the operating time by doing so.

即ち、スデップS5において、主制御装置6はiitj
像処理装F!l9に検査部位1の電子部品の実装状態の
検査の開始を指示する。次いで、ステップS6において
、検査部位番号1が最終検査部位を示しているか否かを
判断し、最終検査部位でなければステップS1において
検査部位番号2(−1+1)のデータをX−Yテーブル
制御装置5に与えてX−Yテーブル2の移動を開始させ
る。これらステップ85〜S7の一連の処理は略同時に
行われ、ステップS6の最終検査部位であるか否かの判
断及びステップS7のX−Yテーブル2の移動開始指令
に伴うX−Yテーブル2の移動動作と並行して、画像処
理装置9はフレームメモリ8からの画像データを主制御
装@6に制御されて画像処理し、電子部品の実装状態を
検査し判定Jる。
That is, in step S5, the main controller 6
Image processing system F! 19 is instructed to start inspecting the mounting state of the electronic components in the inspection area 1. Next, in step S6, it is determined whether the inspection site number 1 indicates the final inspection site, and if it is not the final inspection site, the data of the inspection site number 2 (-1+1) is transferred to the 5 to start moving the XY table 2. A series of processes from Steps 85 to S7 are performed almost simultaneously, including the determination of whether or not this is the final inspection site in Step S6 and the movement of the X-Y table 2 in response to the command to start moving the X-Y table 2 in Step S7. In parallel with the operation, the image processing device 9 processes the image data from the frame memory 8 under the control of the main controller @6, and inspects and determines the mounting state of the electronic components.

検査の終了はステップS8で判断される。検査部位1の
検査判定結果は画像処理装直9から主制御装M6に与え
られ、主制御装置6は、ステップS9において検査判定
結果が不良を示している場合には、ステップ810でプ
リンタ10に判定結果を印刷させる。次いで、ステップ
Sitで検査部位番号IがR終検査部位番号であるか否
かが判断され、最終検査部位fl号であれば処理を終了
し、最終検査部位番号でなければ、ステップ812にお
いて検査部位番号■に1を加えて処理をステップS3に
移行する。ステップS3では、ステップS1によるX−
Yテーブル2の移動が終了したか否かが判断され、X−
Yテーブル2が検査部位番号2に対応した位置に移動し
ていれば、ステップS4に処理が進む。以下同様の動作
を繰り返して、印刷配線板1の全部位の良否が検査判定
される。このように、第3図の装置では画像処理装置9
による良否検査判定とX−Yテーブル2の移動とを並行
して行うことにより動作時間を短縮している。
The end of the test is determined in step S8. The inspection judgment result of the inspection site 1 is given from the image processing unit 9 to the main control device M6, and if the inspection judgment result indicates a defect in step S9, the main control device 6 sends the result to the printer 10 in step S810. Print the judgment results. Next, in step Sit, it is determined whether or not the inspection site number I is the final inspection site number R. If it is the final inspection site number fl, the process is terminated, and if it is not the final inspection site number, the inspection site number is 1 is added to the number ■ and the process moves to step S3. In step S3, X-
It is determined whether or not the movement of Y table 2 has been completed, and X-
If the Y table 2 has moved to the position corresponding to the inspection site number 2, the process advances to step S4. Thereafter, similar operations are repeated to inspect and determine the quality of all parts of the printed wiring board 1. In this way, in the apparatus shown in FIG.
The operation time is shortened by performing the quality inspection and the movement of the X-Y table 2 in parallel.

ところで、良否検査判定の判定結果によっては、同一部
位を再撮影して画像処理装置9において2次検査(再検
査)を行うことにより判定精度が向上づ゛ることがある
。ところが、画像処理装置9による検査判定動作とX−
Yテーブル2の移動動作とは並行処理ざれており、画像
処理装置9からの検査判定結果が出力される時点では、
既にX−Yテーブル2の移動が開始されており、同一部
位を再撮影して2次検査することができないという問題
があった。
By the way, depending on the judgment result of the pass/fail inspection judgment, the judgment accuracy may be improved by re-photographing the same part and performing a secondary inspection (re-examination) in the image processing device 9. However, the inspection judgment operation by the image processing device 9 and the
The moving operation of the Y table 2 is processed in parallel, and at the time the inspection judgment result is output from the image processing device 9,
There is a problem in that the movement of the X-Y table 2 has already started, and it is not possible to re-image the same area for a secondary examination.

