JPH02173607A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
- Publication number
- JPH02173607A JPH02173607A JP33036688A JP33036688A JPH02173607A JP H02173607 A JPH02173607 A JP H02173607A JP 33036688 A JP33036688 A JP 33036688A JP 33036688 A JP33036688 A JP 33036688A JP H02173607 A JPH02173607 A JP H02173607A
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- Japan
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- objective lens
- sample
- objective
- optical system
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は顕微鏡に関し、特に高速外観検査装置に適用し
た顕微鏡に関する。
た顕微鏡に関する。
従来の技術としては、例えばオリンパス光学工業株式会
社のカタログのに2062−8606T150に示され
ているように金属顕微鏡がある。
社のカタログのに2062−8606T150に示され
ているように金属顕微鏡がある。
次に、従来の顕微鏡について図面を参照して説明する。
第2図は従来の顕微鏡のブロック図である。
第2図に示す顕微鏡は、顕微鏡きよう体13に固定した
対物レンズ12と、対物レンズ12を通して試料11を
照明する照明装置16と、試料11を対物レンズ12を
通して観察する接眼レンズ17と、試料11の観察位置
を対物レンズ12に対して水平方向の位置決めを行う試
料ステージ18と、試料11を対物レンズ12に対して
焦点合わせを行う焦点合わせ機構19とから構成されて
いる。
対物レンズ12と、対物レンズ12を通して試料11を
照明する照明装置16と、試料11を対物レンズ12を
通して観察する接眼レンズ17と、試料11の観察位置
を対物レンズ12に対して水平方向の位置決めを行う試
料ステージ18と、試料11を対物レンズ12に対して
焦点合わせを行う焦点合わせ機構19とから構成されて
いる。
使用方法は、試料11の観察位置を対物レンズ12に対
し試料ステージ18により位置決めし、焦点合わせ機構
19により焦点を合わせ接眼レンズ 17により観察す
る。
し試料ステージ18により位置決めし、焦点合わせ機構
19により焦点を合わせ接眼レンズ 17により観察す
る。
上述した従来の顕微鏡は、試料を対物レンズに対して水
平方向と上下方向とに移動させ、位置決めするようにな
っており、その試料の保持・固定R横部分の重量が大き
いので、慣性のため位置決めの高速化が困難であるとい
う問題点がある。
平方向と上下方向とに移動させ、位置決めするようにな
っており、その試料の保持・固定R横部分の重量が大き
いので、慣性のため位置決めの高速化が困難であるとい
う問題点がある。
本発明の目的は、位置決め部の重量を小さくでき、位置
決めの高速化が図れる顕微鏡を提供することにある。
決めの高速化が図れる顕微鏡を提供することにある。
本発明の顕微鏡は、観察試料に対向する無限遠光学系の
対物レンズと、前記観察試料の上方で前記対物レンズの
水平方向の位置決めを行うX−Y軸ステージと、前記観
察試料の上下方向の位置と前記対物レンズの焦点との位
置合わぜを行うZ軸ステージと、前記対物レンズへの光
路を構成する複数の反射鏡と、前記m察試料を照明する
ための光を放射する無限遠光学系用の照明装置と、前記
照明装置から放射された光を反射し前記反射鏡を介して
前記対物レンズに送出し、且つ前記対物レンズ及び前記
反射鏡を介して送られてきた前記観察試料からの反射光
を透過するハーフミラ−と、前記ハーフミラ−を透過し
た前記観察試料からの反射光を受光する無限遠光学系の
接眼レンズとを備えて構成されている。
対物レンズと、前記観察試料の上方で前記対物レンズの
水平方向の位置決めを行うX−Y軸ステージと、前記観
察試料の上下方向の位置と前記対物レンズの焦点との位
置合わぜを行うZ軸ステージと、前記対物レンズへの光
路を構成する複数の反射鏡と、前記m察試料を照明する
ための光を放射する無限遠光学系用の照明装置と、前記
照明装置から放射された光を反射し前記反射鏡を介して
前記対物レンズに送出し、且つ前記対物レンズ及び前記
