JPH0213706A - 逆火防止管部材、燃焼装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、反応プロセスの副生ガスのような可燃性排ガ
スの放出（パージ）および／または制御された燃焼のた
めの排ガス処理装置における制御されない火災および／
または爆発を防止することに関する。

［従来の技術］ 米国特許筒４，６６ＬＯ５６号には、可燃性排ガスを制
御された燃焼管を経て空気管に低圧で導入することによ
り機能する、可燃性排ガスの制御された焼却用の装置が
開示されている。この燃焼管内で、前記排ガスは旋回空
気と混合され、点火・燃焼させた後、前記空気管内に吸
引され、空気管の出側端部からスクラバーに搬送され、
不燃性反応生成物として放出される。

可燃性排ガスの制御された燃焼装置および放出装置は、
このような排ガスが、反応器を通る可燃性反応ガスまた
は副生ガス流を層流とする必要があって大気圧またはそ
れよりやや高圧で行う反応の副生ガスであることが多い
ことから、低圧で作動可能なものでなければならない。

排ガスが制御された燃焼管に導入された時点でこの排ガ
スの圧力を高めようとすると、反応器内に背圧の問題が
生ずることとなる。しかし、比較的低圧（すなわち、大
気圧か、それよりわずかに高圧）の可燃性排ガスが、燃
焼室内の点火手段（制御式燃焼装置の場合）または輸送
管もしくはスクラバー内で偶然に発生した火花などの偶
発的な着火源（非焼却式パージ装置の場合）に曝される
と、燃焼管内の制御された燃焼または輸送管内の偶発的
な燃焼が、反応器の排気管から反応器内あるいは他の反
応設備内にさかのぼるフラッシュバンク（逆火）が起こ
り、破壊的な状態、さらには場合によると危険な状態に
陥る恐れが出てくる。例えば、水素の火炎伝播速度は約
８．２５　ｆｔ／ｓｅｅ　（２，５１ｍ／５ｅｃ）であ
り、これは水素を含存する排ガスの低圧流に抗して火炎
を上流側にさかのぼらせることができる速度である。

上記米国特許の装置は、燃焼室を越えて排ガス導管の下
流側端部で空気管内に渦（旋回）運動および真空を発生
させることにより排ガスと空気との混合を助ける焼却装
置である。しかし、この作用は、高速の火炎伝播または
フランシュバックを防ぐものではない。

火炎が可燃性ガス導入口にフラッシュバックするのを防
止するための燃焼管内に設ける市販の各種の逆火防止装
置（ｆｌａｍｅ　ａｒｒｅｓｔｉｎｇ　ｄｅｖｉｃｅ）
および火炎遮蔽装置（バリアー）を使用することは公知
である。例えば、米国特許第３，７１１，２５９号（多
孔質金属被覆プラスチック発泡体遮蔽装置）；同第３，
７４８．１１１号（逆火防止スクリーン）；同第４゜１
５２、３９９号（燃焼スクリーン）−同第４，４４４，
１０９号（逆火防止膜遮断装置）：同第４，５５５，３
８９号（多孔質充填剤遮蔽装置および不活性ガス）；お
よび同第４，６１３，３０３号（弁つき空気スクリーン
）を参照できる。

［発明が解決しようとする課題］ これらの各特許の装置は、故障した場合、フェイル・セ
ーフ（ｆａｉｌ−ｓａｆｅ）とするための支援手段は何
も持たない。これらの装置では、火炎の伝播防止は逆火
防止遮断装置の能力に依存するが、このような遮断装置
はこの目的に完全に信頼できるものではなく、空気供給
手段におけるように、特に故障の場合には、高速の火炎
伝播またはフランシュバックに抗することができない。

点火源の位置もしくはその下流側で火炎を維持するため
に逆火防止装置を過ぎて十分な流速がなければ、火炎は
上流方向に燃え進むことができ、逆火防止装置を通過し
、逆火防止装置の上流側で排ガスと空気との可燃性ガス
混合物の着火、すなわち、排ガス導入口へのフランシュ
バックを引き起こすことがある。このような場合には、
可燃性ガスの燃焼装置への供給を停止するために、反応
装置を遮断するか、ガスを別経路にふり向けるようにし
なげればならない。

