JPH02157494A - クーラントポンプ - Google Patents
クーラントポンプInfo
- Publication number
- JPH02157494A JPH02157494A JP31133988A JP31133988A JPH02157494A JP H02157494 A JPH02157494 A JP H02157494A JP 31133988 A JP31133988 A JP 31133988A JP 31133988 A JP31133988 A JP 31133988A JP H02157494 A JPH02157494 A JP H02157494A
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- JP
- Japan
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- impeller
- motor shaft
- casing
- support
- polymer polyethylene
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims abstract description 31
- -1 polyethylene Polymers 0.000 claims abstract description 31
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims abstract description 31
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 29
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 239000004705 High-molecular-weight polyethylene Substances 0.000 description 3
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、例えば半導体材料の加工時、使用される砥
液（スラリー）の圧送・撹拌用クーラントポンプに関す
る。
液（スラリー）の圧送・撹拌用クーラントポンプに関す
る。
（従来の技術）
従来、砥液の圧送・撹拌用の自吸式ポンプとして特に製
品化されたものはなく、従って、必要に応じた硬質塩化
ビニール材で製作し用いていた。
品化されたものはなく、従って、必要に応じた硬質塩化
ビニール材で製作し用いていた。
第２図は、上記必要に応じて製作されていたクーラント
ポンプの一例を示す縦断面図で、図中、１は５ＵＳ３０
４製のモーターシャフト、２は硬質塩化ビニール（以下
、ｒＰＶＣＪと称する）製のケーシング、３は上記ケー
シング２の一端上に単なる面合せ状にボルト止めによっ
て接続されたＰＶＣ製のサポート、４は上記モーターシ
ャフト１の下端にＳＵ、５３０４製のボルト６によって
止着されたＰＶＣ製のインペラー、７は上記ケーシング
２の他端にボルト止めされた支柱であり、該支柱７とケ
ーシング２との間にはＥＰＤＭ製のパツキン５が配され
ていた。
ポンプの一例を示す縦断面図で、図中、１は５ＵＳ３０
４製のモーターシャフト、２は硬質塩化ビニール（以下
、ｒＰＶＣＪと称する）製のケーシング、３は上記ケー
シング２の一端上に単なる面合せ状にボルト止めによっ
て接続されたＰＶＣ製のサポート、４は上記モーターシ
ャフト１の下端にＳＵ、５３０４製のボルト６によって
止着されたＰＶＣ製のインペラー、７は上記ケーシング
２の他端にボルト止めされた支柱であり、該支柱７とケ
ーシング２との間にはＥＰＤＭ製のパツキン５が配され
ていた。
（発明が解決しようとする課題）
そして、上記従来装置には次記の如き問題があった。
■ サポート３の付根部分は、砥液の圧力が高くて摩耗
が激しく、壊れ易かった。
が激しく、壊れ易かった。
■ 従って、サポート３のケーシング２に対する合せ面
が摩耗して、シール製が悪くなり、かくして摩耗の生じ
た合せ面に砥液が侵入して更に著しく摩耗が発生し、終
には液洩れを生じていた。
が摩耗して、シール製が悪くなり、かくして摩耗の生じ
た合せ面に砥液が侵入して更に著しく摩耗が発生し、終
には液洩れを生じていた。
■ インペラー４の嵌着孔４ａが摩耗して孔径が拡大す
る一方、モーターシャフト挿嵌ボス１ａが摩耗して細径
化し、インペラー４の固定が悪くなり、水平方向にガタ
ッキを生じる。
る一方、モーターシャフト挿嵌ボス１ａが摩耗して細径
化し、インペラー４の固定が悪くなり、水平方向にガタ
ッキを生じる。
■ インペラー４の取付はボルト６が摩耗してインペラ
