JPH02173607A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JPH02173607A JPH02173607A JP33036688A JP33036688A JPH02173607A JP H02173607 A JPH02173607 A JP H02173607A JP 33036688 A JP33036688 A JP 33036688A JP 33036688 A JP33036688 A JP 33036688A JP H02173607 A JPH02173607 A JP H02173607A
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- Japan
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- objective lens
- sample
- objective
- optical system
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は顕微鏡に関し、特に高速外観検査装置に適用し
た顕微鏡に関する。
た顕微鏡に関する。
従来の技術としては、例えばオリンパス光学工業株式会
社のカタログのに２０６２−８６０６Ｔ１５０に示され
ているように金属顕微鏡がある。
社のカタログのに２０６２−８６０６Ｔ１５０に示され
ているように金属顕微鏡がある。
次に、従来の顕微鏡について図面を参照して説明する。
第２図は従来の顕微鏡のブロック図である。
第２図に示す顕微鏡は、顕微鏡きよう体１３に固定した
対物レンズ１２と、対物レンズ１２を通して試料１１を
照明する照明装置１６と、試料１１を対物レンズ１２を
通して観察する接眼レンズ１７と、試料１１の観察位置
を対物レンズ１２に対して水平方向の位置決めを行う試
料ステージ１８と、試料１１を対物レンズ１２に対して
焦点合わせを行う焦点合わせ機構１９とから構成されて
いる。
対物レンズ１２と、対物レンズ１２を通して試料１１を
照明する照明装置１６と、試料１１を対物レンズ１２を
通して観察する接眼レンズ１７と、試料１１の観察位置
を対物レンズ１２に対して水平方向の位置決めを行う試
料ステージ１８と、試料１１を対物レンズ１２に対して
焦点合わせを行う焦点合わせ機構１９とから構成されて
いる。
使用方法は、試料１１の観察位置を対物レンズ１２に対
し試料ステージ１８により位置決めし、焦点合わせ機構
１９により焦点を合わせ接眼レンズ １７により観察す
る。
し試料ステージ１８により位置決めし、焦点合わせ機構
１９により焦点を合わせ接眼レンズ １７により観察す
る。
上述した従来の顕微鏡は、試料を対物レンズに対して水
平方向と上下方向とに移動させ、位置決めするようにな
っており、その試料の保持・固定Ｒ横部分の重量が大き
いので、慣性のため位置決めの高速化が困難であるとい
う問題点がある。
平方向と上下方向とに移動させ、位置決めするようにな
っており、その試料の保持・固定Ｒ横部分の重量が大き
いので、慣性のため位置決めの高速化が困難であるとい
う問題点がある。
本発明の目的は、位置決め部の重量を小さくでき、位置
決めの高速化が図れる顕微鏡を提供することにある。
決めの高速化が図れる顕微鏡を提供することにある。
本発明の顕微鏡は、観察試料に対向する無限遠光学系の
対物レンズと、前記観察試料の上方で前記対物レンズの
水平方向の位置決めを行うＸ−Ｙ軸ステージと、前記観
察試料の上下方向の位置と前記対物レンズの焦点との位
置合わぜを行うＺ軸ステージと、前記対物レンズへの光
路を構成する複数の反射鏡と、前記ｍ察試料を照明する
ための光を放射する無限遠光学系用の照明装置と、前記
照明装置から放射された光を反射し前記反射鏡を介して
前記対物レンズに送出し、且つ前記対物レンズ及び前記
反射鏡を介して送られてきた前記観察試料からの反射光
を透過するハーフミラ−と、前記ハーフミラ−を透過し
た前記観察試料からの反射光を受光する無限遠光学系の
接眼レンズとを備えて構成されている。
対物レンズと、前記観察試料の上方で前記対物レンズの
水平方向の位置決めを行うＸ−Ｙ軸ステージと、前記観
察試料の上下方向の位置と前記対物レンズの焦点との位
置合わぜを行うＺ軸ステージと、前記対物レンズへの光
路を構成する複数の反射鏡と、前記ｍ察試料を照明する
ための光を放射する無限遠光学系用の照明装置と、前記
照明装置から放射された光を反射し前記反射鏡を介して
前記対物レンズに送出し、且つ前記対物レンズ及び前記
