JPH0212074A - Power source unit for measurement of ic testing device - Google Patents

Power source unit for measurement of ic testing device

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JPH0212074A
JPH0212074A JP63161100A JP16110088A JPH0212074A JP H0212074 A JPH0212074 A JP H0212074A JP 63161100 A JP63161100 A JP 63161100A JP 16110088 A JP16110088 A JP 16110088A JP H0212074 A JPH0212074 A JP H0212074A
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JP
Japan
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current consumption
power supply
test
signal
current
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JP63161100A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshitaka Mori
芳孝 森
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Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0212074A publication Critical patent/JPH0212074A/en
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Abstract

PURPOSE:To measure a peak current consumption value and average current consumption by detecting the current consumption at the timing corresponding to the state of an arbitrary test pattern signal impressed upon each signal input pin of an IC to be measured. CONSTITUTION:Electric power is supplied to an IC 30 to be measured from a power supply/current detection circuit 20 and, at the same time, test pattern signals P1-P4 are generated corresponding to each signal input pin of the IC 30 and impressed upon each signal input pin by means of test signal generating means (14-1)-(14-4). At the circuit 20 provided on the power supply line to the IC 30, the current consumption at the IC 30 is detected corresponding to the states of the signals P1-P4 by measuring the electric current at the circuit 20. Therefore, the current consumption of the IC which fluctuates corresponding to the changes of the signals P1-P4 at the means (14-1)-(14-4) can be detected.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、IC(集積回路、以下同じ)試験装置等の
試験・計測機器に搭載される測定用電源装置に関し、特
に、該被測定ICの信号入力ピンに印加される試験パタ
ーン信号に同期した任意のタイミングで消費電流を検出
できるようにしたことに関する。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to a measurement power supply device installed in test/measurement equipment such as an IC (integrated circuit, hereinafter the same) test device, and in particular, to The current consumption can be detected at any timing synchronized with the test pattern signal applied to the signal input pin of the present invention.

[従来の技術] ディジタルIC等の消費電流を測定する場合、IC試験
装置などの試験・計測機器に搭載される測定用電源装置
から該ICの電源入力ピンに所定の直流電圧を供給して
、該供給電流を該ICの消費電流として検出するように
していた。このとき。
[Prior Art] When measuring the current consumption of a digital IC, etc., a predetermined DC voltage is supplied to the power input pin of the IC from a measurement power supply installed in a test/measurement device such as an IC test device. The supplied current is detected as the current consumed by the IC. At this time.

該被測定ICの所定の信号入力ピンに種々の試験パター
ン信号を印加し内部動作を変化させ消費電流を測定する
場合と、無人力信号状態で消費電流を測定する場合があ
る。
There are cases in which current consumption is measured by applying various test pattern signals to predetermined signal input pins of the IC under test to change the internal operation, and cases in which current consumption is measured in an unattended signal state.

一般的に、ディジタルICの消費電流は、無人力信号状
態と種々の試験パターン信号等が印加された状態とでは
大きく異なる。例えば、被測定ICの無人力信号状態(
以下、便宜的に無信号モードという)における消14流
が数μAであるとき、試験パターン信号等が印加された
状態(以下1便宜的に動作モードという)における消費
電流が数mAから数10 m Aである。また、被測定
ICの動作モードでは、信号入力ピンに印加される試験
パターン信号の種類により該ICの消費電流がダイナミ
ックに変動する。
Generally, the current consumption of a digital IC is significantly different between an unattended signal state and a state where various test pattern signals and the like are applied. For example, the unattended signal state of the IC under test (
When the current consumption in the state where a test pattern signal etc. is applied (hereinafter referred to as operation mode for convenience) is several μA, the current consumption is from several mA to several tens of mA (hereinafter referred to as operation mode for convenience). It is A. Furthermore, in the operating mode of the IC under test, the current consumption of the IC dynamically changes depending on the type of test pattern signal applied to the signal input pin.

