JPH02202710A - 表面弾性波共振子フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、圧電基板上にインタディジタル電極とグレー
ティング反射器を形成してなる表面弾性波共振子を利用
した帯域通過フィルタに関するものである。

〔従来の技術］ 近年、ＶＨＦ帯およびＵＨＦ帯を使用した無線通信用フ
ロントエンドフィルタとして表面弾性波デバイスを利用
し、無線機を小型、軽量化することが提案されている。

フロントエンド用フィルタとして必要な電気特性は、挿
入損失が小さいこと、帯域内リップルが小さいこと、帯
域外スプリアスレベルが低いこと、帯域外減衰量が大き
いこと、通信システムに要求されるチャンネル数を確保
するために適当な帯域幅を持つことであり、これらの条
件をすべて満足することが要求される。

従来の表面弾性波フィルタは、主に２種類に分類される
。１つは比帯域幅は広いが、挿入損失も大きいトランス
バーサル型デバイスであり、もう１つは比帯域幅が０．
０５％程度と狭いが、挿入損失は小さい共振子型デバイ
スである。したがって、従来の表面弾性波デバイスをフ
ロントエンドフィルタとして用いるには、各々特性の改
善が必要で両方の性質の長所を合わせ持つものが望まれ
ていた。

一方、表面弾性波デバイスをＵＨＦ帯で使用するために
は、終端インピーダンスは通常は５０Ωが選択されてい
る。このような低インピーダンスで挿入損失の小さな表
面弾性波フィルタを得るための方法として、１個の入力
用インタディジタル電極ともう１個の出力用インタディ
ジタル電極を用いて表面弾性波共振子を形成し、エネル
ギー閉じ込めモードの対称的な１次モードおよび反対称
な２次モードの２つのモードを利用した縦型２重モード
帯域通過フィルタを構成する提案がなされている（特開
昭６１−２８５８１４号）。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、この縦型２重モード帯域通過フィルタに
おいては、圧電基板として水晶を用いた場合、規格化電
極膜厚を４％と大きくしても比帯域幅は０．３％までし
か達成出来ず、帯域内リップルも大きいという問題点が
ある。また、圧電基板としてリチウムタンタレート（Ｌ
　ｉ　Ｔ　ａ　Ｏ，）を用いた場合に、規格化電極膜厚
を４％と大きくしたとしても比帯域幅０．４７％までし
か達成出来ず、また、帯域内リップルも大きいことが知
られている。

したがって従来の表面弾性波デバイスは、比帯域幅が０
．３％以上で帯域内リップルが小さく、帯域外スプリア
スレベルが低く大きな帯域外減衰量が要求されるフロン
トエンド用フィルタとして実用に供することはできなか
った。

本発明は上記問題点を解決すべくなされたもので、その
目的とするところは帯域幅が広く、挿入損失が小さく、
帯域内リップルが小さくかつ入力インピーダンスが低い
表面弾性波共振子フィルタを提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため、この発明は圧電基板上の表面
弾性波伝搬方向に沿って、３個以上のインタディジタル
電極を近接配置し該インタディジタル電極のうち少なく
とも１個を入力端子に接続し、残りのインタディジタル
電極を出力端子に接続すると共に、前記インタディジタ
ル電極の間外側に少なくとも１組の反射器を配置してな
る表面弾性波共振子フィルタにおいて、インタディジタ
ル電極の総対数Ｎ、＋Ｎ２を４０対以上１５０対以下と
し、かつ入力用インタディジタル電極の総対数Ｎ２と出
力用インタディジタル電極の総対数Ｎよとの比Ｎ□／Ｎ
２を、１．４以上２．４以下とするとともに、インタデ
ィジタル電極の電極指の最大交差幅Ｗと通過中心周波数
の表面波波長λとの比Ｗ／λを５０以上１８０以下の範
囲に設定するようにした。なお、入力用または出力用イ
ンタディジタル電極を複数個設けた場合、その対数Ｎ２
゜Ｎ工は入力用または出力用のインタディジタル電極の
総和の対数を示している。