本発明は、反応室のような供給源からの可燃性排ガスの
安全な廃棄のために、この排ガスの制御された燃焼用の
燃焼装置に組合わせることのできる、スクラバーへの排
ガスパージ管用の比較的フェイル・セーフの逆火防止装
置を提供するものである。

［課題を解決するための手段］ 本発明の逆火防止装置は、上流側端部に少なくとも１個
の主排ガス導入口を有する管部材からなる。この管部材
の下流側の出口端部（排ガス排出口）は、焼却方式の場
合には点火源を備えた燃焼室に開口し、非焼却パージ方
式の場合にはスクラバーもしくはその他の安全な処理装
置への輸送管に開口している。本発明の逆火防止装置は
、上記管部材の排ガス排出端部（出口端部）より上流に
配置した少なくとも一つのガス透過性火炎検知室と、そ
の排ガス導入端部（入口端部）より下流で、上記火炎検
知室より上流に配置した少なくとも一つのガス透過性消
炎室とを備えている。この火炎検知室は、排ガスがガス
輸送管またはその制御された燃焼のために燃焼室および
点火源に向かって自由に押し込みおよび／または吸引に
より通過できるように排ガスに対して透過性の少なくと
も一対の離間した逆火防止手段（例、スクリーンなどの
グリッド部材）を備え、煙および燃焼生成物は輸送管（
制御された焼却装置の場合には、これは燃焼を支持する
ために空気を供給する空気管である）中に排出される。

本発明は、上記のガス透過性火炎検知室内に配置した火
炎検知手段と、この検知室内もしくはこれより上流側に
配置した、前記火炎検知手段と連動して上記消炎室に不
燃性の消炎ガスを導入するための副次的ガス導入口手段
とを設けたことを特徴とする。検知室内で火炎の存在が
検知された場合には常に、検知室内のガス混合物を全体
として不燃性とするために、検知室の上流の１もしくは
２以上の地点から検知室に消炎ガスが流入する。

本発明の好適態様によれば、複数の隣接したインライン
（直列）ガス透過性の区画室が設けられ、この各区画室
が、スクリーン（金網）のような−対の離間したガス透
過性の逆火防止用グリッド部材を備えている。下流側の
区画室は、制御された焼却方式の場合、逆火防止管部材
の出口端部より内側で燃焼室および点火源より上流に位
置し、これは前記の火炎検知手段を包含し、火炎検知室
となる。１もしくは２以上の隣接した上流側の区画室は
、火炎検知室のすぐ上流で、可燃性排ガスが導入される
主排ガス導入口（入口端部）より下流の位置に、窒素、
フレオンもしくは二酸化炭素のような不燃性の消炎ガス
をこれに直接導入するための副次的ガス導入口を包含し
、消炎室となる。

したがって、本発明の逆火防止管部材の内部が、火炎が
火炎検知室の下流側の逆火防止用スクリーンを越えて上
流方向に伝播しうるような事態に至った場合、火炎が検
知され、ｌもしくは２以上の隣接した上流側ガス透過性
区画室（消炎室）中への消炎ガスの導入が作動する。こ
れにより、火炎がさらに上流に伝播するのが防止され、
不燃性の消炎ガスが検知室内に充満し、これからさらに
輸送管もしくは燃焼室、さらには空気管中に移動し放出
されるため、検知・室内の火炎は急速に消える。

本発明の別の態様によれば、燃焼室または輸送管に向か
う下流方向への排ガスの流れの制限（流量低下）の結果
として起こりうる背圧を検知するために、前記の細長い
逆火防止管部材の上流側端部にガス圧感知手段を付設す
る。このような流れの制限は、１もしくは２以上のガス
透過性逆火防止用グリッド部材もしくはスクリーンの上
もしくはその内部に固体の燃焼生成物が蓄積することに
より起こり得る。そのため、これらのグリッド部材もし
くはスクリーンおよび逆火防止管部材はいずれも取外し
可能（着脱可能）に取り付けることが好ましい。こうす
ると、清掃もしくは交換のためのグリッド部材もしくは
スクリーンの取り外しが便利に実施できる。固体の燃焼
生成物の蓄積は、排ガスが、燃焼により固体の反応生成
物を生ずる四塩化ケイ素めようなガスを含む場合には普
通に認められる現象である。この問題は、非焼却パージ
方式に比べて制御された焼却方式でより普通に認められ
る。

