JPH0211221B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、一個又は複数個のウエハー片が詰
まつた板チヨコの製法に関する。板チヨコの中に
はウエハー片がチヨコレートに囲まれている。特
にウエハー断片は個々のリブの中に入つており、
相互にチヨコレートブリツジによつて結合されて
いる。

このような板チヨコは所謂板チヨコ製造装置
（Eintafelanlage）で作られる。この板チヨコ製
造装置中で鋳型の窪みがチヨコレートで被われ、
次にウエハーが鋳型の窪みに入れられ、そして鋳
型にチヨコレートが注入される。ウエハーの形は
チヨコの窪みに対応し、ウエハー片は、ウエハー
枚葉体の破砕によるか又はウエハーブロツクに合
体されたウエハー枚葉体の破砕によつて得られ
る。その場合に使用されたウエハー枚葉体は一般
に矩形で、非常に薄く、偏平に形成された脆い焼
成品で、氷ウエハー、クリーム詰ウエハー切片用
にも使われるものである。

そのように作られた板チヨコ外観は好ましく、
チヨコレートからウエハー片が突出していないよ
うにするために、即ちすべてのウエハー片は全面
的にチヨコレートに囲まれているようにするため
には、個々のウエハー片を極めて正確に鋳型のそ
れぞれの凹所の中の正しい位置に入れる必要があ
る。

この目的のためにこの発明はウエハー片に切込
まれたウエハーを板チヨコ製造装置に仕込むため
の方法と装置を提供する。

詳細に言うと、この発明はウエハーを詰めた板
チヨコを製造するための装置の板チヨコ鋳造装置
に切断ウエハー片を供給するための方法であり、
鋳型は相前後して直線状に搬送され、ウエハー片
は板チヨコの形成のために用意された、相隣接し
且つ相前後して設けられた、鋳型の凹所に、鋳型
がチヨコレートの層で被われた後に挿入される。
その特徴は次の点にある。即ち切断装置から横に
も縦にも相隣接して送り出されたウエハー片が先
ず鋳型の輸送方向に逆行して移送され、次に横に
窪みの横の間隔迄、そして縦方向に連続する窪み
の縦の間隔迄相互に引き離され、結局運動方向を
転換して鋳型の運動と同期して鋳型の窪みに挿入
され、更に鋳型をこえる、ウエハー片の縁部がそ
れぞれのウエハー片の局所的圧縮によつて鋳型の
縁部の下へ押し込まれるのである。この発明の方
法によつて、一枚のウエハー或いは上下に重なつ
たウエハー枚葉から形成されたウエハーブロツク
の破砕によつて得られた個々のウエハー片は正確
且つ位置正しく板チヨコ鋳型の窪みに挿入され
る。

この発明の方法の一変形によれば、相隣接する
ウエハー片がその運動中鋳型の搬送方向に反して
先ず横に相互に引き離され、次にウエハー片の最
前列の各前端部が鋳型の搬送方向に対して垂直方
向に一線上に整えられ、次にウエハー片はその運
動方向で鋳型の窪みの縦の間隔迄相互に引き離さ
れて、続いて運動方向を転換して鋳型の運動と同
期して鋳型の窪みに挿入される。

この発明の方法の変形例は、相隣接するウエハ
ー片がその運動中鋳型の搬送方向に逆らつて縦方
向にくぼみの縦の間隔迄相互に引き離され、運動
方向転換中に始めて横方向に窪みの側面の間隔迄
相互に引き離され、続いて窪みに挿入されるとい
うものである。

個々のウエハー片の運動が一様でない場合も、
板チヨコ鋳型に対して正確で且つすべてのウエハ
ー片にとつて変わらない位置を得るために、この
発明による方法は、ウエハー片を、縦方向に相互
に引き離す前に停止させる。

