JPH02145234A - 作業機構の直線搬送装置 - Google Patents

作業機構の直線搬送装置

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JPH02145234A
JPH02145234A JP29816188A JP29816188A JPH02145234A JP H02145234 A JPH02145234 A JP H02145234A JP 29816188 A JP29816188 A JP 29816188A JP 29816188 A JP29816188 A JP 29816188A JP H02145234 A JPH02145234 A JP H02145234A
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JP
Japan
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movable block
booth
linear groove
moved
cover belt
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JP29816188A
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JP2663584B2 (ja
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Junichi Hashimoto
純一 橋本
Nobukatsu Sato
佐藤 信克
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q11/00Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
    • B23Q11/08Protective coverings for parts of machine tools; Splash guards
    • B23Q11/085Flexible coverings, e.g. coiled-up belts

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は、産業用ロボフト等の自動機における搬送機構
として等として用いられ、各種の作業機構を直線方向に
搬送する作業機構の直線搬送装置に関するものである。
[従来の技術l 産業用ロボット等の自動機は、基台部に作業機構を支持
させて設け、この作業機構によって、ワークの加工を行
ったり、ワークを移載させたりするものとして広く用い
られている。ここで、自動機における基台部は固定的に
設けたものと、所定の方向に移動可能な可動部材を有す
るものとがある。そして、この可動部材の移動方向とし
て、直線方向に往復移動するものにあっては、ボールね
し、ラック−ビニオン機構、シリンダ等からなる直線搬
送手段を設け、この直線搬送手段によって基台部を往復
移動させるようにしている。
ここで、自動機による作業環境としては、例えば半導体
、電子部品、磁気ディスク等の記録媒体等のように塵埃
の発生を極端に嫌う場合にあっては、クリーンルーム内
でワークの処理・加工を行う必要かある。然るに、自動
機を直線方向に往復移動するための搬送手段は発塵源と
なるために、この搬送手段を作業空間から隔離しなけれ
ばならない。また、これとは反対に、塗装装置や、ワー
クの研摩装置等として用いる場合には、作業環境か汚損
されるが、この汚損物質が搬送手段の内部に入り込むと
、該搬送手段の円滑な作動が損なわれることになる。こ
のためにも、搬送手段を作業空間から隔離する必要か生
じる。
而して、前述した如く、搬送手段を作業環境から隔離す
るための手段としては、この搬送手段を蛇腹等の伸縮自
在なフード等の内部に収納させるようにしたものか従来
から用いられている。
[発明か解決しようとする問題点1 ところで、前述した蛇腹等の手段を用いて搬送手段を作
業空間から隔離するようにした場合において、可動部材
を移動させると、該蛇腹が伸縮する。そして、この蛇腹
が伸長したときにおいては、該蛇腹内に空気の吸い込み
が行われ、また縮小したときには、蛇腹内の空気か外部
に排出されることになる。従って、クリーンルーム内で
作業を行う場合においては、蛇腹の縮小時に塵埃が作業
環境に排出され、また汚損された作業空間内において、
蛇腹を伸長させたときには、汚損物が該蛇腹内に入り込
むという不都合がある。
本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであって、その
目的とするところは、作業機構を直線動作させるための
搬送手段を確実に作業空間から確実に隔離することがで
きるようにした作業機構の直線搬送装置を提供すること
にある。
[問題点を解決するための手段] 前述した目的を達成するために、本発明は、隔壁により
区画形成した閉鎖空間を有し、該隔壁のうちの一の壁部
に直線溝を形成してなるブース内に、該直線溝の形設方
向に往復移動する可動ブロックと、該可動ブロックを駆
動する往復動駆動手段とを内装し、前記可動ブロックに
は、前記直線溝から外部に突出する状態に作業機構への
連結部を連設し、また該連結部に前記直線溝を閉鎖する
カバーベルトを止着して、前記可動ブロックの移動時に
該カバーベルトを前記直線溝に沿って移動させる構成と
したことをその特徴とするものである。
[作用1 このように、ブース内に可動プロ・ツクと、この可動ブ
ロックを往復動させるための往復動駆動手段とを設置し
、また可動ブロックと作業機構とを連結するための連結
部をブース外に導出させるために1ブースの壁部に形設
した直線溝をカバーベルトによって閉鎖しているので、
ブースの内部を作業空間から確実に隔離することができ
るようになる。
しかも、U(動ブロックを移動させても、ブースの内部
空間は拡縮することはないので、作業空間からブース内
に、またブースから作業空間に向けて空気の流れが生じ
ることがなくなり、作業機構の作動中にブース内の塵埃
が作業空間に入り込んだり、またこれとは反対に作業空
間において発生する汚損物がブース内に侵入したりする
おそれはない。
[実施例] 以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する。
面して、第1図乃至第3図に示したように、ツース1は
、左右の側壁1a、 lbと、前後の端壁lc、 td
、さらに底壁1e及び天蓋壁Ifとからなり、それらの
各壁部の接合部分は確実に気密保持された密閉箱形のも
ので構成され、天蓋部1fにはその長手方向に向けて相
互に平行な一対の直線溝2.2か形設されている。
前述した構成を有するブースlの内部には、可動ブロッ
クlOか、底壁1eに設けたガイドレール11.11に
沿って往復移動可能に設置されている。
そして、該可動ブロックlOを移動させるために、両端
か軸受12.12により回転自在に支持されたホールね
