JPH02116732U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02116732U JPH02116732U JP2467389U JP2467389U JPH02116732U JP H02116732 U JPH02116732 U JP H02116732U JP 2467389 U JP2467389 U JP 2467389U JP 2467389 U JP2467389 U JP 2467389U JP H02116732 U JPH02116732 U JP H02116732U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- growth chamber
- wafer
- barrel
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を説明する気相成長
装置の断面図、第２図は成長室の円筒部を展開し
た図、第３図１〜４は回転に伴うガス導入口とウ
エハの向き及び位置の相対関係を示す断面図、第
４図１〜４は回転に伴う成膜状態を示す断面図、
第５図は従来例を説明する気相成長装置の断面図
、第６図は従来例の成長ガス流を示す断面図、第
７図は従来例のウエハ内膜厚分布を示す平面図で
ある。 図において、１はシリンダ型成長室、１１Ａは
ガス導入口、１２は排気口、２は被成長ウエハ、
３はバレル型サセプタ、４はモータ、である。
装置の断面図、第２図は成長室の円筒部を展開し
た図、第３図１〜４は回転に伴うガス導入口とウ
エハの向き及び位置の相対関係を示す断面図、第
４図１〜４は回転に伴う成膜状態を示す断面図、
第５図は従来例を説明する気相成長装置の断面図
、第６図は従来例の成長ガス流を示す断面図、第
７図は従来例のウエハ内膜厚分布を示す平面図で
ある。 図において、１はシリンダ型成長室、１１Ａは
ガス導入口、１２は排気口、２は被成長ウエハ、
３はバレル型サセプタ、４はモータ、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 排気口１２と複数のガス導入口１１Ａとを持つ
シリンダ型の成長室１と、該成長室内に設けられ
、側面に被成長ウエハ２を保持するバレル型サセ
プタ３と、該サセプタ３をバレルの軸の回りに回
転させる手段と、該サセプタ３を加熱する手段と
を有し、 該サセプタ３の回転軸は該成長室１のシリンダ
軸より傾斜して構成され、該ガス導入口１１Ａは
回転するウエハ２の中心が描く軌跡に対向した位
置に設けられていることを特徴とする気相成長装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2467389U JPH02116732U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2467389U JPH02116732U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02116732U true JPH02116732U (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=31244727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2467389U Pending JPH02116732U (ja) | 1989-03-03 | 1989-03-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02116732U (ja) |
-
1989
- 1989-03-03 JP JP2467389U patent/JPH02116732U/ja active Pending