この発明は更に、切断されたウエハー片を供給
装置上で相前後して搬送される板チヨコ鋳型に供
給するための装置にも関するものである。前記鋳
型は板チヨコ用に設けた窪みを有し、この窪みに
ウエハー片を挿入する。前記装置の特徴は次のよ
うなものである。即ち鋳型供給装置の上方に、相
互に隣接して鋳型の運動方向に逆らつて搬送され
たウエハー片開拡装置を設け、この装置に鋳型の
供給装置によつて駆動される引渡し装置が接続し
ており、開拡装置は引渡し装置迄通じる管路を有
し、その管路の側方間隔は窪みの側方間隔に対応
し、更に鋳型上にのつて、ウエハー片を鋳型中に
押し込むローラが、引渡し装置に鋳型の運動方向
に後続している。この装置によつて、たとえば緩
衝帯域或いはそれに類似のものから押し出された
ウエハー片を位置正しく板チヨコ鋳型に挿入する
ことができる。その場合ウエハー片を緩衝帯域か
ら押し出す送りはウエハー片をこの発明による装
置の、引渡し装置の中まで入れるために利用され
る。

この発明の別の特徴は、引渡し装置が開拡装置
の延長部に設けられた、ウエハー片用載置板、こ
の載置板の端部領域に設けられた移動、特に回動
するウエハー片用ストツパー、載置板の下で移動
する、鋳型の窪みに併設されたウエハー片保持部
材を支持する回動無端ウエハー片支持体及び場合
によつてはウエハー片支持体用浄化装置を有し、
開拡装置は端部に特にウエハー片を収容する管路
の底部を形成する搬送装置を有し、この搬送装置
がウエハー片を載置板を介して移動ストツパーの
方迄供給する。この構成で開拡装置に後続する搬
送装置によつてウエハー片を一様に送ることがで
きる。この送りによつて、ウエハー片がウエハー
片支持体の保持部材に捕捉されて一緒に運ばれる
場合には移動可能なストツパーと共に連続するウ
エハー片の一様な位置占が保証される。ウエハー
片はウエハー片支持体の保持部材によつて固定さ
れるや否や、板チヨコ鋳型の窪みに入れるための
正しい相対的位置にくる。

保持部材はこの発明によつて、ストツパーに接
触する際にウエハー片を捕捉する、特に移動する
クランプとして構成することができる。

この発明の別の特徴によれば、保持部材はウエ
ハー片に挿入可能な針である。これらの針はこの
発明の別の特徴によれば、ウエハー片支持体中に
沈め且つそこから出すことができる。更に、各ウ
エハー片即ち鋳型の各窪みに、横断面が長方形の
針を併設してある。

更にこの発明では、各ウエハー片即ち鋳型の各
窪みにそれぞれ二本の針を併設することができる
ようにする。このようにして、特にウエハー片が
長い場合に、ウエハー片がウエハー片支持体に安
定保持される。

ウエハー片支持体の保持部材によつてストツパ
ーの所にあるウエハー片を捕捉する際にそれらの
ウエハー片の後方にあるウエハー片の摺動を防止
するために、この発明の別の特徴によれば、引渡
し装置がそれらのウエハー片の後方でストツパー
の所にあるウエハー片のための保持装置をもつて
いる。この保持装置は本発明によつて個々のウエ
ハー片を横から掴むクランプにすることができ
る。

この発明の他の特徴によれば、保持装置はウエ
ハー片の載置板に対して回動可能に支承されてウ
エハー片に突きさせる針で形成することができ
る。

この発明の好ましい態様の本質は、載置板に対
して回動可能な双腕レバーの折曲端部に移動スト
ツパーを形成してあり、前記双腕レバーは他端に
突きさし可能な針として形成された保持装置を支
持している点にある。このようにしてストツパー
と保持装置の同時運動が可能となり、二つの機能
を果すのにカム制御部材が唯一つで済むから、制
御も遥かに簡単になる。

更に別の特徴によれば、引渡し装置が載置板上
方にウエハー片を押える板を有し、この押え板は
載置板に対して回動可能に配設されており、針に
よつてウエハー片を捕捉するとき載置板に平行に
なり、そのとき載置板からの押え板の間隔はウエ
ハー片の高さと同じになる。これによつてウエハ
ー片への保持部材の、確実で一様な挿入と従つて
又ウエハー片支持体の周縁部へのウエハー片の正
確な位置付けが保証される。