すなわち、本発明者らは表面弾性波共振子フィルタを無
線通信用フロントエンドフィルタに使用する場合に要求
される条件を一つ一つ詳しく検討した結果、上記のよう
な数値範囲が妥当であるとの結論に到った。そこで、そ
の検討の過程について説明する。

表面弾性波共振子フィルタをフロントエンドフィルタに
使用するには前述したように従来よりも多くの電気的特
性を満足させなくてはならない。

そこで、インタディジタル電極の個数を増やすことで先
ず設計の自由度を高めることとした。

次に、表面弾性波共振子フィルタの入力インピーダンス
を低くすることを考えた。終端インピーダンスは、周波
数に対して一定値であるが、表面弾性波共振子フィルタ
の影像インピーダンスは、複雑で帯域内で変動しており
完全に整合をとることはできない。近似として、この振
動のピーク（山と谷）の中点を結ぶ折線が終端インピー
ダンス（５０Ω）に一致していれば整合がとれたと考え
られる。従って、入力インピーダンスを低くするには、
上記折線を傾きが零の直線に近づけ、かつその値を低く
すればよい。このための手法として一般的なのは、電極
指の交差幅を長くすることである。こうすると表面弾性
波共振子フィルタの影像インピーダンスは低下する。し
かし、交差幅を大きくしすぎると電極指自体の抵抗が増
え挿入損失が大きくなる。また、チップサイズが大きく
なり表面弾性波素子の特徴の１つである小型化を達成出
来なくなる。一方、入力用インタディジタル電極対数を
増加させても表面弾性波共振子フィルタの影像インピー
ダンスは低下する。しかし、ある値を越すとインタディ
ジタル電極自身での表面弾性波の反射が大きくなり、反
射器までエネルギーが到達せず多対インタディジタル型
表面弾性波素子と同一性能となる。この場合、狭帯域な
フィルタとなり十分な帯域幅が得られないとともに素子
が大型となるため好ましくない。

さらに、終端インピーダンスとして実用的な値を想定し
た場合、影像インピーダンスが小さすぎても整合が取れ
ないので、交差幅と入力インタディジタル電極対数には
、上限のみならず下限も存在する。

次に帯域内リップルを小さくする方法について検討した
。帯域内リップルは議論されない場合が多いけれども実
用上は非常に重要な特性である。

帯域内特性の設計法として有効なのは、バルク波を用い
た水晶モノリシックフィルタの設計法を転用することで
ある。バルク法を利用した高結合圧電板を用いた多電極
対モノリシックフィルタの最も新しい設計法は、先ずフ
ィルタ中央の対称面に関して対称な閉じ込めモードのイ
ンピーダンスＺａが直列腕に、また、反対称な閉じ込め
モードのインピーダンスｚｂが格子腕に接続された反対
称格子形回路に変換する。このときフィルタの影像イン
ピーダンスＺｉｍは、 Ｚｉｍ＝ｆ］５１−Ｚｂ　　　　　　−・・−（１，）
で与えられる。次に、対称モードの数を２１反対称モー
ドの数をｑとおくとともに、対称モードの１番目の共振
周波数および反共振周波数をｆａＲｉ、ｆａＡｉとし、
また反対称モードのｊ番目の共振周波数および反共振周
波数をｆｂＲｊ、ｆｂＡｊとするとＺａ、Ｚｂは次式で
近似することができる。