(発明が解決しようとする課題) このように、上述した従来の自動検査装置においては、
画像処理装@9による被検査物の良否の検査判定と踊影
視点の移動とを並行して行っていることから、同一部位
を再撤彰して2次検査することができず、判定精度を向
上させること・ができないという問題点があった。
(Problem to be solved by the invention) As described above, in the conventional automatic inspection device described above,
Since the inspection judgment of the quality of the inspected object by the image processing system@9 and the movement of the dancing viewpoint are performed in parallel, it is not possible to re-inspect the same part and perform a secondary inspection, which reduces the accuracy of the inspection. There was a problem that it was not possible to improve.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
被検査物の良否検査判定と撮影視点の移動とを並行して
行うことにより検査時間を短縮した場合であっても、再
扼影による2次検査を可0ヒにして高い判定精度を得る
ことができる自動検査装置を提供することを目的とする
The present invention has been made in view of such problems, and includes:
Even when the inspection time is shortened by performing the pass/fail inspection judgment of the inspected object and the movement of the photographing viewpoint in parallel, high judgment accuracy can be obtained by making the secondary inspection by re-imaging possible. The purpose is to provide an automatic inspection device that can perform

[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明に係る自動検査装置は、被検査物が取付けられる
テーブルと、前記被検査物の各部位を搬影し画像信号を
出力するテレビカメラと、前記被検査物の各部位がテレ
ビカメラのR影視野に入るように前記テーブル及びテレ
ビカメラの少なくとも一方を移動させて被検査物の全部
位をllia影可能とする撤彰視点移動手段と、前記画
像信号から得られる画像データを画像処理することによ
り、被検査物の各部位の良否を検査して判定する画像処
理装置と、前記画像処理装置により不良と判定された部
位を示すデータを記憶する記憶装置と、前記撮影視点移
動手段及び画像処理装置をシリ御して前記躍影視点の移
動と検査物の各部位の良否の検査判定との並行動作を可
能とすると共に、前記記憶装置に格納されたデータによ
り不良と判定された部位の再検査を可能とする主ill
 l装置とを具備したちのである。
[Structure of the Invention] (Means for Solving the Problems) An automatic inspection device according to the present invention includes a table on which an object to be inspected is attached, and a television camera that images each part of the object to be inspected and outputs an image signal. and a withdrawal viewpoint moving means for moving at least one of the table and the television camera so that each part of the object to be inspected enters the R shadow field of view of the television camera, so that all parts of the object to be inspected can be shadowed. , an image processing device that inspects and determines the quality of each part of the object to be inspected by performing image processing on image data obtained from the image signal; and an image processing device that inspects and determines the quality of each part of the object to be inspected; A storage device for storing data, and a storage device that enables parallel operations of moving the imaging viewpoint and determining the quality of each part of the inspection object by directly controlling the photographing viewpoint moving means and the image processing device; A main illumination system that enables re-inspection of parts determined to be defective based on data stored in
It is equipped with l equipment.

(作用) 本発明においては、主1tll御装置は撮影視点移動手
段を制御して、被検査物の各部位がテレビカメラの撮影
視野に入るようにテーブル及びテレビカメラの少なくと
も一方を移動させる。テレビカメラは被検査物の各部位
を撮影し、画像処理装置はテレビカメラからの画像信号
を基にして被検査物の各部位の良否を検査判定する。こ
こで、主制tm装置は、画像処理装置の各部位の検査判
定動作中に撮影視点移動手段をυ1御して搬彰視点を移
動させており、これにより検査時間を短縮している。
(Function) In the present invention, the main 1tll control device controls the photographing viewpoint moving means to move at least one of the table and the television camera so that each part of the object to be inspected is within the photographic field of view of the television camera. The television camera photographs each part of the object to be inspected, and the image processing device inspects and determines the quality of each part of the object based on the image signal from the television camera. Here, the main control TM device controls the photographing viewpoint moving means υ1 to move the transport viewpoint during the inspection and determination operation of each part of the image processing device, thereby shortening the inspection time.

