JPH02116738U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02116738U JPH02116738U JP2625289U JP2625289U JPH02116738U JP H02116738 U JPH02116738 U JP H02116738U JP 2625289 U JP2625289 U JP 2625289U JP 2625289 U JP2625289 U JP 2625289U JP H02116738 U JPH02116738 U JP H02116738U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- detecting
- test object
- rocking lever
- cassette
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
Landscapes
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
第１図〜第５図は本考案に係る実施例を示し、
第１図は第１の実施例の斜視図、第２図はその平
面図、第３図は第２図の−線矢視縦断面図、
第４図は被検体の取付け部の１例を示す部分拡大
断面図、第５図は第２の実施例の要部斜視図、第
６図は従来例を示す要部斜視図、第７図は第６図
の要部断面図である。 １……カセツト受け台、２……ガイド、３……
検知用揺動レバー、７……被検体、８……検知器
、１０……ウエハカセツト。
第１図は第１の実施例の斜視図、第２図はその平
面図、第３図は第２図の−線矢視縦断面図、
第４図は被検体の取付け部の１例を示す部分拡大
断面図、第５図は第２の実施例の要部斜視図、第
６図は従来例を示す要部斜視図、第７図は第６図
の要部断面図である。 １……カセツト受け台、２……ガイド、３……
検知用揺動レバー、７……被検体、８……検知器
、１０……ウエハカセツト。
Claims (1)
- カセツト受け台上に所定の間隔で立設された一
対のガイド間に架設され、それ自体が上下動およ
び回動自在に支持された検知用揺動レバーと、該
揺動レバーの中間部に固定され、該揺動レバーを
回動させる際の支点を有する被検体と、被検体を
検出するための検知器とを具備し、ウエハカセツ
トが揺動レバー両端部を同時に押し下げた時のみ
ウエハカセツトの存在を検知するようにしたこと
を特徴とするウエハカセツトの位置決め検知装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2625289U JPH0713222Y2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | ウエハカセットの位置決め検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2625289U JPH0713222Y2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | ウエハカセットの位置決め検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02116738U true JPH02116738U (ja) | 1990-09-19 |
| JPH0713222Y2 JPH0713222Y2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=31247714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2625289U Expired - Lifetime JPH0713222Y2 (ja) | 1989-03-07 | 1989-03-07 | ウエハカセットの位置決め検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0713222Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-03-07 JP JP2625289U patent/JPH0713222Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0713222Y2 (ja) | 1995-03-29 |