JPH02226064A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
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- JPH02226064A JPH02226064A JP1045352A JP4535289A JPH02226064A JP H02226064 A JPH02226064 A JP H02226064A JP 1045352 A JP1045352 A JP 1045352A JP 4535289 A JP4535289 A JP 4535289A JP H02226064 A JPH02226064 A JP H02226064A
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- Japan
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- acoustic
- acoustic lens
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- 230000009022 nonlinear effect Effects 0.000 claims description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/024—Mixtures
- G01N2291/02491—Materials with nonlinear acoustic properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/0289—Internal structure, e.g. defects, grain size, texture
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は物体の音響的非線形作用を利用して試料表面
やその内部の特性を検出する超音波顕微鏡に関するもの
である。
やその内部の特性を検出する超音波顕微鏡に関するもの
である。
[従来の技術]
第4図は従来の超音波顕微鏡の一例を示したものであり
、図中1は音波を集束せしめる音響レンズであり、該音
響レンズ1の上端には超音波変換器2が取付けられてお
り、この超音波変換器2には入出力信号切替器8を介し
て電気信号入力端子3と電気信号出力端子7とが接続さ
れている。
、図中1は音波を集束せしめる音響レンズであり、該音
響レンズ1の上端には超音波変換器2が取付けられてお
り、この超音波変換器2には入出力信号切替器8を介し
て電気信号入力端子3と電気信号出力端子7とが接続さ
れている。
そして、前記音響レンズlの直下には試料4を位置せし
めるようになっており、音響レンズ1の下部と試料4の
上面との間には水5が介在しており、音響レンズlによ
り集束せしめられた超音波は水5の中を伝播して試料4
に印加される様になっている。なお、同図中の点線は、
超音波信号か集束する状況を模式的に示したものである
。
めるようになっており、音響レンズ1の下部と試料4の
上面との間には水5が介在しており、音響レンズlによ
り集束せしめられた超音波は水5の中を伝播して試料4
に印加される様になっている。なお、同図中の点線は、
超音波信号か集束する状況を模式的に示したものである
。
この様に音響レンズlによって集束せしめられた信号は
試料4の表面あるいは内部の音響インピーダンスの変化
に応じた反射波を生じ、この反射波は入射波とは逆の経
路をたどり、機械的振動として超音波変換器2を励振し
、電気振動に変換され、出力側に切換えられた入出力信
号変換器8を通り、電気信号出力端子7へ出力信号とな
って現われる。従って、入射波(ACパルス)のくり返
し周波数に同期させて試料を走査する様にすれば、走査
面の音響インピーダンスの変化を可視できることとなる
。
試料4の表面あるいは内部の音響インピーダンスの変化
に応じた反射波を生じ、この反射波は入射波とは逆の経
路をたどり、機械的振動として超音波変換器2を励振し
、電気振動に変換され、出力側に切換えられた入出力信
号変換器8を通り、電気信号出力端子7へ出力信号とな
って現われる。従って、入射波(ACパルス)のくり返
し周波数に同期させて試料を走査する様にすれば、走査
面の音響インピーダンスの変化を可視できることとなる
。
この際、試料4の内部や表面にクラックかあれば、その
クラックの部分の音響インピーダンスが異る為、それに
応じた反射波が生じ、これを電気信号に変換することに
