JPH02226046A - 粒度分布測定装置 - Google Patents
粒度分布測定装置Info
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- JPH02226046A JPH02226046A JP1046737A JP4673789A JPH02226046A JP H02226046 A JPH02226046 A JP H02226046A JP 1046737 A JP1046737 A JP 1046737A JP 4673789 A JP4673789 A JP 4673789A JP H02226046 A JPH02226046 A JP H02226046A
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は粒子による光の散乱現象を利用した粒度分布測
定装置に関する。
定装置に関する。
〈従来の技術〉
光の散乱現象ないしは回折現象を利用した粒度分布測定
装置として、従来、レーザ回折/散乱式粒度分布測定装
置が実用化されている。
装置として、従来、レーザ回折/散乱式粒度分布測定装
置が実用化されている。
このレーザ回折/散乱式粒度分布測定装置では、レーザ
光源からの一定波長のレーザ光を分散飛翔状態の粒子群
に照射し、粒子による回折光ないしは散乱光の強度分布
、つまり各回折/散乱角度と光強度の関係から、フラウ
ンホープ1回折理論ないしはミー散乱理論等に基づいて
粒度分布を求める。
光源からの一定波長のレーザ光を分散飛翔状態の粒子群
に照射し、粒子による回折光ないしは散乱光の強度分布
、つまり各回折/散乱角度と光強度の関係から、フラウ
ンホープ1回折理論ないしはミー散乱理論等に基づいて
粒度分布を求める。
〈発明が解決しようとする課題〉
以上のようなレーザ回折/散乱式粒度分布測定装置では
、まず、レーザ光源を使用すること、および、測光セン
サとして、光の強度分布を測定するため例えばリングデ
テクタと称される特殊なものを用いる必要があることか
ら、高価なものとなる。
、まず、レーザ光源を使用すること、および、測光セン
サとして、光の強度分布を測定するため例えばリングデ
テクタと称される特殊なものを用いる必要があることか
ら、高価なものとなる。
また、照射光の波長を短くすることによって測定可能な
粒子径下限を小さくすることができるものの、短波長の
レーザ光源は極めて高価となるため、光源としては一般
にHe−Neガスレーザが使用され、この場合の波長6
32.8nmでは、測定粒子径下限は0.1μm程度と
なり、それ以下の粒度の測定は不可能である。
粒子径下限を小さくすることができるものの、短波長の
レーザ光源は極めて高価となるため、光源としては一般
にHe−Neガスレーザが使用され、この場合の波長6
32.8nmでは、測定粒子径下限は0.1μm程度と
なり、それ以下の粒度の測定は不可能である。
なお、レーザ回折/を乱式の粒度分布測定装置において
、従来、通常のレーザ光源に加えて、ハロゲンランプ、
波長フィルタおよび偏光フィルタからなる光源を別途設
け、この光源からの光の散乱光強度を測定することによ
って測定粒子径の下限をより小さくしたものがある。こ
の従来装置では、ハロゲンランプからの光を通過させる
波長フィルタを交換することで照射光の波長を3種類程
度に変化させるとともに、各波長の光をそれぞれ偏光方
向を90″変化させ、合計6回程度の測定を行う。そし
て、各波長における基準波面および90’偏光時での散
乱光強度の差(あるいは比)と粒子径の関係を用いて、
粒度分布を算出する。ところが、このような波長フィル
タを用いて照射光の波長を変化させる方式では、波長純
度(半径幅)が悪いことと、多数の波長を使用できない
等の機能上の問題があるはかりではなく、通常のレーザ
光学系に別途この光学系を付加するので、高価であると
いう欠点がある。
、従来、通常のレーザ光源に加えて、ハロゲンランプ、
波長フィルタおよび偏光フィルタからなる光源を別途設
け、この光源からの光の散乱光強度を測定することによ
って測定粒子径の下限をより小さくしたものがある。こ
の従来装置では、ハロゲンランプからの光を通過させる
波長フィルタを交換することで照射光の波長を3種類程
度に変化させるとともに、各波長の光をそれぞれ偏光方
向を90″変化させ、合計6回程度の測定を行う。そし
て、各波長における基準波面および90’偏光時での散
乱光強度の差(あるいは比)と粒子径の関係を用いて、
粒度分布を算出する。ところが、このような波長フィル
タを用いて照射光の波長を変化させる方式では、波長純
度(半径幅)が悪いことと、多数の波長を使用できない
等の機能上の問題があるはかりではなく、通常のレーザ
光学系に別途この光学系を付加するので、高価であると