ー４の固定が悪くなり、垂直方向にガタッキを生じる。
ー４の固定が悪くなり、垂直方向にガタッキを生じる。
■ このように、クーラントポンプの多くの場所で摩耗
を生じ、インペラー４が完全であったとしても、使用で
きなくなる。
を生じ、インペラー４が完全であったとしても、使用で
きなくなる。
すなわち、砥液（スラリー）用のクーラントポンプは、
摩耗が激しく、部品寿命が短いため、メンテナンスに多
くの時間を要し、稼動効率が悪かった。
摩耗が激しく、部品寿命が短いため、メンテナンスに多
くの時間を要し、稼動効率が悪かった。
本発明は、上記問題点を解消することを課題としてなさ
れたものである。
れたものである。
（課題を解決するための手段）
本発明は、砥粒のショットダメージたるポンプ内部の摩
耗を減少すべく、使用材料及びシール構造に創意が施さ
れている。
耗を減少すべく、使用材料及びシール構造に創意が施さ
れている。
すなわち、まず第１に、モーターシャフト、該モーター
シャフトの端部にボルトで取付けられたインペラー、前
記モーターシャフト及びインペラーを収設するケーシン
グそして、前記ケーシングに固設されたサポートを具備
するクーラントポンプであって、前記インペラー間 びサポートそれぞれを高分子ポリエチレン製となすと共
に、モーターシャフトに高分子ポリエチレン製チューブ
を被覆し、更に前記ボルトの頭部に高分子ポリエチレン
製のキャップを被せ、第２に、モーターシャフト、該モ
ーターシャフトの端部にボルトで取付けられたインペラ
ー、前記モーターシャフト及びインペラーを収設するケ
ーシングそして、前記ケーシングに固設されたサポート
を具備するクーラントポンプであって、前記インペラー
、ケーシング及びサポートそれぞれを高分子ポリエチレ
ン製となすと共に、モーターシャフトに高分子ポリエチ
レン製チューブを被覆し、前記ボルトの頭部に高分子ポ
リエチレン製のキャップを被せ、更にケーシングとサポ
ート間、モーターシャフトとインペラー間、インペラー
とキャップ間それぞれに０リングを配してシールし、 第３に、モーターシャフト、該モーターシャフトの端部
にボルトで取付けられたインペラー、前記モーターシャ
フト及びインペラーを収設するケーシングそして、前記
ケーシングに固設されたサポートを具備するクーラント
ポンプであって、前記インペラー、ケーシング及びサポ
ートそれぞれを高分子ポリエチレン製となすと共に、モ
ーターシャフトに高分子ポリエチレン製チューブを被覆
し、前記ボルトの頭部に高分子ポリエチレン製のキャッ
プを被せ、更にケーシングとサポート間、モーターシャ
フトとインペラー間、インペラーとキャップ間それぞれ
に０リングを配してシールし、更に加えて、ケーシング
の上面端縁に突条を形成し、該突条の内壁面にサポート
の外壁面を沿わせてサポートをケーシングに固設してい
る。
シャフトの端部にボルトで取付けられたインペラー、前
記モーターシャフト及びインペラーを収設するケーシン
グそして、前記ケーシングに固設されたサポートを具備
するクーラントポンプであって、前記インペラー間 びサポートそれぞれを高分子ポリエチレン製となすと共
に、モーターシャフトに高分子ポリエチレン製チューブ
を被覆し、更に前記ボルトの頭部に高分子ポリエチレン
製のキャップを被せ、第２に、モーターシャフト、該モ
ーターシャフトの端部にボルトで取付けられたインペラ
ー、前記モーターシャフト及びインペラーを収設するケ
ーシングそして、前記ケーシングに固設されたサポート
を具備するクーラントポンプであって、前記インペラー
、ケーシング及びサポートそれぞれを高分子ポリエチレ
ン製となすと共に、モーターシャフトに高分子ポリエチ
レン製チューブを被覆し、前記ボルトの頭部に高分子ポ
リエチレン製のキャップを被せ、更にケーシングとサポ
ート間、モーターシャフトとインペラー間、インペラー
とキャップ間それぞれに０リングを配してシールし、 第３に、モーターシャフト、該モーターシャフトの端部
にボルトで取付けられたインペラー、前記モーターシャ
フト及びインペラーを収設するケーシングそして、前記
ケーシングに固設されたサポートを具備するクーラント
ポンプであって、前記インペラー、ケーシング及びサポ
ートそれぞれを高分子ポリエチレン製となすと共に、モ
ーターシャフトに高分子ポリエチレン製チューブを被覆
し、前記ボルトの頭部に高分子ポリエチレン製のキャッ
プを被せ、更にケーシングとサポート間、モーターシャ
フトとインペラー間、インペラーとキャップ間それぞれ
に０リングを配してシールし、更に加えて、ケーシング
の上面端縁に突条を形成し、該突条の内壁面にサポート
の外壁面を沿わせてサポートをケーシングに固設してい
る。
（作 用）
従って、本発明にあっては、摩耗を受けやすい部分が高