より物体内部や表面の状況を知ることかできるのである
。
クラックの部分の音響インピーダンスが異る為、それに
応じた反射波が生じ、これを電気信号に変換することに
より物体内部や表面の状況を知ることかできるのである
。
[発明か解決しようとする課題]
従来の超音波顕微鏡は試料の音響インピーダンスの変化
を可視化するものであり、信号周波数としては、通常数
メガHz乃至数ギガHzのものを用いているが、この様
に高い周波数の信号は音響レンズ、水、試料等の物体内
での減衰が激しく、S/N比(信号対雑音比)か低いと
いう欠点かある。
を可視化するものであり、信号周波数としては、通常数
メガHz乃至数ギガHzのものを用いているが、この様
に高い周波数の信号は音響レンズ、水、試料等の物体内
での減衰が激しく、S/N比(信号対雑音比)か低いと
いう欠点かある。
又、分解能を上げる為、周波数を高くすると、往復の経
路で信号が減衰し、S/N比が更に悪くなるという問題
もる。
路で信号が減衰し、S/N比が更に悪くなるという問題
もる。
この発明は試料の非線形的性質(非線形定数など)の差
異を可視化させるという従来の超音波顕微鏡とは異なる
原理に基づいて従来の超音波顕微鏡の欠点を除去せんと
するものである。
異を可視化させるという従来の超音波顕微鏡とは異なる
原理に基づいて従来の超音波顕微鏡の欠点を除去せんと
するものである。
[課題を解決する為の手段コ
この発明は、超音波変換器によって発生せしめられた同
じ帯域に属する周波数の異る2つの超音波信号を音響レ
ンズを介して試料に照射し、試料の持つ音響的非線形作
用によって生ずる差周波信号を受波器で受波することに
より、物体表面及び内部の特性を検出し得る様にするこ
とにより上記課題を解決せんとするものである。
じ帯域に属する周波数の異る2つの超音波信号を音響レ
ンズを介して試料に照射し、試料の持つ音響的非線形作
用によって生ずる差周波信号を受波器で受波することに
より、物体表面及び内部の特性を検出し得る様にするこ
とにより上記課題を解決せんとするものである。
[作 用]
音響レンズにより集束せしめた同じ帯域に属する周波数
の異る2つの超音波信号(1次波) rl。
の異る2つの超音波信号(1次波) rl。
f2を試料である物体に印加すると、その試料の音響的
非線形作用により、2次波として2つの周波数の差周波
Δfが生ずる。この差周波Δfは従来の超音波顕微鏡に
おける音響インピーダンスの差ではなく、非線形定数の
差である。
非線形作用により、2次波として2つの周波数の差周波
Δfが生ずる。この差周波Δfは従来の超音波顕微鏡に
おける音響インピーダンスの差ではなく、非線形定数の
差である。
この差周波Δfは受波器で受波され、電気信号に変換せ
しめられ、この電気信号により試料表面や内部の状況が
検知される。
しめられ、この電気信号により試料表面や内部の状況が
検知される。
この際、分解能が1次波の波長によることは従来の超音
波顕微鏡と同じであるか、2次波発生のメカニズムにお
いて2次波の大きさは1次波の音圧の2乗に比例するの
で同一波長でも分解能の向上が期待できる。
波顕微鏡と同じであるか、2次波発生のメカニズムにお
いて2次波の大きさは1次波の音圧の2乗に比例するの
で同一波長でも分解能の向上が期待できる。
更に、試料の音響的非線形作用によって生ずる差周波Δ
fは入力信号f、、 f、に比して充分低い周波数とな
るので、復路において試料、音響レンズ、物体と音響レ
ンズとの間に介在している水などの内部における減衰を
防ぐことができる。
fは入力信号f、、 f、に比して充分低い周波数とな
るので、復路において試料、音響レンズ、物体と音響レ
ンズとの間に介在している水などの内部における減衰を
防ぐことができる。
又、検出される信号は従来の超音波a微鏡に比して2桁
程度低レベルであるが、復路において信号は低周波に変
換されるので受信側で大きな増巾が可能であり、極めて
良好なS/N比を有する。
程度低レベルであるが、復路において信号は低周波に変
換されるので受信側で大きな増巾が可能であり、極めて
良好なS/N比を有する。
更に、1次波であるfI、 f2のいずれかを可変とす
るならば2差周波Δfも変化する為、Δfの変化に対す
る試料の非線形特性の応答をとることができ、非線形音
響スペクトル分析も行うことができる。
るならば2差周波Δfも変化する為、Δfの変化に対す
る試料の非線形特性の応答をとることができ、非線形音
響スペクトル分析も行うことができる。
[実施例]
第1図はこの発明に係る超音波顕微鏡の第1実施例の正
面図である0図中1は音波を集束せしめ°る音響レンズ
であり、該音響レンズ1の上端には超音波変換器2か取
付けられており、この超音波変換器2には同じ帯域に属
