JPH02187732A - 光学フィルター - Google Patents

光学フィルター

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JPH02187732A
JPH02187732A JP834589A JP834589A JPH02187732A JP H02187732 A JPH02187732 A JP H02187732A JP 834589 A JP834589 A JP 834589A JP 834589 A JP834589 A JP 834589A JP H02187732 A JPH02187732 A JP H02187732A
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Toshihiko Makino
俊彦 牧野
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Furukawa Electric Co Ltd
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    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • G02F1/218Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference using semi-conducting materials

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電気的に通過中心波長を変えることのできる
光学フィルターに関する。
〔従来の技術〕
屈折率の高い誘電体薄膜と屈折率の低い誘電体薄膜を1
/4波長の光学的厚さで交互に繰り返し積層された多層
薄膜は、干渉を利用した光学フィルターとして広く用い
られている。例えば第2図に示すように、高屈折率の薄
膜としてTiO□層(8)(屈折率2.3)を、低屈折
率の薄膜としてSiO□層(9)(屈折率1.5)を光
学的厚さが1/4波長厚さで交互に繰り返し積層すると
、中心波長λ。
(1/4波長が膜厚となる波長)において反射率が最大
となる高反射ミラーが得られる。また、多層股間に1/
2波長の整数倍の厚みのTilt層00)またはSiO
□の膜を挿入すると、λ。において透過率が最大となる
光帯域通過フィルターが得られる。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記のような誘電体多層膜フィルターでは、通過中心波
長は屈折率と膜厚によって決まり、通過中心波長を可変
にすることができないという問題点がある。ただし、1
/2波長の整数倍の厚みを有する膜を電気光学効果を有
する膜、例えばLiNb0.によって構成し、電界を印
加することによってその屈折率を変えれば、通過中心波
長を変えることができるが、その屈折率変化は非常に小
さく実用的ではない。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は以上のような点にかんがみてなされたもので、
その目的とするところは、通過中心波長が電気的に可変
な光帯域通過フィルターを提供することにあり、その要
旨は、互いに屈折率が異なり且つ光学的厚さが通過波長
の1/4波長である両半導体薄膜が交互に10〜100
層繰り返し積層された半導体積層体中に、光学的厚さが
通過波長の1/2波長の整数倍である1/2波長半導体
を介在させて構成した光学フィルターにおいて、前記1
/2波長半導体は量子井戸構造によって構成され、且つ
電界の印加がなされることを特徴とする光学フィルター
である。
〔作用〕
量子井戸構造の層厚方向に104〜105V/c+n程
度の電界を印加すると、屈折率が大きく変化することが
知られている。本発明はこの現象を利用したもので、上
記構造の干渉フィルターにおいて、挟入された量子井戸
構造からなる薄膜に電界を印加すると、この薄膜の屈折
率が変化して光学的厚さが変化し、したがって、透過光
の中心波長が変化する。このようにして、本発明によれ
ば、透過光の中心波長を電気的に制御することができる
多層膜干渉フィルターを得ることができる。
(実施例〕 以下図面に示した実施例に基づい−C本発明を説明する
第1図は本発明にかかわる光フィルターの一実施例の要
部断面図であり、InP基板(1)上に光学的厚さが1
/4波長厚さであるGalnAsP層(2)とlnP層
(3)を交互に繰り返し30層積層して多層構造とし、
そのほぼ中央付近に量子井戸構造からなる光学的厚さが
1/2波長の整数倍である多重量子井戸層(4)が挟入
されている。この多重量子井戸層(4)は100人のG
alnAsP層と100人のInPパンフ7層を14回
繰り返して積層したものである。多層膜上には、Ga1
nAsPコンタクト層(5)を介して電極(7)が設け
られ、InP基板(1)側にはもう一方の電極(6)が
設けられている。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、多層膜干渉フィル
ターにおいて、光学的厚さが1/4波長の薄膜が半導体
よりなり、光学的厚さが1/2波長の整数倍である薄膜
が量子井戸構造からなるため、電界を印加することによ
り、通過中心波長を制御できるという優れた効果がある
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明にがかる一実施例の要部断面図であり、
第2図は一従来例の要部断面図である。 1−1 n P基板、 2−Ga I nAs P層、
3・・・InP層、 4・・・多重量子井戸層、 5・
・・Ga1nAsPコンタクト層、 6,7・・・電極
、8.10・・・TiO□層、  9・・・SiO□層

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 互いに屈折率が異なり且つ光学的厚さが通過波長の1/
    4波長である両半導体薄膜が交互に繰り返し積層された
    半導体積層体中に、光学的厚さが通過波長の1/2波長
    の整数倍である1/2波長半導体を介在させて構成した
    光学フィルターにおいて、前記1/2波長半導体は量子
    井戸構造によって構成され、且つ電界の印加がなされる
    ことを特徴とする光学フィルター。
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