JPH02133401U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02133401U JPH02133401U JP4117489U JP4117489U JPH02133401U JP H02133401 U JPH02133401 U JP H02133401U JP 4117489 U JP4117489 U JP 4117489U JP 4117489 U JP4117489 U JP 4117489U JP H02133401 U JPH02133401 U JP H02133401U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cold trap
- processing chamber
- suction port
- vacuum pump
- high vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Description
図面は本考案の実施例を示し、第１図は真空発
生装置の構成図、第２図は別実施例の要部構成図
である。 １……高真空ポンプ、２……１のサクシヨンポ
ート、３……処理室、４……吸引路、１２……コ
ールドトラツプ、１５……極低温冷凍機、１８…
…１５のコールドエンド。
生装置の構成図、第２図は別実施例の要部構成図
である。 １……高真空ポンプ、２……１のサクシヨンポ
ート、３……処理室、４……吸引路、１２……コ
ールドトラツプ、１５……極低温冷凍機、１８…
…１５のコールドエンド。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 高真空ポンプ１のサクシヨンポート２をコール
ドトラツプ１２を介して処理室３に連通させてな
る真空発生装置において、 高真空ポンプ１のサクシヨンポート２と処理室
３とを気密に連通する吸引路４内に極低温冷凍機
１５のコールドエンド１８を突入させて配置した
ことを特徴とする真空発生装置のコールドトラツ
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4117489U JPH02133401U (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4117489U JPH02133401U (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02133401U true JPH02133401U (ja) | 1990-11-06 |
Family
ID=31551615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4117489U Pending JPH02133401U (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02133401U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0518602U (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-09 | 岩谷産業株式会社 | 真空発生装置のコールドトラツプ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01253590A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Aisin Seiki Co Ltd | 高真空ポンプ |
-
1989
- 1989-04-07 JP JP4117489U patent/JPH02133401U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01253590A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Aisin Seiki Co Ltd | 高真空ポンプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0518602U (ja) * | 1991-08-23 | 1993-03-09 | 岩谷産業株式会社 | 真空発生装置のコールドトラツプ |