し、周波数の異る2つの電気信号を入力する電気信号入
力端子3が取付けられている。そして、前記音響レンズ
1の直下には試料4か位置せしめられる様になっており
、音響レンズ1の下部と試料4の間には水5が介在せし
められており、音響レンズlにより集束せしめられた超
音波信号は水5の中を伝播して試料4に印加せしめられ
る様になっている。又、音響レンズ1と試料4との間に
介在している水5中には反射波を受ける例えば円環状を
しだ受波器6.6が位置せしめられており、該受波器6
には信号出力端子7が接続せしめられている。
面図である0図中1は音波を集束せしめ°る音響レンズ
であり、該音響レンズ1の上端には超音波変換器2か取
付けられており、この超音波変換器2には同じ帯域に属
し、周波数の異る2つの電気信号を入力する電気信号入
力端子3が取付けられている。そして、前記音響レンズ
1の直下には試料4か位置せしめられる様になっており
、音響レンズ1の下部と試料4の間には水5が介在せし
められており、音響レンズlにより集束せしめられた超
音波信号は水5の中を伝播して試料4に印加せしめられ
る様になっている。又、音響レンズ1と試料4との間に
介在している水5中には反射波を受ける例えば円環状を
しだ受波器6.6が位置せしめられており、該受波器6
には信号出力端子7が接続せしめられている。
なお、この実施例においては、受波器6を水5の中に位
置させたが、試料4の裏面側に設けても良い。
置させたが、試料4の裏面側に設けても良い。
又、特に受波器6を設けず、超音波変換器2に受波器を
兼用させ、これて反射波を受波する様にしても良い。
兼用させ、これて反射波を受波する様にしても良い。
次に、この第1実施例の動作を説明すると1図示されて
いない1台あるいは2台の信号発生器から同じ帯域に属
し1周波数の異る2種の信号(1次波) fl、 f2
をバースト波あるいは連続波として電気信号入力端子3
に加え、超音波変換器2にこれを印加する。超音波変換
器2では信号周波数fl、 f*の重ね合せに応じた機
械振動となり、音響レンズエで集束され、水5内を通っ
て、試料4に印加される。
いない1台あるいは2台の信号発生器から同じ帯域に属
し1周波数の異る2種の信号(1次波) fl、 f2
をバースト波あるいは連続波として電気信号入力端子3
に加え、超音波変換器2にこれを印加する。超音波変換
器2では信号周波数fl、 f*の重ね合せに応じた機
械振動となり、音響レンズエで集束され、水5内を通っ
て、試料4に印加される。
ここで、試料4における音響的非線形作用により、2つ
の超音波信号の周波数の差周波Δfが2次波として生ず
る。 f2−f、=Δf、今ここで、f2を1.01ギ
ガHz、 f、を0.99ギガHzとすると、差周波Δ
fは0.02ギガHzとなる。この様にして生じた差周
波Δfの信号は、水5中に設けられている受波器6で受
波され、信号出力端子7に電気信号として現われ、この
電気信号により試料4の表面あるいは内部の状況を検知
する。
の超音波信号の周波数の差周波Δfが2次波として生ず
る。 f2−f、=Δf、今ここで、f2を1.01ギ
ガHz、 f、を0.99ギガHzとすると、差周波Δ
fは0.02ギガHzとなる。この様にして生じた差周
波Δfの信号は、水5中に設けられている受波器6で受
波され、信号出力端子7に電気信号として現われ、この
電気信号により試料4の表面あるいは内部の状況を検知
する。
なお、受波器6の共振周波数をΔfに合せることにより
、S/N比を向上させることも可能である。
、S/N比を向上させることも可能である。
上記第1実施例においては、1組の超音波変換器と音響
レンズを用い試料に異る周波数の信号を印加する様にし
たが、2組の超音波変換器と音響レンズを用い、それぞ
れf、、 f2の信号を加えることも可能である。
レンズを用い試料に異る周波数の信号を印加する様にし
たが、2組の超音波変換器と音響レンズを用い、それぞ
れf、、 f2の信号を加えることも可能である。
即ち、第2図に示す第2実施例においては、試料4の表
裏に二対の超音波変換器2と音響レンズ1とを対向させ
て設けており、又、第3図に示す第3実施例においては
、試料4の表面側に一対の超音波変換器2と音響レンズ
1とをそれぞれの超音波信号が試料4の一点に集中する
様に傾斜させて設けられており、第1実施例と同様な動
作原理を有している。
裏に二対の超音波変換器2と音響レンズ1とを対向させ
て設けており、又、第3図に示す第3実施例においては
、試料4の表面側に一対の超音波変換器2と音響レンズ
1とをそれぞれの超音波信号が試料4の一点に集中する
様に傾斜させて設けられており、第1実施例と同様な動
