JPH02143478A - レーザ光減衰器 - Google Patents
レーザ光減衰器Info
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- JPH02143478A JPH02143478A JP29466988A JP29466988A JPH02143478A JP H02143478 A JPH02143478 A JP H02143478A JP 29466988 A JP29466988 A JP 29466988A JP 29466988 A JP29466988 A JP 29466988A JP H02143478 A JPH02143478 A JP H02143478A
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- JP
- Japan
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- laser
- output
- laser beams
- slits
- turning plates
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- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0057—Temporal shaping, e.g. pulse compression, frequency chirping
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野〉
本発明は穴明け、溶接、焼入れ、切断などの加工等に使
用される大出力レーザ装置の出力を小容量の出力検出装
置で検出するためのレーザ光減衰器に関する。
用される大出力レーザ装置の出力を小容量の出力検出装
置で検出するためのレーザ光減衰器に関する。
（従来の技術）
レーザ加工は１台の加工装置で各種の一般加工や熱処理
を非接触で行うものであり、高速かつ高精度の制御が可
能である、加工点周辺への影響が小さい、金属、非金属
、複合材料の何れでも加工ができる、工具の摩耗や破損
を生じないなど多くの利点を持っているので、ファクト
リオートメーションの要素技術として注目をあびている
。
を非接触で行うものであり、高速かつ高精度の制御が可
能である、加工点周辺への影響が小さい、金属、非金属
、複合材料の何れでも加工ができる、工具の摩耗や破損
を生じないなど多くの利点を持っているので、ファクト
リオートメーションの要素技術として注目をあびている
。
このようなレーザ加工技術およびレーザ加工装置の開発
は各種の工業分野で進められており、比較的出力の小さ
い加工装置は早くから実用化され、例えば精密機械部品
や電子部品など微細な部品の加工に多数使用されている
。
は各種の工業分野で進められており、比較的出力の小さ
い加工装置は早くから実用化され、例えば精密機械部品
や電子部品など微細な部品の加工に多数使用されている
。
近年はレーザ発振器の進歩により放電部分の単位長さあ
たりのレーザ出力の大幅な増大が実現し、出力１問以上
の大出力レーザ装置が実用化されている。
たりのレーザ出力の大幅な増大が実現し、出力１問以上
の大出力レーザ装置が実用化されている。
上述のようにレーザ装置の大出力化は急速に進んでいる
が、出力の測定用の検出装置は小容量の検出しかできな
いものが多く、大出力を直接測定しようとすると破壊し
てしまうため、出力を減衰させてから゛検出装置き導く
方法が採られている。
が、出力の測定用の検出装置は小容量の検出しかできな
いものが多く、大出力を直接測定しようとすると破壊し
てしまうため、出力を減衰させてから゛検出装置き導く
方法が採られている。
たとえば
■ 球面での散乱・吸収を利用した方法■ 光学部品の
透過率を利用した方法 ■ 細い鏡面を回転させ反射光を利用した方法■ スリ
ットを設けた板を回転させ透過光を利用した方法 などがある （発明が解決しようとする課題） 大出力のレーザ出力の検出には各種の減衰器が用いられ
ているがいずれも減衰比が一定であるため、大出力時に
あわせ大きな減衰比を探ると大出力レーザ装置を小出力
運転する場合検出装置への入力が非常に小さくなり測定
精度が低下する。
透過率を利用した方法 ■ 細い鏡面を回転させ反射光を利用した方法■ スリ
ットを設けた板を回転させ透過光を利用した方法 などがある （発明が解決しようとする課題） 大出力のレーザ出力の検出には各種の減衰器が用いられ
ているがいずれも減衰比が一定であるため、大出力時に
あわせ大きな減衰比を探ると大出力レーザ装置を小出力
運転する場合検出装置への入力が非常に小さくなり測定
精度が低下する。
本発明は減衰比を可変にでき測定精度を高めたレーザ光
減衰器を提供することを目的とする。
減衰器を提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段および作用）本発明はスリ
ッｌ〜付円板による減衰部２個と２つのスリット円板の
角度ずれを制御する部分から成り、角度ずれを変えるこ
とによりスリットの重なり部分を変えて減衰比を可変と
している。
ッｌ〜付円板による減衰部２個と２つのスリット円板の
角度ずれを制御する部分から成り、角度ずれを変えるこ
とによりスリットの重なり部分を変えて減衰比を可変と
している。
（実施例）
本発明の実施例を第１図から第５図に示す。
第１図は本発明の構造図である。
第１図においてレーザ装置２０より導かれたレーザビー
ム（１０）は第２図に詳細を示す前段のスリット付回転
円板部（１１）に当り、一部分が透過し後段の円板部（
１２）に導かれる。ここでも一部分が透過し検出装置２
１へ照射される。
ム（１０）は第２図に詳細を示す前段のスリット付回転