反射鏡を介して送られてきた前記観察試料からの反射光
を透過するハーフミラ−と、前記ハーフミラ−を透過し
た前記観察試料からの反射光を受光する無限遠光学系の
接眼レンズとを備えて構成されている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例のブロック図である。
第１図に示す顕微鏡は、試料１に対向する無限遠光学系
の対物レンズ２、対物レンズ２の水平方向の位置決めを
行うＸ−Ｙ軸ステージ８、試料１の上下方向の位置と対
物レンズ２の焦点との位置合わせを行うＺ軸ステージ９
、対物レンズ２への光路を構成する反射鏡３，４、試料
１を照明するための光を放射する無限遠光学系用の照明
装置６、照明装置６から放射された光を反射し反射鏡３
．４を介して対物レンズ２に送出し、且つ対物レンズ２
及び反射鏡３．４を介して送られてきた試料１からの反
射光を透過するハーフミラ−５、ハーフミラ−５を透過
した試料１からの反射光を受光する無限遠光学系の接眼
レンズ７から構成されている。
の対物レンズ２、対物レンズ２の水平方向の位置決めを
行うＸ−Ｙ軸ステージ８、試料１の上下方向の位置と対
物レンズ２の焦点との位置合わせを行うＺ軸ステージ９
、対物レンズ２への光路を構成する反射鏡３，４、試料
１を照明するための光を放射する無限遠光学系用の照明
装置６、照明装置６から放射された光を反射し反射鏡３
．４を介して対物レンズ２に送出し、且つ対物レンズ２
及び反射鏡３．４を介して送られてきた試料１からの反
射光を透過するハーフミラ−５、ハーフミラ−５を透過
した試料１からの反射光を受光する無限遠光学系の接眼
レンズ７から構成されている。
次に、動作を説明する。
照明装置６と、対物レンズ２と、接眼レンズ７は無限遠
光学系で構成されている。このため、対物レンズ２と接
眼レンズ７間の鏡筒長が変化しても、試料１を観察する
倍率は変化しない。そこで、対物レンズ２をＸ−Ｙ軸ス
テージ８で移動させて位置決めを行ったとき、固定した
接眼レンズ７との光路が保たれるように反射鏡３，４と
ハーフミラ−５を配置する。反射鏡４．ハーフミラ−５
と接眼レンズ７の光路はＸ−Ｙ軸ステージ８のＸ軸と平
行に配置する。また、反射鏡４はＸ−Ｙ軸ステージ８の
Ｘ軸移動部に固定する。
光学系で構成されている。このため、対物レンズ２と接
眼レンズ７間の鏡筒長が変化しても、試料１を観察する
倍率は変化しない。そこで、対物レンズ２をＸ−Ｙ軸ス
テージ８で移動させて位置決めを行ったとき、固定した
接眼レンズ７との光路が保たれるように反射鏡３，４と
ハーフミラ−５を配置する。反射鏡４．ハーフミラ−５
と接眼レンズ７の光路はＸ−Ｙ軸ステージ８のＸ軸と平
行に配置する。また、反射鏡４はＸ−Ｙ軸ステージ８の
Ｘ軸移動部に固定する。
次に、反射鏡４１反射鏡３．対物レンズ２の光路は、Ｘ
−Ｙ軸ステージ８のＹ軸と平行に配置する。この光路に
より、対物レンズ２を試料１の任意位置に位置決めして
も接眼レンズ７により一定の倍率で試料１の観察を行う
ことができる。また、試料１の対物レンズ２への焦点合
わせはＺ軸ステージ９により上下して行う。ただし、２
軸ステージ９により試料１を上下する代りに、対物レン
ズ２を上下することにより、焦点合わせすることができ
るのは公知である。
−Ｙ軸ステージ８のＹ軸と平行に配置する。この光路に
より、対物レンズ２を試料１の任意位置に位置決めして
も接眼レンズ７により一定の倍率で試料１の観察を行う
ことができる。また、試料１の対物レンズ２への焦点合
わせはＺ軸ステージ９により上下して行う。ただし、２
軸ステージ９により試料１を上下する代りに、対物レン
ズ２を上下することにより、焦点合わせすることができ
るのは公知である。
このように、無限遠光学系と対物レンズ２とが移動して
も、光路が保たれるように反射Ｍ、３４、接眼レンズ７
を構成することにより、試料１に対して対物レンズ２を
位置決めすることができ、位置決め部の重量を小さくで
きるため、位置決めの高速化が図れる。
も、光路が保たれるように反射Ｍ、３４、接眼レンズ７
を構成することにより、試料１に対して対物レンズ２を
位置決めすることができ、位置決め部の重量を小さくで
きるため、位置決めの高速化が図れる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明は、無限遠光学系と対物レ
ンズとが移動しても、光路が保たれるように反射鏡、接
眼レンズを構成することにより、試料に対して対物レン
ズを位置決めすることができ、位置決め部の重量を小さ
くできるので、慣性質量が小さくなり、位置決めの高速