じ13がガイドレールllと平行に設けられており、該
ボールねじ13は可動ブロック10に装着したボールナ
ツト14に挿通されている。このボールねじ13を回転
駆動するために、正逆転モータ15かツース1内に設置
されて、該モータ15には駆動プーリ16が装着されて
おり、またボールねじ13には従動プーリ17か連結さ
れて、両プーリ16.17間にはタイミングベルト18
が巻回して設けられている。従って、モータ15を正転
させたときには、可動ブロックlOは一側方向に、逆転
させたときには、6f動ブロツク10が反対方向に移動
するようになっている。
ワークに対して所定の処理、加工を行うための工具や、
ワークを支持する支持部材等を備えた作業機構20は、
iiJ動ブロック10に追従して移動せしめられるよう
になっている。このために、該可動ブロックIOには連
結部10a 、 10aが連設されており、該各連結部
10aは、第4図に示したように、天蓋壁1rを貫通し
てブース1の外部にまで導出されて、この連結部10a
に作業機構20が連結されるようになっている。
前述した如く、可動ブロックlOの連結部10aをブー
ス1の外に導出した状態で、該可動ブロック10を往復
移動させる関係から、該ブース1の天蓋部l〔に設けた
直線溝2には、少なくともこの可動ブロック10の移動
ストローク分の長さを持たせる必要がある。このために
、該直線溝2の開口面積はかなり大きくなるが、この開
口部分を閉鎖するために、カバーベルト21が設けられ
ている。このカバーベルト21は1前後の端壁1c、 
ld近傍位置に設けたローラ22.23%に巻回して設
けられて、その両端は可動ブロックIDの連結部10a
に固着して設けたループ状となっている。そして、第5
図から明らかなように、このカバーベルト21の幅は直
線溝2の溝幅より大きく形成されて、天蓋壁1fの下面
と、この下面に取り付けた受は板片24との間に形成さ
れるスリット溝25内に挿通されるようになっている。
なお、ここで5受は板片24は、直線溝2の長さより長
く、しかもローラ22.23間の間隔より短い寸法を有
するものである。また、可動ブロックlOには、カバー
ベルト21を挿通させるための逃げ部tOb 、 ta
bか形成されている。
本実施例は前述のように構成されるものであって、次に
その作動について説明する。
可動ブロック10における連結部10a、IQaに作業
機構20を連結し、カバーベルト21を天蓋壁1fの下
部に設けたスリット溝25に挿通させる。これにより直
線溝2の開口部分はほぼ完全に閉鎖されるようになる。
そこで、モータ15を作動させると、可動ブロックIO
がこれに追従して移動し、該可動ブロック10に連結し
た作業機構20が第1図の矢印六方向またはB方向に送
られることになり、この間にワークに所定の処理・加工
を行ったり、ワークを支持して搬送したりすることがで
きる。このときにおいて、可動ブロック10の移動に伴
なってカバーベルト21か第3図の矢印、C方向または
D方向に送られるので、該カバーベルト21が可動ブロ
ック10の移動の邪魔になったりすることなく、しかも
このカバーベルト21による直線溝2の閉鎖機能か損な
われることはない。
而して、ボールねじ13の回転によって可動フロックI
Qの送りを行う間には、該ボールねじ13とポールナツ
ト14との間に摩耗粉が発生することかあるか1ツース
1内は作業空間とはほぼ完全に隔離されており、しかも
、可動ブロックIOが移動しても、ブースl内の空間か
拡縮することがないのて、前述した摩耗粉等が作業空間
に入り込むおそれはない。
ここで、カバーベルト21は、可動ブロック10の移動
中に天蓋壁ifまたは受は板片24と摺動することにな
るために、この摺動により摩耗粉が発生しないようにす
る必要がある。このためには、該カバーベルト21をス
テンレス薄板等のように耐摩耗性の良好な部材で形成し
、また天蓋壁if及び受は板片24を滑りの良好な部材
で表面処理する等の処置を取るようにすることが好まし
い。また、前述したカバーベルト21の摺動によって、
たとえ摩耗粉が発生したとしても、ブース1内を負圧状
態に保持するようにしておけば、ブース1内に吸引され
て、作業空間側に入り込むことがないだけでなく、カバ
ーベルト21を受は板片24に当接させるようにするこ
とができて、ブース1と作業空間との間の隔離をさらに
確実に行うことができるようになる。
なお、前述した実施例においては、ブース1側から作業
空間側に向けて塵埃等を侵入させないように構成したも
のを示したか、これとは反対に、作業空間側からブース
内に汚損物等が侵入して、ボールねじや、これ以外、例
えばラック−ビニオン機構、シリンダ等のように、可動
ブロックを往復動させるための手段を汚損しないように
保持するための装置としても用いることができる。而し
て、この場合には、ブース内を作業空間と同じ圧力か作
業空間より高圧な状態にしておけばよい。
また、可動ブロックlOの連結部10aの導出部分の周
囲の部分に開口が出来ないようにするためには、カバー
ベルトに連結部10aを挿通させる大きさの孔を開設す
るように構成すればよい。さらにまた、カバーベルl−
をぜんまいばね状に形成し、このぜんまいばねの巻き取
り部を両ローラの配設位置に設けるようにする構成とし
てもよい。
【発明の効果1 以上説明したように、本発明は、壁部に直線溝を有する
ブース内に可動ブロックと該可動ブロックを往復移動さ
せる往復動駆動手段とを内装し、可動ブロックに直線溝
から外部に突出する状態に作業機構への連結部を連設し
、さらに連結部に直線溝を閉鎖するカバーベルトを止着
する構成としたので、往復動駆動手段と作業空間との間
を確実に隔離することができ、ブースから作業空間に塵
埃か侵入したり、作業空間からブース内に汚損物か侵入
したりするのを確実に防止することができるようになる
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は作業機
構の直線搬送装置の平面図、第2図は天蓋壁を除去した
状態を示す搬送装置の平面図、第3図は第1図のm−■
断面図、第4図は第1図のIV−■断面図、第5図は第
4図の要部拡大図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 隔壁により区画形成した閉鎖空間を有し、該隔壁のうち
    の一の壁部に直線溝を形成してなるブース内に、該直線
    溝の形設方向に往復移動する可動ブロックと、該可動ブ
    ロックを駆動する往復動駆動手段とを内装し、前記可動
    ブロックには、前記直線溝から外部に突出する状態に作
    業機構への連結部を連設し、また該連結部に前記直線溝
    を閉鎖するカバーベルトを止着して、前記可動ブロック
    の移動時に該カバーベルトを前記直線溝に沿って移動さ
    せる構成としたことを特徴とする作業機構の直線搬送装
    置。
JP63298161A 1988-11-28 1988-11-28 作業機構の直線搬送装置 Expired - Lifetime JP2663584B2 (ja)

