JPH02118525A - 光電式ａｄ変換器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、請求項１の上位該念に記載の、複数の並列接
続された光導波体から成る干渉計を有する光電式ＡＤ変
換器に関する。

従来の技術 この形式の公知の光電式４ピツ）ＡＤ変換器は、エレク
トロオブチック位相変調器を有する４つの集積された光
学的なマッハーチェーンダー干渉計から構成されている
。干渉計は、レーザ光源が接続されている共通の入力側
を有している。この配置構成において、デジタル化すべ
き信号のそれぞれのビットに１つの干渉計が対応してい
る。アナログ入力信号は電気的な電圧として位相変調器
に加わる。位相変調器は最下位ビット（ＬＳＢ）から最
上位ビット（ＭＳＢ）にかけて長さが低減される電極ま
たは接点を有している。この長さはそれぞれ、ホトダイ
オードから干渉計出力側で記録される４つの干渉信号（
光強度の明／暗状態）がアナログ入力電圧をグレーコー
ドにおいて表示するように、選定されている（Ｚ−Ｅｌ
ｅｃｔｒｏｎｉｃ；　Ｌｅｔｔｅｒｓ、　１９８２年１
２月９日、　Ｖｏｌ、ＶＬ、１８．　ＮＯ，２５，第１
０９９−１１００頁）。

更に、位相変調器としてミラーの間に電気光学水晶体を
有する従来のファプリー−ペロー共振器が使用されてい
るエレクトロオプチックマルチステーブル素子が公知で
ある。光学的な共振器長は、変調器に加わる電圧によっ
て光電効果に関して制御される。変調器に伝送される信
号の帰還によってこの配置構成はマルチステーブルであ
る。すなわち連続的に変化して、共振器に入射する入力
光は自体段階的に変化する分離した伝送信号を発生する
。引用された論文においては１４の安定な段が発生され
た（　Ｚ−Ｏｐｔｉｃａｌ　Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　
１９　（４）　１９８０年、第４５６頁）更に、エレク
トロオプチック位相変調器への帰還路を有する集積され
た光学的マッハーツ工−ンダーー干渉計のバイステーブ
ル特性およびマルチステーブル特性Ｉこ関する研究が公
知である（Ｚ−ＩＥＥＥ　Ｊ、　Ｑｕａｎｔｕｍ　Ｅｌ
ｅｃｔｒｏｎ、　ＱＥ　１８（１２）１９８２年、第２
０９頁　）。

電子計算機構を用いて測定値をオンライン処理するため
に、ＡＤ変換器（ＡＤＣ）が必要である。ＡＤ変換器は
アナログの、時間に依存した測定信号を固定の時間間隔
において分離した出力信号に変換し、その際個々の測定
値に典型的には８ないし１６ビツト長さの２進コード化
された語が対応している。デジタル化の際に発生する情
報損失を低減するためにクロ・ンク周波数は出来るだけ
高くしかも語のビット長さは個々の測定値に対して出来
るだけ大きくなければならない。

ここ数年来開発された光導波体（グラスファイバ）セン
サによってフィルタリングされるような光信号を変換す
るために、ＡＤ変換も光学的または電気光学的に実施出
来れば有利であろう。

バイステーブル電子フリップ７０ツブを用いた従来の２
進コード化とは異なって（エレクトロ）オプチックマル
チステーブル特性により、多桁のコード化および現在話
題の、光計算機における多桁の論理回路を考慮した場合
も重要になる見通しがある。多値コード化により、変換
のために必要な、ＡＤＣのモジュールの数が低減される
ことになる。周波数帯域幅がＧＨｚ領域にある集積され
たエレクトロオプチツク変調器を使用すると更に、非常
に高いサンプリング周波数が可能になる。

発明が解決しようとする問題点 本発明の課題は、冒頭に述べた形式の光電式ＡＤ変換器
を用いて、連続的に変化する、光強度または電圧の形の
入力信号を連続的に分離した出力状態に変換しかつそれ
らを２進またはマルチステーブル特性を利用して例えば
１６進または１０進コード化して出力する手段を提供す
ることである。

