JPH02126924A - セラミックス製非対称膜及びその製造方法 - Google Patents
セラミックス製非対称膜及びその製造方法Info
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- JPH02126924A JPH02126924A JP63282109A JP28210988A JPH02126924A JP H02126924 A JPH02126924 A JP H02126924A JP 63282109 A JP63282109 A JP 63282109A JP 28210988 A JP28210988 A JP 28210988A JP H02126924 A JPH02126924 A JP H02126924A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 27
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 21
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 18
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 12
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 16
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract description 2
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 abstract description 2
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004354 Hydroxyethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920000663 Hydroxyethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 239000007863 gel particle Substances 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 235000019447 hydroxyethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
- B01D71/0215—Silicon carbide; Silicon nitride; Silicon oxycarbide
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D69/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D69/02—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by their form, structure or properties; Manufacturing processes specially adapted therefor characterised by their properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D67/00—Processes specially adapted for manufacturing semi-permeable membranes for separation processes or apparatus
- B01D67/0039—Inorganic membrane manufacture
- B01D67/0048—Inorganic membrane manufacture by sol-gel transition
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B01D71/00—Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
- B01D71/02—Inorganic material
-
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
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- B01D2325/00—Details relating to properties of membranes
- B01D2325/02—Details relating to pores or porosity of the membranes
- B01D2325/022—Asymmetric membranes
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分a>
本発明はセラミックス族の多孔質支持体の表面に支持体
の孔よりも微細な孔を有する薄膜を形成した非対称膜と
