JPH0220904A - 超音波振動子の駆動装置 - Google Patents

超音波振動子の駆動装置

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JPH0220904A
JPH0220904A JP17042088A JP17042088A JPH0220904A JP H0220904 A JPH0220904 A JP H0220904A JP 17042088 A JP17042088 A JP 17042088A JP 17042088 A JP17042088 A JP 17042088A JP H0220904 A JPH0220904 A JP H0220904A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は体内の結石を破砕、除去する装置や、外科手
術的に組織を乳化、切除したりする超音波メス等におけ
る超音波振動子の駆動装置に関する。
〔従来の技術〕
外科手術用の超音波メスや、経内視鏡的に体内に発生し
た結石を破砕する器具、あるいは超音波加工装置等に使
用されている超音波振動子は、その基本共振周波数、も
しくはその近傍にて駆動することが望ましい。この従来
例として、特開昭48−79613号公報に記載のトラ
ンスジューサ制御回路かあ・る。ここでは、超音波振動
子への印加電圧とそこを流れる電流の位相を比較し、駆
動信号の周波数を共振周波数と一致、もしくはごく近傍
となるように制御する。同様な従来例として、特開昭5
2−150008号公報、特開昭56−7669号公報
がある。
一般に、超音波振動子はその共振周波数の近傍において
、第7図に示すような等価回路となる。
すなわち、超音波振動子はC,L、Rの直列回路と制動
容ff1cdとの並列回路として表わされる。
第8図にC,L、Hの直列回路を共振させた時の周波数
特性を示す。インピーダンス+21は共振周波数frで
最低となり、その時、振動子に印加した電圧とC,L、
Rの直列回路を流れる電流との位相差θは0である。
超音波振動子は共振点で駆動することにより、効率の良
い電気−振動エネルギ変換を行なうが、共振周波数fr
は超音波振動子に加わる負荷、駆動状態、振動子毎のバ
ラツキ等によって微妙に変動する。そのため、共振点を
検出し、それを追尾するように駆動信号の周波数を制御
する必要がある。共振点は電圧−電流位相差を検出する
ことにより求められる。
ここで、共振点について説明する。共振周波数frは次
のように表わされる。
fr−1/2π/でで        ・・・ (1)
すなわち、第7図の等価回路において、L、  Cが直
列共振し、そのインピーダンスが0となる周波数である
。このときの振動子の等価回路を第9図に示す。振動子
に流れ込む電流iは次のように表わされる。
1−id+ir          ・・・(2)ここ
で、idは制動容ff1cdに流れる電流、irは直列
共振部分に流れる電流、すなわち抵抗Rに流れる電流で
ある。
第10図にid、irの関係を示す。この特性図は周波
数を変化させた時の振動子に流れる電流の実数部irと
虚数部idの変化を示す図である。
振動子において、電気エネルギが振動エネルギに変換さ
れる部分は、抵抗Rの部分であり、抵抗Rに流れる電流
i「が大きい程、振動エネルギは大きくなる。
ここで、振動子に負荷が加わると、この抵抗Rが変動す
る。一方、制動容量Cdは振動子における圧電素子の機
械的結合性の静電容量であるから、はとんど変動しない
。このため、第10図において、idは変化しないが、
irは変化することがある。従って、振動子に流れる共
振時の電流iの印加電圧に対する位相差Δθは負荷によ
って変動することになる。
そこで、上記idの影響を無くすために、第11図に示
すように、振動子に並列に次式のようなインダクタLd
を接続することが考えられている。
Ld−L−C/Cd             ・・・
 (3)このようにすると、共振点において、LdとC
dとが並列共振を起こすので、共振点における振動子の
インピーダンスが第12図に示すように、見かけ主抵抗
Rのみとなる。このため、共振点では1d−0となり、
振動子に加わる負荷がどのような値であっても、 1−ir              −(4)となり
、電圧に対する電流iの位相差Δθを第13図に示すよ
うに常に0とすることができる。
第14図は第11図の構成による振動系の共振周波数f
「近傍の周波数特性である。これはり。
Cによる直列共振の特性と、Ld、Cdによる並列共振
の特性を組合わせたものである。
共振点を追尾する従来の方法は、振動子に加わる電圧の
位相θVと、振動子に流れ込む電流の位相θiとを検出
し、位相比較器で両者の位相差を検出し、その位相差に
応じて駆動信号の周波数を制御することにより、常に位