（ｆ”−ｆ”ａＡｌ）（ｆ２−ｆ２ａＡ２）　・・（ｆ
”−ｆ”ａＡｐ）（ｆ２−ｆ”ｂ＾ｚ）　（ｆ”−ｆ２
ｂＡ２）・・・・（ｆ”−ｆ２ｂＡｑ）式（２）、（３
）において ｆａＡｉ＝ｆｂｇｉ　　　（ｉ＝１，２．・・・・ｐ）
　　”（４）ｆａ　　Ｒｊｎ＝ｆｂＡｊ　　　　　（ｊ
＝ＬＬ”　　・・ｑ−１）　　・・−（５）の周波数合
わせを行なうというものである。この場合には帯域幅は
（ｆｂ　Ｒｑ−ｆａ　Ｒ、）または、（ｆａ　ＲＰ−ｆ
ａ　Ｒｔ）となる。この方法を表面弾性波デバイスの設
計に適用する。３個以上のインタディジタル電極を近接
配置し、この内の数個を入力端子に接続し、残りのイン
タディジタル電極を出力端子に接続するとともに、多段
に縦続接続した時に通過帯域近傍の電気的特性が対称格
子形回路で表わせる。その対称線で切られる弾性表面波
共振子の出力端子を短絡したときの入力インピーダンス
Ｚａと、開放したときの入力インピーダンスｚｂのそれ
ぞれの共振周波数および反共振周波数を求める。

この共振周波数および反共振周波数が式（４）。

（５）を満たせばよいが、完全に満足するように設定す
ることは必ずしもできない。したがって、影像インピー
ダンスと終端インピーダンスの差によって複雑な帯域内
リップルが生じる。現実問題として、帯域内リップルが
許容値に収まるように共振周波数および反共振周波数を
設定することかが重要である。

このための手段として最も有効なの、が、入出力用イン
タディジタル電極の対数比とインタディジタル電極の総
対数である。ところで、比帯域幅はインタディジタル電
極の総対数ＮＴ（Ｎ１十Ｎ　Ｚ　）および入出力用イン
タディジタル電極の対数比Ｎ工／ＮＺが大きいほど狭く
なる。したがってこれらの値に上限が存在する。一方、
これらの値が小さいと、帯域内リップルは大きくなる。

従って帯域内リップルの許容値を満足させる（こは、こ
れらの値に下限が存在するはずである。

本発明者らは上記のような考察に基づいて、インタディ
ジタル電極の総対数、入力用と出力用のインタディジタ
ル電極の各対数の比および電極指の最大交差幅と波長の
比Ｗ／λ（以下、これを規格化交差幅と称する）の上限
と下限を知るため。

実験を行ない、前述のような数値範囲を決定した。

［作用］ 前記手段によれば、インタディジタル電極を３個以上設
けてフィルタを構成しているため、設計の自由度が増大
し、所望のフィルタ特性を得るため設計が容易になると
ともに、インタディジタル電極の総対数と対数比を所定
の範囲内で選択するようにしたため帯域内リップルを低
減させることができ、また、インタディジタル電極の最
大交差幅と入力インタディジタル電極の対数を所定の範
囲内で選択するようにしたため、入力インピーダンスを
下げ挿入損失を減少させることができるとともに、影像
インピーダンスと終端インピーダンスとの整合がとりや
すくなり、フィルタの帯域幅を広くすることが可能とな
る。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳細に説明
する。

第１図は、本発明に係る表面弾性波共振子フィルタの一
構成例を示す概念図であって、圧電基板１の表面に入力
用インタディジタル電極２ａを形成し、その両外側に励
起された表面弾性波の伝搬方向に沿って出力用インタデ
ィジタル電極３ａ。

３ａ’　を相隣接して配設するとともに、さらに出力用
インタディジタル電極３ａ、３ａ’の両側にグレーティ
ング反射器４ａ、４ａ’　を配置したものである。また
、上記インタディジタル電極２ａ。

３ａ、３ａ’および反射器４ａ、４ａ’　と並んで同一
構成の電極２ｂ、３ｂ、３ｂ’と反射器４ｂ。

４ｂ’　を形成して２段構造とし、電極３ａと３ｂおよ
び３ａ’と３ｂ’　を縦続接続している。さらに、上段
のインタディジタル電極２ａを構成する一対のくし形電
極を各々入力端子ＩＮと接地点に、また各インタディジ
タル電極３ａ、３ａ’の一方の電極を接地点に接続する
とともに、下段のインタディジタル電極２ｂを構成する
一対のくし形電極を各々出力端子ＯＵＴと接地点に、ま
た各インタディジタル電極３ｂ、３ｂ’の一方の電極を
接地点に接続しである。

