JPH02142367A - 超音波リニアモータ - Google Patents
超音波リニアモータInfo
- Publication number
- JPH02142367A JPH02142367A JP63294904A JP29490488A JPH02142367A JP H02142367 A JPH02142367 A JP H02142367A JP 63294904 A JP63294904 A JP 63294904A JP 29490488 A JP29490488 A JP 29490488A JP H02142367 A JPH02142367 A JP H02142367A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating body
- linear motor
- piezoelectric ceramic
- ultrasonic linear
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 14
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 19
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 6
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 18
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧電体によって励振した弾性撮動を用いて駆動
力を発生する超音波リニアモータに関する。
力を発生する超音波リニアモータに関する。
従来の技術
近年、圧電セラミック等の圧電体により構成した振動体
に弾性振動を励撮し、これを駆動力とした超音波リニア
モータが注目されている。
に弾性振動を励撮し、これを駆動力とした超音波リニア
モータが注目されている。
以下、図面を参照しながら超音波リニアモータの従来技
術について説明を行う。
術について説明を行う。
第５図は従来の超音波リニアモータの概観図であり、円
板形圧電体１および２を、円筒形の弾性体３および４で
挟んで固定することにより振動体５を構成している。圧
電体１および２に、振動体５の共振周波数近傍の交流電
界を印加すれば、同図中の矢印で示されるように、振動
体５は縦振動モードで上下方向に振動する。
板形圧電体１および２を、円筒形の弾性体３および４で
挟んで固定することにより振動体５を構成している。圧
電体１および２に、振動体５の共振周波数近傍の交流電
界を印加すれば、同図中の矢印で示されるように、振動
体５は縦振動モードで上下方向に振動する。
振動体５の振動面から見た機械インピーダンスは、ホー
ン６によりインピーダンス変換されて、伝送棒７の撓み
振動に対する機械インピーダンスに整合される。ホーン
６の先端は伝送棒７の一端に近い一部に音響的に結合さ
れる。従って、振動体５の上下振動は、ホーン６により
効率良く伝送棒７に伝えられ、伝送棒７は撓み撮動をす
る。この撓み振動は、伝送棒７の一端から他端に向かっ
て進行する。
ン６によりインピーダンス変換されて、伝送棒７の撓み
振動に対する機械インピーダンスに整合される。ホーン
６の先端は伝送棒７の一端に近い一部に音響的に結合さ
れる。従って、振動体５の上下振動は、ホーン６により
効率良く伝送棒７に伝えられ、伝送棒７は撓み撮動をす
る。この撓み振動は、伝送棒７の一端から他端に向かっ
て進行する。
伝送棒７の他端に近い一部では、一端と同様にホーン８
の先端が音響的に結合されている。円板膨圧電体９およ
び１０を、円筒形の弾性体１１および１２で挟んで固定
することにより、振動体５と全（同じ振動体１３を構成
している。ホーン８には、この振動体１３が接続されて
いる。従って、伝送棒の一端から他端に向かって進行し
てきた撓み振動は、ホーン８により振動体１３に伝えら
れ、振動体１３の上下振動に変換される。圧電体９およ
び１０には、インピーダンス整合した負荷Ｒが接続され
、上記の上下振動は負荷Ｒによって消費される。故に、
伝送棒７には撓み振動が進行波としてのみ存在する。
の先端が音響的に結合されている。円板膨圧電体９およ
び１０を、円筒形の弾性体１１および１２で挟んで固定
することにより、振動体５と全（同じ振動体１３を構成
している。ホーン８には、この振動体１３が接続されて
いる。従って、伝送棒の一端から他端に向かって進行し
てきた撓み振動は、ホーン８により振動体１３に伝えら
れ、振動体１３の上下振動に変換される。圧電体９およ
び１０には、インピーダンス整合した負荷Ｒが接続され
、上記の上下振動は負荷Ｒによって消費される。故に、
伝送棒７には撓み振動が進行波としてのみ存在する。
１４は移動体であり、伝送棒７を進行する撓み振動によ
り駆動され、進行波の進行方向とは逆の方向に運動する
。上の説明では、移動体１４の進行方向は一方向として
いるが、駆動端を逆にすれば、逆の方向にも進行する。
り駆動され、進行波の進行方向とは逆の方向に運動する
。上の説明では、移動体１４の進行方向は一方向として
いるが、駆動端を逆にすれば、逆の方向にも進行する。
第６図は、撓みの弾性進行波が、移動体を駆動する原理