画像処理装置により不良と判定された部位を示すデータ
は記憶装置に記憶される。主制御装置は、記憶装置のデ
ータを読み出し、このデータに基づいてm影視点を移動
′C¥仕る。これにより、不良と判定された部位は再度
テレビカメラにm影され、画像処理装置により検査判定
されて再検査が行われる。
Data indicating the portion determined to be defective by the image processing device is stored in the storage device. The main controller reads data from the storage device and moves m shadow viewpoints based on this data. As a result, the portion determined to be defective is imaged again by the television camera, and the image processing device performs the inspection and re-examination.

(実施例) 以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する
。第1図は本発明に係る自動検査装置の一実施例を示す
ブロック図である。第1図において第3図と同一物には
同一符号を付してある。
(Example) Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail based on the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an automatic inspection device according to the present invention. Components in FIG. 1 that are the same as those in FIG. 3 are given the same reference numerals.

X−Yテーブル2は、固定台11の水平面上に設けられ
ており、図示しない適宜の駆動部材に駆動されてX及び
Y方向に移動自在となっている。電子部品が実装された
印刷配線板等の被検査物1をこのX−Yテーブル2上に
載置するようになっている。X−Yテーブル2の上方に
はテレビカメラ3が適宜の支持部材に支持されて光学レ
ンズ4をX−Yテーブル2側に向けて固定されている。
The X-Y table 2 is provided on the horizontal surface of the fixed base 11, and is movable in the X and Y directions by being driven by an appropriate drive member (not shown). An object 1 to be inspected, such as a printed wiring board on which electronic components are mounted, is placed on this XY table 2. A television camera 3 is supported by a suitable support member above the X-Y table 2 and is fixed with an optical lens 4 facing the X-Y table 2 side.

光学レンズ4の拡大率は比較的大きく、テレビカメラ3
は被検査物1の一部のみを搬影可能である。
The optical lens 4 has a relatively large magnification, and the TV camera 3
is capable of projecting only a part of the object 1 to be inspected.

被検査物1はこのテレビカメラ3の撤彰視野に基づいた
各部位毎に検査され、検査される部位(検査部位》は検
査部位番号Iで指定されるようになっている。
The object to be inspected 1 is inspected for each part based on the field of view of the television camera 3, and the part to be inspected (inspection part) is designated by an inspection part number I.

X−Yテーブル2はX−Yテーブル制御装@5によりそ
の移動が制御されている。即ち、X−Yテーブル制御装
置5は、主制御装1ii12からの検査部位番号Iのデ
ータにより制御されて、被検査物1の検査部位■がテレ
ビカメラ4の躍彰視野に入るようにX−Yテーブル2の
移動を制御している。
The movement of the X-Y table 2 is controlled by an X-Y table control device @5. That is, the X-Y table control device 5 is controlled by the data of the inspection site number I from the main control device 1ii12, and moves the The movement of the Y table 2 is controlled.

このX−Yテーブル2の移動により、被検査物1の全部
位がテレビカメラ3により搬彰可能となっている。
By this movement of the XY table 2, all parts of the object 1 to be inspected can be carried by the television camera 3.

