JPH0217429A - レーザ方式ガスセンサによる濃度測定方法 - Google Patents
レーザ方式ガスセンサによる濃度測定方法Info
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- JPH0217429A JPH0217429A JP16807788A JP16807788A JPH0217429A JP H0217429 A JPH0217429 A JP H0217429A JP 16807788 A JP16807788 A JP 16807788A JP 16807788 A JP16807788 A JP 16807788A JP H0217429 A JPH0217429 A JP H0217429A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 77
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 5
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 4
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 235000008694 Humulus lupulus Nutrition 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔４既 １皮〕
レーザ光を用いて複数ガス種の濃度を検知するレーザ方
式ガスセンサによるガス濃度測定方法に関し、 １個のレーザ光源を用いて光学系を小型化することを目
的とし、 レーザ光源より放射されるレーザ光を被測定ガス中に透
過させ、その透過光のスペクトル強度を光検知器によっ
て電気信号に変換し、その電気信号に基づいて前記被ｆ
ｉｊｌｌ定ガスの濃度を算出して検出するレーザ方式ガ
スセンサにおいて、ｎ種のガス種の吸収線が存在する波
長領域で発光する１個のレーザ光源を配設し、該レーザ
光源から放射されるレーザ光を分割して、分割したレー
ザ光それぞれを被測定ガスおよび前記ｎ種のガス種゛の
１種を収容したｎ個の参照セルに透過させて、各々ｉポ
イントからなる吸収スペクトルを求め、参１（＜（セル
を用いて得た各ポイントの信号値を要素としたｉ行ｎ列
の行列Ａと、該行列の転置行列Ｂとの槓ｌ３ＸＡの逆行
列１／ （ＢＸＡ）、および被測定ガスを用いて得た各
ポイントの信号値を要素とするｉ行１列の行列Ｃと前記
転置行列Ｂとの積ＢＸＣを計算し、更に１／ （ＢｘＡ
）Ｘ （ＢｘＣ）なる演算をおこなって、前記被測定ガ
スに含まれる前記ｎ種のガス種の濃度を算出するように
したごとを特徴とする。
式ガスセンサによるガス濃度測定方法に関し、 １個のレーザ光源を用いて光学系を小型化することを目
的とし、 レーザ光源より放射されるレーザ光を被測定ガス中に透
過させ、その透過光のスペクトル強度を光検知器によっ
て電気信号に変換し、その電気信号に基づいて前記被ｆ
ｉｊｌｌ定ガスの濃度を算出して検出するレーザ方式ガ
スセンサにおいて、ｎ種のガス種の吸収線が存在する波
長領域で発光する１個のレーザ光源を配設し、該レーザ
光源から放射されるレーザ光を分割して、分割したレー
ザ光それぞれを被測定ガスおよび前記ｎ種のガス種゛の
１種を収容したｎ個の参照セルに透過させて、各々ｉポ
イントからなる吸収スペクトルを求め、参１（＜（セル
を用いて得た各ポイントの信号値を要素としたｉ行ｎ列
の行列Ａと、該行列の転置行列Ｂとの槓ｌ３ＸＡの逆行
列１／ （ＢＸＡ）、および被測定ガスを用いて得た各
ポイントの信号値を要素とするｉ行１列の行列Ｃと前記
転置行列Ｂとの積ＢＸＣを計算し、更に１／ （ＢｘＡ
）Ｘ （ＢｘＣ）なる演算をおこなって、前記被測定ガ
スに含まれる前記ｎ種のガス種の濃度を算出するように
したごとを特徴とする。
本発明はレーザ光を用いて複数ガス種の濃度を検知する
レーザ方式ガスセンサによるガス？１３度測定方法に関
する。
レーザ方式ガスセンサによるガス？１３度測定方法に関
する。
〔従来の技術と発明が解決しようとする課題〕従来、吸