ICの消費電流を測定するための測定用電源装置では、
被測定ICに電源を供給すると共にその消費電流を検出
するための電流検出回路を有している。従来のIC試験
装置に適用されていたそのような測定用電源装置では、
被測定I 7”+の無信号モード若しくは動作モードに
対応する平均的な定常状態の消費電流を検出するように
していた。
In the measurement power supply device for measuring the current consumption of IC,
It has a current detection circuit for supplying power to the IC under test and detecting its current consumption. In such a measurement power supply device applied to conventional IC test equipment,
The average steady-state current consumption corresponding to the no-signal mode or operation mode of the I7''+ to be measured was detected.

[発明が解決しようとする課題] 従って、従来のIC試験装置に適用されていた測定用電
源装置では、被測定ICの動作モードにおいて信号入力
ピンに与えられた試験パターン信号の種類によってダイ
ナミックに変動する消費′電流を、該試験パターン信号
における任意のタイミングで検出することができなかっ
た、という問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] Therefore, in the measurement power supply device applied to the conventional IC test equipment, the measurement power supply device changes dynamically depending on the type of test pattern signal applied to the signal input pin in the operating mode of the IC under test. There was a problem in that the consumed current could not be detected at any timing in the test pattern signal.

この発明は上述の点に鑑みてなされたもので、入力され
る試験パターン信号に応じてダイナミックに変動する被
測定ICの消費電流を、任意の試験パターン信号に同期
した任意のタイミングで検出できるようにした測定用電
源装置を提供しようとするものである。
This invention has been made in view of the above points, and is capable of detecting the current consumption of an IC under test, which changes dynamically depending on the input test pattern signal, at any timing synchronized with any test pattern signal. The present invention aims to provide a power supply device for measurement that has the following characteristics.

[課題を解決するための手段] この発明に係る測定用電源装置は、被測定ICに電源を
供給する電源供給手段と、前記被測定ICに対する電源
供給ラインに設けられ、電源供給ラインにおける電流を
測定することにより前記被測定ICにおける消費電流を
検出する消費電流検出手段と、前記被測定ICの各信号
入力ピンに対応して試験パターン信号を発生し、印加す
る試験信号発生手段とを具えたものであり、前記試験信
号発生手段において発生する試験パターン信号の状態に
応じた消費電流を前記消費電流検出手段で検出すること
ができるようにしたことを特徴とするものである。
[Means for Solving the Problems] A measurement power supply device according to the present invention is provided with a power supply means for supplying power to an IC under test, and a power supply line for the IC under test, and is configured to control current in the power supply line. The current consumption detection means detects the current consumption in the IC under test by measuring the current consumption, and the test signal generation means generates and applies a test pattern signal corresponding to each signal input pin of the IC under test. The present invention is characterized in that the current consumption detecting means can detect the current consumption depending on the state of the test pattern signal generated by the test signal generating means.

[作用コ 被測定ICの消費電流を測定しようとする場合、電源供
給手段によって被測定ICに電源を供給すると共に、試
験信号発生手段によって該被測定ICの各信号入力ピン
に対応して試験パターン信号を発生し、印加する。被測
定ICに対する電源供給ラインに設けられた消費電流検
出手段では、試験信号発生手段において発生する試験パ
ターン信号の状態に応じた消費電流を電源供給ラインに
おける電流を測定することにより被測定ICにおける消
費電流を検出する。
[Operation] When trying to measure the current consumption of an IC under test, the power supply means supplies power to the IC under test, and the test signal generation means generates a test pattern corresponding to each signal input pin of the IC under test. Generate and apply signals. The current consumption detection means provided in the power supply line for the IC under test detects the current consumption in the IC under test by measuring the current in the power supply line according to the state of the test pattern signal generated in the test signal generation means. Detect current.

例えば、電源供給手段から所定の電源電圧を被測定IC
の電源入力ピンに印加すると共に、試験信号発生手段か
ら試験パターン信号を該ICの信号入力ピンに夫々印加
する。消費電流検出手段は、被測定ICに対する電源供
給ラインに設けられており、該電源供給ラインにおける
電流を測定することにより、試験信号発生手段における
試験パターン信号に応じて被測定ICによって消費され
る電流を検出する。従って、試験信号発生手段における
試験パターン信号の変化に対応して変動する被測定IC
の消費電流を検出することができるようになる。
For example, a predetermined power supply voltage is applied to the IC under test from the power supply means.
At the same time, test pattern signals are applied from the test signal generating means to the signal input pins of the IC. The current consumption detection means is provided in a power supply line for the IC under test, and measures the current in the power supply line to determine the current consumed by the IC under test according to the test pattern signal in the test signal generation means. Detect. Therefore, the IC under test changes in response to changes in the test pattern signal in the test signal generating means.
It becomes possible to detect the current consumption of.