分子ポリエチレン酸とされていて、可及的に摩耗を避は
得る。しかも、砥液が接触又は侵入して摩耗を生じ易い
部分には、０リングのシール構造に依り砥液の侵入が防
止されており、更にサポートの外壁面がケニシングの上
端縁に形成した突条の内壁面に沿って固着させる構造で
あるため、固着時の位置合せが容易であり、突条によっ
て砥液の洩れが防止されている。
分子ポリエチレン酸とされていて、可及的に摩耗を避は
得る。しかも、砥液が接触又は侵入して摩耗を生じ易い
部分には、０リングのシール構造に依り砥液の侵入が防
止されており、更にサポートの外壁面がケニシングの上
端縁に形成した突条の内壁面に沿って固着させる構造で
あるため、固着時の位置合せが容易であり、突条によっ
て砥液の洩れが防止されている。
（実施例）
以下、本発明を図面に基いて説明する。
第１図は本願発明の一実施例を示し、図中、１１はモー
ターシャフト、１２は上記モーターシャフト１１の端部
にボルト１３で取付けられたインペラー、１４は上記モ
ーターシャフト１１及びインペラー１２を収設するケー
シング、１５は上記ケーシング１４に固設されたサポー
トであって、具体的には、ケーシング１４の上面端縁に
突条１４ａを形成し、該突条１４ａの内壁面にサポート
１５の外壁面下部を沿わせて、サポート１５をケーシン
グ１４に固設している。また、上記サポート１５の一端
部には、配管を接続するための高分子ポリエチレン製の
継手１６を固着し、他部には、頭の両側に螺子棒を有す
る特殊ボルト１７を介して支柱１８が接続されている。
ターシャフト、１２は上記モーターシャフト１１の端部
にボルト１３で取付けられたインペラー、１４は上記モ
ーターシャフト１１及びインペラー１２を収設するケー
シング、１５は上記ケーシング１４に固設されたサポー
トであって、具体的には、ケーシング１４の上面端縁に
突条１４ａを形成し、該突条１４ａの内壁面にサポート
１５の外壁面下部を沿わせて、サポート１５をケーシン
グ１４に固設している。また、上記サポート１５の一端
部には、配管を接続するための高分子ポリエチレン製の
継手１６を固着し、他部には、頭の両側に螺子棒を有す
る特殊ボルト１７を介して支柱１８が接続されている。
そして、砥液が接触して摩耗を生じやすい部分及び砥液
が侵入して摩耗を生じて問題を生じる部分には、摩耗防
止手段が施されている。
が侵入して摩耗を生じて問題を生じる部分には、摩耗防
止手段が施されている。
まず、モーターシャフト１１は、砥液内で回転し、その
外表面が砥粒に擦られるため摩耗が激しい。そこで、モ
ーターシャフト１１には、耐摩耗性の大きい高分子ポリ
エチレン製チューブ１９を被覆している。
外表面が砥粒に擦られるため摩耗が激しい。そこで、モ
ーターシャフト１１には、耐摩耗性の大きい高分子ポリ
エチレン製チューブ１９を被覆している。
また、モーターシャフト１１の端部には、インペラー１
２の嵌着孔１２ａに差し込まれる挿嵌ボスｌｌａが形成
されているが、該挿嵌ボスｌｌａが摩耗すると、インペ
ラー１２の固定状態が悪くなり、水平方向のガタッキを
生じ易くなるので、モーターシャフト１１の他の外周部
分同様、高分子ポリエチレン製のチューブ１９ａを被覆
している。
２の嵌着孔１２ａに差し込まれる挿嵌ボスｌｌａが形成
されているが、該挿嵌ボスｌｌａが摩耗すると、インペ
ラー１２の固定状態が悪くなり、水平方向のガタッキを
生じ易くなるので、モーターシャフト１１の他の外周部
分同様、高分子ポリエチレン製のチューブ１９ａを被覆
している。
インペラー１２は、砥液を回転移動させる部材そのもの
であるため、砥液から大きな抗力を受け、摩耗が激しい
。そこで、インペラー１２は耐摩耗性の大きい高分子ポ
リエチレン材で作成されている。
であるため、砥液から大きな抗力を受け、摩耗が激しい
。そこで、インペラー１２は耐摩耗性の大きい高分子ポ
リエチレン材で作成されている。
従来、上記インペラー１２をモーターシャフト１１に取
付けるためのボルト１３の頭１３ａは、砥液内に露出し
ていて、該頭１３ａとインペラー１２との間に砥液が侵
入し、螺合部を摩耗してインペラー１２の固定状態が悪
くなり、垂直方向（ボルト１３の軸芯方向）のガタッキ
が生じ易くなる。そこで本発明では、ボルト１３の頭１
３ａの外方を高分子ポリエチレン製のキャップ２０で被
っている。
付けるためのボルト１３の頭１３ａは、砥液内に露出し
ていて、該頭１３ａとインペラー１２との間に砥液が侵
入し、螺合部を摩耗してインペラー１２の固定状態が悪
くなり、垂直方向（ボルト１３の軸芯方向）のガタッキ
が生じ易くなる。そこで本発明では、ボルト１３の頭１
３ａの外方を高分子ポリエチレン製のキャップ２０で被
っている。
また、高分子ポリエチレン製継手１６が固着される位置