化が図れるという効果を有する。
ンズとが移動しても、光路が保たれるように反射鏡、接
眼レンズを構成することにより、試料に対して対物レン
ズを位置決めすることができ、位置決め部の重量を小さ
くできるので、慣性質量が小さくなり、位置決めの高速
化が図れるという効果を有する。
第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は従来
の顕微鏡のブロック図である。 １・・・・・・試料、２・・・・・・対物レンズ、３．
４・・・・・・反射鏡、５・・・・・・ハーフミラ−１
６・・・・・・照明装置、７・・・・・・接眼レンズ、
８・・・・・・Ｘ−Ｙ軸ステージ、９・・・・・・Ｚ軸
ステージ、１１・・・・・・試料、１２・・・・・・対
物レンズ、１３・・・・・・顕微鏡きょう体、１６・・
・・・・照明装置、１７・・・・・・接眼レンズ、１８
・・・・・・試料ステージ、１９・・・・・・焦点合せ
機構。 代理人 弁理士 内 原 晋
の顕微鏡のブロック図である。 １・・・・・・試料、２・・・・・・対物レンズ、３．
４・・・・・・反射鏡、５・・・・・・ハーフミラ−１
６・・・・・・照明装置、７・・・・・・接眼レンズ、
８・・・・・・Ｘ−Ｙ軸ステージ、９・・・・・・Ｚ軸
ステージ、１１・・・・・・試料、１２・・・・・・対
物レンズ、１３・・・・・・顕微鏡きょう体、１６・・
・・・・照明装置、１７・・・・・・接眼レンズ、１８
・・・・・・試料ステージ、１９・・・・・・焦点合せ
機構。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 観察試料に対向する無限遠光学系の対物レンズと、前記
観察試料の上方で前記対物レンズの水平方向の位置決め
を行うＸ−Ｙ軸ステージと、前記観察試料の上下方向の
位置と前記対物レンズの焦点との位置合わせを行うＺ軸
ステージと、前記対物レンズへの光路を構成する複数の
反射鏡と、前記観察試料を照明するための光を放射する
無限遠光学系用の照明装置と、前記照明装置から放射さ
れた光を反射し前記反射鏡を介して前記対物レンズに送
出し、且つ前記対物レンズ及び前記反射鏡を介して送ら
れてきた前記観察試料からの反射光を透過するハーフミ
ラーと、前記ハーフミラーを透過した前記観察試料から
の反射光を受光する無限遠光学系の接眼レンズとを備え
たことを特徴とする顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33036688A JPH02173607A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33036688A JPH02173607A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02173607A true JPH02173607A (ja) | 1990-07-05 |
Family
ID=18231803
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33036688A Pending JPH02173607A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02173607A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009086103A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
| JP2009109680A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nikon Corp | 倒立顕微鏡 |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP33036688A patent/JPH02173607A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009086103A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
| JP2009109680A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nikon Corp | 倒立顕微鏡 |
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