収スペクトルの重なるｎ ＄ｉ１ｊのガス種の各々の濃
度を測定する場合、まず、重なりの様子の各々異なるｎ
個所の波長領域における吸収スペクトルを測定する。即
ち、９種中の［っのガス種が他のガス種と区別がつき易
い波長領域を選んで、その波長領域のスペクトル強度を
測定し、かくして、ｎ個所の波長’６ｆＪ域を選んで、
そのような波長領域を発光するレーデ光源を用いて、そ
れぞれｎ個のスペクトル強度を測定する。そうして、得
られたスペクトル信号値の行列を演算装置によって求め
る。一方、各々のガス種の既知濃度のスペクトル信号値
を測定して、その信号レベルと既知濃度との比をｎ行ｎ
列の行列で求め、その逆行列を計算して補正係数とし、
その補正係数の逆行列を前記の行列に乗算して補正し、
そのようにして、ｎ種のガス種の濃度を算出していた（
特願昭６２−２３０２５１号参照）。
収スペクトルの重なるｎ ＄ｉ１ｊのガス種の各々の濃
度を測定する場合、まず、重なりの様子の各々異なるｎ
個所の波長領域における吸収スペクトルを測定する。即
ち、９種中の［っのガス種が他のガス種と区別がつき易
い波長領域を選んで、その波長領域のスペクトル強度を
測定し、かくして、ｎ個所の波長’６ｆＪ域を選んで、
そのような波長領域を発光するレーデ光源を用いて、そ
れぞれｎ個のスペクトル強度を測定する。そうして、得
られたスペクトル信号値の行列を演算装置によって求め
る。一方、各々のガス種の既知濃度のスペクトル信号値
を測定して、その信号レベルと既知濃度との比をｎ行ｎ
列の行列で求め、その逆行列を計算して補正係数とし、
その補正係数の逆行列を前記の行列に乗算して補正し、
そのようにして、ｎ種のガス種の濃度を算出していた（
特願昭６２−２３０２５１号参照）。
しかし、そのような濃度測定方法によれば、重なりの様
子が異なって区別がつき易い複数の波長領域におけるス
ペクトルを測定するために、被測定ガスの種類だけ波長
の異なるｎ個のレーザ光源が必要であり、そのため、高
価なレーザ光源を多数使用して、ガスセンサ装置の光学
系が大型化する欠点があった。
子が異なって区別がつき易い複数の波長領域におけるス
ペクトルを測定するために、被測定ガスの種類だけ波長
の異なるｎ個のレーザ光源が必要であり、そのため、高
価なレーザ光源を多数使用して、ガスセンサ装置の光学
系が大型化する欠点があった。
第６図はその従来のガスセンサにおける光学系を示す図
で、１．、 ＋、 Ｌ ｚ−・−Ｌ７はレーザ光源、に
は被測定ガスセル、Ｎ、、Ｎ２−Ｎ、１は既知の濃度の
１つのガス種を収容した参照セル、 Ｍｌｌ、Ｍ１２゜
Ｍ２１１ ＭＺＺ””’ＭＩ’ｌｌ＋ Ｍｎｚは検知器
、 Ｉ−１はハーフミラ−、Ｒはレンズ、Ｍはミラー
である。
で、１．、 ＋、 Ｌ ｚ−・−Ｌ７はレーザ光源、に
は被測定ガスセル、Ｎ、、Ｎ２−Ｎ、１は既知の濃度の
１つのガス種を収容した参照セル、 Ｍｌｌ、Ｍ１２゜
Ｍ２１１ ＭＺＺ””’ＭＩ’ｌｌ＋ Ｍｎｚは検知器
、 Ｉ−１はハーフミラ−、Ｒはレンズ、Ｍはミラー
である。
図のように、異なる波長領域をもったｎ個のレーザ光源
を設け、区別し易い波長領域をもつ１つのレーザ光源か
らのレーザ光を被測定ガスと神頼。
を設け、区別し易い波長領域をもつ１つのレーザ光源か
らのレーザ光を被測定ガスと神頼。
濃度が既知の１つの参照ガスとを比較し、かくしで、ｎ
個の参照ガスと比較して、上記したように行列で求め、
補正係数の逆行列を乗算してｎ種のガス種の濃度を算出
していた。
個の参照ガスと比較して、上記したように行列で求め、
補正係数の逆行列を乗算してｎ種のガス種の濃度を算出
していた。
本発明はそのような多くの高価なレーザ光源を用いるこ
となく、１個のレーザ光源を用いて光学系を小型化する
ことを目的としたガスセンサを提案するものである。
となく、１個のレーザ光源を用いて光学系を小型化する
ことを目的としたガスセンサを提案するものである。
その課題は、第１図に示す原理図のように、ｎ種のガス
種の吸収線が存在する波長領域で発光する１個のレーザ
光源Ｉ、。を配設し、該レーザ光源から放射されるレー
ザ光を分割して、分割したレーザ光それぞれを被測定ガ
スセルにおよび前記ｎ種のガス種の１種を収容したｎ個