問題点を解決するだめの手段 この課題は本発明によれば請求項１の特徴部分に記載の
構成によって解決される。

有利な構成はその他の請求項に記載されている。

実施例 次に本発明を図示の実施例につき図面を用いて詳細に説
明する。

以下に説明するＡＤＣは、ＡＤＣ基本モジュルとして相
互結合されたマルチステーブル干渉計の系から成ってお
り、その際構成のために、単一モードのグラスファイバ
の形または集積された光学系に基づいた光導波体が使用
される光学的ＡＤＣの基本要素は、出力信号が位相変調
器に帰還されるマイケルソンまたはマツ／％−ツェーン
ダーー干渉計であり、位相変調器は２つの干渉計アーム
の１つの光学的な距離長に影響を及ぼす（例えばグラス
ファイバの機械的な伸長によって）。第１図はこのこと
を、ファイバ１４の部分を機械的に伸長することができ
る圧電式位相変調器２６を有する、単一モードグラスフ
ァイバから構成されたマイケルソン干渉計を例として示
している。レーザ２　（Ｈｅ−Ｎｅまたは半導体レーザ
ダイオード）からの光束は集束光学系６（例えば顕微鏡
対物レンズ）を用いて干渉計の入力側アームに入力結合
される。光アイソレータ４は、不安定状態を惹き起こし
兼ねない、レーザにおける逆反射を抑圧する。入力光波
はファイバオブチックビームスプリッタ１０（３ｄＢカ
ツプラ）においてそれぞれ５０％づつ基準アーム１２お
よび信号アーム１４に入力結合され、そこで部分波は鏡
面化された端面１６および１８からビームスプリッタ１
０に逆反射される。ビームスプリッタにおける重畳によ
り、２つの干渉計アーム間の光学的な距離差に依存する
光出力２士の形の干渉信号が生じる。干渉信号Ｐ＋は干
渉計の出口ポート２０において変換係数Ｋを有するホト
ダイオード２２によって比例する電圧に変換され、かつ
係数ｇだけ増幅されて（増幅器２４）制御電圧Ｕとして
時定数ででもって遅延時間Ｔ後に（この実施例では圧電
式）位相変調器２６に加えられる。電圧Ｕ（Ｐ＋に比例
する）は同時にこのＡＤＣモジュールの出力信号である
。Ｐ　は光アイソレータ４によってレーザダイオードに
対帰還に基づいて、変調器電圧は時間ｔについして阻止
される。

この装置の定常的な特性は、２アーム干渉計の出力電力
に対する次の式から得られる：ただし際伝達係数Ｔおよ
び変調指数μ（干渉コントラスト）は光導波体の２重屈
折率、カップラー（ど−ムスプリツタ）の分割比（反射
率）および入力ないし出力結合された光波の偏光によっ
て決められる。Φ５は、端子２８における基本電圧Ｕ、
によって位相変調器において設定することができる一定
の位相項である。±極性は、干渉計の２つの出力信号間
のπの位相ずれに相応する。第１図においてＰ＋は出力
信号と見なされる。ΔΦ＝πＵ（ｔ）／Ｕπは、変調器
によって制御される、２つの干渉計アーム間の位相差、
従って変調器電圧の関数Ｕ（ｔ）でありＵ＝Ｕπに対し
てΔΦ−にである。

て光出力の関数として表すことができる：Ｕ Ｕ　（ｔ　）　−ｋ　ｇ　Ｆ　（１）　＋−でｄｔ　　
　（２）右辺の第２項は、集積された光変調器において
ｒ：ｌｎｓのオーダにある帰還系の有限時定数ｔを考慮
したちのでる。圧電式変調器を使用した場合には、この
要素の機械的共振特性のために一層高次の、Ｕにおける
導関数を考慮しなければならない。

