JPH02147836A - 顕微分光計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光を試料にあててその透過光を光センサーで
受光して試料の透過率を測定する顕微分光計に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の顕微分光計は、第４図に示す様な構成に
なっている。すなわち、光源１０の光を集光レンズ７．
９を用いてしぼり、ピンホール８で所望の大きさのスボ
ッＩ・にし、ミラー５．コンデンサーレンズ４を通して
試料３にあて、その透過光をコンデンサーレンズ２を通
して受光器１で受けて、その光の強度によって透過率を
測定するものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の顕微分光計は、光源の光を集光レンズで
サブミクロンのスポットにしぼるため、試料にあたる測
定光の光の強度が強くなる。それによって測定試料の中
には、光による分解をおこし脱色がおこり、測定光の照
射時間により透過率の測定値が変化するという欠点があ
った。この透過率測定値の変化は、測定積度の低下をも
たらし、製品の光学特性を低下させ、歩留り及び品質を
低下させるという重大な問題があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、試料に光をあててその透過光を光センサーで
受光して試料の透過率を測定する顕微分光計において、
光源と試料の間の光路に光学的なフィルターを有するこ
とを特徴とする特〔実施例〕 次に、本発明について、図面を参照して説明する。第１
図は本発明の実施例の断面図である。装置の基本的構成
は、第４図で説明した従来装置と同様であるが、光源１
０と試料３の間の光路に減光フィルター６を有している
。集光レンズ７．９でしぼられた測定光は、減光フィル
ター６を通り試料が脱色しない程度に弱められて試料に
あたる。

第２図に、減光フィルター有、無でのホトレジスト試料
の測定光の照射時間と透過率の変化量の関係を示す。こ
こで減光フィルターは、可視光全体的に光量を１／２に
するものと３／４にするものを２枚貼りつけて使用した
。図よりわかる様に、フィルターなしでは、３０分で約
６％透過率が変化するが、フィルターありでは、全く変
化しない。

第３図は、本発明の第２の実施例の断面図である。第１
の実施例では、減光フィルターを使用したが、本実施例
では、波長カットフィルター１１を使用する。試料が脱
色するのは、特定の波長の光によってであり、その波長
の光が試料を通らなければ、脱色はおこらない。第１の
実施例は、その光の強さを弱めるものであり、脱色の原
因となる波長の光は弱くはなっているが試料を通ってお
り根本対策とは、言えない。その点本実施例は、根本対
策と言える。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、光源と試料の間の光路に
光学的なフィルターを追加することによって、試料の脱
色を抑えることができる効果がある。従って、透過率測
定精度を向上させ製品の光学特性を向上させ保留り、品
質を向上できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１の実施例の断面図、第２図は第
１の実施例の効果を示すグラフ、第３図は本発明の第２
の実施例の断面図、第４図は従来装置の断面図である。 １・・・受光器、２．４・・・コンデンサーレンズ、３
・・・測定試料、５・・・ミラー、６・・・減光フィル
ター、７．９・・・集光レンズ、８・・・ピンホール、
１０・・・光源、１１・・・波長カットフィルター

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料に光をあててその透過光を光センサーで受光して試
   料の透過率を測定する顕微分光計において、光源と試料
   の間の光路に光学的なフィルターを有することを特徴と
   する顕微分光計。