を示している。伝送棒７の撓み振動により、伝送棒７の
表面の点（例えば点Ａ）は、縦方向Ｗ・横方向Ｕの楕円
軌跡を描く。この楕円軌跡の頂点での速度は、波の進行
方向とは反対である。伝送棒７の上に移動体１４を加圧
設置すれば、移動体１４は波の頂点近傍でのみ伝送棒７
に接触する。従って、移動体１４は伝送棒７との間の摩
擦力によって、楕円軌跡の横方向の速度で、撓み振動の
進行波の進行方向と逆の方向に移動する。また、同図中
の１５は、上記楕円軌跡の横方向成分を、効率良く取り
出すための耐磨耗性の摩擦材である。
を示している。伝送棒７の撓み振動により、伝送棒７の
表面の点（例えば点Ａ）は、縦方向Ｗ・横方向Ｕの楕円
軌跡を描く。この楕円軌跡の頂点での速度は、波の進行
方向とは反対である。伝送棒７の上に移動体１４を加圧
設置すれば、移動体１４は波の頂点近傍でのみ伝送棒７
に接触する。従って、移動体１４は伝送棒７との間の摩
擦力によって、楕円軌跡の横方向の速度で、撓み振動の
進行波の進行方向と逆の方向に移動する。また、同図中
の１５は、上記楕円軌跡の横方向成分を、効率良く取り
出すための耐磨耗性の摩擦材である。
発明が解決しようとする課題
以上、説明した従来の超音波リニアモータは、ランジュ
バン構造の振動体を縦撮動モードで励撮し、上記振動体
の振動面の縦振動をホーンによって伝送棒の撓み振動に
変換している。従って、効率良（撓み振動の進行波を励
振するために、振動面とホーン、ホーンと伝送棒との間
の機械インピーダンスの整合を正確にとらねばならない
。現実には、このことは非常に困難であり、また接合面
を音響的に完全に結合することも難しく接触面で損失を
生じる。
バン構造の振動体を縦撮動モードで励撮し、上記振動体
の振動面の縦振動をホーンによって伝送棒の撓み振動に
変換している。従って、効率良（撓み振動の進行波を励
振するために、振動面とホーン、ホーンと伝送棒との間
の機械インピーダンスの整合を正確にとらねばならない
。現実には、このことは非常に困難であり、また接合面
を音響的に完全に結合することも難しく接触面で損失を
生じる。
また、伝送棒に進行波のみを励振するために、一方から
入力した振動エネルギーは、他方で完全に消失しなれけ
ばならない。従って、振動エネルギーの一部が機械出力
として取り出せ、大部分は熱に変わる。
入力した振動エネルギーは、他方で完全に消失しなれけ
ばならない。従って、振動エネルギーの一部が機械出力
として取り出せ、大部分は熱に変わる。
加えて、比較的小さな移動体を移動するためにも、大き
な振動体と伝送棒を振動させなければならない。従って
、効率が低い、寸法が大きくなるという課題があった。
な振動体と伝送棒を振動させなければならない。従って
、効率が低い、寸法が大きくなるという課題があった。
課題を解決するための手段
正方形断面を有する弾性体角柱の隣接する４つの長方形
面に、それぞれ圧電体を貼り付けて振動体を構成し、上
記振動体に、中心が振動の節で、両端が自由な撓み振動
を励振し、上記中心部の節点で上記振動体を支持し、上
記両端から機械出力を取り出す。
面に、それぞれ圧電体を貼り付けて振動体を構成し、上
記振動体に、中心が振動の節で、両端が自由な撓み振動
を励振し、上記中心部の節点で上記振動体を支持し、上
記両端から機械出力を取り出す。
作用
角柱形の振動体を中心部の節点で支持することにより、
損失の小さい振動体の位置固定が可能となり、振動体の
両端から機械出力を取り出すことにより、効率の高い、
形状の小さい超音波リニアモータが実現できる。
損失の小さい振動体の位置固定が可能となり、振動体の
両端から機械出力を取り出すことにより、効率の高い、
形状の小さい超音波リニアモータが実現できる。
実施例
以下、図面に従って本発明の一実施例について詳細な説
明を行う。
明を行う。
第１図（ａ）は、本発明の１実施例の振動体の構造を示
す斜視図である。同図において、１６は主要部分が正方
形断面を有する弾性体角柱、１７ａ・１７ｂ、１８ａ・
１８ｂはそれぞれ厚さ方向に分極され、２つの主面に電
極付けされた圧電セラミックであり、弾性体角柱１６に
接着されている。圧電セラミック中の正負の符号は、分
極の向きを示す。また、圧電セラミック１７ａ−１７ｂ
の接着された面の反対面には、圧電セラミック１７ｃ・
１７ｄが、それぞれ圧電セラミック１７ａ・１７ｂと同
じ分極方向に接着され、圧電セラミック１８ａ・１８ｂ
の接着された面の反対面には、圧電セラミック１８ｃ・
１８ｄが、それぞれ圧電セラミック１８ａ・１８ｂと同
じ分極方向に接着されている。第１図（ｂ）は第１図（
ａ）を矢印の方向から見た側面図である。
す斜視図である。同図において、１６は主要部分が正方
形断面を有する弾性体角柱、１７ａ・１７ｂ、１８ａ・
１８ｂはそれぞれ厚さ方向に分極され、２つの主面に電
極付けされた圧電セラミックであり、弾性体角柱１６に
接着されている。圧電セラミック中の正負の符号は、分
極の向きを示す。また、圧電セラミック１７ａ−１７ｂ
の接着された面の反対面には、圧電セラミック１７ｃ・
１７ｄが、それぞれ圧電セラミック１７ａ・１７ｂと同
じ分極方向に接着され、圧電セラミック１８ａ・１８ｂ
の接着された面の反対面には、圧電セラミック１８ｃ・
１８ｄが、それぞれ圧電セラミック１８ａ・１８ｂと同
