JPH02157720A - 基板の除電装置および除電方法 - Google Patents

基板の除電装置および除電方法

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JPH02157720A
JPH02157720A JP31227588A JP31227588A JPH02157720A JP H02157720 A JPH02157720 A JP H02157720A JP 31227588 A JP31227588 A JP 31227588A JP 31227588 A JP31227588 A JP 31227588A JP H02157720 A JPH02157720 A JP H02157720A
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JP
Japan
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tray
base plates
static
static eliminator
conductive
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Pending
Application number
JP31227588A
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English (en)
Inventor
Yasutaka Yamagishi
庸恭 山岸
Hiroshi Watabe
宏 渡部
Kazuo Yokoyama
和夫 横山
Yoshihiro Minamide
南出 整宏
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、液晶パネルの液晶層を形成するスペーサを基
板上に安定して均一に分散させる為に、基板を除電し、
その電位を調整する液晶パネルの基板の除電装置及び除
電方法に関するものである。
従来の技術 従来、例えば液晶パネルのスペーサを分散する基板は、
ガラス基板の上に透明電極や、保護膜、配向膜等が形成
され、ナイロン等で作られたラビング布を接触させて、
配向処理を行ったものが用いられる。この基板は静電気
を帯び、この状態でスペーサを分散すると・、スペーサ
と基板が同電位の場合は反発し、逆電位の場合には吸着
する。このことにより、基板へのスペーサの分散密度は
異なり、ギャップ不良を発生する。これらを防ぐために
特願昭82−245149号で記載されているように電
圧印加型の除電器を用いて基板を除電し、基板の電位を
調整する方法がある。
このような従来の除電方法は、−枚ごとの基板に対する
除電法であった。効率的に生産するために複数の基板に
対しスペーサを分散する場合、分散密度の均一化のため
第5図に示すように複数の基板をトレイ上に円周状に載
置する方法が有効である(特願昭82−252915号
)。第5図に特願昭62−252915号に記載されて
いる複数基板へのスペーサ分散方法を示す。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記従来の方法では、このトレイ上の基板
を除電する場合の適切な除電器の配置や、装置構成につ
いては明らかになっていなかった。
このように、複数の基板を除電する場合、基板と除電器
との相対位置が適切でないと、除電不良のため基板帯電
位にバラツキが生じ、これにスペーサを分散すると分散
密度が異なり、ギャップ不良を発生する0本発明は上記
問題点に鑑みてなされたもので、簡易な方法で、円周状
に載置された複数の液晶パネル基板の電位を均一かつ、
一定にすることを目的とする。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するため本発明の基板の除電器は、複数
の基板を円周状に載置した導電性トレイと、前記基板に
対応するように放射状に配置した除電器と、除電器を上
下動させる手段と、導電性トレイの接地・絶縁を切り替
える手段とを備えなたものである。
また本発明の基板の充電装置には、導電性トレイ上に円
周状に載置した複数の基板と、放射状に配置した除電器
とが対応するように前記導電性トレイの回転位置を調節
する回転駆動手段および回転位置検出手段を有するもの
が含まれる。
さらに本発明の基板の除電方法は、導電性トレイ上に円
周状に載置した複数の基板に対応して除電器を放射状に
配置し、除電器を少なくとも2回作動させ、1回目の作
動時は、導電性トレイを絶縁し、近距離で作動させ、2
回目の作動時は、導電性トレイを接地し、少なくとも1
回目よりも遠距離で作動するものである。
作   用 本発明は上記した構成により、導電性トレイ上に円周状
に載置した複数の基板全てに対し次のように動作する。
まず導電性トレイを絶縁し、近距離で除電器を作動させ
て数kvの帯電や基盤上の電位バラツキを取り、導電性
トレイを接地することにより基板とトレイの電位は一敗
10v〜数10vになり、さらに、除電器を遠距離で作
動することにより、基板の電位は一敗10v〜Ovまた
はOv〜数10Vになる。
また、導電性トレイの回転位置を調節する回転駆動手段
および回転位置検出手段を有することにより、基板とそ
れに対応する除電器の位置関係を自動的に調節すること
ができる。
実施例 以下図面を用いて実施例について具体的に説明する。
第1図、第2図にそれぞれ本発明の一実施例の平面図と
側面図を示す、導電性材料で作られたトレイ2上には複
数枚の基板1が等ピッチで同一円周上に載置されている
0本発明の除電装置ではこの各基板1の真上に除電器3
を配するため、除電器3は基板と同ピツチに放射状に配
置され、また位置決めのためにトレイ2には基板と同ピ
ツチの複数の切り欠きを、トレイを乗せる引出し8には
プランジャー6を設けている。この除電器3は天板4に
取り付けられており、エアーシリンダー(図示せず)に
より上下移動する機構になっている。
なお、トレイは引き出し8に設けた回転可能な絶縁台1
0上に設置され、また、トレイ下部には大地への接地・
絶縁の切り替えを行うスイッチ9が設けられている。ま
た、ここでは除電器3として交流の高電圧印加型のもの
を用いた0次に、本実施例の装置を用いてトレイに載置
された基板1を除電する手順を説明する。まず、引出し
8上に基板1を載置したトレイ2を乗せ、トレイの切り
欠きにプランジャ6がはまり込むようにセットし、引き
出し8を閉める。この操作により、基板1が除電器3の
真下に位置する。この状態で次の第1から第3の操作を
行なう、まず第1に、スイッチ9を絶縁の状態にして除
電器3を下の位置(基板から除電器の距離約4c+m)
で30秒間作動させ、初期の基板の持つ大数kvの電位
を大数100v程度の電位に下げ、さらに一つの基板内
での電位のバラツキを均一にする。この状態では、基板
1とトレイ2は除電器3の持つ固有の電位(士数100
V程度)になっている、第2に、スイッチ9を接地の状
態にし、トレイ2の持つ電荷を逃がし、さらに基板1の
持つ電位も中和され、この操作でトレイ2、基板1共に
士数10v程度の電位を示すようになる。第3に、除電
器3をエアーシリンダーにより上の位置にセットし、(
基板から除電器の距離約20cm)スイッチ9は接地の
状態で、除電器3をさらに30秒間作動させる0以上の
操作より、円周状に載置された複数の基板1はすべて0
〜数10Vまたは一敗10〜Ovになり、この基板トド
レイ2上にスペーサを特願昭62−252915号〈第
5図)に示す様な方法で分散させることにより、スペー
サ分布密度が安定して均一な液晶セルを得ることが出来
る。なお、上記操作後の基板1の最終的な電位の正負は
、除電器3の持つ固有電位の正負により決まり、スペー
サ材料の帯電が正であれば固有型位負の除電器を、スペ
ーサ材料の帯電が負であれば固有電位圧の除電器を用い
ることにより、基板にスペーサが吸引されるため、効率
的なスペーサの分散を行うことが出来る。
次に、本実施例におけるトレイ2の接地・絶縁を切り替
えるaltMについて第3図を用いて説明する。第3図
は前記除電方式におけるトレイ2の大地への接地・絶縁
の切り替えスイッチ9の近傍を拡大して示したものであ
る。これは、おもに大地に接地されている板バネ11と
スプリング13、天板4に取り付けられた押圧レバー1
2から構成され、除電器3が下の位置の場合は板バネ1
1は押圧レバー12により押し下げられ、第3図の実線
のように位置し、トレイ2は絶縁状態になる。
また、除電器3が上の位置の場合は板バネ11はスプリ
ング13により押し上げられ、第3図の二点鎖線で示す
ように位置し、トレイ2と板バネ11が接触した状態に
なり、トレイ2は接地状態になる。この機構のスイッチ
を用いることにより先に説明した除電操作におけるトレ
イ2の接地・絶縁の切り替えと除電器3の上下移動とを
簡易に連動させて行うことが出来る。
さらに、トレイ2の回転位置を自動的に調節する手段に
ついて第4図を用いて説明する。第4図はトレイ2を回
転させ、除電器3が基板1の真上に自動的に位置させる
機構を示したものであり、トレイの切り欠きと、絶縁台
10の回転駆動手段としてのモーター14と、発光部と
受光部を持つ回転位置検出手段としての反射型の赤外線
レーザ】、5より構成されている。トレイ2を絶縁台1
0へ載置後、モーター14を作動し、低速でトレイ2を
回転させ、トレイ2の下方に設置した赤外線レーザ15
の発光部からの光がトレイの切り火きを通過し、赤外線
レーザ15の受光部に光が入射しなくなった時にモータ
ー14を止めトレイ2の回転を停止する。この操作によ
り、除電器3は基板1の真上に位置するようになり、こ
の後、前記の除電操作を行なうことにより、複数の基板
に対して除電不良がなく、電位バラツキの少ない除電を
行なうことができる。なお、トレイ2の回転位置検出手
段として、レーザ光の発光部をトレイ2の下方に、受光
部をトレイ2の上方に設置する方法や磁気スイッチを用
いても良い。
発明の効果 以上のように本発明によれば円周状に配置された複数の
基板を効率的にかつ確実に除電し、電位の安定した基板
を得ることが出来る。その結果、この基板を液晶パネル
に用いた場合にスペーサ分布密度が安定して均一な液晶
セルを得ることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例における基板の除電装置構成
を示す平面図、第2図は同装置構成を示す側面図、第3
図は同実施例におけるアース切り替えスイッチの構成を
示す詳細図、第4図は同方法におけるトレイ位置決め構
成を示す斜視図、第5図は複数基板へのスペーサ分散方
法の概略図である。 1・・・基板、2・・・トレイ(導電性トレイ)、3・
・・除電器、9・・・スイッチ、10・・・絶縁台、1
4・・・モーター〈回転駆動手段)、15・・・赤外線
レーザ(回転位置検出手段)。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか1名簿 図 所」L器 \ 2トレイ / 赤外線レーザ(回転位置検出子役)