その製造方法に関する。
の孔よりも微細な孔を有する薄膜を形成した非対称膜と
その製造方法に関する。
(従来の技術)
医薬品や食品の限外濾過、逆浸透、ガス分離に用いるセ
ラミックス膜として、セラミックス族の多孔質支持体の
表面のうち基質溶液の流入側となる面に支持体の孔より
も微細な孔(例えば200人)を有する薄膜を、ゾルの
ゲル化により形成した非対称膜が、例えば特開昭59−
102403号、特開昭59−109203号或いは特
開昭60−156510号等として知られている。
ラミックス膜として、セラミックス族の多孔質支持体の
表面のうち基質溶液の流入側となる面に支持体の孔より
も微細な孔(例えば200人)を有する薄膜を、ゾルの
ゲル化により形成した非対称膜が、例えば特開昭59−
102403号、特開昭59−109203号或いは特
開昭60−156510号等として知られている。
上記のような非対称膜は、支持体を構成する粒子よりも
小径の粒子からなり、アルコキシド加水分解法、水溶液
沈澱法等による水和物形態をとったアルミナゾル、ベー
マイトゾル或いはコロイダルシリカを調整し、これらゾ
ルを支持体表面に塗布し乾燥せしめた後に焼成すること
で薄膜を形成するようにしている。
小径の粒子からなり、アルコキシド加水分解法、水溶液
沈澱法等による水和物形態をとったアルミナゾル、ベー
マイトゾル或いはコロイダルシリカを調整し、これらゾ
ルを支持体表面に塗布し乾燥せしめた後に焼成すること
で薄膜を形成するようにしている。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、非対称膜として要求される特性は、薄膜の孔
径が小さく換言すれば薄膜を構成する粒子径が小さく且
つ耐久性(物理的及び化学的強度)に優れることである
が、従来のように水和物の形態をもつアルミナゾル等を
用いて微細な孔を有する薄膜を形成しようとすると、水
和物の脱水分解などの要因から焼成による粒子の成長が
著しいため、焼成温度を低く(800℃以下)しなけれ
ばならず、また焼成温度を低くするとl 203或いは
5in2は、非結晶の状態、或いは一部水酸基(OH)
を含む溶解度の高い結晶状態のままなので耐久性の面で
問題が生じ、逆に焼成温度を高くすると、溶解度の低い
酸化物として結晶性が高いものとなるが、薄膜を構成す
る粒子の粒成長が進んで焼成後の薄膜の孔径が大きくな
り、限外濾過、逆浸透、ガス分離膜として必要な孔径が
維持されない。
径が小さく換言すれば薄膜を構成する粒子径が小さく且
つ耐久性(物理的及び化学的強度)に優れることである
が、従来のように水和物の形態をもつアルミナゾル等を
用いて微細な孔を有する薄膜を形成しようとすると、水
和物の脱水分解などの要因から焼成による粒子の成長が
著しいため、焼成温度を低く(800℃以下)しなけれ
ばならず、また焼成温度を低くするとl 203或いは
5in2は、非結晶の状態、或いは一部水酸基(OH)
を含む溶解度の高い結晶状態のままなので耐久性の面で
問題が生じ、逆に焼成温度を高くすると、溶解度の低い
酸化物として結晶性が高いものとなるが、薄膜を構成す
る粒子の粒成長が進んで焼成後の薄膜の孔径が大きくな
り、限外濾過、逆浸透、ガス分離膜として必要な孔径が
維持されない。
(課題を解決するための手段)
上記課題を解決すべく第1の発明にあっては、セラミッ
クス製多孔質支持体の表面に支持体の孔より微細な孔を
有する薄膜を形成してなる非対称膜において、前記薄膜
は粒子径が500Å以下のSnO,、TiO2又はZr
O,から構成されるようにし、第2の発明にあっては、
SnO,、TiO2又はZrO,の粒子ゾルに増粘剤を
添加し、このゾルをセラミックス製多孔質支持体の表面
に塗布し、次いで前記ゾルから脱水してゲル化した後4
00℃〜800℃の温度で焼成するようにした。
クス製多孔質支持体の表面に支持体の孔より微細な孔を
有する薄膜を形成してなる非対称膜において、前記薄膜
は粒子径が500Å以下のSnO,、TiO2又はZr
O,から構成されるようにし、第2の発明にあっては、
SnO,、TiO2又はZrO,の粒子ゾルに増粘剤を
添加し、このゾルをセラミックス製多孔質支持体の表面
に塗布し、次いで前記ゾルから脱水してゲル化した後4
00℃〜800℃の温度で焼成するようにした。
(作用)
第1の発明は、セラミックス製非対称膜の支持体表面に
形成する薄膜の材料としてSnO2,TiO2或いはZ
rO2を使用する。これらは、結晶性が高いため、溶解
度が低く耐久性に優れた薄膜となる。
形成する薄膜の材料としてSnO2,TiO2或いはZ
rO2を使用する。これらは、結晶性が高いため、溶解
度が低く耐久性に優れた薄膜となる。
また、これらの粒径が500Å以下であるため、薄膜に
形成される微細な孔の径は200Å以下となり、限外濾
過等に使用するセラミックス膜として好ましいものとな
る。
形成される微細な孔の径は200Å以下となり、限外濾
過等に使用するセラミックス膜として好ましいものとな
る。
第2の発明は、SnO,、TiO,或いはZrO,の粒
子ゾルを使用しているために、400〜800℃という
低温で薄膜が形成できる。そのため、薄膜を形成する粒
子が粒成長しないので、所望の粒径とすることができる
。
子ゾルを使用しているために、400〜800℃という
低温で薄膜が形成できる。そのため、薄膜を形成する粒
