JPH02135186A - 防水装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、電子部品の基板等のシャワー洗浄装置、ブラ
シ洗浄装置、スクラブ洗浄装置において、被洗浄物の搬
送等に用いるアームの防水壁を貫通する部分の防水装置
に関するものである。

従来の技術 近年、電子部品等において精密な洗浄が要求されること
が多くなり、被洗浄物の搬送もベルト搬送、ローラ搬送
だけでな（、真空吸着やメカチャックを用い水平方向だ
けでな（上下方向の動きも必要とされている。それらの
洗浄装置では上下、水平動作を行う駆動部を防水壁の外
に置き、アームで防水壁の開口部分を貫通させ、水のか
かる部分でのメカ機構を極力少なくしている。

以下、図面を参照しながら、上述した従来の防水装置の
一例について説明する。

第４図は従来の防水装置の断面図を示すものである。第
４図において、１は防水壁、２は防水カバー、３は防水
シート、４は防水シート、５は押え板、６はアームであ
る。防水壁１は塩ビで製作されており第４図において、
防水壁１の右側が洗浄処理をする場所で左側が搬送系の
駆動を行う機構を収納する場所である。防水壁１には長
方形の切欠きが設けられている。防水カバー２は塩ビ製
で、上記切欠きを覆うように取り付けられている。

防水カバー２は箱形をしており、上記防水壁１の切欠き
部分と下方に開口部を持っている。防水シート３は合成
ゴム製の薄い長方形のシートで、上部を上記防水カバー
２と防水壁１とにはさまれて固定されている。防水シー
ト３の下端が、アーム６の下降時にもアームに触れるよ
うな長さになっている。防水シート４は合成ゴム製の薄
い長方形のシートで、下部を押え板５と防水壁１とには
さまれて固定されており、上部は自立している。

防水シート４の上端が、アーム６の上昇時にもアームに
触れるような長さになっている。押え板５はステンレス
製である。アーム６はステンレス製で上記防水壁１の切
欠きと、防水カバー２の下方の開口部を貫通している。

アーム６は第４図において右側に図示されていない真空
吸着の基板チャックテーブルが固定されている。又、ア
ーム６は第４図において左側に図示されていない駆動機
構と連結されており上下方向と、水平方向（図面に対し
て直角方向）に移動する。

以上のように構成された防水装置について、以下その動
作について説明する。

下方、横方向への水滴の流出は防水カバー２によって防
ぐ。上方及び斜め上方への水滴の流出は防水シート３．
４によって防ぐ。アーム６が防水壁１の切欠きを通って
いる部分は防水シート３．４が曲がっており、アーＡ　
６の昇降、水平方向の動きにつれて、防水シート３．４
の曲がっている部分も移動する。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では、防水シートは急激
には曲がらないため、アーム近傍にはすきまができ、水
滴の流出を完全には防げないという問題点を有していた
。

本発明は、上記問題点に鑑み、鉛直方向、水平方向の２
方向に動き、防水壁の切欠きを貫通するアームが、移動
してもその動きに柔軟に対応して駆動機構側への水滴の
流入がより少ない防水装置を提供するものである。

課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の防水装置は、毛先
が開口部に向って斜め下方に伸びるライン状ブラシを開
口部の両側に対向させ、かつ互いに毛先が接触するよう
に２本固定するという構成を備えたものである。

作　　　用 本発明は上記した構成によって、左右１対のブラシの毛
が１束１束それぞれが別々に柔軟に屈曲するため、アー
ムの移動をさまたげずにアームに接触し、開口部から水
滴が流出するのを防ぐことができ、又これらブラシの毛
が斜め下方を向いて、アームと接触する部分のブラシが
常に下方に向いているので、水滴が外部に飛び散って流
出することを防ぐことができる。

実施例 以下本発明の一実施例の防水装置について図面を参照し
ながら説明する。

まず、第１図は本発明の一実施例における防水装置の鉛
直方向の断面図を、第２図はアームが無い部分の鉛直方
向の断面図を、第３図は水平方向の断面図を示すもので
ある。第１図において、７は防水壁、８は防水カバー、
９はアームである。

防水壁７は塩ビ製で第１図において防水壁７の右側が洗
浄処理をする場所で、左側が搬送系の駆動を行う機構を
収納する場所である。防水壁７には長方形の切欠きが段
けられている。防水カバー８は塩ビ製で、上記防水壁７
の切欠きに較べ鉛直方向及び水平方向の寸法が長（上記
切欠きを覆うように取り付けられている。防水カバー８
は箱形をしており、上記防水壁７の切欠き部分と下方に
開口部を持っている。アーム９はステンレス製で上記防
水壁７の切欠きと、防水カバー８の下方の開口部を貫通
している。アーム９は第１図において右側に図示されて
いない真空吸着の基板チャックテーブルが固定されてい
る。又、アーム９は第１図において左側に図示されてい
ない駆動機構と連結されており、上下方向と水平方向く
第１図、第２図に対して直角方向）の２方向に移動する
。