更に別の特徴によれば、ウエハー片支持体は鋳
型の搬送方向に対して横方向の一本の軸を中心に
回転するドラムとして構成されている。この構成
でウエハー片支持体の構造は簡単になり、このウ
エハー片支持体は簡単に板チヨコ鋳型の供給方向
と同期して駆動することができる。

この発明のもう一つの特徴は次の点にある。即
ち軌道がウエハー片の載置板の領域にある特に円
弧状の、載置板の平面から特に下方へ向つて延長
している、不動針をそなえたウエハー片支持体の
場合にウエハー片支持体の方に向けられた載置板
の端部がウエハー片支持体に向つて回動する部分
を有し、この回動部分がその上方にある回動可能
な押え板と共に作動し、それら回動部分と押え板
の回動によつてそれぞれのウエハー片が針の上に
載せられる。押え板と載置板の回動部分の同時回
動によつて、ウエハー片が針に対して縦方向に移
動しないでウエハー片をウエハー片支持体の針の
上にのせることができる。これによつてウエハー
片を傷つけずに処理することができる。載置板の
回動部分は載置板自体に対して斜め上に傾けてお
くことができるので、その上にのせられたウエハ
ー片一枚がやゝもち上げられる。その場合載置板
の回動可能な部分の回動中心軸はウエハー片の運
動方向に見てウエハー片支持体の頂点の前にくる
のが好都合である。

この発明の更に別の有利な態様の本質は次のよ
うな点にある。即ちウエハー片が鋳型の供給装置
によつて駆動される回動ドラムとして構成されて
おり、このドラムは周縁部に鋳型の窪みに対応し
て設けられた針を支持しており、ウエハー片載置
板はドラム周縁部に対して切線方向に配設されて
おり、載置板の回動部の回動軸受がドラムの上部
頂点の領域にあり、一方鋳型はドラムの下部頂点
に切線方向から沿つて通過する。こうして装置の
構造は緊密で簡単になる。ここで、前記回動軸は
ドラムの上部頂点の±10゜、特に±5゜以内に配設
されることが好ましい。

この発明は更に、切断されたウエハー片を、供
給装置上を相前後して輸送された板チヨコ鋳型に
供給する装置にも関するものである。その鋳型に
は板チヨコ用の窪みがあり、この窪みにウエハー
片が挿入される。この装置の特徴は次のようなも
のである。即ち鋳型の供給装置の上方に、横にも
縦にも相隣接して、鋳型の運動方向に反対向きに
供給されたウエハー片の供給装置があり、この供
給装置には引渡し装置が接続しており、この引渡
し装置が個々のウエハー片を個別に掴み、運動方
向を転換して横且つ縦に鋳型の窪みに対応する間
隔で引き離して窪みに入れ、場合によつては鋳型
の上にのつていて、ウエハー片を鋳型の中に押し
込むローラが引渡し装置に後置接続されている。

この構成によつて、たとえば相隣接して切断装
置から出て来るウエハー片を、横方向に作用する
ウエハー片引き離し装置を介在させることもなく
重ねて板チヨコ鋳型に入れることができる。その
ためにこの発明では更に、引渡し装置がそれぞれ
ウエハー片に併設されてウエハー片保持部材を有
する多数の単一の支持体要素をもつており、各支
持体要素用に専用の案内軌道を有し、この案内軌
道は相隣接するウエハー片の供給部から運動方向
を転換して鋳型の軌道の上方に設けられた掻き取
り装置迄通じており、支持体要素をその案内軌道
に沿つて摺動させる駆動装置を備えている。この
ようにしてこの発明による装置が緊密な構造のも
のとなり、相隣接する窪みの側面間隔にも、また
連結する窪みの縦の間隔にも合わせてウエハー片
が同時に離れることができ、ウエハー片を窪みに
入れる直前に、窪みの相対的位置に対応するウエ
ハー片の正確な位置に達する。

