JPH02136721A - レーザパワーモニタ装置 - Google Patents
レーザパワーモニタ装置Info
- Publication number
- JPH02136721A JPH02136721A JP28996488A JP28996488A JPH02136721A JP H02136721 A JPH02136721 A JP H02136721A JP 28996488 A JP28996488 A JP 28996488A JP 28996488 A JP28996488 A JP 28996488A JP H02136721 A JPH02136721 A JP H02136721A
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- JP
- Japan
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- temperature
- laser
- laser power
- heater
- time
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 title description 7
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザのパワーをモニタするためのモニタ
装置に関する。
装置に関する。
従来、この種の装置としては、例えば検出部にレーザを
照射し、その上昇温度を熱電対を用いた温度計により直
読するものが知られている。
照射し、その上昇温度を熱電対を用いた温度計により直
読するものが知られている。
上述の如き装置は、レーザビームを一定時間照射してそ
のピーク値を読み取るものであるため、徐々に上昇する
温度を読み取るのに時間が掛かるだけでなく、正確な読
取が難しいと云う問題がある。また、その都度温度計の
零点校正をしなければならないと云う煩わしさもある。
のピーク値を読み取るものであるため、徐々に上昇する
温度を読み取るのに時間が掛かるだけでなく、正確な読
取が難しいと云う問題がある。また、その都度温度計の
零点校正をしなければならないと云う煩わしさもある。
したがって、この発明はレーザパワーを正確かつ短時間
にモニタし得るモニタ装置を提供することを目的とする
。
にモニタし得るモニタ装置を提供することを目的とする
。
温度センサおよびヒータからなりレーザ発生装置からの
レーザパワーを検出する検出部と、該検山部を前記ヒー
タを介して一定温度に制御する温度制御部と、前記温度
センサにて検出されるレーザ照射にもとづく上昇温度を
その上下限温度設定値と比較する比較部と、前記各部の
動作タイミングを制御するタイミング制御部とを少なく
とも備え、常時は前記検出部をヒータを介して一定温度
に保持しておく一方、パワーモニタ時にはヒータを断に
して一定時間だけレーザを検出部に照射し、該レーザ照
射による一定時間後の温度値からレーザパワーをモニタ
する。
レーザパワーを検出する検出部と、該検山部を前記ヒー
タを介して一定温度に制御する温度制御部と、前記温度
センサにて検出されるレーザ照射にもとづく上昇温度を
その上下限温度設定値と比較する比較部と、前記各部の
動作タイミングを制御するタイミング制御部とを少なく
とも備え、常時は前記検出部をヒータを介して一定温度
に保持しておく一方、パワーモニタ時にはヒータを断に
して一定時間だけレーザを検出部に照射し、該レーザ照
射による一定時間後の温度値からレーザパワーをモニタ
する。
一定温度に制御された検出部にレーザビームを照射すれ
ば、レーザパワーの強弱により温度カーブの勾配が変化
するので、この勾配、つまりレーザ照射から一定時間後
の温度をチエツクすることにより、レーザパワーの変化
を正確かつ迅速にモニタし得るようにする。
ば、レーザパワーの強弱により温度カーブの勾配が変化
するので、この勾配、つまりレーザ照射から一定時間後
の温度をチエツクすることにより、レーザパワーの変化
を正確かつ迅速にモニタし得るようにする。
第１図はこの発明の全体構成を示す概要図、第２図はレ
ーザパワーモニタ装置を詳細に示すブロック図、第３図
はモニタ装置の動作を説明するための波形図である。
ーザパワーモニタ装置を詳細に示すブロック図、第３図
はモニタ装置の動作を説明するための波形図である。
第１図に示すように、この実施例では電′ａ１１および
レーザ発振器１２からなるレーザ発生部１、レーザ出射
部２、レーザパワー検出部３およびレーザパワーモニタ
装置４等が設けられる。
レーザ発振器１２からなるレーザ発生部１、レーザ出射
部２、レーザパワー検出部３およびレーザパワーモニタ
装置４等が設けられる。
第２図に示されるように、レーザパワー検出部３は温度
センサ３１およびヒータ３２等を備え、レーザパワーモ
ニタ装置４はタイミング制御回路４１、温度比較器４２
、上下限温度設定器４３、温度制御器４４およびアラー
ム回路４５等を具備している。
センサ３１およびヒータ３２等を備え、レーザパワーモ
ニタ装置４はタイミング制御回路４１、温度比較器４２
、上下限温度設定器４３、温度制御器４４およびアラー
ム回路４５等を具備している。
以下、主として第２図および第３図を参照してその動作
を説明する。
を説明する。
レーザパワー検出部３は、通常は温度制御器４４により
ヒータ３２を介して一定温度に保持されている。この様
な状態からレーザパワーをモニタするときは、タイミン
グ制御回路４１よりレーザ発生部１に第３図（ハ）の如
きレーザ照射指令を与えると＼もに、温度制御を中止す
べくスイッチＳＷＩにてヒータ３２を遮断すれば（第３
図（ロ）参照）、検出部は３レ一ザ出射部２を介して一
定時間１＋ （第３図・（ハ）参照）だけレーザ照射
され、これにより検出部３の温度が第３図（イ）の如く
上昇する。なお、検出部３の温度は、レーザオフ時から
所定時間経過後に一定温度に復帰する。