本発明の好適態様にあっては、可燃性ガス、特に自燃性
ガスの焼却のための改良されたフェイルセーフ装置が提
供される。本発明の装置は、コンピュータ・チップなど
の半導体デバイスの製造中に発生する反応副生ガスであ
る水素とシランとのガス混合物の焼却に特に適している
。この混合ガスは、そのままでは、製造工程で使用した
アルシンやホスフィンなどの猛毒の廃ドープ剤を含有し
ている。

ただし、排ガスを輸送管を通してスクラバーもしくはそ
の他の安全な処理装置にパージする非焼却方式でも、モ
ーターからの火花、静電気、またはその他の偶発的な着
火源により引き起こされることのある突発的な着火の危
険があるので、本発明はこのような非焼却方式にもを用
である。前述したように、水素のような可燃性ガスの火
炎伝播速度は非常に速く、火炎は比較的低圧の排ガスの
流れに逆らって上流方向に伝播し、反応器の排気管もし
くはその他の排ガス供給部を通ってフランシュバック　
（逆火）し、破壊的および危険な状態を生ずる恐れがあ
る。

以下、本発明の燃焼方式に関する好適態様を例示する添
付図面を参照して説明する。

排ガスの燃焼もしくは焼却装置は、第一の導管２を有し
、この導管２は、前記米国特許第４，６６１゜０５６号
と同じ構造であり、入側端部４および出側端部６と、中
間の空気導入口８を有し、空気導入口８はフランジ（つ
ば）付の入口１２を有する第二の分岐導管１０により包
囲されている。フランジ付人口１２と空気導入口８との
間の分岐導管１０部分は、■もしくは２以上の点火手段
１６（例、火花発生点火プラグなど）および点火もしく
は火炎検知器２０とを備えた燃焼室を構成する。必ずし
も必要ではないが、空気導管２は、導管２の中を流れる
空気の一部を分岐導管１０の下流側内壁部２６に抗して
流れるようにするためにバッフル板（じゃま板）　３０
または他の流れ制限手段を備えていることが好ましい。

これにより、燃焼室１１内に上昇する燃焼支持空気の渦
２８を発生させ、排ガスとの混合を助長し、また真空を
発生させて、煙および燃焼生成物を導管２の内部の空気
流に放出して、温度センサー２２を過ぎて、フランジ付
出側端部２４から付設されたスクラバー装置３２に向け
て下流方向に流すのを助長する。

添付図面に例示した装置の必須の特徴は、反応器もしく
はその他の排ガス供給源から、１１のような燃焼室に、
安全な焼却および放出（例えば、スクラバー３２に通じ
る空気流導管２への）のために、排ガスを搬送する排ガ
ス導管の一部として間挿するように意図した逆火防止管
部材１３の内部に存在する。

第１図に示した逆火防止管部材１３は、排ガス導管１７
と封止係合したフランジ付の上流側入口端部１５と、燃
焼室１１を包囲する分岐導管１０と封止係合したフラン
ジ付の下流側出口端部１９とを有している。

図示の態様では、逆火防止管部材１３は仕切られた３つ
の区画室２１．２３および２５を含み、各区画室は、一
対の離間した逆火防止用グリッド（格子）部材もしくは
スクリーン（金網）２７で区画および包囲され、各グリ
ッドもしくはスクリーンは、排ガスが燃焼室１１を経て
空気導管２を通る空気流中に押し出されおよび／または
引き込まれるときに通過しなければならない半径方向（
ラジアル）バリアーまたはガス透過性制限部を構成する
。好ましくは、スクリーン２７は、逆火防止管部材１３
の内壁に設けた環状ミゾに嵌まるスナップ・リングある
いは他の適当な手段により、この管部材１３の内部に着
脱可能に取り付け、管部材１３もスクリーン２７の交換
のためにスクリーンに触れることができるように着脱可
能に取り付ける。

スクリーンで包囲された区画室のうち、燃焼室１１への
出口端部の直前の下流側最後のもの、すなわち、区画室
２１の内部には、熱電対などの慣用の火炎検知手段３１
が配置されている。この火炎検知手段は、燃焼室１１か
ら第一のスクリーン２７を通って上流方向への火炎の移
動が起こったり、あるいは区画室２１の内部に可燃性ガ
ス混合物が存在したためにこの区画室内で発火が起こっ
たりした場合の火炎の存在を検知するためのものであり
、第２図に示すように、調節可能な温度比較器４０（例
えば、・温度値を設定可能な温度デイスプレー）と連動
する。

