JPH02146900U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02146900U JPH02146900U JP5457089U JP5457089U JPH02146900U JP H02146900 U JPH02146900 U JP H02146900U JP 5457089 U JP5457089 U JP 5457089U JP 5457089 U JP5457089 U JP 5457089U JP H02146900 U JPH02146900 U JP H02146900U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- backup
- main
- intermediate base
- backup pin
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は基板バツクアツプ装置が基板をバツク
アツプした状態を示す要部正面図、第２図は第１
図と同じ状態の側面図、第３図は第１図と同様の
正面図にして一部破断したもの、第４図は基板バ
ツクアツプ装置が、第１図乃至第３図とは厚みの
異なる基板をバツクアツプした状態を示す要部正
面図である。 １４……バツクアツプピン、１３……バツクア
ツプピンベース、２……ＸＹテーブル、３……メ
インベース、７……中間ベース、１０，１５……
案内ロツド（案内手段）、４……アクチユエータ
、２１……板カム（カム）。
アツプした状態を示す要部正面図、第２図は第１
図と同じ状態の側面図、第３図は第１図と同様の
正面図にして一部破断したもの、第４図は基板バ
ツクアツプ装置が、第１図乃至第３図とは厚みの
異なる基板をバツクアツプした状態を示す要部正
面図である。 １４……バツクアツプピン、１３……バツクア
ツプピンベース、２……ＸＹテーブル、３……メ
インベース、７……中間ベース、１０，１５……
案内ロツド（案内手段）、４……アクチユエータ
、２１……板カム（カム）。
Claims (1)
- 複数個のバツクアツプピンを支持したバツクア
ツプピンベースと、ＸＹテーブルに固定したメイ
ンベースと、バツクアツプピンベースとメインベ
ースの間に配置した中間ベースと、バツクアツプ
ピンベースと中間ベースとをそれぞれメインベー
スに対し、上下方向に案内する案内手段と、メイ
ンベースに固定されると共に中間ベースと連結し
、中間ベースを上下方向に移動させるアクチユエ
ータと、中間ベースに支持されてバツクアツプピ
ンベースの下面に接し、自身の回転によりバツク
アツプピンベースと中間ベースの間隔を変化させ
るカムを備えたことを特徴とする基板バツクアツ
プ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5457089U JPH02146900U (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5457089U JPH02146900U (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02146900U true JPH02146900U (ja) | 1990-12-13 |
Family
ID=31576749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5457089U Pending JPH02146900U (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02146900U (ja) |
-
1989
- 1989-05-12 JP JP5457089U patent/JPH02146900U/ja active Pending
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