この発明の別の特徴は、駆動装置が鋳型の搬送
装置に対して横方向に設けられていて、この搬送
装置に沿つて移動可能の駆動部材を有し、これら
の駆動部材はそれぞれ、一つの列に相隣接して接
して設けられたすべての支持体要素と係合する。

この発明の有利な実施例では、引渡し装置が静
止ドラムによつて形成されていて、そのドラムの
外周面に案内軌道である溝があり、ドラムを囲
む、棒状部材から構成されていて、鋳型の供給装
置によつて駆動されるケージを設けてあり、この
ケージはその棒状部材の間に、突出部を案内軌道
に係合させる支持体要素を収容する。

このようにして故障の起こらない堅牢な構造と
なる。この構造によつて鋳型にウエハー片を正確
に入れることができる。別の利点は、ウエハー片
にとつて、引渡し装置によるその捕捉の前に必要
な横の案内が少ないことである。

鋳型の板チヨコ用の窪みには多くのウエハー片
を相隣接させて又は連続させて挿入することがで
きるので、各板チヨコは、チヨコレートを被うウ
エハー片のブロツクを構成する。板チヨコ鋳型の
窪みはリブ状にも形成することができる。その場
合完成板チヨコには各リブに唯一個のウエハー片
又はいくつかのウエハー片を相隣接して或いはま
た連続して配設してある。板チヨコのリブは破壊
目標位置を形成するチヨコレートブリツジを介し
て相互に連結している。板チヨコはその縦の側面
にのみ相互に連結されたリブを有するか又はリブ
をその縦の側面でも、端面でもチヨコレートブリ
ツジを介して相互に連結することができる。

実施例を示した図をもとに更に詳記する。

第１図及び第２図には、ウエハー片２を詰めた
リブ３を有する板チヨコを示してある。前記リブ
はチヨコレートブリツジ４によつて相互に連結さ
れている。

このような板チヨコ１は所謂板チヨコ製造装置
の中で造られる。その場合板チヨコ鋳型５が供給
装置６の上で板チヨコ製造装置によつて移動させ
られる。板チヨコ鋳型５は板チヨコ１のリブ３の
形成のためのリブ状窪み７を有する。鋳型５は先
ずチヨコレート層で被われ、次にウエハー片２が
鋳型５のリブ状窪み７に挿入され、その後残つた
鋳型５の空所にチヨコレートを詰める。

ウエハー片２はウエハー枚葉体又はウエハーブ
ロツクの破砕によつて得られる。ウエハー片２を
鋳型のリブ状窪み７に次のように、即ち鋳型５に
チヨコレートを入れる際に一片のウエハー片もチ
ヨコレート被覆から飛び出さないように入れるこ
とができるように、ウエハー片２を入れるべきリ
ブ状窪みに各ウエハー片を正確に向ける必要があ
る。そのために、切断装置から送り出して、横に
も縦にも隣接してたとえば横にただ切断装置の切
断幅によつて分離されたウエハー片２が先ず鋳型
５の搬送方向と逆向きに移動させられ、次に横に
リブ状窪み７の横方向間隔迄、縦に連続するリブ
状窪み７の縦の間隔迄引き離され、最後に運動方
向を逆転して鋳型５の運動と同期して鋳型の窪み
に挿入される。

第３図に示した実施例の場合には開拡装置８が
あり、この開拡装置は隣接して配設されたウエハ
ー片のための開拡管路９を有する。これらの管路
９は横の案内１０と底部とによつて構成されてい
る。開拡装置の端部には管路の底部に替わる搬送
装置１１がある。管路９は相隣接するウエハー片
２をリブ状の窪みの横の間隔に対応する間隔迄相
互に引き離し、その間隔で引渡し装置に入れる。

この引渡し装置は開拡装置８のコンベアベルト
１１の延長上に設けられた載置板１２を有し、こ
の載置板上ではウエハー片２がコンベアベルト１
１の作用によつて一つのストツパー１３の方まで
摺動される。載置板１２の上方にはウエハー片お
さえ１４が配設されている。ウエハー片と載置板
１２の間隔はウエハー片の高さより大きい。おさ
え１４は載置板１２に対しては固定されている。