排ガス逆火防止管部材１３のその次に上流側のスクリー
ン区画室２３および２５には、それぞれ消炎ガス導入管
３３および３４が開口しており、これらの各ガス導入管
は、電気的に作動する電磁弁（ソレノイド弁）手段４１
を介して、窒素、フレオン、二酸化炭素などの燃焼停止
もしくは消炎ガスの加圧供給源４２と連動する。このガ
スは、好ましくは加圧液化もしくは圧縮形態のものであ
って、その吸熱蒸発により第１図に示した消炎室２３お
よび２５内の温度を低下させると同時に、室内の可燃性
ガス混合物をこれと置換する。

当業者には明らかなように、火炎検知器３１は火炎の存
在下で電気信号を発生する慣用の電子装置であり、この
信号は温度比較器４０に送られ、信号がそのトリップ（
動作）設定値より高い場合には、時限ラッチング・リレ
ー（ｔｉｍｅｄ　ｌａｔｃｈｉｎｇ　ｒｅｌａｙ）４３
に送られる。このリレー４３は、直ちに電磁弁４１を一
定の設定時間（例、４５秒間）だけ動作させ、第２図に
示すように、警報音発生装置４４も同時に動作させるよ
うにしてもよい。リレー４３は、図示のように、電源か
ら変圧器４５を経て電力が供給され、電磁弁４１を直ち
に所定の時間だけ全開放位置に動作させ、次いで設定し
た時間遅延期間の終了後、電磁弁をその閉鎖位置に再動
作させて、消炎ガスの導入を止める。火炎の存在がなお
、検知されたり、あるいは検知室内に火炎が再び発生し
た場合には、検知器が再動作して、ラッチング・リレー
４３により電磁弁４Ｉはさらに所定の設定時間だけ再び
開放される。このような再循環は、検知室内に火炎が存
在しなくなるまで続く。電磁弁手段４１は、通常は消炎
ガス導入管３３および３４を閉鎖しているが、信号を受
けると、一定の時間（２以上に区切られた時間でもよい
）だけ開放位置に切り替わり、消炎ガスが供給ａ４２か
ら区画室２３および２５内に流入することができる。火
炎検知器は、焼却すべき排ガスの組成に応じて、Ｋ型熱
電対、赤外線検知器または紫外線検知器を利用したもの
でよい。また、火炎検知器は警報音発生装置４４および
／または可燃性排ガスの流れを遮断するか、あるいはこ
４をスクラバーもしくは他の焼却装置または一時的貯蔵
容器に導く制御装置と連動するようにしてもよい。

消炎ガスの導入は、消炎室２３および２５の両方に同時
に開始させて、好ましくはその内部に燃焼を支持しえな
い低温雰囲気を生成させ、図示のように燃焼式の場合の
燃焼室からの火炎や、非焼却方式の場合にはスクラバー
への輸送管内で発火しうる突発的な火炎が、その下流側
スクリーン２７から入ってくるのを防止する。さらに、
上流側の排ガス導管１７から排ガスが連続して流入する
ことにより、消炎ガスは下流方向に押し流されて火炎検
知室２１内に流入し、可燃性ガス混合物をそこから燃焼
室１１内またはスクラバーに通じる輸送管内へと押し出
す。この時点で、火炎が区画室２１内に存在しなければ
、火炎検知器３１および比較器４０は、リレー４３への
信号を解除し、消炎ガス供給′１ＩＪ４２に対する電磁
弁４１が再び閉鎖して、消炎ガスが消炎室２３および２
５にさらに供給され続けるのを遮断する。

逆火防止用グリッド部材もしくはスクリーン２７は、燃
料ガスおよび空気の爆発性混合物をバーナーに送る各配
管に慣用されている公知の手段である。これは、フラッ
シュバックが装置に到達するのを防ぐためのものである
が、爆発圧力に耐えるほど強くはない。逆火防止装置は
、例えば、米国メリーランド州グレン・バーニーのＣ，
Ｍ、　Ｋｅｍｐ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ　Ｃｏ。Ｃｏ
ｍｂｕｓｔｉｏｎ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　Ｄｉｖ、からＱ
Ａ型なる名称で、また米国ペンシルバニア州ドレシャー
の５ａｌｅｓ　Ｃｏｒｐ、　ｏｆ　Ａｍｅｒｉｃａから
ＡＰ−８Ａ型なる名称で市販されている。