[実施例] 以下、添付図面を参照して本発明に係るIC試験装置に
おける測定用電源装置の実施例を詳細に説明する。
[Example] Hereinafter, an example of a measurement power supply device in an IC testing apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

第1図は本発明に係る測定用電源装置の一実施例を示す
ブロック図であり1本発明に直接関係する部分のみを示
す。この電源装置は大別して、制御部11とディジタル
/アナログ(以下、D/Aという)変換器12及びアナ
ログ/ディジタル(以下、A/Dという)変換器15と
電源供給及び電流検出回路20などから成っている。な
お、該′lt源装置の負荷としては、消費電流を測定し
ようとするICや種々の回路などが接続できる。制御部
11は、被測定IC30に印加すべき基準電圧を指示す
るディジタルデータをD/A変換器12に与えると共に
、A、 / D変換器15から与えらえる検出電流値を
示すディジタルデータの処理を行う。また、該制御部1
1は、ドライバ14−1〜14−nに対して各種制御信
号や試験パターン信号作成用のデータを送出すると共に
、タイミング発生回路13を制御する。
FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of a measurement power supply device according to the present invention, and only portions directly related to the present invention are shown. This power supply device is roughly divided into a control unit 11, a digital/analog (hereinafter referred to as D/A) converter 12, an analog/digital (hereinafter referred to as A/D) converter 15, a power supply and current detection circuit 20, etc. It has become. Note that as a load of the 'lt source device, an IC or various circuits for measuring current consumption can be connected. The control unit 11 provides the D/A converter 12 with digital data indicating the reference voltage to be applied to the IC under test 30, and processes the digital data indicating the detected current value provided from the A/D converter 15. I do. In addition, the control unit 1
1 sends various control signals and data for creating test pattern signals to the drivers 14-1 to 14-n, and also controls the timing generation circuit 13.

ドライバ14−1〜14−nは、制御部11から与えら
れる各種制御信号と試験パターン信号作成用のデータに
基づき、被測定IC30の信号入力ピンに対して印加す
べき各種の試験パターン信号P1〜Pnを作成し出力す
る。タイミング発生回路13は制御部11からの制御に
より、任意の試験パターン信号P1〜Pnに同期したタ
イミングでアクチブII I I+となるタイミング信
号Tをオペアンプ(演算増幅器、以下同じ)25のスト
ロブ信号入力に対して出力する。
The drivers 14-1 to 14-n generate various test pattern signals P1 to P1 to be applied to the signal input pins of the IC under test 30 based on various control signals and test pattern signal creation data given from the control unit 11. Create and output Pn. Under the control of the control unit 11, the timing generation circuit 13 inputs a timing signal T that becomes active II II I+ at a timing synchronized with any test pattern signal P1 to Pn to the strobe signal input of an operational amplifier (operational amplifier, hereinafter the same) 25. Output against.

なお、試験パターン信号P1〜P nは被測完工C30
の複数の信号入力ビン毎に夫々対応するパルスであり、
−例を示すと、第2図のようである。
In addition, the test pattern signals P1 to Pn are for the completed work to be measured C30.
is a pulse corresponding to each of the plurality of signal input bins,
-An example is shown in Figure 2.

なお、第2図はICの立上り時における一例を示してお
り、TOで示すタイミングが立上り時点を示している。
Note that FIG. 2 shows an example when the IC starts up, and the timing indicated by TO indicates the start up point.

なお、被測定IC30が立上がる瞬間の時間Toにおけ
る消*電流をピーク消費電流ということにする。
Note that the extinction current at time To at the moment when the IC 30 to be measured rises is referred to as peak consumption current.

