JPH0220267U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0220267U JPH0220267U JP9815288U JP9815288U JPH0220267U JP H0220267 U JPH0220267 U JP H0220267U JP 9815288 U JP9815288 U JP 9815288U JP 9815288 U JP9815288 U JP 9815288U JP H0220267 U JPH0220267 U JP H0220267U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- ions
- implantation apparatus
- ion implantation
- gate valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図は本考案の第1の実施例を示す概略図、
第2図は本考案の第2の実施例を示す概略図、第
3図は従来例を示す概略図である。 103,104,202,203,301……
イオンソース部、105,106,204,20
5……ゲートバルブ、107,108,207,
302……イオンビーム、102,209,30
5……ガスボンベ、111,112,210,2
11,306……ガス配管、110,208,3
04……加速部。
第2図は本考案の第2の実施例を示す概略図、第
3図は従来例を示す概略図である。 103,104,202,203,301……
イオンソース部、105,106,204,20
5……ゲートバルブ、107,108,207,
302……イオンビーム、102,209,30
5……ガスボンベ、111,112,210,2
11,306……ガス配管、110,208,3
04……加速部。
Claims (1)
- 半導体ウエーハにイオンをドーピングするイオ
ン注入装置において、ドーピングするイオンをイ
オン化するイオンソースを複数装備し、各イオン
ソース部にゲートバルブを設けたことを特徴とす
るイオン注入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9815288U JPH0220267U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9815288U JPH0220267U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0220267U true JPH0220267U (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=31324160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9815288U Pending JPH0220267U (ja) | 1988-07-25 | 1988-07-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0220267U (ja) |
-
1988
- 1988-07-25 JP JP9815288U patent/JPH0220267U/ja active Pending