式（２）を式（１）に代入することによって、電気−光
学的な帰還路を有するマツハーツェーンダーまたはマイ
ケルソン干渉計のダイナミック特性を表す差分微分方程
式が得られる：ｄｕ　　　　　　　　　Ｇ ｒ−＋ｕ（１）＝　　　［１＋、ｕｃｏｓ（ｒ（Ｕ（１
−Ｔ）＋Ｕｂ））］　　（３）ｄｔ　　　　　　　ｌ十
μ その際Ｔは帰還遅延時間であり（伝達係数Ｔと混同すべ
きでない）、Ｇ＝ｋ　ｇＰｏＴ／Ｕπおよびｕ　（ｔ）
　＝　Ｕ　（ｔ　）／　Ｕ　ｒ　、　ｕ　ｂ　＝　Ｕ　
ｙｒ　／　Ｕがディメンションのない電圧として導入さ
れた。方程式（３）はＤＥＶＬＲ−Ｍｉｔｔ　（レポー
ト）、８７／２１においてマルチ安定性を考慮して求め
られた。ここでは第１に定常的な特性に関心がある。そ
れは次の関数式： ％式％（４） によって表される。第２図は、定常的な固定点Ｕ車を比
例係数Ｇの関数として示している（入力電力Ｐ０および
増幅度ｇに比例している）。

この曲線の特徴は、Ｇに依存した系の定常的な出力信号
Ｕ＊のヒステリシス特性である。Ｐｏを連続的に高めて
いくと出力信号は、Ｐｏの所定の値において一段高いレ
ベルにジャンプするまでほんの僅かしか増大しない。所
定のレベルにおいてこの過程は繰り返される。ディメン
ションのない出力電圧の平坦部間の間隔は約Δｕ＊ｚ２
である。個々のマルチステーブル要素のデジタル分解能
に対する見積もりは、式（４）における余弦項を−１に
よって近似することによって、Ｇ（ｕ＊）の極大値を用
いて得られる： 従ってＧにおける分解能（第２図のヒステリシス曲線の
“上昇”分岐の勾配）は、変調指数μ（干渉コントラス
ト）によって決まる。

第２図に示されているように、式（３）の定常解は所定
の条件下においてのみ安定である（ＤＥＶＬＲ−Ｍｉｔ
ｔ、　８７　／２１　、第２４３頁）。帰還系の非直線
性は、あるＧ値、所謂分岐点から、最初出力信号の周期
的な特性を示し終りには出力信号のランダムな特性を来
す。定常解の安定領域は、帰還の遅延時間Ｔの、変調器
時定数τに対する比によって決まってくる：Ｔ／τが小
さければ小さい程、安定した解Ｕ＊に対するＧ領域はま
すます大きくなり、かつ相応にＵ＊中に一層多くのジャ
ンプが可能である（例えばμｍ　０．５　；Ｔ／τ−１
Ｏ＝領域Ｇ＝Ｏ・・・２００において４６回のジャンプ
）。マルチ安定性に対して一般にＴ／τ（ｌでなければ
ならない。

圧電式位相変調器を介した帰還路を有するファイバオプ
チックマルチステーブル干渉計により、τの適当な選択
（例えばＰＺＴ２６に並列に接続されている容量３０に
よって設定可能である：例えばＴχｌＯμＳにおけるτ
＝ＩＱ−３３）および申し分なく小さい変調指数μにお
いて、出力信号中に基本的に非常に数多くの分離した段
が許容される。

小型化を考慮した場合、ＡＤＣに対して有利にはエレク
トロオプチック位相変調器を有する集積された光学的干
渉計が使用される。Ｔｉ拡散された導波体を有するＬｉ
ＮＢ結晶をベースとしたこの種の構成要素は公知である
。この種の集積された光学的なチップの別の利点は、線
形のエレクトロオブチック効果を介して可能になる、Ｇ
Ｈ２領域に至るまでの高い変調周波数である。