開拡装置８から離れている、載置板１２の端部
は櫛状にいくつものスリツト１５を備えている。
載置板１２の櫛状端部の上方にはこの載置板に対
して回動可能な押え板１６を設けてあり、この押
え板１６は載置板１２に平行な位置と傾斜した位
置との間で回動することができる。

押え板１６の上方には双腕レバー１７が載置板
１２に対してウエハー片の運動方向に対して横方
向に一本の軸を中心に回動可能に設けられてい
る。レバー１７はウエハー片の運動方向の下流側
の端部で屈曲しており、ウエハー片２のためのス
トツパー１３を備えている。その回動中心軸に関
して向き合う端部にレバー１７はウエハー片の運
動方向に対して横方向に一列または数列の針１８
があり、その場合針の各列には各一本の針が隣接
するウエハー片の一個に対して設けてある。針の
第一列とストツパー１３の間の間隔は一個のウエ
ハー片２の長さより長く、その結果レバー１７の
回動に際してその都度最前列の針１８が、載置板
１２の上にあつて丁度今ストツパー１３から開放
されるウエハー片２の後方にあるウエハー片２に
つきささる。この針の列には、搬送装置１１によ
つてあとから送られるウエハー片がなお接近する
ストツパーをこえて行かないことを確実にする役
目がある。何となればこのストツパーは、ドラム
上で突き刺されたウエハー片が後端部をストツパ
ーの運動軌道の外側に出す場合に始めて降下する
ことができるからである。針の列が何列も平行し
ている場合には、連続する針１８が同一のウエハ
ー片にも連続する二個のウエハー片にも係合する
ことができる。

回動可能な押え板１６は横にストツパー１９を
そなえたタペツト２０を介して双腕レバー１７に
連結されており、従つてレバー１７が鋳型５の供
給装置６によつて駆動されるカムによつて回動し
且つストツパー１３がもち上るとき一定の大きさ
以上に押え板１６も回動させられる。

載置板１２の下側で鋳型５の供給装置の上側に
ウエハー片支持体２１がある。このウエハー片支
持体は鋳型の供給装置によつて駆動されるドラム
であつて、このドラムにはジヤケツトの外側に針
２２としての、ウエハー片２の保持部材をそなえ
ている。各ウエハー２と鋳型５の各リブ状の窪み
７には、この実施例の場合には、二本の針２２が
併設されている。相前後する二組の針２２の中心
間の距離は搬送方向に連続する二個のリブ状の窪
みの中心間の距離と同じである。この窪みに、針
の上に押しつけられたウエハー片が置かれる。針
と針の間の横の間隔はドラムの軸方向に測つて、
隣接する窪み７の中心間の横の間隔と一致する。

ドラム２１が回転する際に針２２は載置板１２
のスリツト１５を通り抜ける。

ドラム２１と鋳型５の上側との間には掻き取り
装置があり、これがドラム２１にほゞ切線方向か
ら接する案内板２３を有する。

案内板２３にはドラム２１の方に傾いた始端部
２４があり、この始端部は針２２にささつたウエ
ハー片２の下を捕捉する。載置板１２と同様に案
内板２３は針２２の通過のためのスリツトをそな
えている。ドラム２１の周縁部には浄化ブラシ２
５が設けてあり、この浄化ブラシは針２２を場合
によつては残つているウエハー片やクリームのか
すから開放する。鋳型５の上側面のすぐ上に設け
られた掻き取り装置に続いてローラ２６を設ける
ことができる。このローラは鋳型５上にのつてお
り、場合によつては突出するウエハー片２の周辺
部をウエハー片２の局部的圧縮によつて鋳型の縁
部の下へ押し込む。