の参照セルＮ１〜Ｎｎに透過させて、各々ｉポイントか
らなる吸収スペクトルを求め、下記（２）式からなる演
算をおこなって、被測定ガスに含まれる前記ｎ種のガス
種の濃度を算出するようにしたガス濃度測定方法によっ
て解決される。尚、第１図においてＮ６゜Ｍ、〜ＭＬ１
は検知器、Ｈはハーフミラ−１Ｍはミラーである。
種の吸収線が存在する波長領域で発光する１個のレーザ
光源Ｉ、。を配設し、該レーザ光源から放射されるレー
ザ光を分割して、分割したレーザ光それぞれを被測定ガ
スセルにおよび前記ｎ種のガス種の１種を収容したｎ個
の参照セルＮ１〜Ｎｎに透過させて、各々ｉポイントか
らなる吸収スペクトルを求め、下記（２）式からなる演
算をおこなって、被測定ガスに含まれる前記ｎ種のガス
種の濃度を算出するようにしたガス濃度測定方法によっ
て解決される。尚、第１図においてＮ６゜Ｍ、〜ＭＬ１
は検知器、Ｈはハーフミラ−１Ｍはミラーである。
の場合について説明する。波長領域を１＝Ｉ００ポイン
トに等分割して、Ｎ１ガスを収容した参照セルＮ、によ
る単位濃度当りのスペクトル信号値を（Ｌ、＋ ＋ Ｘ
Ｉ＋２ ＋ ” ’、Ｌ、＋ｏｏ）Ｎ２ガスを収容し
た参照セルＮ２によるｊｐ位濃度当りのスペクトル信号
値を （Ｎ２．ｌ、χ２＋２１ ” ’、ｘ２＋１ＯＱ）被
測定ガスを収容した被測定ガスセルＫにょる華イ１７瀞
度当りのスペクトル信号値を （Ｙ＋ 、 Ｙ２ 、 ・・・、 Ｙ＋ｏｏ ）
とし、被測定ガス中のＮ１ガスとＮ２ガスの濃度が各々
ａとｂであれば、 （作 用〕 即ち、本発明はレーザの１つのモード（モードホップの
ない連続的に波長を変え得る領域；２０〜５０人範υ■
）によってｎ個のガス種の吸収スペクトルを測定し、次
の信号処理を演算装置によりおこなわせる。
トに等分割して、Ｎ１ガスを収容した参照セルＮ、によ
る単位濃度当りのスペクトル信号値を（Ｌ、＋ ＋ Ｘ
Ｉ＋２ ＋ ” ’、Ｌ、＋ｏｏ）Ｎ２ガスを収容し
た参照セルＮ２によるｊｐ位濃度当りのスペクトル信号
値を （Ｎ２．ｌ、χ２＋２１ ” ’、ｘ２＋１ＯＱ）被
測定ガスを収容した被測定ガスセルＫにょる華イ１７瀞
度当りのスペクトル信号値を （Ｙ＋ 、 Ｙ２ 、 ・・・、 Ｙ＋ｏｏ ）
とし、被測定ガス中のＮ１ガスとＮ２ガスの濃度が各々
ａとｂであれば、 （作 用〕 即ち、本発明はレーザの１つのモード（モードホップの
ない連続的に波長を変え得る領域；２０〜５０人範υ■
）によってｎ個のガス種の吸収スペクトルを測定し、次
の信号処理を演算装置によりおこなわせる。
その信号処理の説明を簡単にするためにｎ＝２なる関係
が成立し、これを書き換えると、が成立する。この式の
両辺に、 になる。この式の両辺に、 を掛は合わすと、 即ち、逆行列をかけると、 になり、 になる。即ち、 （Ｌ＋ Ｉ ＋ Ｘ＋−２＋ ・・・、χ７．１゜。
が成立し、これを書き換えると、が成立する。この式の
両辺に、 になる。この式の両辺に、 を掛は合わすと、 即ち、逆行列をかけると、 になり、 になる。即ち、 （Ｌ＋ Ｉ ＋ Ｘ＋−２＋ ・・・、χ７．１゜。
）（Ｘｚ、＋ 、Ｎ２，２ 、” ・、 Ｘｚ、＋ｏｏ
）（ｙ＋ 、ｙｚ 、 ・・・、Ｙ、。。）を測定し
て°、上式の演算をおこなえば被測定ガス内のＮ、ガス
とＮ２ガスとの濃度ａ、ｂを求めることができる。
）（ｙ＋ 、ｙｚ 、 ・・・、Ｙ、。。）を測定し
て°、上式の演算をおこなえば被測定ガス内のＮ、ガス
とＮ２ガスとの濃度ａ、ｂを求めることができる。
被測定ガスが３種類以上でもハーフミラ−１参照セルを
増やせば同様であり、ガス種をｎ、？５度をａｌ＋
ａ２＋ ・・・、ａｎとして、ことができる。
増やせば同様であり、ガス種をｎ、？５度をａｌ＋
ａ２＋ ・・・、ａｎとして、ことができる。
上記の演算をおこなえば、レーザの１モードによってｎ
種のガス種の吸収スペクトルを測定でき、１つのレーザ
光源のみを用いたガスセンサが構成できる。
種のガス種の吸収スペクトルを測定でき、１つのレーザ
光源のみを用いたガスセンサが構成できる。
以■、図面を参照して実施例によって詳細に説明する。
例えば、被測定ガスがＮ、ガスとＮ２ガスとの２種類か
らなり、それぞれがａ、ｂの濃度で含まれているとする