第３図は、２つの縦統接続されたマッハーツェーンダー
ー干渉計３１０．３３０から成る、光電ＡＤＣの基本要
素の実施例を示している。

入口ポート３２および出口ポート３４を有する第２の干
渉計３３０はマルチステーブル要素であり、一方第１の
干渉計３１０はエレクトロオプチック位相変調器として
用いられる。２つの干渉計３１０．３３０は電極３１１
，３１２゜３１３ないし３３１，３３２．３３３を介し
て制御可能である。電極３１１．３１２ないし３３１．
３３２は並列に接続されておりかつ入力端子７０ないし
４６に接続されている。電極３１３は正のバイアス電圧
（＋）に接続されており、一方電極３３３はアース接続
されている。

端子７０に電圧パルスが加わることでポート７２に入力
結合される光入力Ｐ０は、ポート３２に供給されるデジ
タル化すべきアナログ信号として周期的に遮断されて、
それによりマルチステーブルな干渉計３３０を新たなデ
ジタル化に対してその都度Ｏにセットする。詳細につい
ては後に第５図を参照して詳しく説明する。これによっ
て、デジタル化に対する第２ｒＭに図示のＧ−ｕ＊−特
性曲線の“上昇“分岐におけるジャンプが利用される。

マルチステーブルマツハーツエーンタ−一干渉計の伝達
特性曲線はマイケルソン干渉計の伝達特性曲線同様に式
（１）ないしく３）によって表され、その際ここてはＰ
＋はホトダイオード３６に達し、一方Ｐ　はサブストレ
ートによって吸収される。第２のマルチステーブル干渉
計３３０の入力方向性結合器に入力結合された光出力に
対する分岐比、従って干渉コントラストμは、不均等な
直径または分岐角度によって惹起す、干渉計アーム３８
．４０の非対称性によって決まる。ホトダイオード３６
および増幅器４２を、干渉計３１０，３３０と同一チッ
プに集積することが考えられるが、必ずしも必要でない
。ホトダイオード３６の出力側は増１１１１８４２に接
続されており、この増幅器の出力信号は干渉計３３０の
２つの電極３３１．３３２に加えられる。端子４４には
オフセット電圧Ｕｂが加わる。端子４６においてデジタ
ル化された出力信号Ｕが取り出される。増幅器における
遅延に基づいたこの配置構成における帰還遅延時間が時
定数τより大きい場合この時定数は、十分に小さなＴ／
τによって干渉計の安定した状態の所望な数を得るため
に、適当な手段によって増加されなければならない。

第４図の実施例において電気的なアナログ信号のデジタ
ル化のために一定の強度の光がレーザダイオード６８か
ら第１の干渉計３１０の入口ボート７２に入力結合され
る。端子７ｏに電気的なアナログ信号Ｕ、が加えられる
。第２のｒｌ のマルチステーブル干渉計３３０の出力側はこの場合例
えば、レーザダイオード６８の周期的な遮断によってそ
の都度の測定サイクルの前に零にセットすることができ
る。エレクトロオプチックスイッチまたは変調器として
作用する第１の干渉計３１０に対して、μｍＴ−１であ
る。中間電極３１３は一定の正のバイアス電圧（＋）に
保持され、その結果Φ８−π／２、従って動作点は特性
曲線の急峻な部分にある。その場合端子７０における小
さな電圧変化は、ΔΦ（Ｕ　　）を介して干渉計３１０
の比例する出力変化、従ってマルチステーブル干渉計３
３０の入力の変化を発生する。

第３図および第４図を参照して既に説明したように、個
々のマルチステーブル干渉計は、それ自体連続的に変化
する入力信号を分離した出力状態（光強度または電圧）
に変化することができ、その際最大数は理論的に干渉コ
ントラストμおよび系の特徴を表わす時間によって規定
される。その上実際には安定した状態の最大数は、変調
器によって実現可能な最大位相偏移によって制限される
。次に高い状態へのジャンプの度に、ΔΦ＝２πｒａｄ
の位相偏移を必要とする。