相差が一定の値とする位相ロックループ(P L L)
を用いる方法である。すなわち、インダクタLdを接続
した振動系においては、位相差Δθが常に0となるよう
な周波数追尾を行なうことになる。このような周波数追
尾回路の従来例を第15図に示す。
電圧制御発振器(VCO)5の出力が波形整形回路6、
電圧制御増幅器(VCA)7、パワーアンプ8、マツチ
ング回路10を介して超音波振動子1に印加される。超
音波振動子1にはインダクタ(Ld)2が並列に接続さ
れている。VCA7の利得はマツチング回路10の出力
により出力制御回路9を介して制御される。マツチング
回路10からは電圧位相θVと電流位相θiとが出力さ
れ、これらが位相比較器3、ローパスフィルタ(LPF
)4を介してVCO5に制御電圧として供給されている
。位相比較器3、LPF4、VCO5が位相ロックルー
プCP L L)を構成する。
〔発明が解決しようとする課題〕
第14図に示すように、PLLは自走発振周波数foが
fl−f2の間の時、共振周波数frでロックするよう
に起動される。すなわち、PLLの初期の発振周波数は
fl−f2の間で変化するようにしておく。PLLのロ
ックレンジは、第14図に示すように、振動子のり、C
,Hの直列回路のインピーダンス+21が最大のピーク
【1から隣の最大のピークf2の範囲で周波数の追尾を
行なう。そして、インピーダンスI21が最小となって
いない場合は、インピーダンスを下げるように、VCO
5の発振周波数を下げるように制御する。
ここで、振動子に急激な負荷が加わって共振周波数f「
がf1〜f2の範囲を越えた場合、PLLは正帰還動作
となり、VCO5の発振周波数はその下限、または上限
に飽和してしまい、再起動させなくてはならなくなる。
また、第16図に示すように、圧電素子101、ホーン
102からなる振動子の先端の加工用チップ103を変
更した場合等にも、共振周波数f「がずれて、f O<
 fl 、またはf2<foとなり、起動できなくなる
不具合がある。加工用チップ103が変更されると、イ
ンピーダンスが最大となる周波数がずれる。従って、P
LLのロックレンジが変わり、このレンジ内にPLLの
自走発振周波数foが入らなくなり、起動が不可能にな
る。
さらに、振動子の共振周波数は機械的大きさによって決
まるものであるが、それゆえ、第17図に示すように、
振動モードの異なった状態での副共振点fr’、fr”
が発生する。副共振点においても、電圧−電流位相差Δ
θは0となるから、PLLはその点で疑似ロックしてし
まう。この対策として、VCOの制御電圧入力部に上下
限を定めるリミッタ回路やウィンドウ回路を設けたりす
る方法があるが、調整が大変であることや、回路が複雑
になる等の問題点があった。
この発明は上述した事情に対処すべくなされたもので、
その目的は位相ロックループにより超音波振動子の駆動
周波数をその基本共振周波数にロックする超音波振動子
の駆動装置において、簡単な回路構成を付加するだけで
、ロックがはずれた場合に自動復帰させることである。
〔課題を解決するための手段〕
この発明による超音波振動子の駆動装置は、超音波振動
子へ印加される電圧と流れる電流との位相差に基づいて
超音波振動子の駆動周波数を制御する共振点追尾用の第
1の位相ロックループ(P L L)と、第1のPLL
とは別に第1のPLL内に設け、その出力が第1のP 
L Lに入力される第2のPLLを具備する。第2のP
LLの自走発振周波数は振動子の共振周波数近傍とし、
そのロックレンジは振動子の副共振周波数に満たない程
度に狭いものにしておく。
〔作用〕 先ず、第2のPLLは振動子の共振周波数fr近傍の自
走発振周波数foで発振する。この発振信号に基づいて
、第1のPLLも共振周波数fr近傍の周波数から振動
子の電圧−電流位相差を検出し、位相差がOとなるよう
に周波数を制御し、共振点でロックする。
負荷の急激な変動等で第1のPLLのロックが外れ、発
振周波数が第1のPLLのVCOの上限、あるいは下限
に飽和すると、第2PLLは入力がロックレンジ外であ
るので、ロックが外れ、再び共振周波数fr近傍で自走
発振する。この発振信号に基づいて、第1のPLLは共
振周波数fr近傍から起動することになり、基本共振点
でロックする。
このようにして、第1のPLLのロックが外れても、第
2のPLLの自走発振により、自動的にロック状態に復
帰できる。
〔実施例〕
以下図面を参照してこの発明による超音波振動子の駆動
装置の実施例を説明する。第1図は第1実施例のブロッ
ク図である。電圧制御発振器(VCO)5の出力が波形
整形回路6、電圧制御増幅器(VCA)7、パワーアン
プ8、マツチング回路10を介して超音波振動子1に印
加され、電気エネルギが振動エネルギに変換される。
波形整形回路6はV C05の出力から高周波成分、ス