作原理を有している。
[発明の効果コ
この発明に係る超音波顕微鏡は上記の通りの構成を有し
、同じ帯域に属する異る周波数のfl+ f2の超音波
信号を用いており、試料である物体の音響的非線形作用
による差周波数Δfにより試料の従来とは異る音響的性
質、即ち非線形定数の変化を可視化することができる。
、同じ帯域に属する異る周波数のfl+ f2の超音波
信号を用いており、試料である物体の音響的非線形作用
による差周波数Δfにより試料の従来とは異る音響的性
質、即ち非線形定数の変化を可視化することができる。
ざらにΔfは入力信号f、、 f、に比して充分に低い
周波数となる為、受波側で大きな増幅度の確保が容易で
あると共に試料である物体、水、音響レンズ等の内部に
おける減衰を防ぐことかでき、S/N比が高く高解像度
で非線形音響スペクトル分析が可能であるなど情報量の
多い超音波顕微鏡を実現できる効果を有している。
周波数となる為、受波側で大きな増幅度の確保が容易で
あると共に試料である物体、水、音響レンズ等の内部に
おける減衰を防ぐことかでき、S/N比が高く高解像度
で非線形音響スペクトル分析が可能であるなど情報量の
多い超音波顕微鏡を実現できる効果を有している。
第1図はこの発明に係る超音波顕微鏡の第1実施例の正
面図、第2図は第2実施例の正面図、第3図は第3実施
例の正面図である。又、第4図は従来例の正面図である
。 1・・・音響レンズ、2・・・超音波変換器、3・・・
電気信号入力端子、4・・・試料、5・・・水、6・・
・受波器。 7・・・電気信号出力端子、8・・・入出力信号切換器
。 第2図
面図、第2図は第2実施例の正面図、第3図は第3実施
例の正面図である。又、第4図は従来例の正面図である
。 1・・・音響レンズ、2・・・超音波変換器、3・・・
電気信号入力端子、4・・・試料、5・・・水、6・・
・受波器。 7・・・電気信号出力端子、8・・・入出力信号切換器
。 第2図
Claims (1)
- 超音波変換器によって発生せしめられた同じ帯域に属す
る周波数の異る2つの超音波信号を音響レンズを介して
試料に照射し、試料の持つ音響的非線形作用によって生
ずる差周波信号を受波器で受波することにより、試料表
面及び内部の特性を検出し得る様にしたことを特徴とす
る超音波顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1045352A JPH0638076B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 超音波顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1045352A JPH0638076B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02226064A true JPH02226064A (ja) | 1990-09-07 |
JPH0638076B2 JPH0638076B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=12716885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1045352A Expired - Fee Related JPH0638076B2 (ja) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0638076B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007155730A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | General Electric Co <Ge> | 超音波検査システム及び方法 |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP1045352A patent/JPH0638076B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007155730A (ja) * | 2005-12-01 | 2007-06-21 | General Electric Co <Ge> | 超音波検査システム及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0638076B2 (ja) | 1994-05-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |