JPH02125105A - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
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- JPH02125105A JPH02125105A JP27987788A JP27987788A JPH02125105A JP H02125105 A JPH02125105 A JP H02125105A JP 27987788 A JP27987788 A JP 27987788A JP 27987788 A JP27987788 A JP 27987788A JP H02125105 A JPH02125105 A JP H02125105A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 10
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0425—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for radial load mainly
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
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- F16C32/0476—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of one degree of freedom, e.g. axial magnetic bearings
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は磁気軸受装置に関し、特に、ラジアル方向に
対しては永久磁石のような受動型の磁気軸受を用い、ス
ラスト方向に対しては制御式の能動型の磁気軸受を用い
て１軸制御のみを行なうような磁気軸受装置に関する。
対しては永久磁石のような受動型の磁気軸受を用い、ス
ラスト方向に対しては制御式の能動型の磁気軸受を用い
て１軸制御のみを行なうような磁気軸受装置に関する。
［従来の技術］
最近では、製造コストを低減するために、外乱の少ない
用途への磁気軸受装置は、５軸制御よりも制御軸数の少
ない３軸制御、１軸制御が用いられようとしている。１
輪制御の場合、ラジアル方向には受動的な軸受が用いら
れ、軸方向のみが制御される。受動的なラジアル磁気軸
受は減衰力が非常に小さく、ラジアル方向の外乱が作用
したとき、大きな振動が生じる。この欠点を解消するた
めに、従来より種々の方法が試みられている。
用途への磁気軸受装置は、５軸制御よりも制御軸数の少
ない３軸制御、１軸制御が用いられようとしている。１
輪制御の場合、ラジアル方向には受動的な軸受が用いら
れ、軸方向のみが制御される。受動的なラジアル磁気軸
受は減衰力が非常に小さく、ラジアル方向の外乱が作用
したとき、大きな振動が生じる。この欠点を解消するた
めに、従来より種々の方法が試みられている。
第８図は従来の磁気軸受装置の一例を示す図である。こ
の第８図に示した例は、特公昭５２−２６２９３号公報
に記載されたものである。第８図において、回転軸１に
は磁性材料からなる磁極２が設けられ、この磁極２に対
向するように軸受の磁極３が設けられている。磁極３に
は励磁巻線４が設けられていて、磁極２と３のそれぞれ
の対向する面には同心円状の溝２１．３１が形成され、
溝２１．３１のそれぞれの間は凸部２２．３２となって
おり、溝２１．３１と凸部２２．３２の上は導体２３．
３３で覆われている。
の第８図に示した例は、特公昭５２−２６２９３号公報
に記載されたものである。第８図において、回転軸１に
は磁性材料からなる磁極２が設けられ、この磁極２に対
向するように軸受の磁極３が設けられている。磁極３に
は励磁巻線４が設けられていて、磁極２と３のそれぞれ
の対向する面には同心円状の溝２１．３１が形成され、
溝２１．３１のそれぞれの間は凸部２２．３２となって
おり、溝２１．３１と凸部２２．３２の上は導体２３．
３３で覆われている。
磁極３が励磁巻線４によって励磁されると、磁極２と３
との間に軸方向の磁気吸引力に基づく垂力が発生すると
ともに、半径方向への回転軸１の移動に対して凸部２２