本発明で用いるスクリーン２７は、好ましくは断面を４
０％減少させる、いわゆる６０％スクリーンである。火
炎検知室２１を包囲するスクリーン対２７は約１．５〜
２インチ（３，８〜５．１ｃ＋ａ）離間させることが好
ましく、一方、消炎室２３および２５を包囲するスクリ
ーン対２７は約３〜４インチ（７，６〜１０．２ｃｍ）
離間させることが好ましい。管２．１０．１３および１
７はそれぞれ内径約２インチ（５，１ｃ＋ｎ）のものが
好ましい。

やはり第１図に示したように、排ガス逆火防止管部材１
３の上流側人口端部（導入口部分）は、排ガス導入室３
５からなり、この導入室３５は、この室内のガス圧のわ
ずかな増大を検知する背圧センサー３６を備えている。

このガス圧の増大は、焼却で生成する固形物がスクリー
ンの網目上もしくは網目間に次第に付着したために、ス
クリーン２７を通る排ガスの流れ抵抗の増大が生じたこ
とを意味する。排ガスが、燃えた時に固体反応生成物を
形成しうるちのである場合には、このことは重要な観点
となる。このような場合には、固形分がスクリーン、大
部分は特に燃焼室１１に隣接した下流側スクリーン２７
に付着して、排ガスの流れ抵抗を増大させることがある
。この固形物の付着が起こると、排ガス導入室３５内の
排ガス圧力が増大し、背圧センサー３６が信号を調整可
能な圧力比較器４６に送り、圧力比較器が一定の過大圧
力でトリップして、ラッチング・リレー４７を動作させ
、警告灯４８を点灯させ、所望により、逆火防止管部材
１３を逆火防止用のスクリーンの交換もしくは清掃のた
めに取り外すことができるように、流入する排ガス流を
遮断し、あるいは排ガス流を直接スクラバーまたは他の
焼却装置あるいは一時的な貯蔵容器に振り向ける。緊急
事態が過ぎた後にリレー４７をリセットするために、手
動式ラッチ・リセット４９を設ける。

本発明の上述した態様は例示を目的としたものに過ぎず
、当業者であればその全体にわたって各種の変更をなす
ことができよう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の１態様に係る装置を示す略式正面図
、および 第２図は、第１図の装置の自動操作に適した電気回路を
示す説明図である。 ２空気導管　　　　　　１０分岐導管　　　　゛１１燃
焼室　　　　　　　１３逆火防止管部材１６点火手段　
　　　　　１７排ガス導管２０、３１火炎検知手段　　
２１火炎検知室２３、２５消炎室 ２７逆火防止用スクリーン ３２スクラバー　　　　３３．３４消炎ガス導入ロ３５
排ガス導入室　　　　３６圧力センサー４０温度比較器
　　　　　４１電磁弁 ４２消炎ガス供給源　　　４３．４７リレ一４４警報音
発生装置　　　４５変圧器 ４６圧力比較器　　　　　４日警告灯 ４９ランチ・リセット 出願人へキスト・セラニーズ・コーポレーション代理人
　　　弁理士　広　瀬　　章　−図面の浄書（内容に変
更なし） 手続ネｉｆｆ正書（自発） 平成１年７月１７日 平成１年特許願第１２７７３６号 ２、発明の名称 逆火防止管部材、燃焼装置および方法 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 名称　ヘキスト・セラニーズ・コーポレーション４、代
理人