と、演算は（１）式でおこなうことができ、第２図に示
すガスセンサの光学系の構成になる。なお、第２図にお
いて、図中の記号は第１図と同一部位に同一記号が付け
てあり、１ぐはレンズである。
らなり、それぞれがａ、ｂの濃度で含まれているとする
と、演算は（１）式でおこなうことができ、第２図に示
すガスセンサの光学系の構成になる。なお、第２図にお
いて、図中の記号は第１図と同一部位に同一記号が付け
てあり、１ぐはレンズである。
第３図はスペクトル１５号を処理する信号処理回路図を
示しており、上記に説明した以外の記号はＩＬ １２．
１３はロックインアンプ回路、 ２１．２２．２３はパ
ワー測定回路、 ３１．３２．３３．３４． ＋＋５．
３〔ｉはサンプルホールド回路、４０はマルチプレクサ
回路。
示しており、上記に説明した以外の記号はＩＬ １２．
１３はロックインアンプ回路、 ２１．２２．２３はパ
ワー測定回路、 ３１．３２．３３．３４． ＋＋５．
３〔ｉはサンプルホールド回路、４０はマルチプレクサ
回路。
４５は△Ｄコンバータ、５０は演算装置（マイクロコン
ピュータ）、５５はレーザの制御電源である。本発明で
は、例えば、測定しようとする波長領域を１００ポイン
ト （−ｉ）に区分けして波長数を順次に変え、それぞ
れを変調するが、そのための１＝１００ポイントのレー
ザ電流の変化図を第４図に示しており、演算装置５０か
らの指示により制御電源５５によってレーザ電流を図の
ように変化させる。
ピュータ）、５５はレーザの制御電源である。本発明で
は、例えば、測定しようとする波長領域を１００ポイン
ト （−ｉ）に区分けして波長数を順次に変え、それぞ
れを変調するが、そのための１＝１００ポイントのレー
ザ電流の変化図を第４図に示しており、演算装置５０か
らの指示により制御電源５５によってレーザ電流を図の
ように変化させる。
そうして、光は検知器Ｍ０〜Ｍ２によって電気信号に変
換される。ロックインアンプ回路は、二次高調波の成分
を検出する。また、パワー測定回路では電流カット時に
スペクトル強度を検出する。
換される。ロックインアンプ回路は、二次高調波の成分
を検出する。また、パワー測定回路では電流カット時に
スペクトル強度を検出する。
それらはサンプルホールド回路、マルチプレクサ回路４
０を経て順次にＡＤコンバータ４５でデジタル信号に変
換され、それが演算装置Ｙ７：５０で計算されて出力さ
れる。
０を経て順次にＡＤコンバータ４５でデジタル信号に変
換され、それが演算装置Ｙ７：５０で計算されて出力さ
れる。
第５図は実測ガスの二次微分スペクトルを例示しており
、被測定ガスがエタン（Ｃ２Ｈ６）とプロパン（Ｃ：＋
Ｈａ）との２種類であり、第１図（ａｌハ参参照セルＮ
回内プロパンガスのスペクトル。
、被測定ガスがエタン（Ｃ２Ｈ６）とプロパン（Ｃ：＋
Ｈａ）との２種類であり、第１図（ａｌハ参参照セルＮ
回内プロパンガスのスペクトル。
同図（ｂｌは参照セルＮｚ内のエタンガスのスペクトル
、同図（Ｃ１は被測定ガスのエタンガスとプロパンガス
とを含むスペクトルであって、このようなスペク１−ル
が１００ポイン１−に区分されて検知され、上記（１）
弐より演算・補正されて各々の；溜度が検知されるもの
である。
、同図（Ｃ１は被測定ガスのエタンガスとプロパンガス
とを含むスペクトルであって、このようなスペク１−ル
が１００ポイン１−に区分されて検知され、上記（１）
弐より演算・補正されて各々の；溜度が検知されるもの
である。
なお、前記した従来法では二次微分スペクトルの特徴あ
る２〜３ポイントのみを選んで算出していたが、本発明
にかかる測定方法では細かく区分した多数ポイントから
なるスペクトル波形を描きだして算出することが大きく
相違している点である。
る２〜３ポイントのみを選んで算出していたが、本発明
にかかる測定方法では細かく区分した多数ポイントから
なるスペクトル波形を描きだして算出することが大きく
相違している点である。
以上の説明から明らかなように、本発明にかかる濃度測
定方法によれば高価なレーザ光源を多数用いることなく
、１個のレーザ光源を用いてレーザ光源および検知器を
含む光学系を小型にし、ガスセンサを安価に作成するこ