いう欠点がある。
また、レーザ回折/敗乱式以外の原理を用いて比較的微
粒子域の粒度分布を測定する方式として、粒子のブラウ
ン運動に基づくスポット光のゆらぎを測定する動的光散
乱法や、偏平なカラム内で拡散しつつ流されている粒子
に力を作用させ、粒子の流速度の変化からその粒度を求
めるFFF法等があるが、いずれも高価であるばかりで
なく、動的光散乱法では試料濃度や分布範囲に制約があ
ること、また、FFF法では測定時間が長くなる等の欠
点がある。
粒子域の粒度分布を測定する方式として、粒子のブラウ
ン運動に基づくスポット光のゆらぎを測定する動的光散
乱法や、偏平なカラム内で拡散しつつ流されている粒子
に力を作用させ、粒子の流速度の変化からその粒度を求
めるFFF法等があるが、いずれも高価であるばかりで
なく、動的光散乱法では試料濃度や分布範囲に制約があ
ること、また、FFF法では測定時間が長くなる等の欠
点がある。
以上のように、従来、サブミクロン領域以下の粒度分布
を精度良く測定可能で、かつ、安価な装置はなく、本発
明の目的はこれを実現することにある。
を精度良く測定可能で、かつ、安価な装置はなく、本発
明の目的はこれを実現することにある。
〈課題を解決するための手段〉
上記の目的を達成するための構成を、実施例に対応する
第1図を参照しつつ説明すると、本発明は、媒体に分散
させた試料粒子を収容する測定セル1と、その測定セル
1に指令に基づく任意波長の単色光を照射するモノクロ
メータ2と、その照射光15の測定セル1内の試料粒子
による散乱光のうち、散乱角0°以外の一定散乱角の光
を入射する測光センサ(例えばフォトマルチプライヤ)
3と、モノクロメータ2の出力波長を順次変化させつつ
測光センサ3の出力を採り込み、各波長時における測光
センサ3の出力値から試料の粒度分布を算出する演算制
御部(マイクロコンピュータ)4を備えたことによって
、特徴づけられる。
第1図を参照しつつ説明すると、本発明は、媒体に分散
させた試料粒子を収容する測定セル1と、その測定セル
1に指令に基づく任意波長の単色光を照射するモノクロ
メータ2と、その照射光15の測定セル1内の試料粒子
による散乱光のうち、散乱角0°以外の一定散乱角の光
を入射する測光センサ(例えばフォトマルチプライヤ)
3と、モノクロメータ2の出力波長を順次変化させつつ
測光センサ3の出力を採り込み、各波長時における測光
センサ3の出力値から試料の粒度分布を算出する演算制
御部(マイクロコンピュータ)4を備えたことによって
、特徴づけられる。
く作用〉
粒子による光の散乱現象は、一定強度の光を照射したと
き、同じ屈折率を持つ粒子について、照射光の波長が一
定であれば粒子径によってその散乱パターン(各散乱角
での光強度)が決まる。これを利用したのが従来のレー
ザ回折/敗乱弐粒度分布測定装置である。
き、同じ屈折率を持つ粒子について、照射光の波長が一
定であれば粒子径によってその散乱パターン(各散乱角
での光強度)が決まる。これを利用したのが従来のレー
ザ回折/敗乱弐粒度分布測定装置である。
一方、照射光の波長を変えると同じ粒子径でもその散乱
パターンは変化する。つまり、ある散乱角に着目すると
、その角度における散乱光強度は、同じ粒子径でも照射
光の波長を変化させることによって変化する。そして、
その一定角度での散乱光強度の、照射光波長の変化に伴
う変化の仕方は、粒子径によって決まる。本発明はこの
点を利用したものである。
パターンは変化する。つまり、ある散乱角に着目すると
、その角度における散乱光強度は、同じ粒子径でも照射
光の波長を変化させることによって変化する。そして、
その一定角度での散乱光強度の、照射光波長の変化に伴
う変化の仕方は、粒子径によって決まる。本発明はこの
点を利用したものである。
すなわち、モノクロメータ2によって照射光の波長を広
い波長範囲に亘って変化させつつ、測光センサ3により
一定角度の散乱光強度を多くの波長において測定するこ
とで、粒度分布の算出を可能としている。
い波長範囲に亘って変化させつつ、測光センサ3により
一定角度の散乱光強度を多くの波長において測定するこ
とで、粒度分布の算出を可能としている。
〈実施例〉
第1図は本発明実施例の構成図で、第2図はその測定セ
ル1に試料懸濁液Sを供給するためのサンプリング装置
の構成図である。
ル1に試料懸濁液Sを供給するためのサンプリング装置
の構成図である。
ガラス等の透明材料で形成された測定セル1は、液入口
1aと液出口1bを備えたいわゆるフローセルであって
、第2図に示すサンプリング装置によってその内部に試
料懸濁液Sが流される。すなわち、試料粒子を媒液中に
分散させた試料懸濁液Sは、試料槽21内において超音
波槽22と攪拌器23によって粒子が均一に分散された
状態で、送液ポンプ24によりこの試料槽21と測定セ