円板部（１１）に当り、一部分が透過し後段の円板部（
１２）に導かれる。ここでも一部分が透過し検出装置２
１へ照射される。
スリット付回転円板１１．１２はレーザ光の吸収体で構
成されておりスリツ１〜部で透過する光取外は円板によ
り吸収される。制御部（１３）は外部信号により決めら
れた角度ずれ（第３図α〉を前後の回転円板に与えなが
ら同一速度で円板を回転駆動する。第４図に角度ずれが
αの時のレーザ光の透過のパターンを示す。
成されておりスリツ１〜部で透過する光取外は円板によ
り吸収される。制御部（１３）は外部信号により決めら
れた角度ずれ（第３図α〉を前後の回転円板に与えなが
ら同一速度で円板を回転駆動する。第４図に角度ずれが
αの時のレーザ光の透過のパターンを示す。
回転円板１１．１２のスリットの数をＮ１スリットの角
度をθとし角度ずれがαの時の透過率（％）は第５図の
ようになる。
度をθとし角度ずれがαの時の透過率（％）は第５図の
ようになる。
このよう、に角度ずれを変えることによりレーザ光の透
過を可変にでき減衰比の可変を実現できる。
過を可変にでき減衰比の可変を実現できる。
回転円板への光の入射は第１図のように垂直である必要
はなくまたスリットの角度θも前段・後段で同一でなく
ともよい。
はなくまたスリットの角度θも前段・後段で同一でなく
ともよい。
さらに第６図のように回転円板６１．６２を鏡面とし別
個にレーザ光吸収体６３を配置しても同一の効果が得ら
れる。
個にレーザ光吸収体６３を配置しても同一の効果が得ら
れる。
以上本発明によれば減衰比を可変にできる減衰器が得ら
れ大出力から小出力のレーザ光を小容量用の検出装置を
用いて精度よく測定可能となる。
れ大出力から小出力のレーザ光を小容量用の検出装置を
用いて精度よく測定可能となる。
第１図は本発明の一実施例を示す構造図、第２図はスリ
ン１〜イ」回転円板の詳細図、第３図、第４図は本発明
の動作パターン図、第５図は本発明の透過率の特性図、
第６図は他の実施例を示す構造図である。 １０・・・レーザビーム １１、１２・・・スリット付回転円板 １３・・・制御部 ２０・・・レーザ発振装置 ２１・・・検出装置 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 第 図 時間 第 図 Ｎ＝２ Ｍ計ｉ［Ｂ−１３（−４２
ン１〜イ」回転円板の詳細図、第３図、第４図は本発明
の動作パターン図、第５図は本発明の透過率の特性図、
第６図は他の実施例を示す構造図である。 １０・・・レーザビーム １１、１２・・・スリット付回転円板 １３・・・制御部 ２０・・・レーザ発振装置 ２１・・・検出装置 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 第 図 時間 第 図 Ｎ＝２ Ｍ計ｉ［Ｂ−１３（−４２
Claims (1)
- 回転する板に一定の角度のスリットを設け板に入射する
光の一部を透過させることにより入射光のエネルギを低
減するレーザ光減衰器において、スリットを設けた２枚
の回転板を任意の角度ずれを保ちながら同一速度で回転
できるようにしたことを特徴とするレーザ光減衰器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29466988A JPH02143478A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | レーザ光減衰器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29466988A JPH02143478A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | レーザ光減衰器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02143478A true JPH02143478A (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=17810775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29466988A Pending JPH02143478A (ja) | 1988-11-24 | 1988-11-24 | レーザ光減衰器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02143478A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109420842A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 发那科株式会社 | 光纤选择器和激光装置 |
-
1988
- 1988-11-24 JP JP29466988A patent/JPH02143478A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109420842A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 发那科株式会社 | 光纤选择器和激光装置 |
| US10527798B2 (en) | 2017-08-31 | 2020-01-07 | Fanuc Corporation | Fiber selector and laser apparatus |
| CN109420842B (zh) * | 2017-08-31 | 2021-12-21 | 发那科株式会社 | 光纤选择器和激光装置 |
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