そして、入出力用端子間にはそれぞれ終端インピーダン
ス５，５′を接続しである。なお、終端インピーダンス
５，５′はＵＨＦ帯で多く使用されている５０Ωの抵抗
である。また圧電基板１としては、リチウムテトラボレ
ート（ＬｘｚＢ４ｏ７）４５°回転Ｘ板２伝搬基板を用
いた。この場合の表面波音速は３４４０ｍ／秒である。

上記基板１の表面上を表面弾性波が２軸方向に伝搬する
ように入出力用インタディジタル電極２，３．３’およ
び反射器４，４′を配置した。電極はアルミニウム層と
した。ただし、Ｌｉ２Ｂ４Ｏ，基板がＡＱのエツチング
液に対して溶解するため電極の形成はリフトオフ法によ
り行なった。反射器４，４′の反射体はアルミニウム層
からなる金属ストリップとした。前記グレーティング反
射器の反射体本数は、ＡΩストリップ１本当たりの表面
弾性波反射率を考慮し、表面弾性波を十分に反射できる
本数として１００本とした。また最大交差幅は、後でフ
ィルタの影像インピーダンスが５０Ωに整合するように
決定するが、最初は予備的な検討により規格化交差幅Ｗ
／λを１５０とする。横モード抑圧のための重み付けは
、一般的なコサインアポダイズで行なっている。

上記構成の表面弾性波共振子において、規格化ＡΩ膜厚
Ｈ／λを０．０１とした場合に、入出力用インタディジ
タル電極の対数比Ｎ工／ＮＺを２に固定し、インタディ
ジタル電極総対数ＮＴを４０対から１６０対まで変化さ
せて、１段目の表面弾性波共振子の出力端すなわちイン
タディジタル電極３ａと３ａ’　を短絡した時の入力イ
ンピーダンスＺａと、出力端を開放にした時の入力イン
ピーダンスｚｂのそれぞれの共振周波数と反共振周波数
を求めた。その結果を第２図に示す、ここでの周波数は
、グレーティング反射器の中心周波数により規格化した
規格化周波数で示した。またインタディジタル電極の総
対数を１００対とし、入出力用インタディジタル電極の
対数比Ｎ　１　／　Ｎ　Ｚが１の場合の周波数応答を第
３図に示す、これらの図からＺａとｚｂのそれぞれの共
振周波数ｆｒと反共振周波数ｆａの間隔が大きいところ
でリップルが大きくなっていることがわかる。なお、符
号ｒ１は対称０次、ｒ２は対称２次、ａ工は反対称０次
、ａ２は反対称２次の周波数であることを示す。

次に、インタディジタル電極の総対数ＮＴを１１６対と
固定し、入出力用インタディジタル電極の対数比を０．
８から３．０まで変化させた時のＺａとｚｂのそれぞれ
の共振周波数ｆｒと反共振周波数ｆａを求めた。その結
果を第４図に示しである。第４図から明らかなように、
入出力用インタディジタル電極の対数比Ｎ１／Ｎ、を大
きくすることによって、入力インピーダンスＺａとｚｂ
のそれぞれの共振周波数と反共振周波数の間隔が狭くな
ることがわかる。また、入出力インタディジタル電極の
対数比が２．５のときの周波数応答を第５図に示す、こ
の図より帯域内の高周波数側のリップルが大きくなって
いることがわかる。

従って、フィルタ特性を広帯域にし、かつ帯域内リップ
ルを小さくするには、インタディジタル電極の総対数Ｎ
Ｔを少なくして、それで生じるリップルを入出力用イン
タディジタル電極の対数比Ｎ　１　／　Ｎ　２で補償す
るようにすることが望ましい。