D/A変換器12は、制御部]1から与えられるディジ
タルデータに基づきアナログの基*電圧Viを発生する
。この基準電圧Viはアンプ16によって電流増幅され
た後に、電源供給及び電流検出回路20におけるオペア
ンプ21の一方の入力(+入力)に与えられる。
The D/A converter 12 generates an analog base*voltage Vi based on digital data given from the control unit]1. This reference voltage Vi is current-amplified by the amplifier 16 and then applied to one input (+input) of the operational amplifier 21 in the power supply and current detection circuit 20 .

電源供給及び電流検出回路20は基準電圧Viを入力し
、該基準電圧Viに応じた電源電圧V。
The power supply and current detection circuit 20 inputs a reference voltage Vi, and outputs a power supply voltage V according to the reference voltage Vi.

を被測定IC30に対して供給すると共に、該工C30
の消費電流を示す検出電圧DiをA/D変換器15に対
して出力する。オペアンプ21の+入力に与えられた基
準電圧Viは、抵抗22を介して被測定IC30の電源
入力ピンに印加される。
is supplied to the IC 30 under test, and the IC 30
A detection voltage Di indicating the current consumption is output to the A/D converter 15. The reference voltage Vi applied to the +input of the operational amplifier 21 is applied to the power input pin of the IC 30 under test via the resistor 22.

このオペアンプ21の出力には抵抗22の一端とオペア
ンプ25の一方の入力(+入力)が接続されており、ま
た、該抵抗22の他端にはオペアンプ25の他方の入力
(−人力)とオペアンプ24の一方の人力(+入力)が
接続され°Cいる。つまり、被測定IC30に供給され
る電源電流Iに応じて抵抗22の両端に発生する電圧降
下をオペアンプ25によって検出するようになっている
。オペアンプ25は、ストロブ信号入力に与えられるタ
イミング信号′rに応じて、動作可能となり。
One end of a resistor 22 and one input (+ input) of an operational amplifier 25 are connected to the output of the operational amplifier 21, and the other input (-human power) of the operational amplifier 25 and the other input of the operational amplifier 25 are connected to the other end of the resistor 22. One of the human power (+ input) of 24 °C is connected. That is, the operational amplifier 25 detects the voltage drop that occurs across the resistor 22 in response to the power supply current I supplied to the IC 30 under test. The operational amplifier 25 becomes operational in response to the timing signal 'r applied to the strobe signal input.

+、−人力に加えられる該抵抗22による電圧降下を検
出する。ここで検出された検出電圧DiはA / D変
換器15に与えられ、該A/D変換器15において被測
定IC30の消費電流工を示1ディジタルデータに変換
された後に制御部】、1に与えられる。制御部11では
5このディジタルデータに基づき被測定JC30の消費
電流■を判定する。
+, - Detect the voltage drop due to the resistor 22 applied to the human power. The detection voltage Di detected here is given to the A/D converter 15, where it is converted into digital data indicating the current consumption of the IC 30 to be measured. Given. The control unit 11 determines the current consumption of the JC 30 to be measured based on the digital data.

一方、被測定1c30に印加される電源電圧VOはオペ
アンプ24を介してオペアンプ21の一人力にフィード
バックされるようになっている。
On the other hand, the power supply voltage VO applied to the device to be measured 1c30 is fed back to the operational amplifier 21 via the operational amplifier 24.

このように、フィードバックループが構成されているた
め、電源電圧Voは基準電圧Viと同じ電圧になるよう
に補正される。
Since a feedback loop is thus configured, the power supply voltage Vo is corrected to be the same voltage as the reference voltage Vi.

次に、以上の構成における各部の作用を具体例を挙げて
説明する。例えば、制御部11において、被測定IC3
0に印加する電源電圧Vo=5Vすなわち基$電圧Vi
=5Vに設定すると共に該工C30の電源入力ピンに供
給するようにして、第2図に示したような試験パターン
信号P1〜P4を被測定IC30の所定の各ピンに印加
するものとする。
Next, the operation of each part in the above configuration will be explained using a specific example. For example, in the control unit 11, the IC under test 3
The power supply voltage applied to 0 = 5V, that is, the base $ voltage Vi
= 5V, and the test pattern signals P1 to P4 as shown in FIG. 2 are applied to each predetermined pin of the IC 30 to be measured.

