JPH02201511A - 超高純度流体用弁装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は超高純度流体用弁装置に関し、特に、弁体およ
び弁座によって形成される制御流路の有効断面積を可変
制御可能な調整手段を有して超高純度流体の流路に設け
られる超高純度流体用弁装置に関する。

〔従来の技術〕

超高純度流体用弁装置においては、少なくとも流体が接
触する部分には原則として非金属材料を使用しないよう
にしている。その理由は、たとえば高分子材料などでは
人気成分や洗浄液その他の異種流体などを吸収し、かつ
放出しゃすいため超高純度流体の純度低下をもたらす；
耐熱性に劣るためベーキング処理を施すことが困難であ
るがら効果的なパージングをなし得ない；流体が透過し
やすいためシール性が損なわれる；などである。

〔発明か解決しようとする課題〕

上述のように、超高純度流体用弁装置においては流路を
構成する部分に非金属材料を使用しないように努めてい
るが、これには例外もある。すなわち、従来の圧力調整
弁などにおいては弁座を金属製にすると閉塞状態におけ
るシール性が劣るため漏洩を生じやすくなるので、やむ
をえず高分子材料などから形成された弁座が用いられて
いる。

したがって、現状においては上述のような不具合を排除
することができないままになっている。

本発明は上述のような問題点を解決するためになされた
もので、金属製弁座を用いる調整手段を備えているにも
拘らず確実な閉塞状態を達成可能な超高純度流体用弁装
置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、弁体および弁座によって形成される制御流路
の有効断面積を可変制御可能な調整手段を有して超高純
度流体の流路に設けられる弁装置において、上記弁座を
金属材料から形成するとともに、上記調整手段の１次側
に設けられ、金属材料から上記調整手段の箱体と一体に
形成された第２弁座およびこの第２弁座と接離自在に対
向するメタルダイヤフラムを有する開閉弁を具備するこ
とを特徴とするものである。

〔作　用〕

本発明は上述のように構成されているので、調整手段に
非金属製弁座を設けることに伴なう上述のような不具合
は生じないし、金属製弁座にしたために生ずる閉塞状態
における漏洩流体は、上記Ｂ）ｊ閉弁によって遮断され
る。

〔実施例〕

以下、本発明について図示の一実施例を参照しながら説
明する。

第１図および第２図において、箱体１には流入路２およ
び流出路３が形成されるとともに、圧力調整弁４および
開閉弁５が一体に設けられている。

上記圧力調整弁４は、箱体１の本体６に形成された弁室
７、弁孔８を有して弁室７の開口端側に設けられた金属
材料製弁座９、弁座りと接離自在に対向して弁孔８の開
度、すなわち制御流路の有効断面積を可変制御可能に弁
室７内に設けられた弁体１０、弁体１０を閉方向に付勢
する第１バネ部材１１および、弁孔８を遊貫する連結稈
１２を介して弁体１０と連結された連結部材１３などを
備えている。そして、上記弁室７は後述するように上記
開閉弁５を介して上記流入路２と開閉自在に連通される
とともに、弁孔８を介して上記流出路３と連通されてい
る。また、周縁部が上記本体６と蓋体１４との間に支持
されたダイフラム１５は、その中央部が内側バネ座１６
と上記連結部材１３との間に挟持されている。内側バネ
座１６と外側バネ座１７との間に設けられ弁体１０を開
方向に付勢する第２バネ部材１８は、上記蓋体１４と螺
合するネジ軸１９に取付けられた。Ｍｆｌ￥用ハンドル
２０を回動操作することにより、上記第１バネ部材１１
と連係して流出路３における流体の圧力を所望値に設定
し得るようになっている。上記流入路２および流出路３
には、検出端２１および２２を有する圧力検出手段２３
および２４がそれぞれ設けられている。

一方、上記開閉弁５は、上記流入路２の内端部に位置し
て金属材料から箱体１の本体６と一体に形成された第２
弁座２１および、周縁部が上記本体６に流体密に支持さ
れるとともに中央部が上記第２弁座２１と接離自在に対
向するメタルダイヤフラム２２などを篩えており、本体
６に取付けられた筒状部材２３と螺合するネジ軸２４を
、これに取付けられた開閉用ハンドル２５を介して回動
操作することにより開閉されるようになっている。

