JPH0222370U - - Google Patents

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JPH0222370U
JPH0222370U JP9945088U JP9945088U JPH0222370U JP H0222370 U JPH0222370 U JP H0222370U JP 9945088 U JP9945088 U JP 9945088U JP 9945088 U JP9945088 U JP 9945088U JP H0222370 U JPH0222370 U JP H0222370U
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hopper
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czyochralski
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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案装置を説明するための断面略図
、第２図、第３図は振動板の振動機構に関する他
の実施例を示す説明図、第４図は従来の振動フイ
ーダーを用いる粒子供給装置の断面略図を示すも
のである。 Ａ：上部箱体、Ｂ：下部箱体、１：第１ホツパ
ー、１ａ：下部開口部、２：ホツパー支持台、３
：上部箱体蓋、３ａ：Ｏリング、４：供給ホツパ
ー、４ａ：下部開口部、５：荷重変換器、６：第
１ジヤバラ、７：粒子供給遮断装置、８：昇降軸
、９：昇降装置、１０：振動板、１１：振動板支
持軸、１２：コイル、１３：鉄心、１４：第２ジ
ヤバラ、１５：下部ホツパー、１６：仕切弁、１
７：ロート状案内管、１８：バネ、１９：軸受、
３０：筐体、３１：ホツパー、３２：可動ホツパ
ー、３３：トラフ、３４：荷重変換器、３５：可
動板、３６：固定板、３７：直進フイーダー、３
８：蓋、３９：ロート。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 粒子状原料を収納する第１ホツパーを備え
    た上部箱体と、前記第１ホツパーから排出される
    粒子状原料を受納する供給ホツパーおよび下記に
    記載する設備を備えた下部箱体とから成り、双方
    を気密に連結せしめ、前記上部箱体と前記下部箱
    体の間に、前記第１ホツパー内の粒子状原料の重
    量を計量するための荷重変換器を配設し、前記下
    部箱体内の前記供給ホツパーの下部には、粒子供
    給遮断装置および振動板を設け、更にその下に下
    部ホツパーを設けたことを特徴とするチヨクラル
    スキー法における粒子状原料の供給装置。 (2) 上部箱体内の第１ホツパーと、下部箱体内
    の供給ホツパーの原料排出用開口部の芯をずらし
    てセツトした請求項１に記載したチヨクラルスキ
    ー法における粒子状原料の供給装置。 (3) 昇降可能で且つ振動板の側面との間で粒子
    状原料の流出を遮断する粒子供給遮断装置を備え
    た請求項１に記載したチヨクラルスキー法におけ
    る粒子状原料の供給装置。 (4) 振動板支持軸に振動を与えるコイルおよび
    鉄心を下部箱体の外側に設け、且つ振動をフイー
    ドバツクさせるバネを前記振動支持軸に結合せし
    めた請求項１に記載したチヨクラルスキー法にお
    ける粒子状原料の供給装置。 (5) 第１ホツパー、供給ホツパー、粒子供給遮
    断装置、振動板、振動板支持軸、下部ホツパー等
    を石英もしくはＳｉで製作するか又はこれらの粒
    子状原料と接触する面を石英もしくはＳｉで被覆
    した請求項１に記載したチヨクラルスキー法にお
    ける粒子状原料の供給装置。 (6) 連続的に引上げられる結晶の外径および引
    上げ速度を検出する検出器を設け、該検出器の出
    力信号によつて引上げられた結晶の容量を算出し
    、引上げられた結晶の容量に応じて振動用コイル
    に供給する電圧もしくは周波数、又はその双方を
    変更せしめる制御装置を備えた請求項１に記載し
    たチヨクラルスキー法における粒子状原料の供給
    装置。
JP9945088U 1988-07-27 1988-07-27 Expired - Lifetime JPH0532539Y2 (ja)

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JPH0222370U true JPH0222370U (ja) 1990-02-14
JPH0532539Y2 JPH0532539Y2 (ja) 1993-08-19

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