消費電流測定が開始されると、電源供給及び電流検出回
路20から電源電圧V o = 5 Vが被測定IC3
0の電源入力ピンに印加され、また、ドライバ1.4−
1〜14−4から試験パターン信号P1〜P4が1Ic
30の各信号入力ビン1〜ピン4に夫々印加される。被
測定TC30によって消費される電源電流Iは、入力さ
れる試験パターン(71号P1〜P4に応じて変動する
。一般に、ディジタルICの消費電流■は、入力される
各試験パターン信号P1〜Pnのハイレベル状態波形の
総和に対応する。
When the current consumption measurement is started, the power supply voltage V o = 5 V is applied from the power supply and current detection circuit 20 to the IC 3 to be measured.
0 and is also applied to the power input pin of driver 1.4-
Test pattern signals P1 to P4 from 1 to 14-4 are 1Ic.
30 signals are applied to each of input bins 1 to 4, respectively. The power supply current I consumed by the TC 30 under test varies depending on the input test pattern (No. 71 P1 to P4. Generally, the consumption current I of a digital IC varies depending on the input test pattern signals P1 to Pn. Corresponds to the sum of high level state waveforms.

例えば、試験パターン信号P1〜P4におけるピーク値
を測定する場合は、立上り時のタイミングTOに対応し
てタイミング発生回路13からタイミング信号Tをオペ
アンプ25のストローブ信号入力に対して与える。オペ
アンプ25はストローブ信号入力に与えられるタイミン
グ信号Tによって動作可能状態になり、抵抗22の両端
に発生した電圧を検出し、この検出した電圧DiをA/
D変換器15を介して制御部11に出力する。また、同
様に、試験パターン信号P1〜P4のタイミングT2に
おける消費電流工を測定する場合は、タイミングT2に
対応してタイミング発生回路13からタイミング信号T
をオペアンプ25に対して出力する。オペアンプ25は
前述したように、抵抗22の両端に発生した電圧を検出
し、この検出した電圧D1をA/D変換器1.5を介し
て制御部11に出力する。
For example, when measuring the peak values in the test pattern signals P1 to P4, the timing signal T is applied from the timing generation circuit 13 to the strobe signal input of the operational amplifier 25 in response to the timing TO at the rising edge. The operational amplifier 25 is enabled to operate by the timing signal T applied to the strobe signal input, detects the voltage generated across the resistor 22, and transfers this detected voltage Di to the A/
It is output to the control section 11 via the D converter 15. Similarly, when measuring the current consumption at timing T2 of the test pattern signals P1 to P4, a timing signal T is generated from the timing generation circuit 13 in response to timing T2.
is output to the operational amplifier 25. As described above, the operational amplifier 25 detects the voltage generated across the resistor 22 and outputs the detected voltage D1 to the control section 11 via the A/D converter 1.5.

このように、被測定IC30に印加する試験パターン信
号P1〜Pnに対応した消費電流工を測定することがで
きるため、電流消費ピーク値も平均的な消費電流工も測
定することができるようになる。
In this way, it is possible to measure the current consumption corresponding to the test pattern signals P1 to Pn applied to the IC 30 under test, so it is possible to measure both the current consumption peak value and the average current consumption. .

なお、この実施例ではオペアンプ25に対してタイミン
グ発生回路13からタイミング信号Tを出力して、ドラ
イバ14−1〜14−nにおいて発生する試験バタ・−
ン信号P1〜Pnの状態に応じた被測定IC30の消費
電流を検出し取り込むようにしているが、この発明の目
的を実現できるような回路構成であるなら本実施例に限
定されるものではない0例えば、オペアンプ25によっ
て常時検出するようにすると共に制御部11にタイミン
グ発生機能を持たせて、該タイミングに応じてオペアン
プ25から出力される検出電圧Diを取り込むようにし
てもよい。
In this embodiment, the timing signal T is outputted from the timing generation circuit 13 to the operational amplifier 25, and the test butter-- generated in the drivers 14-1 to 14-n is outputted to the operational amplifier 25.
Although the current consumption of the IC 30 under test is detected and taken in according to the states of the signal signals P1 to Pn, the present invention is not limited to this embodiment as long as the circuit configuration can realize the purpose of the present invention. For example, the operational amplifier 25 may perform constant detection, and the control unit 11 may be provided with a timing generation function, and the detection voltage Di output from the operational amplifier 25 may be taken in according to the timing.