ル1間を循環される。
1aと液出口1bを備えたいわゆるフローセルであって
、第2図に示すサンプリング装置によってその内部に試
料懸濁液Sが流される。すなわち、試料粒子を媒液中に
分散させた試料懸濁液Sは、試料槽21内において超音
波槽22と攪拌器23によって粒子が均一に分散された
状態で、送液ポンプ24によりこの試料槽21と測定セ
ル1間を循環される。
この測定セル1に、モノクロメータ2がらの単色出力光
が照射される。モノクロメータ2は、分光光度計に多用
される公知のもので、例えば光源ランプと、その光源ラ
ンプからの光を入射する回動自在のグレーティング、そ
のグレーティングを回動させるモータ、および入口、出
口スリット等を備え、指令信号に基づいてその出力光波
長を広い波長範囲に亘って変化させることができる。
が照射される。モノクロメータ2は、分光光度計に多用
される公知のもので、例えば光源ランプと、その光源ラ
ンプからの光を入射する回動自在のグレーティング、そ
のグレーティングを回動させるモータ、および入口、出
口スリット等を備え、指令信号に基づいてその出力光波
長を広い波長範囲に亘って変化させることができる。
モノクロメータ2からの照射光りの光軸に対して90″
の位置にスリット4が設けられており、測定セル1内の
試料粒子による散乱光のうち、90’方向の成分のみが
このスリット4を通過するよう構成されている。
の位置にスリット4が設けられており、測定セル1内の
試料粒子による散乱光のうち、90’方向の成分のみが
このスリット4を通過するよう構成されている。
そして、このスリット4を通過した90@散乱光は、3
個のプリズム5.6および7を介してフォトマルチプラ
イヤ3の受光面に導かれる。
個のプリズム5.6および7を介してフォトマルチプラ
イヤ3の受光面に導かれる。
また、モノクロメータ2からの照射光りの、測定セル1
を透過した光はビームストッパ8によって遮蔽され、フ
ォトマルチプライヤ3に入射しないように配慮されてい
る。
を透過した光はビームストッパ8によって遮蔽され、フ
ォトマルチプライヤ3に入射しないように配慮されてい
る。
以上の本発明実施例の測定光学系で注目すべき点は、モ
ノクロメータ2、測定セル1およびフォトマルチプライ
ヤ3が一直線上に配列されている点であり、この構成は
通常の分光光度計の構成と同一である。すなわち、この
実施例は、分光光度計の測光系をそのまま利用し、測定
セル1をフローセルタイプに変更したことと、90’散
乱光のみをフォトマルチプライヤ3に導くための光学系
を付加するだけで、比較的安価に製造することができる
。
ノクロメータ2、測定セル1およびフォトマルチプライ
ヤ3が一直線上に配列されている点であり、この構成は
通常の分光光度計の構成と同一である。すなわち、この
実施例は、分光光度計の測光系をそのまま利用し、測定
セル1をフローセルタイプに変更したことと、90’散
乱光のみをフォトマルチプライヤ3に導くための光学系
を付加するだけで、比較的安価に製造することができる
。
さて、フォトマルチプライヤ3の出力は増幅器10、A
−D変換器11を介してマイクロコンピュータ12に採
り込まれる。また、前記したモノクロメータ2への指令
信号も、このマイクロコンピュータ12からインターフ
ェース13を介して供給される。
−D変換器11を介してマイクロコンピュータ12に採
り込まれる。また、前記したモノクロメータ2への指令
信号も、このマイクロコンピュータ12からインターフ
ェース13を介して供給される。
第3図はマイクロコンピュータ12のROMに書き込ま
れたプログラムの内容を示すフローチャートで、この図
を参照しつつ以下に作用を述べる。
れたプログラムの内容を示すフローチャートで、この図
を参照しつつ以下に作用を述べる。
測定セル1内に懸濁液Sを流した状態で、まず、照射光
りの波長をあらかじめ設定された第1の波長λ、にセッ
トし、その状態でのフォトマルチプライヤ3からの測光
データを採取し、そのデータをIA+としてRAM内に
格納する。
りの波長をあらかじめ設定された第1の波長λ、にセッ
トし、その状態でのフォトマルチプライヤ3からの測光
データを採取し、そのデータをIA+としてRAM内に
格納する。
次に、照射光りの波長を変化させて同じくあらかじめ設
定された第2の波長λ2にして、同様にフォトマルチプ
ライヤ3からの測光データを採取し、そのデータをTJ
vとしてRAM内に格納する。
定された第2の波長λ2にして、同様にフォトマルチプ
ライヤ3からの測光データを採取し、そのデータをTJ
vとしてRAM内に格納する。
この繰り返しにより、波長をλ1〜らまで変化させ、各
波長時における測光データI□〜■A、、をRAM内に
格納した後、このデータ1人、〜Iいを用いて試料、の
粒度分布を算出する。