とができる利点の大きいものである。
定方法によれば高価なレーザ光源を多数用いることなく
、１個のレーザ光源を用いてレーザ光源および検知器を
含む光学系を小型にし、ガスセンサを安価に作成するこ
とができる利点の大きいものである。
第１図は原理図、
第２図は実施例の光学系を示す図、
第３図は信号処理回路図、
第４図はレーザ電流の変化図、
第５図は実測ガスの二次微分スペクトル図、第６図は従
来の光学系を示す図である。 図において、 １、。はレーザ光源、 Ｋは被測定ガスセル、 Ｎ、〜Ｎ、、は参照セル、 Ｍ ｏ ”” Ｍ−は検知器、 １（はハーフミラ− Ｍはミラー を示している。 壁 透間 第１図 ＊二＃＃Ｊ ｌ１ｊｌ 、ｔ）ＴＪミ２≦七ニミｒ、Ｊ
ｌコイ１第２図 −一′ト岐梶 区とｘ−Ｌ全寛９怒
来の光学系を示す図である。 図において、 １、。はレーザ光源、 Ｋは被測定ガスセル、 Ｎ、〜Ｎ、、は参照セル、 Ｍ ｏ ”” Ｍ−は検知器、 １（はハーフミラ− Ｍはミラー を示している。 壁 透間 第１図 ＊二＃＃Ｊ ｌ１ｊｌ 、ｔ）ＴＪミ２≦七ニミｒ、Ｊ
ｌコイ１第２図 −一′ト岐梶 区とｘ−Ｌ全寛９怒
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 波長可変のレーザ光源より放射されるレーザ光を被測定
ガス中に透過させ、その透過光のスペクトル強度を光検
知器によつて電気信号に変換し、その電気信号に基づい
て前記被測定ガスの濃度を算出して検出するレーザ方式
ガスセンサにおいて、ｎ種のガス種の吸収線が存在する
波長領域で発光する１個のレーザ光源を配置し、該レー
ザ光源から放射されるレーザ光を分割して、分割したレ
ーザ光それぞれを被測定ガスセルおよび前記ｎ種のガス
種の１種を収容したｎ個の参照セルに透過させて、各々
のｉポイントからなる吸収スペクトルを求め、 ▲数式、化学式、表等があります▼ （但し、Ｘ＿１＿，＿ｉ〜Ｘ＿ｎ＿，＿ｉは参照セルを
透過したスペクトル信号値、Ｙ＿１〜Ｙ＿ｎは被測定ガ
スセルを透過したスペクトル信号値、ａ＿１〜ａ＿ｎは
ｎ種のガス温度） なる演算をおこなつて、前記被測定ガスに含まれる前記
ｎ種のガス種の濃度を算出するようにしたことを特徴と
するレーザ方式ガスセンサによるガス濃度測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16807788A JPH0217429A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | レーザ方式ガスセンサによる濃度測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16807788A JPH0217429A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | レーザ方式ガスセンサによる濃度測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217429A true JPH0217429A (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=15861417
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16807788A Pending JPH0217429A (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | レーザ方式ガスセンサによる濃度測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217429A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04243278A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-08-31 | Canon Inc | プロセスカートリッジのトナーシール構造 |