テレビカメラ3は被検査物1を賊影して画像信号をΔ/
D変換回路7に出hする。A/D変挽回路7は画像信号
をA/D変換して画像データを得、この画像データをフ
レームメモリ8に与える。フレームメモリ8は主制61
!装置12により制御されて、△/D変挽回路7からの
画像データを記憶すると共に、記憶した画像データを画
像処理装置9に与える。画像処理装置9は、主制御装置
12により制御されて、フレームメモリ8からの画像デ
ータを読み出して画像処理することにより、被検査物1
の良否、例えば、印刷配線板の電子部品の実装状態の良
否等を検査して判定し、検査判定結果を主制御装置12
に与えるようになっている。プリンタ10は、主制御装
置12から検査判定結果が与えられ、検査判定結果によ
り不良と判定された部位(以下、不良部位という)につ
いての検査判定結果を印刷づるようになっている。
The television camera 3 images the object 1 to be inspected and converts the image signal into Δ/
The signal is output to the D conversion circuit 7. The A/D conversion circuit 7 A/D converts the image signal to obtain image data, and supplies this image data to the frame memory 8. Frame memory 8 is master 61
! It is controlled by the device 12 to store the image data from the Δ/D conversion circuit 7 and to provide the stored image data to the image processing device 9. The image processing device 9 is controlled by the main control device 12 and reads image data from the frame memory 8 and performs image processing on the object to be inspected 1.
For example, the quality of the electronic components mounted on the printed wiring board is inspected and judged, and the inspection and judgment results are sent to the main controller 12.
It is designed to be given to The printer 10 is provided with inspection and determination results from the main control device 12, and is configured to print the inspection and determination results for parts that are determined to be defective based on the inspection and determination results (hereinafter referred to as defective parts).

本実施例においては、記憶装置13が設けられている。In this embodiment, a storage device 13 is provided.

記憶装置13は一次元配列により構成されており、主制
御装置12から不良部位を示す不良部位番号のデータが
与えられてこのデータを記憶するようになっている。
The storage device 13 is constituted by a one-dimensional array, and is configured to receive data of a defective part number indicating a defective part from the main controller 12 and to store this data.

次に、このように構成された自動検査装置の動作につい
て第2図のフローチャートを参照して説明する。第2図
の破線Aにて囲った部分は一次検査を示し、破線Bにて
囲った部分は二次検査を示している。第2図において第
4図のステップと同一ステップについては同一符号を付
してある。
Next, the operation of the automatic inspection apparatus configured as described above will be explained with reference to the flowchart shown in FIG. The area surrounded by the broken line A in FIG. 2 shows the primary inspection, and the area surrounded by the broken line B shows the secondary inspection. In FIG. 2, the same steps as those in FIG. 4 are given the same reference numerals.

先ず、電子部品が実装された印刷配線板等の被検査物1
をX−Yテーブル2上に載置する。主制御装置12は、
ステップS13において、一次検査で不良と判定される
部位数を示すカウント値Nを0に初期化する。次いで、
ステップS1において検査部位番号Iを1に初期化し、
ステップS2でX−Yテーブル2を移動させる。主制御
装置12からは検査部位番号1を示すデータがX−Yテ
ーブル制御装置5に与えられ、X−Yテーブルv1御装
置5は検査部位1がテレビカメラ3の踊影視野に入るよ
うにX−Yテーブル2を移動させる。ステップS3でX
−Yテーブル2の移動が終了したことが判断されると、
処理をステップS4に移行する.次のステップS4では
、テレビカメラ3からの画像信号がA/D変挽回路7に
与えられてA/D変換され、主υJilt装置12の指
示によりフレームメモリ8に記憶ざれる。
First, an object to be inspected 1 such as a printed wiring board on which electronic components are mounted
is placed on the X-Y table 2. The main controller 12 is
In step S13, a count value N indicating the number of parts determined to be defective in the primary inspection is initialized to zero. Then,
In step S1, the inspection site number I is initialized to 1,
In step S2, the X-Y table 2 is moved. The main controller 12 sends data indicating the inspection site number 1 to the X-Y table control device 5, and the X-Y table v1 control device 5 controls the - Move the Y table 2. X in step S3
- When it is determined that the movement of Y table 2 has been completed,
The process moves to step S4. In the next step S4, the image signal from the television camera 3 is applied to the A/D conversion circuit 7, A/D converted, and stored in the frame memory 8 according to instructions from the main υJilt device 12.

次いで、ステップS5において、主制御装置12は画像
処理装置9に一次検査の開始を指示する。
Next, in step S5, the main controller 12 instructs the image processing device 9 to start the primary inspection.