１０はライン状ブラシ、１１は保持金具、１２はブラシ
の毛である。ブラシの毛１２はポリプロピレン製である
。保持金具１１はステンレス製である。ブラシの毛１２
は密集して保持金具１１に片側を固定されている。この
ブラシの毛１２と保持金具１１でライン状ブラシ１０が
構成されている。ライン状ブラシ１０は保持金具１１の
部分で防水壁７の切欠きの下部に固定されている。ブラ
シの毛１２は毛先が斜め下方を向いている。１３はライ
ン状ブラシ、１４は保持金具、１５はブラシの毛である
。ブラシの毛１５はポリプロピレン製である。保持金具
１４はステンレス製である。

ブラシの毛１５は密集して保持金具１４に片側を固定さ
れている。このブラシの毛１５と保持金具１４でライン
状ブラシ１３が構成されている。ライン状ブラシ１３は
保持金具１４の部分で防水カバー８の下部に固定されて
いる。ブラシの毛１５は毛先が斜め下方を向いている。

第２図に示すように上記１対のライン状ブラシ１０とラ
イン状ブラシ１３とは対向するように向いており、お互
いのブラシの毛の長さは相手の毛先よりも奥までカバー
し合う長さになっている。

又、第３図に示すように横方向も、防水壁７の切欠きの
長さ、防水カバー８の開口部の長さいっばいになってお
り、上方から見ると２本のライン状ブラシ１０．１３の
毛が重なりあって、防水カバー８の開口部はブラシの毛
１２．１５で完全に覆われている。

以上のように構成された防水装置について、以下第１図
、第２図、第３図を用いてその動作を説明する。第２図
に示すように、アーム９の無い所では下方からの水滴は
ブラシの毛１２．１５に当たり、ブラシの毛の傾斜に沿
ってしたたり落ち、流出しない。又、アーム９の有る部
分では、第１図、第３図に示すように、ブラシの毛１２
．１５がアーム９に密着して同じように水滴の流出を防
ぐ。更にアーム９が上下や水平方向に動いた場合も、ブ
ラシの毛１２．１５が順次屈曲、伸張を繰り返し、常に
アーム９との密着を保つ。またブラシの毛が斜め下方を
向いているため、ブラシの毛１２．１５はアーム９に当
って曲がる時、常に下側へ曲がる。これに反しブラシの
毛が水平の場合はブラシの毛が上側と下側まちまちに曲
がり、これが再び伸張する時ぶつかり合って、ブラシの
毛に含んでいる水滴が飛び散り、一部は外へ流出する。

ブラシの毛が斜め下方を向いているのはこれを防ぐ役割
をしている。

以上のように本実施例によれば、毛先が防水カバーの開
口部に向いて斜め下方に向いた対向する２つのライン状
ブラシを設けることにより、上下、水平方向の２方向の
動作をするアームの防水壁の貫通部分からの水滴の流出
を防ぐことができる。

発明の効果 以上のように本発明は、上下、水平方向の２方向の動作
をするアーム等の防水壁の貫通部分の切欠きに、下方が
開口した防水カバーと、防水カバーの開口部を覆うよう
に設置され、毛先が開口部の方に斜め下方に伸びた対向
する２つのライン状ブラシとを設けることにより、防水
壁の切欠きからの水滴の流出を、アームの動作をさまた
げることなく十分に防ぐことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の防水装置の鉛直方向の断面
図、第２図はアームが無い部分の鉛直方向の断面図、第
３図は水平方向の断面図、第４図は従来の防水装置の断
面図である。 ７・・・・・・防水壁、８・・・・・・防水カバー、９
・・・・・・アーム、１０．１３・・・・・・ライン状
ブラシ、１２．１５・・・・・・ブラシの毛。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はが１名第 図 ７−９防メ（￥ 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 防水壁の切欠きと、鉛直方向及び水平方向の寸法が上記
   防水壁の切欠きよりも長く、上記防水壁の切欠きと間隔
   を保ち、下方が開口した防水カバーとを備え、アームが
   前記切欠きと前記開口とを貫通する部分を防水する防水
   装置において、毛先が上記防水カバーの開口部に向いて
   斜め下方に伸び、上記防水壁の切欠きの下面に沿って固
   定されたライン状ブラシと、上記ライン状ブラシと対向
   する向きに、毛先が上記防水カバーの開口部に向いて斜
   め下方に伸びると共に上記ライン状ブラシの毛先に接触
   し上記防水カバーの下面に沿って固定されたライン状ブ
   ラシとを備えたことを特徴とする防水装置。