JPH02150538U - - Google Patents

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JPH02150538U
JPH02150538U JP6026389U JP6026389U JPH02150538U JP H02150538 U JPH02150538 U JP H02150538U JP 6026389 U JP6026389 U JP 6026389U JP 6026389 U JP6026389 U JP 6026389U JP H02150538 U JPH02150538 U JP H02150538U
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JP
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vacuum layer
diaphragm
pressure
signal output
output section
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JP6026389U
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す断面図、第2
図は本考案の実験方法を説明するための構成図、
第3図は本考案の他の実施例を示す断面図、第4
図は本考案によるものの構造を用いた伝熱温度の
実験結果を示す温度分布図、第5図は従来例によ
るものの構造を用いて伝熱温度の実験結果を示す
温度分布図、第6図は従来例の断面図である。 10,50……ボデイ、11……小径部、12
……圧力導入路、13……大径部、14,51…
…収容室、15,52……ダイアフラム、16,
54……真空層、17,53……信号出力部、1
8,55……蓋、19……出力リード線、20…
…断熱層、21……ポツテイング剤、56,57
……出力リード部、58……感圧部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 圧力に応動するダイアフラム15とダイア
    フラム15の変位量に応じた圧力信号を出力する
    信号出力部17との間に真空層16を介装してこ
    れらをセンサ本体10の収容室14内に収容し、
    ダイアフラム15の出力リード線19をセンサ本
    体10と真空層16との間を通して信号出力部1
    7に接続したことを特徴とする圧力センサ。 (2) 前記信号出力部17は、その周囲が真空層
    16で囲まれている請求項1記載の圧力センサ。 (3) 前記真空層16とセンサ本体10との間に
    断熱層20が形成されている請求項1又は2記載
    の圧力センサ。
JP6026389U 1989-05-24 1989-05-24 Pending JPH02150538U (ja)

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JP6026389U JPH02150538U (ja) 1989-05-24 1989-05-24

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JPH02150538U true JPH02150538U (ja) 1990-12-26

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