この指示と略同時に、主制御装置12は、ステップS6
で検査部位番号■が最終検査部位を示しているか否かを
判断し、最終検査部位を示していない場合には、次のス
テップS7で検査部位番号2(−1+1)に対応した位
置へのX−Yテーブル2の移動を指示する。従って、画
像処理装置9による一次検査とX−Yテーブル制御装置
5によるX−Yテーブル2の移動とが並行して行われる
ことになり、検査時間を短縮することができる。
Almost simultaneously with this instruction, the main controller 12 performs step S6.
It is determined whether the inspection site number ■ indicates the final inspection site, and if it does not indicate the final inspection site, in the next step S7, - Instruct the movement of the Y table 2. Therefore, the primary inspection by the image processing device 9 and the movement of the X-Y table 2 by the X-Y table control device 5 are performed in parallel, and the inspection time can be shortened.

画像処理装M9はフレームメモリ8から読み出した画像
データを画像処理し、テレビカメラ3で搬彰された検査
部位を検査して良否を判定づる。
The image processing device M9 performs image processing on the image data read out from the frame memory 8, and inspects the transported inspection site with the television camera 3 to determine whether it is good or bad.

ステップS8では、主制御装置12は待機状態にあり、
画像処理装置9から検査判定結果が主制御装置12に与
えられることにより、処理をステップS9に移行する。
In step S8, the main controller 12 is in a standby state,
When the image processing device 9 provides the inspection determination result to the main control device 12, the process moves to step S9.

次のステップS9において、主制御装匿12は、検査判
定結果が良好であることを示している場合には処理をス
テップ811に移行し、不良であることを示している場
合には次のステップ814でカウント値Nに1を加える
In the next step S9, the main control device 12 moves the process to step 811 if the inspection judgment result shows that the result is good, and if it shows that it is bad, the main control device 12 moves to step 811. In step 814, 1 is added to the count value N.

次に、ステップS15において主制御装駈12は記憶装
@13のN番目の領域に検査部位番号Iを示すデータを
不良部位番号のデータとして記憶させる。
Next, in step S15, the main control system 12 stores data indicating the inspection part number I in the Nth area of the storage device @13 as data of the defective part number.

次のステップS111:は、検査部位番1 1が最終検
査部位を示しているか否かが判断され、最終検査部位で
ない場合にはステップ312で検査部位番号Iに1が加
えられて処理をステップS3に移行する。ステップS3
では、ステップS7によるX−Yテーブル2の移動が終
了したか否かが判断される。以下、同様にして、被検査
物1の全部位が撮影されて一次検査され良否の判定が行
われる。なお、カウント(iflNは一次検査での不良
部位の数を示し、記憶装置13には不良部位番号のデー
タが格納されている。
In the next step S111, it is determined whether inspection site number 1 1 indicates the final inspection site, and if it is not the final inspection site, 1 is added to the inspection site number I at step 312, and the process is continued at step S3. to move to. Step S3
Then, it is determined whether the movement of the X-Y table 2 in step S7 has been completed. Thereafter, in the same manner, all parts of the inspection object 1 are photographed and subjected to a primary inspection to determine whether the inspection object is good or bad. Note that the count (iflN) indicates the number of defective parts in the primary inspection, and the storage device 13 stores data of defective part numbers.

ステップS11で検査部位番号Iが最終検査部位を示し
ていることが判断されると、処理を二次検査のステップ
316に移行する。二次検査では、先ず、ステップ31
Bにおいて実行カウンタのカウント値Jを1に初II化
する。実行カウンタは不良部位の二次検査を行うごとに
カウントアップする。
If it is determined in step S11 that the inspection site number I indicates the final inspection site, the process moves to step 316 for a secondary inspection. In the secondary inspection, first, step 31
At B, the count value J of the execution counter is initialized to 1. The execution counter counts up each time a secondary inspection of a defective part is performed.

次のステップS17ではカウント値Jがカウント値Nよ
りも大きいか否かが判断される。これにより、二次検査
すべき不良部位が残っているか否かが判断され、N<J
の場合、即ち、二次検査すべき不良部位が残っていない
場合にはステップ827に移行して処理を終了する。一
方、ステップ814において、Nが1以上になっていれ
ば、処理をステップ818に移行する。
In the next step S17, it is determined whether the count value J is larger than the count value N. This determines whether there are any remaining defective parts that should be inspected, and N<J
In this case, that is, if there are no defective parts left to undergo secondary inspection, the process moves to step 827 and ends the process. On the other hand, if N is equal to or greater than 1 in step 814, the process moves to step 818.