グラスファイバ干渉計における圧電式変調器によって機
械的なファイバ伸長を介して１００以上の分離した状態
を取ることができる一方、エレクトロオプチック変調器
は、とりわけエレクトロオプチック位相変調器の電極長
さに依存して、ジャンプの最大数はｌオーダ小さくなる
。この観点から、マッハーツェーンダーー装置に代ワっ
てマルチステーブルマイケルソン干渉計を使用すれば有
利である。その理由は同じ変調器電圧において光波の位
相偏移がマイケルソン干渉計の場合の２倍の高さである
からである。

安定した状態の数が増大するに従ってＴ／τは小さくな
ければならないので、従って必然的に装置の速度も低下
する。高速変換は２進コード化において２つの安定した
状態によって実現することができ、その際その場合使用
されるビット数はＡＤＣにおける干渉計の数に等しい。

実際には出来るだけ高い数値のコード化と高い変換速度
との間に妥協的解決が計られる。

上記の理由から多値のコード化の場合例えばｌＯビット
ＡＤＣの構成は複数のマルチステーブル干渉計をカスケ
ード接続する必要がある。

第５図は、３つの結合された要素を例にしたＡＤＣの構
成を示している。カスケード接続されたマルチステーブ
ル要素２４８，２４９，２５０を有する構成ユニット１
４８に、エレクトロオプチックスイッチ１５１を有する
構成ユニット５０およびグラスファイバオプチックヵッ
プテまたは集積されている１×３−光力ッズラＩ５３を
有する構成ユニット１５２が前置接続されており、その
際カップラはその入力側１５４に供給される、デジタル
化すべき入力光強度を３つの干渉計２４８．２４９．２
５０に均一に分配する。これら３つの構成ユニットのす
べての要素は唯一の集積された光チップ上に収容するこ
とができる。

３つの干渉計２４８，２４９．２５０は、帰還増幅度ｇ
および干渉コントラストμによって相異している。これ
により干渉計は、入口ポート６０に供給されるアナログ
光入力信号Ｐ、をｎ をそれぞれ種々異なった分解能でデジタル化する。比μ
ａ／μｂ／μｃおよびｇ　ａ／ｇ　ｂ／ｇ　ｃは例えば
、１０進系におけるアナログ値がコード化されて出力側
２７０，２７１．２７２に現れるように選択することが
できる。このために例えば値は、ｌＯ進コード化された
ＡＤＣの帰還増幅度ｇおよび変調指数μに対する可能な
値組み合わせの次の表に従って設定することができる。

これらの値において干渉計２４９は干渉計２５０より１
０倍高い光出力において、また干渉計２５０は１００倍
高い光出力において次に高い安定状態にジャンプする。

３つの干渉計は電気的に次のように接続されている。す
なわち比較的高い数値の干渉計（例えば２４９）のジャ
ンプの際、ホトダイオード２６７から送出される相応の
電圧値が、帰還回路２６８Ｉこおいてオフセット電圧と
して、比較的低い数値の干渉計２５０の増幅器２６２を
介してその並列に接続されている電極２６５に加わる実
際の変調器電圧から減算されるように接続される。この
接続関係によって干渉計２５０および２４９の変調器電
圧は入力光強度Ｐ　が連続的に高められると１０番目の
ジャンプの都度初期値ヘリセットされる。アナログ入力
信号はこの配置構成によってｌＯ進コード化において最
大９９９のインクレメントに分割することができる。電
極に加わる電圧は３つの干渉計それぞれにおいて取り出
されかつデジタル指示される。従って１０進指示は００
０ないし９９９の領域を含んでいる。