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数の基板を円周状に載置した導電性トレイと、
    前記基板に対応するように放射状に配置した除電器と、
    除電器を上下動させる手段と、導電性トレイの接地・絶
    縁を切り替える手段とを備えた基板の除電装置。
  2. (2)導電性トレイの接地・絶縁の切り替えを、除電器
    の上下動に連動させ、除電器が下に位置する場合は導電
    性トレイを絶縁し、除電器が上に位置する場合は導電性
    トレイを接地する機構を有する請求項1記載の基板の除
    電装置。
  3. (3)導電性トレイ上に円周状に載置した複数の基板と
    、放射状に配置した除電器とが対応するように前記導電
    性トレイの回転位置を調節する回転駆動手段および回転
    位置検出手段を有する請求項1叉は2記載の基板の除電
    装置。
  4. (4)導電性トレイ上に円周状に載置した複数の基板に
    対応して除電器を放射状に配置し、除電器を少なくとも
    2回作動させ、1回目の作動時は、導電性トレイを絶縁
    し、近距離で作動させ、2回目の作動時は、導電性トレ
    イを接地し、少なくとも1回目よりも遠距離で作動する
    基板の除電方法。
JP31227588A 1988-12-09 1988-12-09 基板の除電装置および除電方法 Pending JPH02157720A (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6136783A (ja) * 1984-07-30 1986-02-21 Canon Inc 除電方法および装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6136783A (ja) * 1984-07-30 1986-02-21 Canon Inc 除電方法および装置

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