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）逆火防止管部材を設けた、可燃性ガスを受けて安
   全に放出する装置であって、前記逆火防止管部材が、 （ａ）放出すべき可燃性排ガスの供給を受け入れる上流
   側の入口端部； （ｂ）排ガスを廃棄するために放出する下流側の出口端
   部； （ｃ）前記出口端部より上流側に配置された、逆火防止
   管部材の内部に前記可燃性排ガスが通過しなければなら
   ない火炎検知室を形成する、少なくとも一対の離間した
   ガス透過性逆火防止用グリッド部材； （ｄ）前記火炎検知室の下流側グリッド部材を通って上
   流方向に移動しうる火炎の存在を感知するための、前記
   火炎検知室内に設けた火炎検知手段； （ｅ）前記火炎検知手段の位置もしくはその上流側の位
   置で前記逆火防止管部材内に開口している消炎ガス導入
   手段；および （ｆ）前記逆火防止管部材内のガス混合物を不燃性にす
   るために前記火炎検知手段の動作に応答して前記消炎ガ
   ス導入手段から前記逆火防止管部材中への消炎ガスの導
   入を動作させる、前記火炎検知手段と連動した手段；を
   備えたものであることを特徴とする装置。 （２）前記逆火防止管部材の出口端部に隣接した燃焼室
   、および前記排ガスとの可燃性ガス混合物を生成させる
   ためにこの燃焼室に燃焼支持ガスの供給を導入するため
   の手段と、前記燃焼室内の前記可燃性ガス混合物を着火
   させる点火手段とをさらに備えた、制御された焼却装置
   を具備する請求項１記載の装置。 （３）前記管状の燃焼室の出口端部が、燃焼支持ガスの
   連続供給流を流しているガス導管内に開口し、このガス
   導管が燃焼支持ガスの供給流を燃焼室に導入する手段と
   して作用すると同時に、燃焼生成物を燃焼室から排出す
   る排出手段としても作用する、請求項２記載の装置。 （４）前記逆火防止管部材の内部に、前記火炎検知室の
   上流側に離間させて少なくとも一つの追加のガス透過性
   逆火防止用グリッド部材を設けることによって、前記火
   炎検知室に向かって流れる可燃性排ガスが通過しなけれ
   ばならない消炎室を形成し、前記消炎ガス導入手段がこ
   の消炎室内に開口している、請求項１記載の装置。 （５）前記逆火防止管部材の内部に２個の追加のガス透
   過性逆火防止用グリッド部材を設け、この第二の追加グ
   リッド部材を第一の追加グリッド部材の上流側に離間さ
   せて配置することによって、前記の最初の消炎室および
   前記火炎検知室に向かって流れる可燃性排ガスが通過し
   なければならない第二の上流側消炎室を形成し、この第
   二消炎室内に開口した第二の消炎ガス導入手段を設けた
   、請求項４記載の装置。 （６）前記火炎検知手段が、動作時に、消炎ガス導入手
   段と前記消炎ガスの供給源との間に設けた弁手段を開放
   させる電気信号を発生する電気部品である、請求項１記
   載の装置。（７）前記電気部品が感熱性熱電対を利用し
   た装置である、請求項６記載の装置。 （８）前記電気部品が赤外線検知を利用した装置である
   、請求項６記載の装置。 （９）前記電気部品が紫外線検知を利用した装置である
   、請求項６記載の装置。 （１０）前記火炎検知手段が、火炎検知手段が火炎検知
   室内で火炎の存在を感知した場合に、逆火防止管部材の
   入口端部への排ガスの供給を遮断する手段とも連動して
   いる、請求項１記載の装置。 （１１）前記逆火防止用グリッド部材が、清掃および／
   または交換のための取外しができるように、前記逆火防
   止管部材の内部に着脱可能に取り付けられている、請求
   項１記載の装置。 （１２）前記逆火防止管部材が、その上流側端部の位置
   に、下流での流れの制限を示すその内部のガス圧の上昇
   を検知するためにガス圧感知手段をさらに備えている、
   請求項１記載の装置。 （１３）前記排ガスをスクラバーに搬送するために前記
   逆火防止管部材の出口端部に付設された排ガス輸送管を
   有している、請求項１記載の装置。 （１４）排ガス供給管と排ガスをより無害な状態に安全
   に転換させる手段との間に管状の排ガス通過管部材とし
   て間挿するための逆火防止管部材であって、この逆火防
   止管部材は、排ガス供給管と係合して、これから排ガス
   を受ける上流側入口端部と、排ガスをより無害な状態に
