JPH02136399U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02136399U JPH02136399U JP4540589U JP4540589U JPH02136399U JP H02136399 U JPH02136399 U JP H02136399U JP 4540589 U JP4540589 U JP 4540589U JP 4540589 U JP4540589 U JP 4540589U JP H02136399 U JPH02136399 U JP H02136399U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- link mechanism
- parallel link
- supporting
- actuator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
Description
第１図乃至第３図は基板バツクアツプ装置の構
造及び動作を説明する断面図で、第１図・第２図
は異なる状態を示し、第３図は第２図と同じ状態
を示すが断面個所を少し変えたものである。第４
図は、基板バツクアツプ装置の上面図、第８図は
平行リンク機構の斜視図である。 １……基板バツクアツプ装置、４……基板、９
……Ｘ−Ｙテーブル、２１……ベース、２４……
バツクアツプピン、２５……ガイドロツド（案内
手段）、３０……平行リンク機構、３１……ばね
、４２……エアシリンダ（アクチユエータ）、４
３……ブラケツト（支持手段）。
造及び動作を説明する断面図で、第１図・第２図
は異なる状態を示し、第３図は第２図と同じ状態
を示すが断面個所を少し変えたものである。第４
図は、基板バツクアツプ装置の上面図、第８図は
平行リンク機構の斜視図である。 １……基板バツクアツプ装置、４……基板、９
……Ｘ−Ｙテーブル、２１……ベース、２４……
バツクアツプピン、２５……ガイドロツド（案内
手段）、３０……平行リンク機構、３１……ばね
、４２……エアシリンダ（アクチユエータ）、４
３……ブラケツト（支持手段）。
補正 平１．８．７
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書１１頁５行「第８図」とあるを「第５図
」に訂正する。
」に訂正する。
Claims (1)
- 基板を裏面から支えるバツクアツプピンを列設
するベースと、前記ベースを支持するＸ−Ｙテー
ブルと、前記ベースを上下方向に案内する案内手
段と、前記ベースをその下面の複数個所で支える
平行リンク機構と、前記平行リンク機構に、ベー
スを上昇させる方向の回転力を与えるばねと、前
記ばねに抗しベース下降方向の回転力を平行リン
ク機構に与えるアクチユエータと、前記アクチユ
エータを支持する支持手段とを備え、前記支持手
段をＸ−Ｙテーブルの外に配置したことを特徴と
する基板バツクアツプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4540589U JPH02136399U (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4540589U JPH02136399U (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02136399U true JPH02136399U (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=31559551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4540589U Pending JPH02136399U (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02136399U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09141530A (ja) * | 1995-11-21 | 1997-06-03 | Sony Corp | 位置決め装置 |
-
1989
- 1989-04-18 JP JP4540589U patent/JPH02136399U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09141530A (ja) * | 1995-11-21 | 1997-06-03 | Sony Corp | 位置決め装置 |
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