と３２との対向面積の減少に伴なう磁気抵抗の増大に基
づいて、磁気エネルギの増大に逆らう半径方向の力が発
生し、回転軸１の半径方向への移動を押し戻そうとする
。この半径方向の力かばね定数となる。また、回転軸１
に外乱が生じたとき、磁束の変化に基づいて、導体２３
．３３の内部に渦電流が発生し、この渦電流によって振
動のエネルギが吸収され、振動の減衰が促進される。
との間に軸方向の磁気吸引力に基づく垂力が発生すると
ともに、半径方向への回転軸１の移動に対して凸部２２
と３２との対向面積の減少に伴なう磁気抵抗の増大に基
づいて、磁気エネルギの増大に逆らう半径方向の力が発
生し、回転軸１の半径方向への移動を押し戻そうとする
。この半径方向の力かばね定数となる。また、回転軸１
に外乱が生じたとき、磁束の変化に基づいて、導体２３
．３３の内部に渦電流が発生し、この渦電流によって振
動のエネルギが吸収され、振動の減衰が促進される。
また、磁気軸受装置の他の例として、特公昭５９−７３
１号公報に記載されたものがある。この磁気軸受装置は
、スラスト方向に電磁石を２個設けるとともに、ラジア
ル方向の振動を検出する振動検出器を設け、振動検出器
によってラジアル方向の振動を検出し、その検出信号を
２個の制御用電磁石の制御電流に重畳させて、減衰力を
生じさせるものである。
１号公報に記載されたものがある。この磁気軸受装置は
、スラスト方向に電磁石を２個設けるとともに、ラジア
ル方向の振動を検出する振動検出器を設け、振動検出器
によってラジアル方向の振動を検出し、その検出信号を
２個の制御用電磁石の制御電流に重畳させて、減衰力を
生じさせるものである。
［発明が解決しようとする課題］
上述の第８図に示した磁気軸受装置は構造が簡単である
という利点を有する反面、渦電流のみによるだけで減衰
力を得ているため減衰効果が小さいという欠点がある。
という利点を有する反面、渦電流のみによるだけで減衰
力を得ているため減衰効果が小さいという欠点がある。
また、他の例で述べた磁気軸受装置は、減衰効果は大き
いが、ラジアル方向の振動検出器が必要であり、しかも
スラスト方向に制御用の電磁石が２個必要となるため、
構造が複雑になるとともに、電磁石の発熱も大きく、外
部冷却が必要となるという問題点があった。
いが、ラジアル方向の振動検出器が必要であり、しかも
スラスト方向に制御用の電磁石が２個必要となるため、
構造が複雑になるとともに、電磁石の発熱も大きく、外
部冷却が必要となるという問題点があった。
それゆえに、この発明の主たる目的は、構造が簡単であ
ってしかも減衰力の大きな磁気軸受装置を提供すること
である。
ってしかも減衰力の大きな磁気軸受装置を提供すること
である。
［課題を解決するための手段］
この発明は非制御なラジアル磁気軸受と、それぞれの対
向面に同心円状の凸部が形成されたロータと制御用ステ
ータを含んで第２の非制御なラジアル磁気軸受の機能を
有し、かつ軸方向磁気力と釣合うように制御用ステータ
が制御される制御式磁気軸受とを含む１軸制御型の磁気
軸受装置であって、軸方向の位置を検出する位置検出器
と、軸がラジアル方向に変位を生じたとき、制御用ステ
ータとロータの対向面間の隙間を小さくする方向に、制
御用軸受が制御されるように、少なくともその中心と周
縁の高さが異なるような形状に形成され、位置検出器に
対向するように軸の一端に取付けられる位置センサター
ゲットと、パラレルおよびコニカル振動の周波数帯域に
位相進みを持たせ、ラジアル方向に対して減衰能力を有
するように位置検出器の出力に基づいて制御式磁気軸受
を制御する制御手段を備えて構成される。
向面に同心円状の凸部が形成されたロータと制御用ステ
ータを含んで第２の非制御なラジアル磁気軸受の機能を
有し、かつ軸方向磁気力と釣合うように制御用ステータ
が制御される制御式磁気軸受とを含む１軸制御型の磁気
軸受装置であって、軸方向の位置を検出する位置検出器
と、軸がラジアル方向に変位を生じたとき、制御用ステ
ータとロータの対向面間の隙間を小さくする方向に、制
御用軸受が制御されるように、少なくともその中心と周
縁の高さが異なるような形状に形成され、位置検出器に
対向するように軸の一端に取付けられる位置センサター
ゲットと、パラレルおよびコニカル振動の周波数帯域に
位相進みを持たせ、ラジアル方向に対して減衰能力を有
するように位置検出器の出力に基づいて制御式磁気軸受
を制御する制御手段を備えて構成される。
［作用］
この発明にかかる磁気軸受装置は、外乱により軸がラジ