   転換させる手段に排ガスを放出する下流側出口端部と、
   該下流側出口端部に隣接して配置された、逆火防止管部
   材の内部に前記排ガスが通過しなければならない火炎検
   知室を形成する、少なくとも一対の離間したガス透過性
   逆火防止用グリッド部材と、前記火炎検知室内の火炎の
   存在を感知するための、この検知室内に設けた火炎検知
   手段と、前記火炎検知室の位置もしくはその上流側の位
   置で前記逆火防止管部材内に開口している少なくとも１
   個の消炎ガス導入手段と、前記火炎検知手段が前記火炎
   検知室内での火炎の存在を検知した場合に、前記火炎検
   知手段および前記消炎ガス導入手段と連動して、前記消
   炎ガス導入手段から前記逆火防止管部材の前記上流位置
   で消炎ガスの供給流を流入させる電気的手段と、を備え
   たものであることを特徴とする、逆火防止管部材。 （１５）前記排ガス転換手段が燃焼装置の燃焼室からな
   り、これに排ガスが焼却および放出のために搬送される
   、請求項１４記載の逆火防止管部材。 （１６）前記逆火防止管部材の内部の前記消炎ガス導入
   手段の上流側の離間した位置に、少なくとも１個の別の
   ガス透過性逆火防止用グリッド部材を設けて、前記火炎
   検知室に隣接したガス透過性の第一消炎ガス室を形成し
   た、請求項１４記載の逆火防止管部材。 （１７）前記逆火防止管部材の内部に２個の追加のガス
   透過性逆火防止用スクリーン部材を離間させて設けるこ
   とにより第一および第二の隣接したガス透過性消炎ガス
   室を形成し、第二の消炎ガス導入手段を前記第二消炎ガ
   ス室内に開口して設け、これも前記電気的手段および火
   炎検知手段と連動して、火炎検知室内で火炎が検知され
   ると第一および第二消炎ガス室内に消炎ガス供給流の流
   入が起こるようにした、請求項１６記載の逆火防止管部
   材。 （１８）前記逆火防止管部材の上流側入口端部の位置に
   、下流での流れの制限を示すその内部のガス圧の上昇を
   検知するためのガス圧感知手段をさらに備えている、請
   求項１４記載の逆火防止管部材。 （１９）可燃性排ガスを導入する上流側入口端部と排ガ
   スをより無害な状態に転換させる手段に排出する下流側
   出口端部とを有する排ガス導管内の火炎の上流方向への
   伝播を防止する方法であって、前記排ガス導管の出口端
   部より上流に火炎検知手段を備えたガス透過性火炎検知
   室を有する逆火防止管部材を配置し、この逆火防止管部
   材の内部の前記火炎検知手段の位置もしくはそれより上
   流に消炎ガス導入手段を配置し、前記火炎検知室内で前
   記火炎検知手段が火炎を検知したときに前記消炎ガス導
   入手段から消炎ガスを導入することにより、前記火炎検
   知手段の上流の逆火防止管部材内部の消炎ガス雰囲気で
   火炎を消し、それによりこの管部材の上流側入口端部へ
   の火炎の移動を防止することを特徴とする方法。 （２０）前記ガス透過性火炎検知室が、前記逆火防止管
   部材の内部に、この部材の出口端部に向かって流れる可
   燃性排ガスが通過しなければならない一対の離間したガ
   ス透過性の逆火防止用グリッド部材を挿入することによ
   り形成される、請求項１９記載の方法。 （２１）前記火炎検知室の上流に少なくとも一つのガス
   透過性消炎室を設け、火炎検知室内に設けた火炎検知手
   段が火炎の存在を検知した場合にこの消炎室に消炎ガス
   を導入する、請求項１９記載の方法。 （２２）前記逆火防止管部材の内部に、火炎検知室に向
   かって流れる可燃性排ガスが通過しなければならない一
   対の離間したガス透過性の逆火防止用グリッド部材を挿
   入することにより前記ガス透過性消炎室を形成し、前記
   消炎ガスを直接この消炎室中に前記グリッド部材の間で
   導入する、請求項２１記載の方法。 （２３）前記逆火防止管部材の上流側端部でガス圧を感
   知し、前記グリッド部材を通過するガス流の制限を示す
   背圧が感知された場合にこのグリッド部材を清掃もしく
   は交換する、請求項２０記載の方法。 （２４）前記排ガスを、前記逆火防止管部材の出口端部
   から、点火源を備えた燃焼室に放出して、この排ガスを
   燃焼させ、燃焼生成物を排気管内に放出する、請求項１
   ９記載の方法。 （２５）スクラバーへの搬送のために排ガスを前記逆火
   防止管部材の出口端部から放出する、請求項１９記載の
   方法。