ヒータ３２を介して一定温度に保持されている。この様
な状態からレーザパワーをモニタするときは、タイミン
グ制御回路４１よりレーザ発生部１に第３図（ハ）の如
きレーザ照射指令を与えると＼もに、温度制御を中止す
べくスイッチＳＷＩにてヒータ３２を遮断すれば（第３
図（ロ）参照）、検出部は３レ一ザ出射部２を介して一
定時間１＋ （第３図・（ハ）参照）だけレーザ照射
され、これにより検出部３の温度が第３図（イ）の如く
上昇する。なお、検出部３の温度は、レーザオフ時から
所定時間経過後に一定温度に復帰する。
上昇した温度はセンサ３１にて検出された後温度比較器
４２に入力され、上下限温度設定器４３からの設定値Ｔ
Ｈ，，ＴＬ、（第３図（イ）参照）と比較される。この
とき、設定値ＴＨ，，ＴＬ。
４２に入力され、上下限温度設定器４３からの設定値Ｔ
Ｈ，，ＴＬ、（第３図（イ）参照）と比較される。この
とき、設定値ＴＨ，，ＴＬ。
と比較されるのは、第３図（ニ）に示されるように、レ
ーザ照射を開始してから一定時間１１後の温度センサ出
力である。したがって、レーザパワーが適正か、小か大
かに応じて温度センサ出力は第３図（イ）の■、■また
は■の如く変化するものと考えられるので、これにより
レーザパワーをモニタすることが可能になる。なお、レ
ーザパワーが上下限温度以外で不適正と考えられる場合
は、タイミング制御回路４１によりスイッチＳＷ２が閉
成され、アラーム回路４５からアラームが発せられる。
ーザ照射を開始してから一定時間１１後の温度センサ出
力である。したがって、レーザパワーが適正か、小か大
かに応じて温度センサ出力は第３図（イ）の■、■また
は■の如く変化するものと考えられるので、これにより
レーザパワーをモニタすることが可能になる。なお、レ
ーザパワーが上下限温度以外で不適正と考えられる場合
は、タイミング制御回路４１によりスイッチＳＷ２が閉
成され、アラーム回路４５からアラームが発せられる。
この発明によれば、検出部を一定の温度に保持しておき
、その後所定時間だけレーザ照射をし、一定時間後のレ
ーザ照射による上昇温度からレーザパワーをモニタする
ようにしたので、この種のモニタを正確かつ迅速に行な
い得るだけでなく、零点調整等の煩雑な作業が不要にな
る利点がもたらされる。
、その後所定時間だけレーザ照射をし、一定時間後のレ
ーザ照射による上昇温度からレーザパワーをモニタする
ようにしたので、この種のモニタを正確かつ迅速に行な
い得るだけでなく、零点調整等の煩雑な作業が不要にな
る利点がもたらされる。
第１図はこの発明の全体構成を示す概要図、第２図はレ
ーザパワーモニタ装置を詳細に示すブロック図、第３図
はモニタ装置の動作を説明するための波形図である。 符号説明 １・・・レーザ発生部、１１・・・電源、１２・・・レ
ーザ発振器、２・・・レーザ出射部、３・・・レーザパ
ワー検出部、３１・・・温度センサ、３２・・・ヒータ
、４・・・レーザパワーモニタ装置、４１・・・タイミ
ング制御回路、４２・・・温度比較器、４３・・・上下
限温度設定器、４・・・温度制御器、 ５・・・アラーム回路。
ーザパワーモニタ装置を詳細に示すブロック図、第３図
はモニタ装置の動作を説明するための波形図である。 符号説明 １・・・レーザ発生部、１１・・・電源、１２・・・レ
ーザ発振器、２・・・レーザ出射部、３・・・レーザパ
ワー検出部、３１・・・温度センサ、３２・・・ヒータ
、４・・・レーザパワーモニタ装置、４１・・・タイミ
ング制御回路、４２・・・温度比較器、４３・・・上下
限温度設定器、４・・・温度制御器、 ５・・・アラーム回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 温度センサおよびヒータからなりレーザ発生装置から
のレーザパワーを検出する検出部と、 該検出部を前記ヒータを介して一定温度に制御する温
度制御部と、 前記温度センサにて検出されるレーザ照射にもとづく
上昇温度をその上下限温度設定値と比較する比較部と、 前記各部の動作タイミングを制御するタイミング制御
部と、 を少なくとも備え、常時は前記検出部をヒータを介して
一定温度に保持しておく一方、パワーモニタ時にはヒー
タを断にして一定時間だけレーザを検出部に照射し、該
レーザ照射による一定時間後の温度値からレーザパワー
をモニタすることを特徴とするレーザパワーモニタ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28996488A JPH02136721A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | レーザパワーモニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28996488A JPH02136721A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | レーザパワーモニタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02136721A true JPH02136721A (ja) | 1990-05-25 |
Family
ID=17750009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28996488A Pending JPH02136721A (ja) | 1988-11-18 | 1988-11-18 | レーザパワーモニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02136721A (ja) |
-
1988
- 1988-11-18 JP JP28996488A patent/JPH02136721A/ja active Pending
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