パイクノイズ等を除去するためのフィルタ等で構成され
る。VCA7は振動子の振幅を一定化するために、駆動
信号の振幅を一定に制御する。
VCA7の利得はマツチング回路10の出力により出力
制御回路9を介して制御される。パワーアンプ8はVC
A7からの出力信号を振動子を駆動するに十分な電力ま
で増幅する。
マツチング回路10はパワーアンプ8の出力を効率良く
振動子に伝えるためのインピーダンスマツチング回路と
、出力の大きさを表わす、例えば電流値iと電圧及び電
流の位相信号θV、θiを取出す回路を含む。この電流
値iが出力制御回路9を介してVCA7に供給される。
超音波振動子1には位相補正用のインダクタ2が並列に
接続されている。
マツチング回路10から取出された電圧位相θVが第1
の位相ロックループ(PLL)30にそのまま供給され
、電流位相θiが第2のPLL20を介して第1のPL
L30に供給される。
第2のPLL20は位相比較器21、ローパスフィルタ
(LPF)22、vCO23からなる。
位相比較器21は電流位相θiとvCO23の出力位相
θi°とを比較し、位相差に応じた信号を出力する。L
PF22は位相比較器21の出力信号を積分しvCO2
3の制御端子へ直流制御電圧を供給する。
第1のPLL30は位相比較器3、LPF4、vCO5
からなる。位相比較器3は電圧位相θiとvCO23の
出力位相θi°とを比較し、位相差に応じた信号を出力
する。LPF4は位相比較器3の出力信号を積分しvC
O5の制御端子へ直流制御電圧を供給する。
第1のPLL30は共振点を追尾するためのものであり
、第15図に示した従来例と同様である。
第2図に示した概略図を参照して、第2のPLL20の
動作を説明する。第2図において、可変抵抗24はロッ
クレンジ調整用、可変容量25は自走発振周波数調整用
である。
一般に、PLLはそのロックレンジ、またはキャプチャ
レンジが狭くなるように設計すると、自走発振周波数f
oに近い周波数の入力信号finにしかロックしないと
いう周波数選択性を持たせることができる。すなわち、
第3図に示すように、入力信号finが自走発振周波数
fOを中心にΔfで示されるロックレンジ内であれば、
vCOの制御電圧は周波数の増加に伴い減少し、出力f
 outは入力信号f1nに追従したfln−foul
の信号となる。しかし、入力信号finがロックレンジ
Δfの範囲外の場合は、VCO制御電圧は0、すなわち
自走発振周波数foが出力f outとして現れる。
finとf outの波形を第4図に示す。
次に、第1実施例の動作を説明する。位相比較器3はロ
ックレンジが広く位相差がOのPLLを構成できるよう
にエツジトリガ方式が採用されている。位相比較器3に
第2のPLL20の自走発振周波数信号foが入力され
ると、COは基本共振周波数frに近いため、第1のP
LL30が動作し、以後、電圧位相θVと電流位相θi
°が常に0となるような共振周波数追尾を行ない、共振
点でロックする。
もし、振動子1への負荷変動等で、第1のPLL30の
追尾ロックが外れ、vCO5の発振周波数が第2のPL
L20のロックレンジΔfを越えて、例えば副共振周波
数で疑似ロックしようとすると、第2のPLL20の電
流位相θiへのロックが外れ、自走発振する。これによ
り、第1のPLL30は再び起動され、基本共振点追尾
の動作が再開される。
このように第1実施例によれば、第1のPLLによる基
本共振点追尾のロックが外れても、第2のPLLの自走
発振出力により、第1のPLLによる基本共振点の追尾
動作が再開されるので、常に基本共振点で超音波振動子
を駆動できる。
第5図は第2実施例のブロック図である。超音波振動子
1にパワーMOSFET等のスイッチング素子を用いた
スイッチング式の駆動回路41が接続され、スイッチン
グ方式の駆動ブロック40が構成される。スイッチング
式駆動回路41は電圧位相、電流位相検出回路も含む。
電圧位相θVは第1のPLL30にそのまま供給される
。電流位相θlは第2のPLL20、移相器(90°)
50を介してθi°として第1のPLL30に供給され
る。第1のPLL30はディジタル式の位相比較器を有
することが望ましいが、第2のPLL20はアナログ式
の位相比較器を有することが望ましい。第1のPLL3
0の出力がスイッチング式の駆動回路41に供給される
第1のPLL30は駆動回路41をスイッチング駆動す
る信号を発生する。一般に、超音波振動子1をスイッチ
ング駆動、例えば方形波形の電圧で駆動すると、方形波
形には高調波成分が多く含まれているので、電流位相波
形iは第5図中に示すように歪んだものとなる。ディジ
タル回路では、このような波形から基本共振周波数成分
子rを取出すのは困難であるが、PLL20はアナログ
式位相比較器を有するので、容易に取出せる。この場合