アル方向に変位を生じたとき、位置センサターゲットと
位置検出器との間の間隔が大きくなるため、位置検出器
の出力が変化し、その変化に基づいて制御式磁気軸受が
制御される。それによって、軸が中心よりずれる運動を
しているときには、制御式電磁石の吸引力が大きくなり
、外側から中心に運動しているときには小さくなり、外
乱に対する振動の減衰力を高めることができる。
アル方向に変位を生じたとき、位置センサターゲットと
位置検出器との間の間隔が大きくなるため、位置検出器
の出力が変化し、その変化に基づいて制御式磁気軸受が
制御される。それによって、軸が中心よりずれる運動を
しているときには、制御式電磁石の吸引力が大きくなり
、外側から中心に運動しているときには小さくなり、外
乱に対する振動の減衰力を高めることができる。
［発明の実施例］
第１図はこの発明の一実施例の断面図である。
第１図において、ハウジング５内には、その中心に位置
するように回転軸１が設けられる。回転軸１の一端側に
は非制御なラジアル磁気軸受９が設けられる。すなわち
、ラジアル磁気軸受９はハウジング５の内部に取付けら
れた固定側の磁極６と回転軸１に取付けられた磁極７と
永久磁石８とから構成される。磁極６と７のそれぞれの
対向する面には同心円状の溝６１．７１が形成されてい
る。
するように回転軸１が設けられる。回転軸１の一端側に
は非制御なラジアル磁気軸受９が設けられる。すなわち
、ラジアル磁気軸受９はハウジング５の内部に取付けら
れた固定側の磁極６と回転軸１に取付けられた磁極７と
永久磁石８とから構成される。磁極６と７のそれぞれの
対向する面には同心円状の溝６１．７１が形成されてい
る。
そして、永久磁石８による磁束によって磁極６と７とが
軸方向に吸引される。
軸方向に吸引される。
回転軸１のほぼ中央にはモータ１０が設けられ、このモ
ータ１０の回転駆動力によって回転軸１が回転する。回
転軸１の他端側には制御式のスラスト磁気軸受１１が設
けられる。すなわち、回転軸１の他端には回転側の磁極
１２が設けられ、ハウジング５の底部側には固定側の磁
極１３が設けられる。磁極１３には励磁巻線１４が巻回
されている。磁極１２．１３のそれぞれの対向する面に
は同心円状の溝１２１，１３１が形成されている。
ータ１０の回転駆動力によって回転軸１が回転する。回
転軸１の他端側には制御式のスラスト磁気軸受１１が設
けられる。すなわち、回転軸１の他端には回転側の磁極
１２が設けられ、ハウジング５の底部側には固定側の磁
極１３が設けられる。磁極１３には励磁巻線１４が巻回
されている。磁極１２．１３のそれぞれの対向する面に
は同心円状の溝１２１，１３１が形成されている。
そして、非制御のラジアル磁気軸受９の軸方向への吸引
力に釣合うように励磁巻線１４が励磁される。
力に釣合うように励磁巻線１４が励磁される。
回転軸１の他端にはその中心から周縁に向かってテーバ
状となるように形成された位置センサターゲット１５が
取付けられている。この位置センサターゲット１５に対
向するように、ハウジング５の底部には位置検出センサ
１６が取付けられ、この位置検出センサ１６の出力はＰ
ＩＤ制御回路１７に与えられる。ＰＩＤ制御回路１７は
位置検出センサ１６の検出出力に基づいて励磁巻線１４
を励磁するものである。
状となるように形成された位置センサターゲット１５が
取付けられている。この位置センサターゲット１５に対
向するように、ハウジング５の底部には位置検出センサ
１６が取付けられ、この位置検出センサ１６の出力はＰ
ＩＤ制御回路１７に与えられる。ＰＩＤ制御回路１７は
位置検出センサ１６の検出出力に基づいて励磁巻線１４
を励磁するものである。
第２図および第３図はこの発明の一実施例の磁気軸受装
置における開ループ伝達関数のボード線図であり、第４
図は従来例における外乱による振動の減衰特性を示す図
であり、第５図はこの発明の一実施例による減衰特性を
示す図である。
置における開ループ伝達関数のボード線図であり、第４
図は従来例における外乱による振動の減衰特性を示す図
であり、第５図はこの発明の一実施例による減衰特性を
示す図である。
次に、この発明の一実施例の具体的な動作について説明
する。スラスト磁気軸受１１の励磁巻線１４を励磁する
と、前述の第７図に示した従来例と同様にして、磁極１
２が磁極１３に吸引される。
する。スラスト磁気軸受１１の励磁巻線１４を励磁する
と、前述の第７図に示した従来例と同様にして、磁極１