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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE9017035U1 (ja) * 1990-12-18 1991-03-07 Nadella-Waelzlager Gmbh, 7000 Stuttgart, De
WO1997026461A1 (fr) * 1996-01-19 1997-07-24 Smc Kabushiki Kaisha Actionneur
JP2007278416A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 Nsk Ltd アクチュエータ
KR100812988B1 (ko) * 2007-06-29 2008-03-13 (주)다사로봇 리니어 스테이지 로봇
JP2011208804A (ja) * 2011-06-20 2011-10-20 Nsk Ltd アクチュエータ
JP2014228088A (ja) * 2013-05-24 2014-12-08 株式会社アイエイアイ アクチュエータ
JP2015036184A (ja) * 2013-08-09 2015-02-23 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN111975758A (zh) * 2019-05-22 2020-11-24 杉野机械股份有限公司 单轴机器人

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6142278U (ja) * 1984-08-20 1986-03-18 富士通株式会社 移動テ−ブル
JPS62104842U (ja) * 1985-12-19 1987-07-04

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6142278U (ja) * 1984-08-20 1986-03-18 富士通株式会社 移動テ−ブル
JPS62104842U (ja) * 1985-12-19 1987-07-04

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE9017035U1 (ja) * 1990-12-18 1991-03-07 Nadella-Waelzlager Gmbh, 7000 Stuttgart, De
WO1997026461A1 (fr) * 1996-01-19 1997-07-24 Smc Kabushiki Kaisha Actionneur
US6000292A (en) * 1996-01-19 1999-12-14 Smc Kabushiki Kaisha Actuator
JP2007278416A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 Nsk Ltd アクチュエータ
KR100812988B1 (ko) * 2007-06-29 2008-03-13 (주)다사로봇 리니어 스테이지 로봇
JP2011208804A (ja) * 2011-06-20 2011-10-20 Nsk Ltd アクチュエータ
JP2014228088A (ja) * 2013-05-24 2014-12-08 株式会社アイエイアイ アクチュエータ
JP2015036184A (ja) * 2013-08-09 2015-02-23 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボット
CN111975758A (zh) * 2019-05-22 2020-11-24 杉野机械股份有限公司 单轴机器人

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