ステップ818において、主制御装置12は、一時検査
で不良とされた部位の部位番号(不良部位番号)を記憶
装置13のJ(−1)番目の領域から読み出して、この
データを二次検査の検査部位番号IのデータとしてX−
Yテーブル制御装置5に与える。これにより、X−Yテ
ーブル制御装置5は、次のステップ819で被検査物1
の検査部位Iがテレビカメラ3の泥影視野に入るように
X−Yテーブル2を移動させる。次のステップ820で
X−Yテーブル2の移動が終了したか否かが判断され、
終了した場合には、次のステップ821でテレビカメラ
3は検査部位■を撮影し画像信号をA/D変挽回路7に
与える。A/D変換回路7は画像信号をA/D変換して
フレームメモリ8に与え、フレ−ムメモリ8は画像デー
タを記憶する。
In step 818, the main controller 12 reads the part number (defective part number) of the part determined to be defective in the temporary inspection from the J(-1)th area of the storage device 13, and uses this data in the secondary inspection. X- as data of inspection site number I
It is given to the Y table control device 5. As a result, the X-Y table control device 5 controls the inspection object 1 in the next step 819.
The X-Y table 2 is moved so that the inspection site I is within the visual field of the television camera 3. In the next step 820, it is determined whether or not the movement of the X-Y table 2 has been completed.
If the inspection is completed, the television camera 3 photographs the inspection site (2) in the next step 821 and provides an image signal to the A/D conversion circuit 7. The A/D conversion circuit 7 A/D converts the image signal and supplies it to the frame memory 8, and the frame memory 8 stores the image data.

次いで、ステップ822では、主制御装Il12は画像
処理装置9に二次検査の開始を指示する。画像処理装置
9はフレームメモリ8から画像データを読み出し、画像
処理して検査し被検査物1の良否の判定を行う。なお、
二次検査は一次検査の画像処理と同一処理であってもよ
い。次のステップ$23において、主制御装置12は、
画像処理装置9から二次検査の検査判定結果が与えられ
ることにより、画像処理装置9による二次検査が終了し
たことを判断し、処理をステップS24に移行1る。ス
テップ824において、二次検査の検査判定結果が不良
を示している場合、即ち、この検査部位が一次及び二次
検査において不良と判断された場合には、主制御装置1
2はプリンタ10に検査判定結果を印刷させ、処理をス
テップ826に移行する。一方、二次検査の検査判定結
果が良好であることを示している場合には、ステップ8
25を経ることなく処理をステップ82Gに移行する。
Next, in step 822, the main controller Il12 instructs the image processing device 9 to start the secondary inspection. The image processing device 9 reads image data from the frame memory 8, processes the image, inspects it, and determines whether the inspected object 1 is good or bad. In addition,
The secondary inspection may be the same process as the image processing of the primary inspection. In the next step $23, the main controller 12:
By receiving the inspection determination result of the secondary inspection from the image processing device 9, it is determined that the secondary inspection by the image processing device 9 has been completed, and the process moves to step S24. In step 824, if the inspection determination result of the secondary inspection indicates a defect, that is, if this inspection part is determined to be defective in the primary and secondary inspections, the main controller 1
Step 2 causes the printer 10 to print the inspection and determination results, and the process moves to step 826. On the other hand, if the inspection judgment result of the secondary inspection shows that it is good, step 8
The process proceeds to step 82G without passing through step 25.

ステップ326では、カウントiflJ−1に1を加篩
して、処理をステップ817に戻す。ここで、Nが2以
上である場合、即ち、一次検査における不良部位の数が
2つ以上あった場合には、ステップ817からステップ
818に処理を移行して、上述した処理を繰り返す。つ
まり、ステップ817では一次検査で不良と判定された
全部位について二次検査が行われたか否かが判断されて
いる。N<J(−2)であれば、ステップ827で処理
を終了する。
In step 326, 1 is added to the count iflJ-1, and the process returns to step 817. Here, if N is 2 or more, that is, if there are 2 or more defective parts in the primary inspection, the process moves from step 817 to step 818, and the above-described process is repeated. That is, in step 817, it is determined whether the secondary inspection has been performed on all parts that were determined to be defective in the primary inspection. If N<J(-2), the process ends at step 827.