２が磁極１３に吸引される。
このときの吸引力が非制御のラジアル軸受９の永久磁石
８による吸引力とほぼ等しくなるように励磁巻線１４が
制御される。このとき、ラジアル軸受９の磁極６．７の
それぞれに形成された同心円状の溝６１と７１およびス
ラスト磁気軸受１１の磁極１２．１３のそれぞれに形成
された溝１２１゜１３１によりラジアル剛性を生じる。
８による吸引力とほぼ等しくなるように励磁巻線１４が
制御される。このとき、ラジアル軸受９の磁極６．７の
それぞれに形成された同心円状の溝６１と７１およびス
ラスト磁気軸受１１の磁極１２．１３のそれぞれに形成
された溝１２１゜１３１によりラジアル剛性を生じる。
外乱により、ラジアル方向に振動が生じると、位置セン
サターゲット１５の中心がラジアル方向にずれ、位置セ
ンサターゲット１５と位置検出センサ１６との間の距離
が大きくなる。それに伴なって、位置検出センサ１６の
センサ出力が変化し、ＰＩＤ制御回路１７はセンサ出力
の変化に基づいて、励磁巻線１４に流れる電流を大きく
し、スラスト磁気軸受１１の吸引力を大きくする。
サターゲット１５の中心がラジアル方向にずれ、位置セ
ンサターゲット１５と位置検出センサ１６との間の距離
が大きくなる。それに伴なって、位置検出センサ１６の
センサ出力が変化し、ＰＩＤ制御回路１７はセンサ出力
の変化に基づいて、励磁巻線１４に流れる電流を大きく
し、スラスト磁気軸受１１の吸引力を大きくする。
逆に、位置センサターゲット１５の中心が外側から中心
に向かって運動しているときには、励磁巻線１４に流れ
る電流を小さくする。このとき、ラジアル方向の振動周
波数（パラレルとコニカルに対する固有振動数）が予め
明らかにされていれば、ＰＩＤ制御回路１７の位相特性
を、第３図のＡ点に示すようにその周波数帯域で進めて
おけば、ラジアル方向の振動を効果的に減衰させること
ができる。すなわち、従来例では、外乱によって振動が
生じたとき、第４図に示すような減衰特性を示すのに対
して、この発明の一実施例では、第５図に示すように、
極めて良好な減衰特性を得ることができた。
に向かって運動しているときには、励磁巻線１４に流れ
る電流を小さくする。このとき、ラジアル方向の振動周
波数（パラレルとコニカルに対する固有振動数）が予め
明らかにされていれば、ＰＩＤ制御回路１７の位相特性
を、第３図のＡ点に示すようにその周波数帯域で進めて
おけば、ラジアル方向の振動を効果的に減衰させること
ができる。すなわち、従来例では、外乱によって振動が
生じたとき、第４図に示すような減衰特性を示すのに対
して、この発明の一実施例では、第５図に示すように、
極めて良好な減衰特性を得ることができた。
第６図は位置センサターゲットの他の例を示す図である
。この第６図に示した例は、位置センサターゲット１８
の表面が円弧を描くように構成したものであって、この
ように構成しても前述の第１図に示した実施例と同様の
効果を得ることができる。
。この第６図に示した例は、位置センサターゲット１８
の表面が円弧を描くように構成したものであって、この
ように構成しても前述の第１図に示した実施例と同様の
効果を得ることができる。
第７図はこの発明の他の実施例を示す断面図である。こ
の第７図に示した実施例は、非制御用ラジアル磁気軸受
に反発タイプのものを使用したものであって、以下の点
を除いて前述の第１図に示した実施例と同じである。す
なわち、回転軸１の一端にはロータ１９が設けられ、ロ
ータ１９の内面には反発用永久磁石２０が設けられる。
の第７図に示した実施例は、非制御用ラジアル磁気軸受
に反発タイプのものを使用したものであって、以下の点
を除いて前述の第１図に示した実施例と同じである。す
なわち、回転軸１の一端にはロータ１９が設けられ、ロ
ータ１９の内面には反発用永久磁石２０が設けられる。
この反発用永久磁石２０に対向するように、ハウジング
５の対向面には反発用永久磁石２６が設けられる。
５の対向面には反発用永久磁石２６が設けられる。
このように、反発用永久磁石２０．２６により非制御用
ラジアル磁気軸受が構成されるが、この磁気軸受では軸
方向の吸引力が作用しないため、制御式のスラスト磁気
軸受１１の近傍には、スラスト方向吸引用永久磁石２５
．２７が設けられる。
ラジアル磁気軸受が構成されるが、この磁気軸受では軸
方向の吸引力が作用しないため、制御式のスラスト磁気
軸受１１の近傍には、スラスト方向吸引用永久磁石２５
．２７が設けられる。