| JPH04113062U (ja) * | 1991-03-20 | 1992-10-01 | 横河電機株式会社 | 自動補正回路付吸光度計 |
| JPH11510254A (ja) * | 1995-08-01 | 1999-09-07 | メディスペクトラ・インコーポレーテッド | 光学的微細プローベ及び材料のスペクトル分析方法 |
| JP2009222527A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス濃度計測方法および装置 |
| JP2012108156A (ja) * | 2012-02-29 | 2012-06-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス濃度計測方法および装置 |
| WO2018042135A1 (fr) * | 2016-09-05 | 2018-03-08 | Elichens | Procédé d'analyse d'un gaz |
| EP3594659A1 (en) * | 2018-07-13 | 2020-01-15 | Yokogawa Electric Corporation | Spectrometry device and spectrometry method |
-
1988
- 1988-07-05 JP JP16807788A patent/JPH0217429A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04243278A (ja) * | 1991-01-18 | 1992-08-31 | Canon Inc | プロセスカートリッジのトナーシール構造 |
| JPH04113062U (ja) * | 1991-03-20 | 1992-10-01 | 横河電機株式会社 | 自動補正回路付吸光度計 |
| JPH11510254A (ja) * | 1995-08-01 | 1999-09-07 | メディスペクトラ・インコーポレーテッド | 光学的微細プローベ及び材料のスペクトル分析方法 |
| JP2009222527A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-01 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス濃度計測方法および装置 |
| JP2012108156A (ja) * | 2012-02-29 | 2012-06-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | ガス濃度計測方法および装置 |
| WO2018042135A1 (fr) * | 2016-09-05 | 2018-03-08 | Elichens | Procédé d'analyse d'un gaz |
| FR3055703A1 (fr) * | 2016-09-05 | 2018-03-09 | Elichens | Procede d’analyse d’un gaz |
| US11060972B2 (en) | 2016-09-05 | 2021-07-13 | Elichens | Method for analysing a gas |
| EP3594659A1 (en) * | 2018-07-13 | 2020-01-15 | Yokogawa Electric Corporation | Spectrometry device and spectrometry method |
| CN110715906A (zh) * | 2018-07-13 | 2020-01-21 | 横河电机株式会社 | 光谱测定装置和光谱测定方法 |
| US11555782B2 (en) | 2018-07-13 | 2023-01-17 | Yokogawa Electric Corporation | Spectrometry device and spectrometry method |
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