また、電源供給及び電流検出回路20は、この実施例に
限定されるものではなく他の適宜の回路構成であっても
よい。
Furthermore, the power supply and current detection circuit 20 is not limited to this embodiment, and may have any other suitable circuit configuration.

また、この実施例ではオペアンプ25による検出電圧D
iをA/D変換器15を介して消費電流工を示すディジ
タルデータとして制御部11に与えているが、該検出電
圧Diを消費電流工を示すアナログのデータとして直接
読み取るようにしてもよい。
Further, in this embodiment, the detection voltage D by the operational amplifier 25 is
Although i is provided to the control unit 11 via the A/D converter 15 as digital data indicating the current consumption, the detected voltage Di may be directly read as analog data indicating the current consumption.

[発明の効果] 以上の通り、この発明に係るIC試験装置における測定
用電源装置によれば、被測定ICの各信号入力ビンに印
加される任意の試験パターン信号の状態に対応したタイ
ミングで消費電流を検出できるようにしたため、電流消
費ピーク値や試験パターン信号の状態に対応した消費電
流や平均的な消費電流も測定できるようになる。という
優れた効果を奏する。
[Effects of the Invention] As described above, according to the measurement power supply device in the IC testing apparatus according to the present invention, the power supply device consumes power at a timing corresponding to the state of an arbitrary test pattern signal applied to each signal input bin of the IC under test. Since the current can be detected, it is also possible to measure the current consumption peak value, the current consumption corresponding to the state of the test pattern signal, and the average current consumption. It has this excellent effect.

第1図は本発明に係るIC試験装置におりる測定用電源
装置の一実施例を示すブロック図、第2図は同IC試験
装置から被測定ICに対して印加される試験パターン信
号の一例を示すタイミングチャート、である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a measurement power supply device included in an IC test device according to the present invention, and FIG. 2 is an example of a test pattern signal applied from the IC test device to an IC under test. This is a timing chart showing the following.

11・・・制御部、12・・・ディジタル/アナログ変
換器、13・・・タイミング発生回路、】、4・・・試
験パターン信号発生ドライバ、】5・・・アナログ/デ
ィジタル変換器、16・・・電流バッファアンプ、20
・・・電源供給及び電流検出回路、21,24,25・
・・オペアンプ、22・・・抵抗、3o・・・被測定I
C。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11... Control part, 12... Digital/analog converter, 13... Timing generation circuit, ], 4... Test pattern signal generation driver, ]5... Analog/digital converter, 16. ...Current buffer amplifier, 20
...Power supply and current detection circuit, 21, 24, 25.
...Operational amplifier, 22...Resistance, 3o...Measurement target I
C.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被測定ICに電源を供給する電源供給手段と、前記被測
定ICに対する電源供給ラインに設けられ、電源供給ラ
インにおける電流を測定することにより前記被測定IC
における消費電流を検出する消費電流検出手段と、 前記被測定ICの各信号入力ピンに対応して試験パター
ン信号を発生し、印加する試験信号発生手段と を具え、前記試験信号発生手段において発生する試験パ
ターン信号の状態に応じた消費電流を前記消費電流検出
手段で検出することができるようにした測定用電源装置
[Scope of Claims] A power supply means for supplying power to an IC under test; and a power supply means provided in a power supply line for the IC under test, and measuring a current in the power supply line to control the IC under test.
current consumption detection means for detecting current consumption in the IC under test; and test signal generation means for generating and applying a test pattern signal corresponding to each signal input pin of the IC under test, the test signal generation means generating the test pattern signal. A measuring power supply device in which the current consumption detecting means can detect current consumption depending on the state of a test pattern signal.
JP63161100A 1988-06-30 1988-06-30 Power source unit for measurement of ic testing device Pending JPH0212074A (en)

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