JPH02215224A - 半導体論理集積回路 - Google Patents

半導体論理集積回路

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JPH02215224A
JPH02215224A JP1036472A JP3647289A JPH02215224A JP H02215224 A JPH02215224 A JP H02215224A JP 1036472 A JP1036472 A JP 1036472A JP 3647289 A JP3647289 A JP 3647289A JP H02215224 A JPH02215224 A JP H02215224A
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Katsue Kawahisa
克江 川久
Tadahiro Sasaki
忠寛 佐々木
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の1的] (産業上の利用分野) 本発明は、ノーマリ・オン型MESFETをドライバと
して用いたスイッチング段を持つ半導体論理集積回路に
関する。
(従来の技術) GaAs論理集積回路は、高速性に優れたものとして注
目され、単位論理ゲートの構成が種々考えられている。
そのなかでも、ノイズ・マージンが大きく、高速性、低
消費電力性に優れたものとして、S L CF (S 
chottky  D 1odeL evel  S 
hlfter  Capacitor  couple
dF E T  Logic)は特に有望である。
第2図は、5LCFを用いて構成したインバータの等価
回路である。ノーマリ・オン型GaAsMESFET−
Q1をドライバとし、ノーマリ参オン型GaAsMES
FET−Q2を負荷としてスイッチング段1が構成され
ている。このスイッチング段1の入力側には、レベルシ
フト・ダイオードLSとプルダウン用のノーマリ・オン
型GaAsMESFET−Q3により構成されたレベル
シフト回路2が設けられている。
第3図は、第2図の5LCFインバータのパターン・レ
イアウト例である。第3図から明らかなように、レベル
シフト回路2はスイッチング段1とほぼ同程度の面積を
占有する。これは、レベルシフト争ダイードLSがフィ
ード・フォワード容量としての役割を果たす必要がある
ため、大きい容量が必要だからである。即ちインバータ
への入力信号は、レベルシフト・ダイオードLSの接合
容量(第2図のCP)と負荷容Il(第2図のcLで、
MESFET−Qlのゲート容量、レベルシフト赤ダイ
オードLSのカソード側電極の浮遊容量および配線容量
からなる)で分圧されるため、レベルシフト・ダイオー
ドLSの接合容量が十分に大きくないと、必要な信号振
幅がスイッチング段に伝達されないからである。
ところで、複雑な論理回路を実現する手法として、複数
の単位ゲートにより構成された論理セルを凌数種用意し
てセル争ライブラリに登録しておき、これらを組合わせ
ることにより全体回路を構成する手法がある。これは、
スタンダード・セル方式と呼ばれる。
第4図は、5LCFを単位ゲートとしたスタンダード・
セルの一例であるエツジトリガ型Dタイプフリップフロ
ップ(DFF)の等価回路である。
ここでは、5LCFを構成するスイッチング段(論理段
)のみからなるNORゲート11とレベルシフト回路1
2とを記号上区別して示している。
ここに示した記号とその等価回路の関係は、第5図の通
りである。第4図から明らかなように、この論理セルと
してのDFFは、レベルシフト12の数が各単位ゲート
のファン・イン数の総計に等しく、13であり、その素
子数は26である。また3素子からなる2人力NORゲ
ートのスイッチング段が5個、4素子からなる3人力N
ORゲートのスイッチング段が1個あるので、スイッチ
ング段の素子数の合計は19である。つまり、このDF
F回路を構成するセルは、素子数が45であってかつ、
レベルシフト回路に使われている素子数が全体の5割段
上を占めている。前述のようにレベルシフト回路はスイ
ッチング段と同程度の面積を要するから、結局この様な
論理セルを5LCFを用いて構成した場合にはセルのレ
イアウト面積は仮にレベルシフト回路がなかったとした
場合と比べて2倍程度も大きいものとなる。また特にフ
ァンΦアウト数の大きい論理ゲート部ではその出力ノー
ドに複数のレベルシフト回路の容量が負荷として入るた
め、5LCF本来の長所である高速性が大きく損われる
という問題があった。
(発明が解決しようとする課題) 以上のように5LCF回路は優れた単位ゲートとして注
目されているが、単位ゲート内でのレベルシフト回路の
占める面積が大きく、特にこれを複数個組合わせたスタ
ンダード・セルにおいてはレベルシフト回路の面積が占
める割合いが非常に大きくなり、更にファンやアウト数
が大きい論理ゲート部では特に負荷容量が大きくなり、
全体として十分な高速が実現できないという問題があっ
た。
本発明は、この様な間通を解決した半導体論理集積回路
を提供することを目的とする。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明は、5LCF回路を基本とする複数の論理ゲート