上述の実施例ではデジタル化すべきアナログ信号はマル
チステーブル要素の既述のヒステリシス特性曲線に基づ
いてその都度新たなデジタル化の前にＯにリセットされ
なければならない。従ってデジタル化はその都度、電圧
−増幅度−特性曲線（第２図）の“上昇”ヒステリシス
分岐において実施される。リセットは、リセット接続端
子５１を介してスイッチ１５１の電極５２に周期的にク
ロック制御されて加えられるリセット電圧を介して行わ
れる。リセットは、干渉計２４８．２４９．２５０の２
つの並列接続された電極を、有利にはアース電位を有す
るそれぞれ第３の電極２７３，２７４．２７５の電位に
接続することによっても可能である。これによってスイ
ッチ１５１を介した導通が阻止されるかないし干渉計２
４８．２４９および２５０はその都度０にセットされる
。

装置を変形すればデジタル化のために“下降”ヒステリ
シス分岐も利用できる。この場合、その他は同じパラメ
ータにおいて“上昇”ヒステリシス分岐における動作に
比べて数倍の安定した状態を実現可能であるという利点
が生じる。更にマルチステーブル干渉計２４８．２４９
２５０はその都度のデジタル化クロックの前にＯにでは
なくてスイッチ１５１を介して最大入力強度に切り換え
ることができる。この目的のためにエレクトロオプチッ
クスイッチ１５１に、デジタル化すべき光信号に代わっ
て、その都度のデジタル化過程の前に遮断される一定の
十分に高い光出力（例えばレーザダイオード２７８から
の）が入力結合され、その結果その後アナログ入力信号
のく比較的低い）信号レベルのみが更にマルチステーブ
ル干渉計２４８．２４９．２５０において生じる。この
アナログ入力信号（Ｐ′ＩＮ）はスイッチ１５１の後に
おいて接続されている２×３カツプラー１５３に対する
付加的な入口ボー）６１に入力結合される。

゛下降”ヒステリシス分岐における動作の際のリセット
は、干渉計２４８，２４９．２５０の電極２６３，２６
４．２６５を周期的にクロック制御されて、期待される
信号レベルより高い電圧レベルに接続することでも可能
である。

“上昇”分岐の勾配に比して、マルチステーブル干渉計
（すなわち式（５）に相応するデジタル分解能）のｕ”
−Ｇ−特性曲線（第２図）の“下降”ヒステリシス分岐
の勾配は干渉コントラストμに依存しないので、ＡＤＣ
の種々の干渉計の種々異なったデジタル分解能をこの場
今別の形式で設定しなければならない。この目的のため
に種々異なった長さの電極２６３，２６４．２６５を有
する個々の干渉計２４８，２４９．２５０をエレクトロ
オブチック変調器に設けることができる。その際最高の
分解能を有する干渉計は最長の電極を有している。これ
により式（３）においてＵｘは小さくなる。そこで値対
（ｇ、μ）に代わって“上昇”ヒステリシスの使用の際
所望のコード化（２進、１６進ｌＯ進）の際に対（ＡＤ
Ｃの個々の干渉計に対するｇ＋Ｕπ）が相応に設定され
る。

第５図の回路は基本的に、第４図を参照して原理的に説
明したように、アナログ電気信号の高分解、能での指示
のためにも使用することができる。この場合信号はスイ
ッチ１５１の電極５２の入力端子５１に加わり、一方ス
イッチ１５１の入口ボート６０を介して周期的にクロッ
ク制御される光信号がスイッチに加えられる。

その他の規定のリセット方法のいずれかを使用すること
もできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、光学的ＡＤＣの基本要素としてファイバオプ
チック式マイケルソン干渉計とその接続関係を示す図で
あり、第２図は、比例係数の関数としての出力強度の定
常的な値を有する典型的なヒステリシス曲線の特性図で
あり、第３図は、可変の光強度が加えられるＡＤ変換器
の要素を暗示する図であり、第４図は、可変の入力電圧
が加えられるＡＤ変換器の要素を第３図同様に示す略図
であり、第５図は、３つの並列なマルチステーブル干渉
計を有するＡＤ変換器の原理を示す略図である。 １５１・・・入力干渉計、２４８，２４９，２５０・・
・干渉計、５２，２６３，２６４，２６５゜２７３．２
７４．２７５・・・電極、２７８・・・光源→謬四〜 ψ →賑−ま