におけるサポート１５の部分は、高圧の砥液を受ける個
所であって摩耗しやすく、従って、サポート１５も耐摩
耗性の大きい高分子ポリエチレン樹脂材で製作されてい
る。
におけるサポート１５の部分は、高圧の砥液を受ける個
所であって摩耗しやすく、従って、サポート１５も耐摩
耗性の大きい高分子ポリエチレン樹脂材で製作されてい
る。
更に、例示図面の本発明クーラントポンプは、砥液の摩
耗を生じ易い部分への侵入を防止すべく、適所に０リン
グシールな配している。
耗を生じ易い部分への侵入を防止すべく、適所に０リン
グシールな配している。
すなわち、ケーシング１４とサポート１５との間に０リ
ング２０１を、モーターシャフト１１の挿嵌ボスｌｌａ
基部とインペラー１２との間に０リング２０２を、そし
てインペラー１２とキャップ２０との間に０リング２０
３を配し、砥液の侵入を防止する構成としている。２０
４はサポート１５と継手１６間に配された０リング、２
０５はサポート１５と支柱１８間に配された０リングを
示す。
ング２０１を、モーターシャフト１１の挿嵌ボスｌｌａ
基部とインペラー１２との間に０リング２０２を、そし
てインペラー１２とキャップ２０との間に０リング２０
３を配し、砥液の侵入を防止する構成としている。２０
４はサポート１５と継手１６間に配された０リング、２
０５はサポート１５と支柱１８間に配された０リングを
示す。
（考案の効果）
以上説明したように、本発明は、モーターシャフト、該
モーターシャフトの端部にボルトで取付けられたインペ
ラー、前記モーターシャフト及びインペラーを収設する
ケーシングそして、前記ケーシングに固設されたサポー
トを具備するクーラントポンプであって、前記インペラ
ー、ケーシング及びサポートそれぞれを高分子ポリエチ
レン製となすと共に、モーターシャフトに高分子ポリエ
チレン製チューブを被覆し、更に前記ボルトの頭部に高
分子ポリエチレン製のキャップを被せていて、摩耗を生
じやすい部分或いは摩耗を生じると問題を生じる部分が
耐摩耗性を有する高分子ポリエチレン樹脂でｔａ成され
ているため、摩耗による短命化が防止でき、第２の発明
に依れば、更に適所にＯリングシールが存していて、摩
耗原因たる砥液の侵入を阻止し、また、砥液の漏洩が防
止されており、更に第３の発明に依れば、更に加えてケ
ーシングの突条内壁面にサポートの外壁面を沿わせて組
立てる構成であるため、位置決め精度の向上が図れると
共に、シール製も向上し、総じて、保守管理の手間が大
幅に減少して安定運転が可能となり、長寿命化が達成で
きる。
モーターシャフトの端部にボルトで取付けられたインペ
ラー、前記モーターシャフト及びインペラーを収設する
ケーシングそして、前記ケーシングに固設されたサポー
トを具備するクーラントポンプであって、前記インペラ
ー、ケーシング及びサポートそれぞれを高分子ポリエチ
レン製となすと共に、モーターシャフトに高分子ポリエ
チレン製チューブを被覆し、更に前記ボルトの頭部に高
分子ポリエチレン製のキャップを被せていて、摩耗を生
じやすい部分或いは摩耗を生じると問題を生じる部分が
耐摩耗性を有する高分子ポリエチレン樹脂でｔａ成され
ているため、摩耗による短命化が防止でき、第２の発明
に依れば、更に適所にＯリングシールが存していて、摩
耗原因たる砥液の侵入を阻止し、また、砥液の漏洩が防
止されており、更に第３の発明に依れば、更に加えてケ
ーシングの突条内壁面にサポートの外壁面を沿わせて組
立てる構成であるため、位置決め精度の向上が図れると
共に、シール製も向上し、総じて、保守管理の手間が大
幅に減少して安定運転が可能となり、長寿命化が達成で
きる。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は従
来のクーラントポンプの縦断面図である。 １１・・・モーターシャフト １２・・・インペラー １３・・・ボルト１３ａ・・
・ボルト１３の頭 １４・・・ケーシング １４ａ・・・突条１５・・・
サポート １９．１９ａ・・・チューブ ２０１〜２０３・・・０リング
来のクーラントポンプの縦断面図である。 １１・・・モーターシャフト １２・・・インペラー １３・・・ボルト１３ａ・・
・ボルト１３の頭 １４・・・ケーシング １４ａ・・・突条１５・・・
サポート １９．１９ａ・・・チューブ ２０１〜２０３・・・０リング
Claims (3)
- （１）モーターシャフト、該モーターシャフトの端部に
ボルトで取付けられたインペラー、前記モーターシャフ
ト及びインペラーを収設するケーシングそして、前記ケ
ーシングに固設されたサポートを具備するクーラントポ
ンプであって、 前記インペラー、ケーシング及びサポートそれぞれを高
分子ポリエチレン製となすと共に、モーターシャフトに