これらの永久磁石２５．２７によって軸方向の吸引力が
発生する。なお、スラスト方向吸引用永久磁石２５．２
７はそれぞれ非磁性体からなる保持部材２８．２９によ
って保持される。なお、この実施例における位置検出セ
ンサ１６と位置センサターゲット１５とＰＩＤ制御回路
１７の動作は第１図の説明と同じである。
発生する。なお、スラスト方向吸引用永久磁石２５．２
７はそれぞれ非磁性体からなる保持部材２８．２９によ
って保持される。なお、この実施例における位置検出セ
ンサ１６と位置センサターゲット１５とＰＩＤ制御回路
１７の動作は第１図の説明と同じである。
なお、第１図に示した実施例において、制御式のスラス
ト磁気軸受１１を回転軸１の一端側に設け、非制御のラ
ジアル磁気軸受９を回転軸１の他端側に配置し、ラジア
ル磁気軸受９の軸方向吸引力を逆向きにし、位置センサ
ターゲット１５の形状を凹形状とし、回転軸１がラジア
ル方向に変位したとき、位置検出センサ１６と位置セン
サターゲット１５の間の隙間が小さくなったことを検出
するように構成してもよい。
ト磁気軸受１１を回転軸１の一端側に設け、非制御のラ
ジアル磁気軸受９を回転軸１の他端側に配置し、ラジア
ル磁気軸受９の軸方向吸引力を逆向きにし、位置センサ
ターゲット１５の形状を凹形状とし、回転軸１がラジア
ル方向に変位したとき、位置検出センサ１６と位置セン
サターゲット１５の間の隙間が小さくなったことを検出
するように構成してもよい。
［発明の効果コ
以上のように、この発明によれば、外乱により軸がラジ
アル方向に変位を生じたとき、位置センサターゲットと
位置検出器との間の間隔が大きくなったことを位置検出
器によって検出し、位置検出器の出力の変化に基づいて
制御式磁気軸受を制御するようにしたので、軸が中心よ
りずれる運動をしているときには制御式電磁石の吸引力
が大きくなり、外側から中心に運動しているときには小
さくなるので、外乱に対する振動の減衰力を高めること
ができる。しかも、制御式電磁石は１つ設けるだけでよ
いので、構成を簡単にすることができる。
アル方向に変位を生じたとき、位置センサターゲットと
位置検出器との間の間隔が大きくなったことを位置検出
器によって検出し、位置検出器の出力の変化に基づいて
制御式磁気軸受を制御するようにしたので、軸が中心よ
りずれる運動をしているときには制御式電磁石の吸引力
が大きくなり、外側から中心に運動しているときには小
さくなるので、外乱に対する振動の減衰力を高めること
ができる。しかも、制御式電磁石は１つ設けるだけでよ
いので、構成を簡単にすることができる。
第１図はこの発明の一実施例の断面図である。
第２図および第３図はこの発明の一実施例における磁気
軸受装置の開ループ伝達関数のボード線図である。第４
図は従来の磁気軸受装置における外乱の振動に対する減
衰特性を示す図である。第５図はこの発明の一実施例に
よる振動の減衰特性を示す図である。第６図は位置セン
サターゲットの他の例を示す図である。第７図はこの発
明の他の実施例の断面図である。第８図は従来の磁気軸
受装置の要部を示す図である。 図において、５はハウジング、６，７，１２゜１３は磁
極、８は永久磁石、９は非制御のラジアル磁気軸受、１
０はモータ、１１は制御式のスラスト磁気軸受、１５．
１８は位置センサターゲット、１６は位置検出センサ、
１７はＰＩＤ制御回路、２０．２６は反発用永久磁石、
２５．２７はスラスト方向吸引用永久磁石を示す。 特許出願人 エヌ・チー・エヌ東洋ベアリング第１ 図 第４ 図 第Ｓ図 第６図 第７ 図 第８
軸受装置の開ループ伝達関数のボード線図である。第４
図は従来の磁気軸受装置における外乱の振動に対する減
衰特性を示す図である。第５図はこの発明の一実施例に
よる振動の減衰特性を示す図である。第６図は位置セン
サターゲットの他の例を示す図である。第７図はこの発
明の他の実施例の断面図である。第８図は従来の磁気軸
受装置の要部を示す図である。 図において、５はハウジング、６，７，１２゜１３は磁
極、８は永久磁石、９は非制御のラジアル磁気軸受、１
０はモータ、１１は制御式のスラスト磁気軸受、１５．
１８は位置センサターゲット、１６は位置検出センサ、
１７はＰＩＤ制御回路、２０．２６は反発用永久磁石、
２５．２７はスラスト方向吸引用永久磁石を示す。 特許出願人 エヌ・チー・エヌ東洋ベアリング第１ 図 第４ 図 第Ｓ図 第６図 第７ 図 第８