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、単一の入力側光源によって作動されるようになって
   いる、複数の並列接続された光導波体から成る干渉計を
   有する光電式ＡＤ変換器であって、干渉計アームの光学
   的距離長は該干渉計アームに並列に配設されている電極
   間の電界によって決められておりかつ干渉計それぞれに
   、ホトダイオードが後置接続されており、該ホトダイオ
   ードによってその都度干渉計の出力信号が電圧に変換さ
   れ、該電圧が増幅されかつ指示される形式のものにおい
   て、複数の並列なマルチステーブル干渉計（２４８、２
   ４９、２５０）の共通の入力側（１５４）に、共通の入
   力側干渉計（１５１）が前置接続されており、該入力側
   干渉計は入力側光源によって制御されかつ電気的な入力
   電圧（５１）が印加可能である電極（１５２）を有して
   おり、かつ前記並列な干渉計において、個々の干渉計（
   ２４８、２４９、２５０）のホトダイオード（２６７）
   の増幅された出力電圧はその都度その電極（２６３、２
   ６４、２６５）に加えられかつ高い数値の干渉計（２４
   ９）のホトダイオードの出力電圧は付加的に、該干渉計
   に比べて低い数値の干渉計（２５０）の増幅器（２６２
   ）にオフセット電圧として供給され、かつ個々の増幅器
   の出力電圧はそれぞれデジタル信号として取り出されか
   つ該デジタル信号から符号化された出力信号が形成され
   かつ周期的にタイミング制御されるリセット信号の発生
   のための手段が設けられていることを特徴とする光電式
   ＡＤ変換器。 ２、入力側干渉計は一定の強度の光源によって制御され
   るようになっておりかつ該干渉計の電極にアナログ電圧
   が加わることを特徴とする請求項１記載の光電式ＡＤ変
   換器。 ３、入力側干渉計（１５１）は可変の強度の光源（２７
   ８）によって制御されるようになっておりかつ該干渉計
   の電極（５２）に光路を遮断するためのタイミング制御
   される電圧が加わることを特徴とする請求項２記載の光
   電式ＡＤ変換器。 ４、並列な干渉計（２４８、２４９、２５０）は、干渉
   計アームの非対称性によって生じる干渉コントラストμ
   ＜１を有していることを特徴とする請求項１記載の光電
   式ＡＤ変換器。 ５、並列な干渉計（２４８、２４９、２５０）の電極（
   ２６３、２６４、２６５）は同じ長さを有していること
   を特徴とする請求項１記載の光電式変換器。 ６、並列なマルチステーブル干渉計（２４８、２４９、
   ２５０）の電極によって発生される電界は周期的に出発
   値にリセット可能であることを特徴とする請求項１記載
   の光電式ＡＤ変換器。 ７、リセット信号を発生するために、並列なマルチステ
   ーブル干渉計（２４８、２４９、２５０）の制御可能な
   電極（２６３、２６４、２６５）の電位を前記干渉計の
   それぞれ第３の電極（２７３、２７４、２７５）に切換
   えることができる手段が設けられていることを特徴とす
   る請求項６記載の光電式ＡＤ変換器。 ８、リセット信号を発生するために、並列なマルチステ
   ーブル干渉計（２４８、２４９、２５０）の制御可能な
   電極（２６３、２６４、２６５）の電位を、変換器の入
   力信号の最大信号レベルより大きいレベルに高めること
   ができる手段が設けられていることを特徴とする光電式
   ＡＤ変換器。 ９、リセット信号を発生するために、並列なマルチステ
   ーブル干渉計の共通な入力側に周期的に作用する一定の
   光強度の光源（Ｐ′＿Ｉ＿Ｎ）が設けられており、該光
   源の光出力は有効光信号（Ｐ＿ｉ＿ｎ）より高いことを
   特徴とする請求項５記載の光電式変換器。