【考案の詳細な説明】[Detailed explanation of the idea]
本考案はダイボンデイング用銀ペーストをリー
ドフレーム、セラミツク基板、キヤビテイー等へ
塗布する時に用いられるデイスペンサー用注射筒
に係わり、さらに詳しくは、従来から銀ペースト
の製造業者は第2図に示すシリンダー部1に銀ペ
ースト3を注入し、ゴム製ピストン4を装てんし
当該使用業者(例えば半導体メーカ)に供給して
いる。使用業者は第2図のシリンダー上部6から
N2ガス、空気等によつて加圧し、先端7につけ
た所定の径をもつノズルから銀ペーストを吐出さ
せ前述の塗布面上に50〜2000μgになるよう塗布
するが、ゴム製ピストン4とシリンダー部1の内
壁との接触部5の摩擦により、先端7につけたノ
ズルからの吐出量が一定しないため、ダイボンデ
イング後の接着強さのバラツキあるいは銀ペース
トのはいあがりによるIC表面の汚染などが問題
となつていた。
そこで使用業者では、第1図に示すようにゴム
製ピストン4を除去し使用していたが、第1図の
ものでは、シリンダー部1の内壁に、銀ペースト
が付着し、残存銀ペースト2の量が多くなり高価
な銀ペーストの歩留を犠性にしなければならない
という問題があつた。
本考案はこれらの問題に鑑みなされたものでシ
リンダー部1の内壁への付着による残存銀ペース
ト3の量を少なくし、かつ、先端7からの吐出量
を均一に出来るデイスペンサー用注射筒を提供す
るものである。
本考案は、銀ペーストを入れたシリンダー部と
銀ペースト上にのせる円板とを具え、シリンダー
部の内径と円板の径との差を0.1mm以下とし、円
板の厚さを0.05〜0.5mmの範囲としたデイスペン
サー用注射筒に関する。
本考案を第3図とそのA部の拡大断面図である
第4図により説明する。
第3図の8は円板を示し、材質はポリエチレ
ン、ポリプロピレン、テフロン(登録商標)、ガ
ラス、アルミニウム、ステンレススチール等とさ
れる。シリンダー部1の内径と円板8の径との差
9は0.1mm以下とされる。また円板8の厚さは
0.05〜0.5mmの範囲とされる。このような円板8
を銀ペースト3にのせてシリンダー部1に装てん
し、シリンダー上部6からN2ガス等によつて加
圧し、先端7に装着したノズルから銀ペースト3
は、吐出されるが、これによつて銀ペーストの歩
留が向上され、加圧に対し銀ペーストの吐出が迅
速で、その吐出量が正確になる。
本考案になる第1〜3図に示す寸法のデイスペ
ンサー用注射筒(シリンダー部の内径12.7mm、長
さ73.5mm)により銀ペーストを塗布した場合の加
圧時間と吐出量の関係を第5図に示す。
第5図のAは本考案になる注射筒、Bは第1図
に示す注射筒(従来例)、Cは第2図に示す注射
筒(従来例)を用いた場合を示す。
圧力は1.0Kg/cm2、ノズル内径0.4mmとした。円
板の材質はテフロン、厚さは0.18mm、径は12.6mm
(シリンダー部の内径と円板の径の差は0.1mm)と
した。銀ペーストとしては、日立化成工業株式会
社製商品名エピナール4000(フエノール樹脂硬化
型エポキシ樹脂系銀ペースト)を用いた。
また第1表に上記の場合についての歩留の比較
を示す。
The present invention relates to a dispenser syringe used to apply silver paste for die bonding to lead frames, ceramic substrates, cavities, etc. Silver paste 3 is injected into 1, a rubber piston 4 is mounted thereon, and the product is supplied to the user (for example, a semiconductor manufacturer). The user should start from the top of the cylinder 6 in Figure 2.
