JPH0215205A - 光導波路及び光結合方法 - Google Patents
光導波路及び光結合方法Info
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- JPH0215205A JPH0215205A JP16501888A JP16501888A JPH0215205A JP H0215205 A JPH0215205 A JP H0215205A JP 16501888 A JP16501888 A JP 16501888A JP 16501888 A JP16501888 A JP 16501888A JP H0215205 A JPH0215205 A JP H0215205A
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- optical
- optical waveguide
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4202—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details for coupling an active element with fibres without intermediate optical elements, e.g. fibres with plane ends, fibres with shaped ends, bundles
- G02B6/4203—Optical features
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4206—Optical features
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光通信分野において用いられる光部品に係り、
特に光ファイバからの光を導波路を有する光部品内に効
率良く取り込む光導波路及び光結合方法に関する。
特に光ファイバからの光を導波路を有する光部品内に効
率良く取り込む光導波路及び光結合方法に関する。
従来の光結合は、電子情報通信学会半導体、材料部門全
国大会講演会論文集２−１８８（昭６２）に記載のよう
に、光導波路端面とに対してテーパ型先球ファイバをピ
ンホール付きガイドで位置決めることにより行っていた
。
国大会講演会論文集２−１８８（昭６２）に記載のよう
に、光導波路端面とに対してテーパ型先球ファイバをピ
ンホール付きガイドで位置決めることにより行っていた
。
上記従来技術は、１０μｍ程度のスポットを有する単一
モードファイバのコア部を通して出射される光を光ファ
イバの先端を先球加工することにより、厚さ１〜２μｍ
の光導波路端面に集光させ結合を図るものである。しか
し、この方法では、収束性を有する入射光は導波路内に
おいても収束性を持つため、導波路端面が先球ファイバ
の焦点位置にない場合には、モードミスマツチを生ずる
ことがある。また、導波路端面での反射によるもどり光
の影響も大きくなり、効率良い結合がとれなくなるとい
う問題があった。
モードファイバのコア部を通して出射される光を光ファ
イバの先端を先球加工することにより、厚さ１〜２μｍ
の光導波路端面に集光させ結合を図るものである。しか
し、この方法では、収束性を有する入射光は導波路内に
おいても収束性を持つため、導波路端面が先球ファイバ
の焦点位置にない場合には、モードミスマツチを生ずる
ことがある。また、導波路端面での反射によるもどり光
の影響も大きくなり、効率良い結合がとれなくなるとい
う問題があった。
本発明の目的は、上記のモードミスマツチおよび導波路
端面での反射による戻り光を減少させることにより、結
合効率の向上を図るものである。
端面での反射による戻り光を減少させることにより、結
合効率の向上を図るものである。
先導波路側の端面を凹面で形成することにより、光球フ
ァイバより出射された収束性を有する光は、端面で平行
光となるため、モードミスマツチを低減できる。また、
端面での反射光は収束性を有することになることより光
源への戻り光を防ぎ、安定した入射光を得ることができ
る。
ァイバより出射された収束性を有する光は、端面で平行
光となるため、モードミスマツチを低減できる。また、
端面での反射光は収束性を有することになることより光
源への戻り光を防ぎ、安定した入射光を得ることができ
る。
本発明における光導波路端面と先球加工光ファイバとの
光結合の既要を第１図に示す。
光結合の既要を第１図に示す。
先導波路端面１を凹面で構成することにより、上記光導
波路端面ば凹レンズとして動作するので先球加工光ファ
イバ２より出射された収束性を有する光３は、導波路端
面１において平行光となりモードミスマツチが減少し、
かつ、反射による戻り光も減らすことができる。
波路端面ば凹レンズとして動作するので先球加工光ファ
イバ２より出射された収束性を有する光３は、導波路端
面１において平行光となりモードミスマツチが減少し、
かつ、反射による戻り光も減らすことができる。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。
基板５の上に作製した光導波路端面１を、凹レンズとし
ての働きを持たせるため、フォトリソグラフィ技術など
により凹面に加工し、先球加工光ファイバ２により、先
導波路端面１に光を集光させ入射させた。
ての働きを持たせるため、フォトリソグラフィ技術など
により凹面に加工し、先球加工光ファイバ２により、先
導波路端面１に光を集光させ入射させた。
本実施例によれば、光導波路端面１と先球加工光ファイ
バ２の焦点にずれがある場合でも容易に光結合が達成で
きた。ここで、同図の４はクララド層である。
バ２の焦点にずれがある場合でも容易に光結合が達成で
きた。ここで、同図の４はクララド層である。
また、先導波路端面１における凹面加工方法の一実施例
を第３図に示す。
を第３図に示す。
クラッド層４．基板５の端面、および光導波路７の端面