、PLL20の入出力の間に90°の位相差が生じるが
、移相器50によってこれが補償される。他の動作は第
1実施例と同様である。
このように第2実施例によれば、追尾に都合の良いディ
ジタル式位相比較器を持つ第1のPLL30のみによっ
ては困難であったスイッチング駆動方式での位相追尾が
可能となる。そのため、第1実施例で必要であった大型
のパワーアンプ8をスイッチイブ方式の効率の良い駆動
回路41に置換えられるので、装置の小型化、軽量化が
実現できる。
第6図は第3実施例のブロック図である。第3実施例は
第1実施例に対して、マツチング回路10と第2のPL
L20の間に基本共振周波数f「近傍は通過させ、副共
振周波数は減衰させる帯域通過型フィルタ(BPF)6
0を設ける点が違う。
このように構成することで、第2PLL20のロックレ
ンジの調整が困難な場合でも、基本共振点での追尾が可
能となる。
なお、上述の実施例では、電流位相θiを第2PLLに
入力したが、これに限定されずに、電流位相θiの代わ
りに電圧位相θVを入力してもよいし、あるいは電流位
相θ11電圧位相θVの両者とも入力してもよい。
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明によれば、第1のPLL
による基本共振点追尾のロックが外れても、第2のPL
Lの自走発振出力により、第1のPLLによる基本共振
点の追尾動作が再開されるので、常に基本共振点で超音
波振動子を駆動できる超音波振動子の駆動装置が提供さ
れる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明による超音波振動子の駆動装置の第1
実施例のブロック図、第2図は第1実施例の第2のPL
Lの概略を示す図、第3図は第1実施例の第2のPLL
の特性を示す図、第4図は第2のPLLの入力波形、出
力波形を示す図、第5図はこの発明の第2実施例のブロ
ック図、第6図はこの発明の第3実施例のブロック図、
第7図は一般的な超音波振動子の等価回路を示す図、第
8図は第7図に示した超音波振動子の周波数特性を示す
図、第9図は共振時の超音波振動子の等価回路を示す図
、第10図は第9図に示した超音波振動子の周波数特性
を示す図、第11図は制動容量の影響を無くするための
回路を示す図、第12図は第11図の共振時の回路図、
第13図は第12図の回路の周波数特性を示す図、第1
4図は第11図の回路の周波数特性を示す図、第15図
はPLLを用いた超音波振動子の駆動装置の従来例のブ
ロック図、第16図は超音波振動子の従来例を示す図、
第17図は超音波振動子の副共振点を説明する図である
。 1・・・超音波振動子、2・・・インダクタ、3゜21
・・・位相比較器、4,22・・・LPF、5゜23・
・・VCo、10・・・マツチング回路、20゜30・
・・PLL。 出願人代理人 弁理士  坪井 淳 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 因 1、事件の表示 特願昭63−170420号 2、発明の名称 超音波振動子の駆動装置 3、袖1にをする者 巾件との関係  特許出願人 (037)オリンパス光学工業株式会社4、代理人 東京都千代田区霞が関3丁目7番2号 UBEビル7.
1!口正の内容 (1)明細書第3頁第15行目、第4頁第13行□ 目、第5頁第8行目に記載の「i」を「i」と訂正する
。 (2)明細書第3頁第17行目に記載のする。 (3)  明細書第3頁第18行目、第4頁第1行目、
第4頁第3行目、第4頁第12行目、第4頁第(4) 
 明細書第3頁第19行目、第4頁第1行l」、第4頁
第3行目、第4頁第6行目、第4頁第12−〉 行目に記載のri rJを「i「」と訂正する。 (5)  明細書第5頁第7行目に記載のri−irJ
ラ −〉 をrl−irJと訂正する。 (6)明細書第10頁第18行目に記載の「高周波」を
「高調波」と訂正する。 (力 明細書第13頁第5行目に記載の「減少」を「増
加」と訂正する。 する。 図面第3図。 第10図。 を別紙の通り訂正 第10図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 超音波振動子へ印加される電圧と流れる電流との位相差
    に基づいて超音波振動子の駆動周波数を制御する共振点
    追尾用の主位相ロックループを具備する超音波振動子の
    駆動装置において、前記主位相ロックループとは別に第
    2の位相ロックループを前記主位相ロックループ内に設
    け、第2の位相ロックループからの出力を前記主位相ロ
    ックループに入力することを特徴とする超音波振動子の
    駆動装置。
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