波長時における測光データI□〜■A、、をRAM内に
格納した後、このデータ1人、〜Iいを用いて試料、の
粒度分布を算出する。
この算出法を以下に説明する。
一定散乱角での各波長λ1における散乱光強度1、u(
i = 1・−n)と粒子径DJ(j = l −m)
の関係は、WJを試料粒子中の粒子径D4の粒子の重量
%、aijを、粒子径Djの単位型量分の粒子が波長λ
、の光を照射されたときの上述の一定角度での散乱光強
度とすると、 で表される。
i = 1・−n)と粒子径DJ(j = l −m)
の関係は、WJを試料粒子中の粒子径D4の粒子の重量
%、aijを、粒子径Djの単位型量分の粒子が波長λ
、の光を照射されたときの上述の一定角度での散乱光強
度とすると、 で表される。
この(1)式は、通常のレーザ回折/散乱式粒度分布測
定装置の、各散乱各θ、における散乱光強度? +(i
= 1−−−n)と粒子径Di(j = 1−−−m
)の関係式、 と式の形は同じであり、(2)式におけるb fjが粒
子径Djの単位at分の粒子が散乱角θ、方向に散乱さ
れる光の強度であるのに対し、この係数b ijが前記
したaijに変わるだけである。
定装置の、各散乱各θ、における散乱光強度? +(i
= 1−−−n)と粒子径Di(j = 1−−−m
)の関係式、 と式の形は同じであり、(2)式におけるb fjが粒
子径Djの単位at分の粒子が散乱角θ、方向に散乱さ
れる光の強度であるのに対し、この係数b ijが前記
したaijに変わるだけである。
従って、従来の散乱光強度分布に基づく粒度分布演算法
と同じ算法により、係数b ijをaijに変更するこ
とで、データIλ1・・・Iハを粒度分布に換算できる
。
と同じ算法により、係数b ijをaijに変更するこ
とで、データIλ1・・・Iハを粒度分布に換算できる
。
以上のような通常の分光光度計を利用した実施例を用い
て、90’散乱光のみを測定した場合、その粒度分布の
測定範囲は約1μm〜約0.02μmとなる。
て、90’散乱光のみを測定した場合、その粒度分布の
測定範囲は約1μm〜約0.02μmとなる。
この測定範囲の上限は、より小さい角度の散乱光をも測
定するようにすると、1077m以上にまで拡張できる
。第4図は小角度の散乱光を測光する場合の光学系の要
部を示す図で、新宅の角度の散乱光をスリット41を介
して取り出し、2個のミラー42.43でフォトマルチ
プライヤ3に導いている9この光学系と第1図の光学系
とを選択できるようにすれば、あるいは測定散乱角を任
意に変更できるようにすれば、全体として10μm以上
〜0.02μmの粒径範囲の測定が可能となる。
定するようにすると、1077m以上にまで拡張できる
。第4図は小角度の散乱光を測光する場合の光学系の要
部を示す図で、新宅の角度の散乱光をスリット41を介
して取り出し、2個のミラー42.43でフォトマルチ
プライヤ3に導いている9この光学系と第1図の光学系
とを選択できるようにすれば、あるいは測定散乱角を任
意に変更できるようにすれば、全体として10μm以上
〜0.02μmの粒径範囲の測定が可能となる。
なお、以上の各側において、モノクロメータ2からの照
射光りの波長を変えると、一般にはその強度モ変化する
が、シングルビームのモノクロメータを使用する場合に
は、実際の測定に先立ち、測定セル1内に媒液のみを流
した状態で各波長λ。
射光りの波長を変えると、一般にはその強度モ変化する
が、シングルビームのモノクロメータを使用する場合に
は、実際の測定に先立ち、測定セル1内に媒液のみを流
した状態で各波長λ。
での測光データ1゜A、をサンプリングしておき、これ
を参照光データとして実際の測光データIAiに補正を
加えればよい。
を参照光データとして実際の測光データIAiに補正を
加えればよい。
また、ダブルビームのモノクロメータを使用するときに
は、分光光度計と同様に参照光測光用のセルを設けてそ
の中に媒液のみを流しておき、実際の測光データtAt
と同時に参照光の測光データIaxiを採取して補正を
加えればよい。
は、分光光度計と同様に参照光測光用のセルを設けてそ
の中に媒液のみを流しておき、実際の測光データtAt
と同時に参照光の測光データIaxiを採取して補正を
加えればよい。
更に、測定セル1をフローセルタイプにしたのは、試料
粒子の媒液中での沈降速度が速い場合に、波長のスキャ
ン中に照射ビーム内に存在する粒子の粒度分布が変化す
るのを防止するためであって、粒子の沈降速度が遅い場
合には通常のバッチセルタイプを使用することができる
。
粒子の媒液中での沈降速度が速い場合に、波長のスキャ
ン中に照射ビーム内に存在する粒子の粒度分布が変化す
るのを防止するためであって、粒子の沈降速度が遅い場
合には通常のバッチセルタイプを使用することができる
。