反射鏡を介して送られてきた前記観察試料からの反射光
を透過するハーフミラ−と、前記ハーフミラ−を透過し
た前記観察試料からの反射光を受光する無限遠光学系の
接眼レンズとを備えて構成されている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図は本発明の一実施例のブロック図である。
第1図に示す顕微鏡は、試料1に対向する無限遠光学系
の対物レンズ2、対物レンズ2の水平方向の位置決めを
行うX−Y軸ステージ8、試料1の上下方向の位置と対
物レンズ2の焦点との位置合わせを行うZ軸ステージ9
、対物レンズ2への光路を構成する反射鏡3,4、試料
1を照明するための光を放射する無限遠光学系用の照明
装置6、照明装置6から放射された光を反射し反射鏡3
.4を介して対物レンズ2に送出し、且つ対物レンズ2
及び反射鏡3.4を介して送られてきた試料1からの反
射光を透過するハーフミラ−5、ハーフミラ−5を透過
した試料1からの反射光を受光する無限遠光学系の接眼
レンズ7から構成されている。
の対物レンズ2、対物レンズ2の水平方向の位置決めを
行うX−Y軸ステージ8、試料1の上下方向の位置と対
物レンズ2の焦点との位置合わせを行うZ軸ステージ9
、対物レンズ2への光路を構成する反射鏡3,4、試料
1を照明するための光を放射する無限遠光学系用の照明
装置6、照明装置6から放射された光を反射し反射鏡3
.4を介して対物レンズ2に送出し、且つ対物レンズ2
及び反射鏡3.4を介して送られてきた試料1からの反
射光を透過するハーフミラ−5、ハーフミラ−5を透過
した試料1からの反射光を受光する無限遠光学系の接眼
レンズ7から構成されている。
次に、動作を説明する。
照明装置6と、対物レンズ2と、接眼レンズ7は無限遠
光学系で構成されている。このため、対物レンズ2と接
眼レンズ7間の鏡筒長が変化しても、試料1を観察する
倍率は変化しない。そこで、対物レンズ2をX−Y軸ス
テージ8で移動させて位置決めを行ったとき、固定した
接眼レンズ7との光路が保たれるように反射鏡3,4と
ハーフミラ−5を配置する。反射鏡4.ハーフミラ−5
と接眼レンズ7の光路はX−Y軸ステージ8のX軸と平
行に配置する。また、反射鏡4はX−Y軸ステージ8の
X軸移動部に固定する。
光学系で構成されている。このため、対物レンズ2と接
眼レンズ7間の鏡筒長が変化しても、試料1を観察する
倍率は変化しない。そこで、対物レンズ2をX−Y軸ス
テージ8で移動させて位置決めを行ったとき、固定した
接眼レンズ7との光路が保たれるように反射鏡3,4と
ハーフミラ−5を配置する。反射鏡4.ハーフミラ−5
と接眼レンズ7の光路はX−Y軸ステージ8のX軸と平
行に配置する。また、反射鏡4はX−Y軸ステージ8の
X軸移動部に固定する。
次に、反射鏡41反射鏡3.対物レンズ2の光路は、X
−Y軸ステージ8のY軸と平行に配置する。この光路に
より、対物レンズ2を試料1の任意位置に位置決めして
も接眼レンズ7により一定の倍率で試料1の観察を行う
ことができる。また、試料1の対物レンズ2への焦点合
わせはZ軸ステージ9により上下して行う。ただし、2
軸ステージ9により試料1を上下する代りに、対物レン
ズ2を上下することにより、焦点合わせすることができ
るのは公知である。
−Y軸ステージ8のY軸と平行に配置する。この光路に
より、対物レンズ2を試料1の任意位置に位置決めして
も接眼レンズ7により一定の倍率で試料1の観察を行う
ことができる。また、試料1の対物レンズ2への焦点合
わせはZ軸ステージ9により上下して行う。ただし、2
軸ステージ9により試料1を上下する代りに、対物レン
ズ2を上下することにより、焦点合わせすることができ
るのは公知である。
このように、無限遠光学系と対物レンズ2とが移動して
も、光路が保たれるように反射M、34、接眼レンズ7
を構成することにより、試料1に対して対物レンズ2を
位置決めすることができ、位置決め部の重量を小さくで
きるため、位置決めの高速化が図れる。
も、光路が保たれるように反射M、34、接眼レンズ7
を構成することにより、試料1に対して対物レンズ2を
位置決めすることができ、位置決め部の重量を小さくで
きるため、位置決めの高速化が図れる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明は、無限遠光学系と対物レ
ンズとが移動しても、光路が保たれるように反射鏡、接
眼レンズを構成することにより、試料に対して対物レン
ズを位置決めすることができ、位置決め部の重量を小さ
くできるので、慣性質量が小さくなり、位置決めの高速