を組合わせて構成される論理セルを用いた論理集積回路
において、論理セル内のファン・アウト数が2以上の論
理ゲートについてはその出力信号の分配をレベルシフト
回路を通して行うようにしたことを特徴とする。換言す
れば、所定の論理ゲートの出力信号が二つ以上の論理ゲ
ートに分配される部分で、本来その二つ以上の論理ゲ−
トの入力段側にあるレベルシフト回路を前段の論理ゲー
トの出力段にまとめて一つ設けて共用させたことを特徴
とする。
(作用) 本発明によれば、論理セル内でスイッチング段とレベル
シフト回路の順序を本来の5LCFとは逆にしたものを
許容して、レベルシフト回路を共用することにより、全
体としてレベルシフト回路数を減らすことができる。こ
れにより、論理セルのレイアウト面積が縮小される。ま
た論理セルを構成する各論理ゲートの負荷容量が、レベ
ルシフト回路の共用により小さくなり、小型化に伴う配
線長の短縮の効果とあいまって論理セルの高速動作が可
能になる。
(実施例) 以下、本発明の詳細な説明する。
第1図は、一実施例のスタンダード・セルであるエツジ
−トリガ型DFFの等価回路を第4図に対応させて示す
。図の記号は、第5図に従う。
NORゲート111〜116のレイアウトは第4図と変
わらない。レベルシフト回路131〜138は、第4図
とは大きくレイアウトが異なっている。第4図と対応さ
せて説明すれば、次の通りである。クロック入力端子部
のレベルシフト回路13.は、第4図でのNORゲート
12の入力部のレベルシフト回路124とNORゲート
11、の入力部のレベルシフト回路126を一つにまと
めたものである。レベルシフト回路132は、第4図の
レベルシフト回路129に対応する。
レベルシフト回路133は、第4図のレベルシフト回路
122 r  125および1210を−っにまとめて
NORゲート112の出力端子に設けたものである。レ
ベルシフト回路135は、第4図のレベルシフト回路1
28と1213を一つにまとめてNORゲート113の
出力端子に設けたものである。レベルシフト回路136
は、第4図のレベルシフト回路121と127を一つに
まとめてNORゲート114の出力端子に設けたもので
ある。レベルシフト回路137および138はそれぞれ
第4図のレベルシフト回路121、および1212に対
応する。
第1図と第4図を比較すれば明らかなように、この実施
例によりレベルシフト回路数は13個から8個に減少し
ている。
ところでNORゲート111の出力端子のレベルシフト
回路133は、第4図のレベルシフト回路12.と同様
NORゲート112の入力端子部にあっても特性上問題
ない。しかし、DFFセルとしての出力端子となるNO
Rゲート115および116の出力端子部にレベルシフ
ト回路を設けていないことは重要である。即ち、NOR
ゲート115および116の入力部のレベルシフト回路
137および138は原理的には他のゲート部と同様出
力端子側に持って来ることが可能であるが、これは、ス
タンダード−セルとしては好ましくない。スタンダード
・セル全体としては、入力部にレベルシフト回路があり
、出力部にはレベルシフト回路がない状態とする。これ
は、セル内部の配線容量はそれ程問題にならないが、セ
ルの出力端子にはセル・レイアウトによってどのような
配線がつながるか分らず、大きい配線容量が負荷となる
可能性があるからである。この点をより具体的に以下に
説明する。
前述のようにレベルシフト回路の出力につく負荷容量C
Lがレベルシフト・ダイオードの接合容量 Cpに比べ
て大きくなると、容量CPによるカップリング能力が落
ち、遅延時間tpdはレベルシフト回路で律速されるよ
うになる。その様子を、第6図に示す。第6図は、5L
CFにおいてレベルシフト段が入力側にあった場合(A
)と出力側にあった場合(B)の遅延時間t pdの負
荷容量依存性を示している。このデータは、スタンダー
ド・セルで用いられる実際的素子パラメータを用いてS
P I CEシミュレーションした結果である。主要な
パラメータを示すと、スイッチング段における二つのノ
ーマリ・オン型MESFETはゲート長0.8μm、ゲ
ート幅10μmであり、レベルシフト番ダイオードのゼ
ロ・バイアス時の容量は246fFである。図から°、
負荷容量が70fF(配線長lll1lの容量に相当す
る)のとき、(A)では遅延時間の劣化は(B)の場合
の1割以下である。しかし負向容量が増大すると、(A
)での遅延時間の劣化は次第に大きいものとなる。実際
的なスタンダード・セル(一般的にはマクロ・セル)に
おいてはそれを構成する単位ゲートの負荷容量は一般に
小さく70fF以下と考えられるので、レベルシフト段
が出力側にあることによる短所は問題にならない。しか
し、前述のようにセルの出力端子には長い配線容量が負
荷として入る可能性があるため、レベルシフト段を設け
ないことが好ましいのである。これにより、セルの負荷
容量に対しては従来の構成と同様の駆動力を維持してい
る。
具体的な実施例によるデータを以下に説明する。
用いたG a A s M E S F E Tのパラ
メータは次表の通りである。
以下余白 表に示すように、負荷MESFETとドライバMESF
ETとの間でゲート長およびゲート幅を等しく設定して
いる。ノーマリ・オン型MESFETの活性層はSiの
イオン注入により形成した。加速電圧は50keVであ