高分子ポリエチレン製チューブを被覆し、更に前記ボル
トの頭部に高分子ポリエチレン製のキャップを被せたこ
とを特徴とするクーラントポンプ。 - （２）モーターシャフト、該モーターシャフトの端部に
ボルトで取付けられたインペラー、前記モーターシャフ
ト及びインペラーを収設するケーシングそして、前記ケ
ーシングに固設されたサポートを具備するクーラントポ
ンプであって、 前記インペラー、ケーシング及びサポートそれぞれを高
分子ポリエチレン製となすと共に、モーターシャフトに
高分子ポリエチレン製チューブを被覆し、前記ボルトの
頭部に高分子ポリエチレン製のキャップを被せ、更にケ
ーシングとサポート間、モーターシャフトとインペラー
間、インペラーとキャップ間それぞれにＯリングを配し
てシールしたことを特徴とするクーラントポンプ。 - （３）モーターシャフト、該モーターシャフトの端部に
ボルトで取付けられたインペラー、前記モーターシャフ
ト及びインペラーを収設するケーシングそして、前記ケ
ーシングに固設されたサポートを具備するクーラントポ
ンプであって、 前記インペラー、ケーシング及びサポートそれぞれを高
分子ポリエチレン製となすと共に、モーターシャフトに
高分子ポリエチレン製チューブを被覆し、前記ボルトの
頭部に高分子ポリエチレン製のキャップを被せ、更にケ
ーシングとサポート間、モーターシャフトとインペラー
間、インペラーとキャップ間それぞれにＯリングを配し
てシールし、更に加えて、ケーシングの上面端縁に突条
を形成し、該突条の内壁面にサポートの外壁面を沿わせ
てサポートをケーシングに固設したことを特徴とするク
ーラントポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31133988A JPH02157494A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | クーラントポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31133988A JPH02157494A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | クーラントポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02157494A true JPH02157494A (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=18015956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31133988A Pending JPH02157494A (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | クーラントポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02157494A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5241466A (en) * | 1975-09-29 | 1977-03-31 | Hitachi Ltd | Pump for use in tableware cleaning apparatus |
| JPS6058898B2 (ja) * | 1979-10-16 | 1985-12-23 | 住友化学工業株式会社 | β−フェニルエチルアルコ−ルの精製法 |
| JPS6352990B2 (ja) * | 1984-02-10 | 1988-10-20 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP31133988A patent/JPH02157494A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5241466A (en) * | 1975-09-29 | 1977-03-31 | Hitachi Ltd | Pump for use in tableware cleaning apparatus |
| JPS6058898B2 (ja) * | 1979-10-16 | 1985-12-23 | 住友化学工業株式会社 | β−フェニルエチルアルコ−ルの精製法 |
| JPS6352990B2 (ja) * | 1984-02-10 | 1988-10-20 | Nippon Yakin Kogyo Co Ltd |
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