化が図れるという効果を有する。
ンズとが移動しても、光路が保たれるように反射鏡、接
眼レンズを構成することにより、試料に対して対物レン
ズを位置決めすることができ、位置決め部の重量を小さ
くできるので、慣性質量が小さくなり、位置決めの高速
化が図れるという効果を有する。
第1図は本発明の一実施例のブロック図、第2図は従来
の顕微鏡のブロック図である。 1・・・・・・試料、2・・・・・・対物レンズ、3.
4・・・・・・反射鏡、5・・・・・・ハーフミラ−1
6・・・・・・照明装置、7・・・・・・接眼レンズ、
8・・・・・・X−Y軸ステージ、9・・・・・・Z軸
ステージ、11・・・・・・試料、12・・・・・・対
物レンズ、13・・・・・・顕微鏡きょう体、16・・
・・・・照明装置、17・・・・・・接眼レンズ、18
・・・・・・試料ステージ、19・・・・・・焦点合せ
機構。 代理人 弁理士 内 原 晋
の顕微鏡のブロック図である。 1・・・・・・試料、2・・・・・・対物レンズ、3.
4・・・・・・反射鏡、5・・・・・・ハーフミラ−1
6・・・・・・照明装置、7・・・・・・接眼レンズ、
8・・・・・・X−Y軸ステージ、9・・・・・・Z軸
ステージ、11・・・・・・試料、12・・・・・・対
物レンズ、13・・・・・・顕微鏡きょう体、16・・
・・・・照明装置、17・・・・・・接眼レンズ、18
・・・・・・試料ステージ、19・・・・・・焦点合せ
機構。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 観察試料に対向する無限遠光学系の対物レンズと、前記
観察試料の上方で前記対物レンズの水平方向の位置決め
を行うX−Y軸ステージと、前記観察試料の上下方向の
位置と前記対物レンズの焦点との位置合わせを行うZ軸
ステージと、前記対物レンズへの光路を構成する複数の
反射鏡と、前記観察試料を照明するための光を放射する
無限遠光学系用の照明装置と、前記照明装置から放射さ
れた光を反射し前記反射鏡を介して前記対物レンズに送
出し、且つ前記対物レンズ及び前記反射鏡を介して送ら
れてきた前記観察試料からの反射光を透過するハーフミ
ラーと、前記ハーフミラーを透過した前記観察試料から
の反射光を受光する無限遠光学系の接眼レンズとを備え
たことを特徴とする顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33036688A JPH02173607A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP33036688A JPH02173607A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 顕微鏡 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02173607A true JPH02173607A (ja) | 1990-07-05 |
Family
ID=18231803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33036688A Pending JPH02173607A (ja) | 1988-12-26 | 1988-12-26 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02173607A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009086103A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
JP2009109680A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nikon Corp | 倒立顕微鏡 |
-
1988
- 1988-12-26 JP JP33036688A patent/JPH02173607A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009086103A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
JP2009109680A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Nikon Corp | 倒立顕微鏡 |
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