子が粒成長しないので、所望の粒径とすることができる
。
又、粒子ゾルに増粘剤を添加してから、多孔質支持体に
塗布するため、形成される薄膜の膜厚制御、ゾルからゲ
ルへの変化時や乾燥時にクランクや剥離を防ぐことがで
きる。
塗布するため、形成される薄膜の膜厚制御、ゾルからゲ
ルへの変化時や乾燥時にクランクや剥離を防ぐことがで
きる。
(実施例)
以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
第1図は本発明に係るセラミックス製非対称膜の全体図
、第2図は同セラミックス製非対称膜の要部拡大平断面
図、第3図は第2図の一部拡大図である。
、第2図は同セラミックス製非対称膜の要部拡大平断面
図、第3図は第2図の一部拡大図である。
セラミックス製非対称膜は、厚さ約1mmで長さ約20
0 mmの円筒状支持体1の内側面に厚さ2μm以下の
薄膜2を形成している。尚、薄膜2は粒子の径が500
Å以下のSnO2,TiO2又はZr0zによって構成
されている。
0 mmの円筒状支持体1の内側面に厚さ2μm以下の
薄膜2を形成している。尚、薄膜2は粒子の径が500
Å以下のSnO2,TiO2又はZr0zによって構成
されている。
以上の如きセラミックス製非対称膜を作るには以下の如
き手順による。
き手順による。
先ず支持体1を作るには、例えば粒度分布が10〜30
μmのアルミナ、シリカ、ムライト、炭化ケイ素、チッ
化ケイ素或いはジルコニア等のセラミックス骨材粉末原
料を押出成形した後に焼成する。そしてこの焼成により
孔径が約10μm程度のセラミックス製多孔質支持体1
を得る。
μmのアルミナ、シリカ、ムライト、炭化ケイ素、チッ
化ケイ素或いはジルコニア等のセラミックス骨材粉末原
料を押出成形した後に焼成する。そしてこの焼成により
孔径が約10μm程度のセラミックス製多孔質支持体1
を得る。
尚、支持体1としては円筒状に限らずその形状は任意で
ある。
ある。
次いで、上記によって得られた支持体1の内面、つまり
基質溶液の流入側となる面に5n02゜TiO2或いは
z「02のスラリー状のゾルを塗布する。
基質溶液の流入側となる面に5n02゜TiO2或いは
z「02のスラリー状のゾルを塗布する。
ここで、ゾルの濃度は酸化物に換算して0.5〜5重量
%とじ、ゾルを構成する粒子径は5n02については8
0人、TiO2ニツイテは100人、Zr021.:ツ
いては140人とする。また、薄@2を構成する粒子径
を小さくした場合、薄膜2の厚さを薄くしないと水が透
過しにくくなる。そこで本発明にあっては前記のゾル中
に増粘剤を添加し、支持体1の内面に付着するゾルの厚
みが2μm程度となるようにしている。尚、増粘剤とし
ては例えばメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロ
ース等を用いる。
%とじ、ゾルを構成する粒子径は5n02については8
0人、TiO2ニツイテは100人、Zr021.:ツ
いては140人とする。また、薄@2を構成する粒子径
を小さくした場合、薄膜2の厚さを薄くしないと水が透
過しにくくなる。そこで本発明にあっては前記のゾル中
に増粘剤を添加し、支持体1の内面に付着するゾルの厚
みが2μm程度となるようにしている。尚、増粘剤とし
ては例えばメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロ
ース等を用いる。
以上の如くして支持体1の内面にSnO2,TiO2或
いはZrO2のゾルを付着せしめたならば脱水してゲル
とし、このゲルを乾燥せしめた後、焼成して薄膜2を形
成する。ここで焼成温度は、第4図のグラフからも明ら
かなようにゲル粒子の焼成粒成長が500Å以下となる
ように400℃〜800℃で行う。
いはZrO2のゾルを付着せしめたならば脱水してゲル
とし、このゲルを乾燥せしめた後、焼成して薄膜2を形
成する。ここで焼成温度は、第4図のグラフからも明ら
かなようにゲル粒子の焼成粒成長が500Å以下となる
ように400℃〜800℃で行う。
(発明の効果)
第5図乃至第7図は5n02.Ti0z及び1r02に
て薄膜を形成した場合の酸及びアルカリに対する各薄膜
の耐久性を透過水量の変化でもって示したグラフであり
、これらの図から明らかなように、本発明に係る非対称
膜は化学的に極めて安定していることが分る。またこの
ことは従来よりも焼成温度を低くしても、ゾルの粒子と
して5n02.TiO,又はZrO2を用いることで薄
膜を構成する粒子は酸化物としての結晶性が高く、物理
的強度も図れる。
て薄膜を形成した場合の酸及びアルカリに対する各薄膜
の耐久性を透過水量の変化でもって示したグラフであり
、これらの図から明らかなように、本発明に係る非対称
膜は化学的に極めて安定していることが分る。またこの
ことは従来よりも焼成温度を低くしても、ゾルの粒子と
して5n02.TiO,又はZrO2を用いることで薄
膜を構成する粒子は酸化物としての結晶性が高く、物理
的強度も図れる。
尚、第5図乃至第7図には示さなかったが、400℃で
焼成した場合も600℃で焼成した場合と同様の結果が
得られる。
焼成した場合も600℃で焼成した場合と同様の結果が
得られる。
第1図は本発明に係るセラミックス製非対称膜の全体図
、第2図は同セラミックス製非対称膜の要部拡大平断面