また更に、第1図の構成においてプリズム5゜6.7を
それぞれミラーに代えてもよく、また、本発明の測光系
に分光光度計の測光系を利用しない場合には、フォトマ
ルチプライヤ3の配設位置を例えば第1図の例において
スリット4の直後にすればよく、この点は何ら限定され
るものではない。
それぞれミラーに代えてもよく、また、本発明の測光系
に分光光度計の測光系を利用しない場合には、フォトマ
ルチプライヤ3の配設位置を例えば第1図の例において
スリット4の直後にすればよく、この点は何ら限定され
るものではない。
〈発明の効果〉
以上説明したように、本発明によれば、分散状態の試料
粒子に照射する単色光の波長を、モノクロメータを用い
て広い波長範囲で変化させつつ、その各波長における散
乱光を一定の散乱角において測光することによって試料
の粒度分布を算出するので、高価な短波長のレーザ光源
やリングデテクタ等の特殊な測光センサを用いることな
く、例えば通常の安価な分光光度計に簡単なパーツとソ
フトフェアを追加するだけで、微小粒子の粒度分布を高
精度に測定することができる。
粒子に照射する単色光の波長を、モノクロメータを用い
て広い波長範囲で変化させつつ、その各波長における散
乱光を一定の散乱角において測光することによって試料
の粒度分布を算出するので、高価な短波長のレーザ光源
やリングデテクタ等の特殊な測光センサを用いることな
く、例えば通常の安価な分光光度計に簡単なパーツとソ
フトフェアを追加するだけで、微小粒子の粒度分布を高
精度に測定することができる。
第1図は本発明実施例の構成図、
第2図はその測定セル1に試料懸濁液Sを供給するため
のサンプリング装置の構成図、第3図は本発明実施例の
マイクロコンピュータ12のROMに書き込まれたプロ
グラムの内容を示すフローチャート、 第4図は本発明の他の実施例の光学系の要部構成図であ
る。 1 ・ 2 ・ 3 ・ 4 ・ 5、 6. 7 ・ 8 ・ 11 ・ 12 ・
のサンプリング装置の構成図、第3図は本発明実施例の
マイクロコンピュータ12のROMに書き込まれたプロ
グラムの内容を示すフローチャート、 第4図は本発明の他の実施例の光学系の要部構成図であ
る。 1 ・ 2 ・ 3 ・ 4 ・ 5、 6. 7 ・ 8 ・ 11 ・ 12 ・
Claims (1)
- 媒体に分散させた試料粒子を収容する測定セルと、その
測定セルに指令に基づく任意波長の単色光を照射するモ
ノクロメータと、その照射光の上記測定セル内の試料粒
子による散乱光のうち、散乱角0°以外の一定散乱角の
光を入射する測光センサと、上記モノクロメータの出力
波長を順次変化させつつ上記測光センサの出力を採り込
み、各波長時における上記測光センサの出力値から試料
の粒度分布を算出する演算制御部を備えた粒度分布測定
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1046737A JPH0754292B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 粒度分布測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1046737A JPH0754292B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 粒度分布測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02226046A true JPH02226046A (ja) | 1990-09-07 |
JPH0754292B2 JPH0754292B2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=12755644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1046737A Expired - Lifetime JPH0754292B2 (ja) | 1989-02-27 | 1989-02-27 | 粒度分布測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0754292B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0478543U (ja) * | 1990-11-17 | 1992-07-08 | ||
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JPH0754292B2 (ja) | 1995-06-07 |
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