しかし、インタディジタル電極の対数比で補償できる量
には限度があり、規格化Ａｎ膜厚Ｈ／λ＃０．０１の場
合には、インタディジタル電極の総対数は、入力インピ
ーダンスを小さくするため８０以上とする必要がある。

一方、第２図から明らかなように、比帯域幅を０．３％
以上とするには、インタディジタル電極の総対数を１５
０対以下にする必要がある。この時、リップルを保証す
るために必要な、インタディジタル電極の対数比Ｎ□／
Ｎ、は、１．４〜２．４である。

規格化ＡＱ膜厚Ｈ／λ＝０．０４の場合には、同様の理
由からインタディジタル電極の総対数は。

４０以上、１００以下であり、インタディジタル電極の
対数比は１．４〜２．４とするのがよい。

次に、最大交差幅と影像インピーダンスの関係を調べる
。インタディジタル電極の総対数を１１６対とし、入出
力用インタディジタル電極の対数比Ｎ□／Ｎ２を１．５
とした時に最大交差幅の変化に対する帯域内での影像イ
ンピーダンスの変動を第６図に示す。第６図から明らか
なように、規格化ＡＱ膜厚Ｈ／λ″：ｏ、０１の場合、
比交差幅Ｗ／λを８０から１８０の範囲に設定すれば、
影像インピーダンスは２０〜１００Ωの値を取り、終端
インピーダンス５０Ωに対して、はぼ整合がとれている
ことになる。規格化ＡＱ膜厚Ｈ／λ＝０゜０４の場合は
、規格化交差幅Ｗ／λを５０から９０の範囲に設定すれ
ば、帯域内の影像インピーダンスは２０〜１００Ωの値
をとる。

上記設定範囲が有効であることを実験的に確認するため
に１次のような条件の２種類のデバイスを作成した。す
なわち第１のデバイスはインタディジタル電極２ａ、２
ｂの対数を５０．５対、インタディジタル電極３ａ、３
ａ’　、３ｂ、３ｂ’の対数を４１．５対とし、出力用
インタディジタル電極を入力用インタディジタル電極の
両側に２゜２５μｍの距離で近接配置した。さらに、出
力用インタディジタル電極の両外側に８０本の金属スト
リップからなるグレーティング反射器を２．２５μｍ離
してそれぞれ配置した。最大交差幅を１３２０μｍとし
、・インタディジタル電極に対する重み付けは、コサイ
ンアポダイズとした。インタディジタル電極およびグレ
ーティング反射器のＡΩ膜厚は、電極指抵抗と、製造時
の中心周波数バラツキを考慮して１０００人とした。各
電極の入出力端子への接続の仕方は第１図と同じである
。

第８図は、この素子の周波数応答を示す、電気的特性と
して中心周波数３８０ＭＨｚ、比帯域幅０゜５３％、挿
入損失２ｄＢ、帯域内リップル１ｄＢ、帯域外減衰量６
０ｄＢ、低周波側帯域外スブリアスー５０ｄＢの特性が
得られ、実用上十分な特性を有している。

第２のデバイスは、インタディジタル電極２ａ。

２ｂの対数を３８．５対、インタディジタル電極３ａ、
３ａ’　、３ｂ、３ｂ’の対数を４０．５対とした。

さらに、インタディジタル電極の最大交差報を２３００
μｍとし、直線アポタイズで重み付けを行ない、インタ
ディジタル電極と′ストリップの厚みを１５４０人とし
た。

第９＠に、第２のデバイスの周波数特性を示す。

第９図より、電気的特性として中心周波数２５４゜５　
Ｍ　Ｈｚ、比帯域＠０．６％、挿入損失１．５　ｄ　Ｂ
、帯域内リップル１ｄＢ、帯域外スプリアス−３５ｄＢ
の特性が得られ、実用上十分な特性を有することが分か
った。