図、第3図は第2図の更なる拡大図、第4図は焼成温度
と焼成粒成長との関係を示すグラフ、第5図乃至第7図
は酸及びアルカリに対する耐久性を示すグラフである。 尚、図面中1はセラミックス製の多孔質支持体、2は薄
膜である。
、第2図は同セラミックス製非対称膜の要部拡大平断面
図、第3図は第2図の更なる拡大図、第4図は焼成温度
と焼成粒成長との関係を示すグラフ、第5図乃至第7図
は酸及びアルカリに対する耐久性を示すグラフである。 尚、図面中1はセラミックス製の多孔質支持体、2は薄
膜である。
Claims (2)
- (1)セラミックス製多孔質支持体の表面に支持体の孔
より微細な孔を有する薄膜を形成してなる非対称膜にお
いて、前記薄膜は粒子径が500Å以下のSnO_2、
TiO_2又はZrO_2から構成されていることを特
徴とするセラミックス製非対称膜。 - (2)SnO_2、TiO_2又はZrO_2の粒子ゾ
ルに増粘剤を添加し、このゾルをセラミックス製多孔質
支持体の表面に塗布し、次いで前記ゾルから脱水してゲ
ル化した後400℃〜800℃の温度で焼成するように
したことを特徴とするセラミックス製非対称膜の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63282109A JPH02126924A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | セラミックス製非対称膜及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63282109A JPH02126924A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | セラミックス製非対称膜及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02126924A true JPH02126924A (ja) | 1990-05-15 |
Family
ID=17648243
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63282109A Pending JPH02126924A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | セラミックス製非対称膜及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02126924A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5110470A (en) * | 1989-10-26 | 1992-05-05 | Toto Ltd. | Ceramic filter and process for making it |
JPH06198147A (ja) * | 1992-08-20 | 1994-07-19 | Hoogovens Ind Ceramics Bv | ミクロ濾過用セラミツク膜の製造方法 |
GB2338664A (en) * | 1998-06-24 | 1999-12-29 | Bosch Gmbh Robert | Applying a ceramic layer to a ceramic green body |
WO2000045945A1 (fr) * | 1999-02-01 | 2000-08-10 | Ngk Insulators, Ltd. | Procede de fabrication d'un filtre comportant un film poreux ceramique comme film de separation |
WO2000045944A1 (fr) * | 1999-02-01 | 2000-08-10 | Ngk Insulators, Ltd. | Procede de fabrication d'un filtre comportant un film ceramique poreux comme film de separation |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63282109A patent/JPH02126924A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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GB2338664A (en) * | 1998-06-24 | 1999-12-29 | Bosch Gmbh Robert | Applying a ceramic layer to a ceramic green body |
GB2338664B (en) * | 1998-06-24 | 2000-08-23 | Bosch Gmbh Robert | Process for applying a ceramic layer onto a ceramic green body |
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