じ分極方向に接着されている。第１図（ｂ）は第１図（
ａ）を矢印の方向から見た側面図である。
１９ａ、１９ｂは機械出力端、２０ａ、２０ｂは振動体
を位置固定するための支持穴である。圧電セラミック１
７ａ・１７ｂ・１７Ｃ・１７ｄに電界を印加すれば、振
動体は紙面に垂直な面内で撓み振動を起こし、圧電セラ
ミック１８ａ・１８ｂ・１８ｃ・１８ｄに電界を印加す
れば、振動体は紙面に平行な面内で撓み振動を起こす。
を位置固定するための支持穴である。圧電セラミック１
７ａ・１７ｂ・１７Ｃ・１７ｄに電界を印加すれば、振
動体は紙面に垂直な面内で撓み振動を起こし、圧電セラ
ミック１８ａ・１８ｂ・１８ｃ・１８ｄに電界を印加す
れば、振動体は紙面に平行な面内で撓み振動を起こす。
第２図は、第１図の本発明の振動体に励振される撓み振
動の１例の変位分布図である。振動体の中心部では撓み
振動の変位はＯなので、支持穴２０を介して振動体を位
置固定すれば、損失の小さい支持が可能である。
動の１例の変位分布図である。振動体の中心部では撓み
振動の変位はＯなので、支持穴２０を介して振動体を位
置固定すれば、損失の小さい支持が可能である。
第１図の圧電セラミック１７により励振される撓み振動
と、圧電セラミック１８により励振される撓み振動とは
、振動姿態および共振周波数は全く同じであり、その空
間的な位置が直交しているので、圧電セラミック１７と
圧電セラミック１８に印加する電界の位相を時間的に９
０度だけずらしておけば、振動体の両端は円または楕円
軌跡を描いて運動する。
と、圧電セラミック１８により励振される撓み振動とは
、振動姿態および共振周波数は全く同じであり、その空
間的な位置が直交しているので、圧電セラミック１７と
圧電セラミック１８に印加する電界の位相を時間的に９
０度だけずらしておけば、振動体の両端は円または楕円
軌跡を描いて運動する。
第３図は、以上述べたような振動体を使用した超音波リ
ニアモータの１構成例である。同図において、２１は振
動体Ａ、２２は振動体Ｂであり、支持棒２３によって、
２つの振動体の先端でレール２６を挟むようにして、支
持穴を介して結合されている。２４は加圧用バネであり
、加圧調節ネジ２５によって、振動体の先端とレール２
６との加圧力を調節する。
ニアモータの１構成例である。同図において、２１は振
動体Ａ、２２は振動体Ｂであり、支持棒２３によって、
２つの振動体の先端でレール２６を挟むようにして、支
持穴を介して結合されている。２４は加圧用バネであり
、加圧調節ネジ２５によって、振動体の先端とレール２
６との加圧力を調節する。
振動体Ａ２１と振動体Ｂ２２の相対する先端は、レール
に垂直な方向の振動の振幅は反対方向に、レールに平行
な方向の摂動の振幅は同方向になるようにする。同図中
の矢印は、２つの撓み振動によって作られる先端部の軌
跡である。これによって、振動体Ａ２１と振動体Ｂ２２
の相対する２組みの先端は、それぞれ振動体自身をレー
ル２６に沿って移動させるように交互に動作する。
に垂直な方向の振動の振幅は反対方向に、レールに平行
な方向の摂動の振幅は同方向になるようにする。同図中
の矢印は、２つの撓み振動によって作られる先端部の軌
跡である。これによって、振動体Ａ２１と振動体Ｂ２２
の相対する２組みの先端は、それぞれ振動体自身をレー
ル２６に沿って移動させるように交互に動作する。
また、第３図の実施例では振動体Ａ２１と振動体Ｂ２２
の両端に段を付けて、この段を介してレール２６に加圧
設置しているので、負荷状態などにより振動体の両端の
レール２６に対する相対速度が異なっても、振動体のレ
ール２６に対する姿勢は一定に保たれる。この機構が無
い時には振動体の両端のレール２６に対する相対速度が
異なれば、振動体はレール２６から外れてしまう。
の両端に段を付けて、この段を介してレール２６に加圧
設置しているので、負荷状態などにより振動体の両端の
レール２６に対する相対速度が異なっても、振動体のレ
ール２６に対する姿勢は一定に保たれる。この機構が無
い時には振動体の両端のレール２６に対する相対速度が
異なれば、振動体はレール２６から外れてしまう。
第４図は、振動体のレールに対する姿勢を一定に保つた
めの別の実施例である。振動体Ｃ２７と振動体Ｄ２８の
それぞれの両端には溝２９を設けてあり、同図に示すよ
うに、溝２９を介して振動体Ｃ２７と振動体Ｄ２８をレ
ール３０に加圧設置している。従って、常に振動体はレ
ール３０に沿って移動するので、振動体はレールに対し
て姿勢を一定に保つことができる。３１は振動体の支持
のための支持棒、３２は加圧のための加圧用バネ、３３
は加圧力の調整用の調整ネジである。
めの別の実施例である。振動体Ｃ２７と振動体Ｄ２８の
それぞれの両端には溝２９を設けてあり、同図に示すよ
うに、溝２９を介して振動体Ｃ２７と振動体Ｄ２８をレ
ール３０に加圧設置している。従って、常に振動体はレ
ール３０に沿って移動するので、振動体はレールに対し
て姿勢を一定に保つことができる。３１は振動体の支持
のための支持棒、３２は加圧のための加圧用バネ、３３
は加圧力の調整用の調整ネジである。
発明の効果
本発明によれば、簡単な構造によって、寸法の小さな、
重さの軽い、しかも効率の高い超音波リニアモータを提
供できる。
重さの軽い、しかも効率の高い超音波リニアモータを提
供できる。