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 非制御なラジアル磁気軸受と、 それぞれの対向面に同心円状の凸部が形成されたロータ
と制御用ステータを含んで第２の非制御なラジアル磁気
軸受の機能を有し、軸方向磁気力と釣合うように前記制
御用ステータが制御される制御式磁気軸受とを含む１軸
制御型の磁気軸受装置において、 軸方向の位置を検出する位置検出器と、 軸がラジアル方向に変位を生じたとき、前記制御用ステ
ータと前記ロータの対向面間の隙間を小さくする方向に
、前記制御用軸受が制御されるように、少なくともその
中心と周縁の高さが異なるような形状に形成され、前記
位置検出器に対向するように前記軸の一端に取付けられ
る位置センサターゲットと、 パラレルおよびコニカル振動の周波数帯域に位相進みを
持たせ、ラジアル方向に対して減衰能力を有するように
前記位置検出器の出力に基づいて、前記制御式磁気軸受
を制御する制御手段を備えた、磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279877A JPH0749805B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63279877A JPH0749805B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02125105A true JPH02125105A (ja) | 1990-05-14 |
| JPH0749805B2 JPH0749805B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=17617183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63279877A Expired - Fee Related JPH0749805B2 (ja) | 1988-11-04 | 1988-11-04 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749805B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04119627U (ja) * | 1991-04-15 | 1992-10-26 | 三菱プレシジヨン株式会社 | 磁気軸受装置 |
| CN114857170A (zh) * | 2022-04-19 | 2022-08-05 | 华中科技大学 | 磁悬浮轴承的轴向磁轴承结构 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61286609A (ja) * | 1985-06-11 | 1986-12-17 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 制御式ラジアル磁気軸受の制御装置 |
-
1988
- 1988-11-04 JP JP63279877A patent/JPH0749805B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61286609A (ja) * | 1985-06-11 | 1986-12-17 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 制御式ラジアル磁気軸受の制御装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04119627U (ja) * | 1991-04-15 | 1992-10-26 | 三菱プレシジヨン株式会社 | 磁気軸受装置 |
| CN114857170A (zh) * | 2022-04-19 | 2022-08-05 | 华中科技大学 | 磁悬浮轴承的轴向磁轴承结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0749805B2 (ja) | 1995-05-31 |
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| JPH0371569B2 (ja) |
Legal Events
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