このように、本実施例においては、一次検査での不良部
位番号を記憶装置13に記憶させ、この不良部位番号を
検査部位番号1としてX−Yテーブル制御装置5に与え
て不良部位を再度テレビカメラで撮影することにより、
二次検査を可能としている。従って、画像処理装四〇か
らの検査判定結果の出力に先行して撮影視点の移動を行
うことにより検査時問を短縮させている場合であっても
、二次検査が可能であり、高い判定精度を得ることがで
きる。
As described above, in this embodiment, the defective part number obtained in the primary inspection is stored in the storage device 13, and this defective part number is given to the X-Y table control device 5 as the inspection part number 1, so that the defective part can be checked again on the TV. By taking pictures with a camera,
A secondary inspection is possible. Therefore, even if the inspection time is shortened by moving the imaging viewpoint prior to the output of the inspection judgment result from the image processing device 40, a secondary inspection is possible and a high judgment result can be achieved. Accuracy can be obtained.

[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、検査時間を短縮す
ることができ、且つ二次検査を可能とすることにより、
高い判定精度を得ることができるという効果を有する。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention, the inspection time can be shortened and secondary inspection can be performed.
This has the effect that high determination accuracy can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係る自動検査装置の一実施例を示すブ
ロック図、第2図は実施例の動作を説明寸るためのフロ
ーチャート、第3図は従来の自動検査装置を示すブロッ
ク図、第4図は従来例の動作を説明するためのフローチ
ャートである。 1・・・被検査物、2・・・X−Yテーブル、3・・・
テレビカメラ、5・・・X−Yテーブル制御装霞,7・
・・A/D変換回路、8・・・フレームメモリ、9・・
・画像処理装置、12・・・主制御装置、13・−・記
憶装置。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of an automatic inspection device according to the present invention, FIG. 2 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment, and FIG. 3 is a block diagram showing a conventional automatic inspection device. FIG. 4 is a flowchart for explaining the operation of the conventional example. 1...Object to be inspected, 2...X-Y table, 3...
TV camera, 5...X-Y table control system, 7.
...A/D conversion circuit, 8...Frame memory, 9...
- Image processing device, 12... Main control device, 13... Storage device.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被検査物が取付けられるテーブルと、 前記被検査物の各部位を撮影し画像信号を出力するテレ
ビカメラと、 前記被検査物の各部位がテレビカメラの撮影視野に入る
ように前記テーブル及びテレビカメラの少なくとも一方
を移動させて被検査物の全部位を撮影可能とする撮影視
点移動手段と、 前記画像信号から得られる画像データを画像処理するこ
とにより、被検査物の各部位の良否を検査して判定する
画像処理装置と、 前記画像処理装置により不良と判定された部位を示すデ
ータを記憶する記憶装置と、 前記撮影視点移動手段及び画像処理装置を制御して前記
撮影視点の移動と検査物の各部位の良否の検査判定との
並行動作を可能とすると共に、前記記憶装置に格納され
たデータにより不良と判定された部位の再検査を可能と
する主制御装置とを具備したことを特徴とする自動検査
装置。
[Scope of Claims] A table on which an object to be inspected is mounted; a television camera that photographs each part of the object to be inspected and outputs an image signal; photographing viewpoint moving means for moving at least one of the table and the television camera to photograph all parts of the object to be inspected; an image processing device that inspects and determines the quality of a part; a storage device that stores data indicating a part determined to be defective by the image processing device; and a storage device that controls the photographing viewpoint moving means and the image processing device to perform the photographing. a main control device that enables parallel operations of movement of a viewpoint and inspection determination of pass/fail of each part of the object to be inspected, and also enables re-inspection of parts determined to be defective based on data stored in the storage device; An automatic inspection device characterized by comprising:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07325046A (en) * 1994-05-31 1995-12-12 Nec Corp Appearance inspection method and appearance inspection apparatus
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