第１図（ａ）は本発明の１実施例の振動体の構造を示す
斜視図、第１図（ｂ）は同図（ａ）の振動体の側面図、
第２図は第１図の実施例の振動体の１振動例の変位分布
図、第３図は第１図の振動体を使用した超音波リニアモ
ータの１構成例の概観図、第４図は別の振動体を使用し
た超音波リニアモータの構成例の概観図、第５図は従来
の超音波リニアモータの概観図、第６図は超音波リニア
モータの駆動原理を示す説明図である。 １６・・・・・・弾性体、 １７ａ−ｂφｃ−ｄ・・・・・・圧電体、１８ａ−ｂ−
ｃ−ｄ・・・・・・圧電体、１９ａ−ｂ・・・・・・出
力端、 ２０ａ−ｂ・・・・・・支持穴、 ２１・・・・・・振動体Ａ、２２・・・・・・振動体Ｂ
、２３・・・・・・支持棒、２４・・・・・・加圧用バ
ネ、２５・・・・・・加圧調節ネジ、２６・・・・・・
レール、２７・・・・・・振動体Ｃ１２８・・・・・・
振動体Ｄ、２９・・・・・・溝、３０・・・・・・レー
ル、３１・・・・・・支持棒、３２・・・・・・加圧用
バネ３３・・・・・・調整ネジ。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名図 変 １ｆ［′ｒＩ 昂 第 図 １Ｂ、 圧電セラミック
斜視図、第１図（ｂ）は同図（ａ）の振動体の側面図、
第２図は第１図の実施例の振動体の１振動例の変位分布
図、第３図は第１図の振動体を使用した超音波リニアモ
ータの１構成例の概観図、第４図は別の振動体を使用し
た超音波リニアモータの構成例の概観図、第５図は従来
の超音波リニアモータの概観図、第６図は超音波リニア
モータの駆動原理を示す説明図である。 １６・・・・・・弾性体、 １７ａ−ｂφｃ−ｄ・・・・・・圧電体、１８ａ−ｂ−
ｃ−ｄ・・・・・・圧電体、１９ａ−ｂ・・・・・・出
力端、 ２０ａ−ｂ・・・・・・支持穴、 ２１・・・・・・振動体Ａ、２２・・・・・・振動体Ｂ
、２３・・・・・・支持棒、２４・・・・・・加圧用バ
ネ、２５・・・・・・加圧調節ネジ、２６・・・・・・
レール、２７・・・・・・振動体Ｃ１２８・・・・・・
振動体Ｄ、２９・・・・・・溝、３０・・・・・・レー
ル、３１・・・・・・支持棒、３２・・・・・・加圧用
バネ３３・・・・・・調整ネジ。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか１名図 変 １ｆ［′ｒＩ 昂 第 図 １Ｂ、 圧電セラミック
Claims (3)
- （１） 正方形断面を有する弾性体角柱の４つの長方形
面のそれぞれに圧電体を貼り付けて振動体を構成し、上
記振動体に、中心が振動の節で、両端が自由な撓み振動
を励振し、上記中心部の節点で上記振動体を支持し、上
記両端に円または楕円軌跡を描かせ、上記両端から機械
出力を取り出すことを特徴とする超音波リニアモータ。 - （２） 振動体の中心部に穴を開け、上記穴に棒を貫通
することにより上記振動体の支持固定を行うよう構成し
たことを特徴とする請求項１に記載の超音波リニアモー
タ。 - （３） 振動体の両端部に、溝または段を付けて上記溝
または段を介して機械出力を取り出すことにより、上記
振動体の姿勢を保つことを特徴とする請求項１に記載の
超音波リニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63294904A JP2543163B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 超音波リニアモ―タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63294904A JP2543163B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 超音波リニアモ―タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02142367A true JPH02142367A (ja) | 1990-05-31 |
| JP2543163B2 JP2543163B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=17813761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63294904A Expired - Lifetime JP2543163B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | 超音波リニアモ―タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2543163B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04355677A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | 移送用超音波アクチュエータ及び移送装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6359777A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-15 | Canon Inc | 振動駆動モ−タ |