そして、上記圧力調整弁４およ°び開閉弁５は、内部に
流通される流体との全接触面にサブミクロンレベルの鏡
面仕上げが施されている。

」二連のように構成された装置において開閉用ハンドル
２５を回動操作することにより開閉弁５を開くと、流体
は流入路２から開閉弁５を経て圧カニＪｓ！１弁４の弁
室７に流入し、調整用ハンドル２゜を介して圧力調整弁
４に予め設定された所望圧力の流体が流出路３から流′
出する。また、開閉弁５を閉状態にすれば上述のような
流体の流動は停止される。

そして、圧力調整弁４においては弁座りが金属材料から
形成されているから、高分子材料製弁座を有する上記従
来例におけるような不具合が全て一掃され、大気成分や
洗浄液その他の異種流体などの吸収がなく、したがって
放出が少ないから超高純度流体の純度低下をもたらすよ
うなことがなく、耐熱性に優れているからベーキング処
理による効果的パージングを行なうことができ、かつ流
体の透過などを生ずるようなこともない。また、開閉弁
５においては金属材料から圧力調整弁４の箱体］の本体
６と一体に形成された第２弁座２１およびこの第２弁座
と接離自在に対向するメタルダイヤフラム２２を備えて
いるので、閉状態においては完全かつ確実に閉塞され、
漏洩を生ずるようなことがない。したがって、圧力調整
弁４において金属製弁座りを設けたため閉塞状態で漏洩
を生じ得るような状態になったとしても、流体の流動は
開閉弁５によって確実に阻止することかできる。

すなわち、上述のように１異成することにより圧力調整
弁４には調整機能を分ｔｎさせるとともに開閉弁５には
閉塞機能を分担させるようにしたので、総合機能をさら
に向上させることができる。しかも、上記圧力調整弁４
および開閉弁５は、内部に流通される流体との全接触面
にサブミクロンレベルの鏡面仕上げが施されているので
、流体の吸１にが少なくなるとともに、特に開閉弁５に
おいては第２弁座２１とメタルダイヤフラム２２との相
互接触部におけるシール特性が改善されるなどの効果が
ある。また、圧力調整弁４と開閉弁５とを一体に設けた
ので、開閉弁５を追加したことによる装備上のスペース
や手数などの増加を伴なうことがなく、かっ流路の長さ
や流体との接触面積、流体が滞留しやすいデッドスペー
スなども実質的に増大しないから、特に超高純度流体用
として好適である。

なお、本発明は上記実施例のみに限定されるものではな
（、たとえば上記圧力調整弁４の１次側すなわち流入路
２側だけでなく、２次側すなわち流出路３側にも開閉弁
５を設けるようにしてもよい。その他、本発明の要旨と
するところの範囲内で種々の変更ないし応用が可能であ
る。

〔発明の効果〕

本発明によれば、上述のように金属製弁座を用いる調整
手段を備えているにも拘らず確実な閉塞状態を達成可能
な超高純度流体用弁装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図はその縦断面図
、第２図は第１図の■−■線に沿う横断面図である。 １・・・箱体、２・・・流入路（１次側）、３・・・流
出路（２次側）　４・・・圧力調整弁（，２！Ｊ整手段
）５・・・開閉弁、８・・・弁孔、９・・・弁座、１０
・・・弁体、２１・・・第２弁座、２２・・・メタルダ
イヤフラム。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 弁体および弁座によって形成される制御流 路の有効断面積を可変制御可能な調整手段を有して超高
   純度流体の流路に設けられる弁装置において、上記弁座
   を金属材料から形成するとともに、上記調整手段の１次
   側に設けられ、金属材料から上記調整手段の箱体と一体
   に形成された第２弁座およびこの第２弁座と接離自在に
   対向するメタルダイヤフラムを有する開閉弁を具備する
   ことを特徴とする超高純度流体用弁装置。