Pressurized with N2 gas, air, etc., the silver paste is discharged from a nozzle with a predetermined diameter attached to the tip 7, and applied to the above-mentioned coating surface in an amount of 50 to 2000 μg. Due to the friction of the contact part 5 with the inner wall of the part 1, the amount of discharge from the nozzle attached to the tip 7 is not constant, resulting in problems such as variations in adhesive strength after die bonding or contamination of the IC surface due to silver paste creeping up. It was becoming. Therefore, the user company removed the rubber piston 4 and used it as shown in Fig. 1, but in the one shown in Fig. 1, silver paste adhered to the inner wall of the cylinder part 1, and the remaining silver paste 2 was removed. There was a problem that the yield of expensive silver paste had to be sacrificed due to the large quantity. The present invention has been devised in view of these problems, and provides a syringe barrel for a dispenser that can reduce the amount of residual silver paste 3 that adheres to the inner wall of the cylinder part 1 and make the amount of discharge from the tip 7 uniform. It is something to do. The present invention comprises a cylinder part containing silver paste and a disc placed on the silver paste, the difference between the inner diameter of the cylinder part and the diameter of the disc is 0.1 mm or less, and the thickness of the disc is 0.05~ This invention relates to a syringe for a dispenser with a range of 0.5 mm. The present invention will be explained with reference to FIG. 3 and FIG. 4, which is an enlarged sectional view of section A thereof. Reference numeral 8 in FIG. 3 indicates a disk, and the material thereof may be polyethylene, polypropylene, Teflon (registered trademark), glass, aluminum, stainless steel, or the like. The difference 9 between the inner diameter of the cylinder portion 1 and the diameter of the disc 8 is set to be 0.1 mm or less. Also, the thickness of the disk 8 is
The range is 0.05 to 0.5 mm. Such a disk 8
The silver paste 3 is placed on top of the silver paste 3 and loaded into the cylinder part 1, and the cylinder is pressurized with N2 gas or the like from the upper part 6 of the cylinder, and the silver paste 3 is applied from the nozzle attached to the tip 7.
is discharged, but this improves the yield of silver paste, and the silver paste can be discharged quickly and accurately in response to pressurization. The relationship between the pressurization time and the discharge amount when silver paste is applied using the dispenser syringe (cylinder part inner diameter 12.7 mm, length 73.5 mm) with the dimensions shown in Figures 1 to 3, which is the present invention, is shown in Figure 5. As shown in the figure. In FIG. 5, A shows the syringe according to the present invention, B shows the syringe shown in FIG. 1 (prior art), and C shows the syringe shown in FIG. 2 (prior art). The pressure was 1.0 Kg/cm 2 and the nozzle inner diameter was 0.4 mm. The material of the disc is Teflon, the thickness is 0.18mm, and the diameter is 12.6mm.
(The difference between the inner diameter of the cylinder part and the diameter of the disk was 0.1 mm). As the silver paste, Epinal 4000 (phenol resin-curable epoxy resin-based silver paste) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. was used. Table 1 also shows a comparison of yields in the above cases.
【表】
上記の結果から本考案になるデイスペンサー用
注射筒を使用することにより、
銀ペーストの歩留が向上する、
加圧に対し吐出が迅速になる、
加圧に対し吐出量が一定で正確になることが示
される。[Table] Based on the above results, by using the dispenser syringe of this invention, the yield of silver paste is improved, the dispensing speed becomes faster in response to pressurization, and the dispensing amount is constant in response to pressure. shown to be accurate.
【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]
第1図および第2図は従来のデイスペンサー用
注射筒の断面略図、第3図は本考案の一実施例に
なる注射筒の断面略図、第4図は第3図のA部の
拡大断面図、第5図はデイスペンス時の加圧時間
と吐出量の関係について示す図である。
符号の説明、1……シリンダー部、2……残存
銀ペースト、3……銀ペースト、4……ゴム製ピ
ストン、5……注射筒内壁とピストンの接触部、
6……シリンダー上部、7……先端、8……円
板、9……シリンダー部の内壁と円板との間隔。
Figures 1 and 2 are schematic cross-sectional views of a conventional syringe barrel for dispensers, Figure 3 is a schematic cross-sectional view of a syringe barrel according to an embodiment of the present invention, and Figure 4 is an enlarged cross-sectional view of part A in Figure 3. FIG. 5 is a diagram showing the relationship between pressurization time and discharge amount during dispensing. Explanation of symbols: 1...Cylinder part, 2...Residual silver paste, 3...Silver paste, 4...Rubber piston, 5...Contact part between the inner wall of the syringe cylinder and the piston,
6... Upper part of the cylinder, 7... Tip, 8... Disc, 9... Distance between the inner wall of the cylinder and the disc.