ところで、上記実施例においては圧電基板として４５度
回転Ｘ板２伝搬Ｌｉ２Ｂ、Ｏ，を用いたので規格化ＡＱ
膜厚Ｈ／λを０．０１と０．０４にしたがこれはグレー
ティング反射器のＡ２ストリップ１本当たりの表面弾性
波反射率で考えると０゜０１から０．１に対応する。し
たがって、他の基板材料を使用する場合には、グレーテ
ィング反射器のＡＱスストリップ本当たりの表面弾性波
反射率が０．０１から０゜１に対応するように規格化Ａ
Ｑ膜厚を設定してやればよい。

また、実験では中心周波数３８０　Ｍ　Ｈｚの素子と２
５４．５ＭＨｚの素子を作成したが、表面弾性波デバイ
スの特徴としてインタディジタル電極およびグレーティ
ング反射器の線幅および周期を変えることにより中心周
波数は自由に変更することができる。したがって、本発
明は表面弾性波デバイスの中心周波数によって制約され
るものではない。

なお、第１のデバイスも第２のデバイスも反射器側のグ
レーティングの周期を１表面弾性波の波長に合わせた。

さらに、横モード抑圧のために上記実施例においては、
コサインアポダイズまたは直線アポダイズで重み付けを
行なうようにしたが、その他の横モード抑圧法として、
コサイン２乗アポダイズ、変形コサインアポダイズがあ
り、これらの重み付は法を用いた場合、インタディジタ
ル電極対数の数本の増減で、コサインアボタイズを用い
た場合と同じ結果が得られることを確かめた。

また、所要のパラメータを上述した如き範囲に設定する
本発明の表面弾性波デバイスを実際に製造する場合には
、例えば、入出力インタディジタル電極間に適当な幅を
有するシールド電極を設け、これを接地すること、ある
いは入出力インタディジタル電極の端の電極指を接地す
ることによって入出力インタディジタル電極間の直達波
を阻止するよう構成することが望ましいのはいうまでも
ない。

一方、圧電基板の材料としては、温度特性、電気機械結
合係数等、特性バラツキの少ないリチウムテトラボレー
トが現状では最適である。しかしながら、本発明の原理
は、すべての圧電材料またはガラス等に圧電物質を付着
した複合基板等にも適用できることは言うまでもない。

また、以上の説明においては、表面弾性波を用いること
についてのみ説明してきたが必ずしもこれに限定する必
要はなく１例えば、基板表面直下を伝搬するすべり波、
ラブ波、５ＳＷＢ、ＳＨ波。

リーキー波あるいはブルースタイン・フーリエ・清水波
等に関しても全く同様に適用可能である。

即ち、インタディジタル電極を有する共振子は、上記各
波をも励起することが既に立証されており、電極下の振
動エネルギーを閉じ込めることができるとともに、多重
モードの振動を発生する条件が存在するからである。

なお、入出力端子への電極の接続の仕方は上記実施例に
限定されず、例えばインタディジタル電極２ａと３ｂ、
３ｂ’　を入力端子対とし、インタディジタル電極２ｂ
と３ａ、３ａ’　を出力端子対としてもよい、ただし、
入力側電極と出力側電極の組合せが対称である接続の仕
方を採用した方が帯域内リップルを小さくすることがで
きる。