り、ドーズ量は負荷MESFETに対しては2.8X1
012/cI+2   ドライバMESFETに対して
は2.5×1012/cIn2とした。以上の条件でセ
ルファライン型LDD構造のMESFETを構成した。
レベルシフト・ダイオードの面積は、16μm×6μm
であり、その活性層は負荷MESFETの活性層形成の
イオン注入とドライバMESFETの活性層形成のイオ
ン注入を重ねて行うことで形成した。
この実施例によるDFFを実際にレイアウトした結果、
第4図の従来型に比べて面積は約4割減少した。即ち従
来型のセル・サイズ310μm×128μmに対し、こ
の実施例ではセル争サイズ145μm X 185μm
が得られた。また、DFFのデータ入力端子りと出力端
子Qを結線することにより構成されるトグル・フリップ
フロップの最大トグル周波数を5PICEシミユレーシ
ヨンと実測により求めた。その結果、第4図の従来型で
はシミュレーション結果が1.2GHz、実測が1.1
GHzであり、この実施例の場合シミュレーション結果
で1.50)lz、実測で1.4GHzであった。この
実施例により、従来型に比べておよそ27%(実測)の
高速性向上が認められる。
なお、シミュレーション結果と実測値の間に若干の差が
認められるが、これはレイアウトから読瑣った配線容量
および電極容量に見積り誤差があるためと考えられる。
以上においては本発明をスタンダード・セル方式のセル
に適用した場合を説明したが、本発明はこれに限られる
ものではなく、レベルシフト段を論理ゲートの出力段に
まとめて配置することの利点がその短所を補えるロジッ
ク形式のもの全てに適用することができる。また以上で
はG a A s M E S F E Tを用いた場
合を説明したが、この他AlGaAs/GaAsヘテロ
接合を利用したHEMTやTEGFETを用いた場合に
も本発明は有効である。更に以上では単位ゲートとして
5LCF回路を用いたが、5DFLやBFLを用いた場
合にも本発明を適用することができる。
その池水発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変形
して実施することができる。
[発明の効果] 以上述べたように本発明によれば、レベルシフト回路を
持つ論理ゲートを複数個レイアウトして論理集積回路を
構成するに当たって、レベルシフト回路のレイアウトを
工夫することにより、チップサイズの縮小と高速性能の
向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例のDFFセルを示す等価回路
図、第2図は5LCFの等価回路図、第3図はそのレイ
アウト例を示す図、第4図は従来のDFFセルを示す等
価回路図、第5図は等価回路に用いた記号の意味を示す
図、第6図は5LCFゲートのレベルシフト段配置を異
ならせた時の遅延時間の負荷容量依存性を比較して示す
図である。 1 1 1  〜 1 1 6  ・・・  NORゲ
 −  ト  、   1 3  、  〜138・・
・レベルシフト回路、11・・・スイッチング段、2・
・・レベルシフト回路。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 第 因 第3図 第1図 15Fll

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ノーマリ・オン型MESFETをドライバとする
    スイッチング段と、このスイッチング段に入力される信
    号のレベルをシフトするレベルシフト回路とを有する論
    理ゲートを複数個用いて構成される半導体論理集積回路
    において、所定の論理ゲートの出力信号が二つ以上の論
    理ゲートに分配される部分で、前記二つ以上の論理ゲー
    トの入力段側のレベルシフト回路を前段の論理ゲートの
    出力段にまとめて一つ設けて共用させたことを特徴とす
    る半導体論理集積回路。
  2. (2)ノーマリ・オン型MESFETをドライバとする
    スイッチング段と、このスイッチング段に入力される信
    号のレベルをシフトするレベルシフト回路とを有する論
    理ゲートを複数個用いて構成される論理セルを配列して
    なる半導体論理集積回路において、前記論理セルは、フ
    ァン・アウトが2以上の論理ゲートについてはその出力
    信号の分配をレベルシフト回路を通して行うように構成
    したことを特徴とする半導体論理集積回路。
  3. (3)論理セルは、入力端子部にレベルシフト回路があ
    り、出力端子部にはレベルシフト回路がないことを特徴
    とする請求項2記載の半導体論理集積回路。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2010092642A1 (ja) * 2009-02-13 2010-08-19 パナソニック株式会社 半導体装置
JP2011040888A (ja) * 2009-08-07 2011-02-24 Dainippon Printing Co Ltd 半導体電子回路、発信回路およびフリップフロップ回路

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