| JPS63110968A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波リニアモ−タ |
| JPS63262068A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-28 | Canon Inc | 振動波モ−ター |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP63294904A patent/JP2543163B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6359777A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-15 | Canon Inc | 振動駆動モ−タ |
| JPS63110968A (ja) * | 1986-10-28 | 1988-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波リニアモ−タ |
| JPS63262068A (ja) * | 1987-04-15 | 1988-10-28 | Canon Inc | 振動波モ−ター |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04355677A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-09 | Oki Electric Ind Co Ltd | 移送用超音波アクチュエータ及び移送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2543163B2 (ja) | 1996-10-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5039899A (en) | Piezoelectric transducer | |
| JPH02142367A (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JPH01264582A (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JPH027875A (ja) | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 | |
| JPH0787710B2 (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JP2538027B2 (ja) | 平面型超音波アクチュエ―タ | |
| JPH07110143B2 (ja) | 平面型超音波アクチュエータ | |
| JPH02211072A (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JP2543149B2 (ja) | 超音波リニアモ―タ | |
| JP2538026B2 (ja) | 平面型超音波アクチュエ―タ | |
| JP2538033B2 (ja) | 平面型超音波アクチュエ―タ | |
| JP2874174B2 (ja) | 超音波振動子及び超音波モータ | |
| JPH08149862A (ja) | 超音波振動子 | |
| JPH02228272A (ja) | 平面型超音波アクチュエータ | |
| JPH0246180A (ja) | 超音波リニアモータ | |
| JPH05115846A (ja) | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 | |
| JPH02214480A (ja) | 平面型超音波アクチュエータ | |
| JPH05316756A (ja) | 超音波振動子およびこの振動子を有する駆動装置 | |
| JPH07337046A (ja) | 超音波モータ駆動装置 | |
| JPS63110968A (ja) | 超音波リニアモ−タ | |
| JPH02228271A (ja) | 平面型超音波アクチュエータ | |
| JP2534343B2 (ja) | 超音波リニアモ―タ | |
| JPH02202380A (ja) | 平面型超音波アクチュエータ | |
| JPH02202378A (ja) | 平面型超音波アクチュエータ | |
| JPH0246183A (ja) | 超音波リニアモータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070725 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080725 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090725 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090725 Year of fee payment: 13 |