［発明の効果］ 以上説明したようにこの発明は圧電基板上の表面弾性波
伝搬方向に沿って、３個以上のインタディジタル電極を
近接配置し該インタディジタル電極のうち少なくとも１
個を入力端子に接続し、残りのインタディジタル電極を
出力端子に接続すると共に、前記インタディジタル電極
の両外側に少なくとも１組の反射器を配置してなる表面
弾性波共振子フィルタにおいて、インタディジタル電極
の総対数Ｎｉ十Ｎ２を４０対以上１５０対以下とし、か
つ入力用インタディジタル電極の総対数Ｎ２と出力用イ
ンタディジタル電極の総対数Ｎ□との比を、１．４以上
２．４以下とするとともに、インタディジタル電極の電
極指の最大交差＠Ｗと通過中心周波数の表面波波長λと
の比Ｗ／λを５０以上１８０以下の範囲に設定するよう
にしたので、インタディジタル電極を３個以上設けてフ
ィルタを構成しているため、設計の自由度が増大し、所
望のフィルタ特性を得るため設計が容易になるとともに
、インタディジタル電極の総対数と対数比を所定の範囲
内で選択するようにしたため帯域内リップルを低減させ
ることができ、また、インタディジタル電極の最大交差
幅と入力インタディジタル電極の対数を所定の範囲内で
選択するようにしたため、入力インピーダンスを下げ挿
入損失を減少させることができるとともに、影像インピ
ーダンスと終端インピーダンスとの整合がとりやすくな
り、フィルタの帯域幅を広くすることが可能となるとい
う効果がある。また、上記構成のフィルタは帯域外スプ
リアスレベルが低く帯域外減衰量が大きいという利点を
有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る表面弾性共振子フィルタの構成例
を示す説明図、 第２図は表面弾性共振子において出力端を短絡したとき
の入力インピーダンスＺａと、出力端を開放にしたとき
の入力インピーダンスｚｂのそれぞれの共振周波数およ
び反共振周波数と総対数との関係を示す図。 第３図はインタディジタル電極の総対数を１００対、終
端インピーダンスを５０Ωとしたときの周波数応答を表
わす図、 第４図はインタディジタル電極の総対数を固定し、イン
タディジタル電極の対数比を変えたときの入力インピー
ダンスＺａ、Ｚｂのそれぞれの共振周波数と反共振周波
数を示す図、 第５図は同じくインタディジタル電極の対数比を２．０
とした場合の周波数応答を表わす図。 第６図はインタディジタル電極の総対数とインタディジ
タル電極の対数比を固定して最大交差幅を変化させたと
きの影像インピーダンスの変化を表わす図、 第７図および第８図は本発明で提案した範囲内で各パラ
メータを具体的に設定して得られたデバイスの周波数応
答を示す図である。 １・・・・圧電基板、２　ａ　、　２　ｂ　、　３　ａ
　、　３　ｂ　”　”インタディジタル電極、４ａ、４
ｂ・・・・反射器。 第６図 Ｗ／入 手続補正書 （自発） 平成 １年 ５月２６日 ２、発明の名称 表面弾性波共振子フィルタ ３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 名称　　　日本鉱業株式会社 ４、代理人 〒１６２ 東京都新宿区市谷本村町３番２０号 新盛堂ビル別館５階電話０３（２６９）２６１１（１）
明細書の「特許請求の範囲」の欄（２）明細書の「発明
の詳細な説明」の欄、４；＼ ６、補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）明細書第３頁第１８行目に、「方法として、１個
の」とあるのを、「方法として、Ｌ　ｉ　Ｔ　ａ○。 および水晶基板を使用し、１個の」と補正する。 （３）明細書第８頁第１３行目に「バルク法」とあるの
とを、「バルク波」と補正する。 （４）明細書第８頁第１８行目〜同第１９行目に、「反
対称格子形回路」とあるのを、「対称格子形回路」と補
正する。 （５）明細書第９頁第２行目に、「対称モードの数をＰ
、Ｊとあるのを、「対称モードの数をｐ、」と補正する
