JPH02113145U - - Google Patents
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- JPH02113145U JPH02113145U JP2235989U JP2235989U JPH02113145U JP H02113145 U JPH02113145 U JP H02113145U JP 2235989 U JP2235989 U JP 2235989U JP 2235989 U JP2235989 U JP 2235989U JP H02113145 U JPH02113145 U JP H02113145U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- probe gas
- standard
- leak device
- leakage
- Prior art date
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- Pending
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- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2235989U JPH02113145U (de) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2235989U JPH02113145U (de) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02113145U true JPH02113145U (de) | 1990-09-11 |
Family
ID=31240405
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2235989U Pending JPH02113145U (de) | 1989-02-27 | 1989-02-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02113145U (de) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014080798A1 (ja) * | 2012-11-21 | 2014-05-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 |
| JP2015519580A (ja) * | 2012-06-14 | 2015-07-09 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 検査用気体容器を有する検査装置 |
| JP2015537209A (ja) * | 2012-11-05 | 2015-12-24 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 漏れ検出システムを検査する方法 |
| JP2016528492A (ja) * | 2013-08-02 | 2016-09-15 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 一体化された圧力センサを備える漏洩試験器 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3516278A (en) * | 1967-04-17 | 1970-06-23 | Euratom | Apparatus for producing calibrated leaks |
| JPS6122245A (ja) * | 1984-07-10 | 1986-01-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 湿度センサ |
-
1989
- 1989-02-27 JP JP2235989U patent/JPH02113145U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3516278A (en) * | 1967-04-17 | 1970-06-23 | Euratom | Apparatus for producing calibrated leaks |
| JPS6122245A (ja) * | 1984-07-10 | 1986-01-30 | Sanyo Electric Co Ltd | 湿度センサ |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015519580A (ja) * | 2012-06-14 | 2015-07-09 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 検査用気体容器を有する検査装置 |
| JP2015537209A (ja) * | 2012-11-05 | 2015-12-24 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 漏れ検出システムを検査する方法 |
| WO2014080798A1 (ja) * | 2012-11-21 | 2014-05-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 |
| JPWO2014080798A1 (ja) * | 2012-11-21 | 2017-01-05 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 |
| JP2016528492A (ja) * | 2013-08-02 | 2016-09-15 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＩｎｆｉｃｏｎ ＧｍｂＨ | 一体化された圧力センサを備える漏洩試験器 |
| US10101237B2 (en) | 2013-08-02 | 2018-10-16 | Inficon Gmbh | Test leak device having integrated pressure sensor |