上に感光剤６の塗布し、加工面に対して他端より光３′
を入射させ、その導波光によって光導波路７の端面の部
分のみを感光させる。そこで感光部分のみを除去し、残
りの部分をマスクとしてエツチングを行うことにより、
導波路７の端面部分だけを精度良く凹面加工ができた。
上に感光剤６の塗布し、加工面に対して他端より光３′
を入射させ、その導波光によって光導波路７の端面の部
分のみを感光させる。そこで感光部分のみを除去し、残
りの部分をマスクとしてエツチングを行うことにより、
導波路７の端面部分だけを精度良く凹面加工ができた。
本発明によれば、モードのミスマツチを低減できるので
、結合効率向上の効果がある。また、光ファイバへの戻
り光も減少するため、安定した入射光を得ることができ
る。
、結合効率向上の効果がある。また、光ファイバへの戻
り光も減少するため、安定した入射光を得ることができ
る。
第１図は、本発明における光結合方法の概要を、表す断
面図、第２図は本発明の一実施例の光結合部分の断面図
、第３図は光導波路端面の凹面加工方法の一実施例の要
部断面図である。
面図、第２図は本発明の一実施例の光結合部分の断面図
、第３図は光導波路端面の凹面加工方法の一実施例の要
部断面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板上に設けた少なくとも一つの光導波路の端面を
凹面加工してなることを特徴とする光導波路。 ２、上記凹面は凹面レンズ状をなすことを特徴とする請
求項第１項記載の光導波路。 ３、上記凹面は、少なくとも光導波路端面を含む所要面
上に被覆したレジスト膜を、上記光導波路を介して入射
する光によつて感光させ、しかる後、感光部のレジスト
膜を除去し、露出面を所定量エッチング除去することに
よつて形成されることを特徴とする請求項第１項記載の
光導波路。 ４、請求項第１乃至第３項記載の光導波路の凹面に、光
伝送路端部の光出射部を十分近接して配設せしめること
を特徴とする光結合方法。 ５、上記光伝送路の光出射部は先球加工されていること
を特徴とする請求項第４項記載の光結合方法。 ６、請求項第１乃至第３項記載の光導波路の上記凹面を
有する端面に、先球加工された光ファイバを近接配置せ
しめることを特徴とする光結合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16501888A JPH0215205A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 光導波路及び光結合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16501888A JPH0215205A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 光導波路及び光結合方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0215205A true JPH0215205A (ja) | 1990-01-18 |
Family
ID=15804278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16501888A Pending JPH0215205A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 光導波路及び光結合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0215205A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0583986A2 (en) * | 1992-08-20 | 1994-02-23 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Shockproof optical waveguide device |
| US7942565B2 (en) | 2005-05-31 | 2011-05-17 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Illumination device |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP16501888A patent/JPH0215205A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0583986A2 (en) * | 1992-08-20 | 1994-02-23 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Shockproof optical waveguide device |
| EP0583986A3 (en) * | 1992-08-20 | 1995-01-18 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Shockproof optical waveguide arrangement. |
| US5416881A (en) * | 1992-08-20 | 1995-05-16 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Optical fiber and optical waveguide connecting device |
| US7942565B2 (en) | 2005-05-31 | 2011-05-17 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Illumination device |
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