。 （６）明細書第１０頁第３行目に、「接続するとともに
、多段に」とあるのを、「接続する。この表面弾性波共
振子を、接続面に対して対称的に多段に」と補正する。 （７）明細書第１０頁第４行目に、「電気的特性が」と
あるのを、「電気的特性は」と補正する。 （８）明細書第１０頁第１５行目に、「設定することか
」とあるのを、「設定すること」と補正する。 （９）明細書第１４頁第１８行目に、「変化させて、１
段目の」とあるのを、「変化させて１段目と２段目の表
面弾性波共振子を接続面で切り離し、１段目の」と補正
する。 （１０）明細書第１４頁第１９行目〜同第２０行目に、
「出力端すなわちインタディジタル電極３ａと３ａ′を
短絡した」とあるのを、「出力端を短絡した」と補正す
る。 （１１）明細書第１５頁第７行目に、「Ｎ工／Ｎ２が１
」とあるのを、「Ｎ□／Ｎ２が２」と補正する。 （１２）明細書第１５頁第４行目ｉ、−１「対数比が２
゜５」とあるのを、「対数比が１．５」と補正する。 （１３）明細書第１７頁第９行目に、’　Ｎ　ｉ　／　
Ｎ　ｘを１゜５」とあるのを、ｒＮ１／Ｎ、を２．０」
と補正する。 （１４）明細書第１８頁第１７行目に、「第８図」とあ
るのを、「第７図」と補正する。 （１５）明細書第１９頁第１１行目および同第１２行目
に、「第９図Ｊとあるのを、それぞれ「第８図」と補正
する。 （１６）明細書第２２頁第４行目に、ｒｓｓＷＢｊとあ
るのを、ｒｓｓＢＷＪと補正する。 別紙 ２、特許請求の範囲 （１）圧電基板上の表面弾性波伝搬方向に沿って、３個
以上のインタディジタル電極を近接配置し該インタディ
ジタル電極のうち少なくとも１個を入力端子に接続し、
残りのインタディジタル電極を出力端子に接続すると共
に、前記インタディジタル電極の両件側に少なくとも１
組の反射器を配置してなる表面弾性波共振子フィルタに
おいて、インタディジタル電極の総対数Ｎよ＋Ｎ２を４
０対以上１５０対以下とし、かつ入力用インタディジタ
ル電極の総対数Ｎ２と出力用インタディジタル電極の総
対数Ｎ工との比Ｎ□／Ｎ２を、１．４以上２゜４以下と
するとともに、インタディジタル電極の電極指の最大交
差幅Ｗと通過中心周波数の表面波波長λとの比Ｗ／λを
５０以上１８０以下の範囲に設定するようにしたことを
特徴とする表面弾性波共振子フィルタ。 （２）上記圧電基板としてリチウムテトラボレートを用
いるとともに、上記インタディジタル電極とその両側に
配置される反射器を２組以上設け、それらを縦続接続し
て、上記インタディジタル電極を１紅１に対して対称的
に接続するようにしたことを特徴とする請求項１記載の
表面弾性波共振子フィルタ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）圧電基板上の表面弾性波伝搬方向に沿って、３個
   以上のインタディジタル電極を近接配置し該インタディ
   ジタル電極のうち少なくとも１個を入力端子に接続し、
   残りのインタディジタル電極を出力端子に接続すると共
   に、前記インタディジタル電極の両外側に少なくとも１
   組の反射器を配置してなる表面弾性波共振子フィルタに
   おいて、インタディジタル電極の総対数Ｎ＿１＋Ｎ＿２
   を４０対以上１５０対以下とし、かつ入力用インタディ
   ジタル電極の総対数Ｎ＿２と出力用インタディジタル電
   極の総対数Ｎ＿１との比Ｎ＿１／Ｎ＿２を、１．４以上
   ２．４以下とするとともに、インタディジタル電極の電
   極指の最大交差幅Ｗと通過中心周波数の表面波波長λと
   の比Ｗ／λを５０以上１６０以下の範囲に設定するよう
   にしたことを特徴とする表面弾性波共振子フィルタ。
2. （２）上記圧電基板としてリチウムテトラボレートを用
   いるとともに、上記インタディジタル電極とその両側に
   配置される反射器を２組以上設け、それらを縦続接続し
   て、上記インタディジタル電極を入出力端子に対して対
   称的に接続するようにしたことを特徴とする請求項１記
   載の表面弾性波共振子フィルタ。