第６図〜第９図によつて、双腕レバー１７、回
動可能の押え板１６、針２２をそなえたドラム２
１の共同作用を詳しく説明する。ストツパー１３
と押え板１６は降下しており、ウエハー片２は開
拡装置８の搬送帯１１によつてストツパー１３の
方迄押されている。ストツパー１３によつて、開
拡装置８にあるウエハー片２の開拡によつて弧状
になつているウエハー片２の正面が鋳型５の搬送
方向に対して垂直に又ドラムの軸線に平行に整え
られる。ドラムの回転によつて一組の針の第一の
針２２がストツパー１３に接しているウエハー片
２に侵入する。その場合このウエハー片は押え板
１６にもストツパー１３にも押しつけられる。こ
れによつて第一の針２２とウエハー片２の前端部
との間隔が正確に設定される。さてストツパー１
３はレバー１７の回動によつて高く上がり、第一
の針はウエハー片をもつて行き、ドラム２１が更
に回転すると第二の針２２が、そのとき一寸先へ
やられたウエハー片２に侵入する。さて双腕レバ
ー１７が更に回動すると、一方では押え板１６が
タペツト２０とストツパー１９を介してやはり高
所に上り、その結果ウエハー片２の後端部が押え
板１６の下を通り抜けることができ、他面レバー
１７の前端部にとりつけられた針１８が次のウエ
ハー片２に侵入する。

ウエハー片２の後端部が押え板１６の前端部を
通過するや否や、双腕レバー１７が部分的に再び
もどり回動する。これによつて先ず押え板１６が
その下方位置に降下し、針１８が後続のウエハー
片２から引き抜かれる。ウエハー片２の後端部が
ストツパー１３の運動軌道をも通過するや否や、
ストツパーは出発位置に戻り、次のウエハー片は
搬送装置１１の摺動によつてストツパー１３の方
に押され、運動がまた始めから繰り返される。第
９〜１２図にはこの発明による装置の他の実施態
様の場合の運動経過を示してある。

この実施態様によれば、載置板１２中に回動可
能の端部部分２７があり、この端部部分はドラム
の軸線に平行な軸線を中心にドラム２１の方迄回
動可能である。併設されている押え板の回動中心
軸はその上方でも特にレバー１７の回転中心軸と
同一になることも可能であり、また押え板１６
（鎖線で示してある）の下側でも特に前記端部部
分２７の回転中心軸と同一になることもできる。

第９図には、ストツパー１３に接触するウエハ
ー片２を示してある。載置板１２の端部部分２７
は水平に設けてある。ドラム上にあるウエハー片
２が更に一寸回転すると、ストツパー１３、端部
部分２７及び押え板がなおいくらか、端部部分２
７上にあるウエハー片に針が侵入することなく降
下することができる。

第１０図には、最下位にあるストツパー１３
と、針２２に軽く押しつけられるウエハー片を示
してある。これが起きてから、ストツパー１３は
再びその最高位にもどり回動し、端部部分２７と
押え板１６は再び更に降下する。第１１図には最
下位にある押え板１６と端部部分２７及び完全に
針上にさしてあるウエハー片とを示してある。さ
て押え板は再び最高位に上昇回動し、押しつけら
れたウエハー片の道と次のウエハー片の道とを解
放する。後続のウエハー片が刺されたウエハー片
に押しつけられるのを回避するために、第６〜８
図の実施態様では、一列又は数列の針が後続のウ
エハー片中に押し込まれるか或いは搬送帯１１を
停止させることができる。さて先行するウエハー
片２の後端部がドラム２１の回転によつてまた端
部部分２７の前端部によつて押し出されると、端
部部分２７は再び回動してその水平位置にもどる
ことができ、その結果針は離反することができ、
搬送帯を接続することができ、これによつてウエ
ハー片がストツパーへと移動する。さてここで再
び運動周期が改まる。

第６〜１２図の運動経過はウエハー片２唯一個
と運動につながるウエハー片について説明してい
る。無論同一の運動経過はそれに平行に置かれた
他のすべての、この発明による装置の中のすべて
のウエハー片の場合も同じである。

第１３〜１７図にはこの発明の他の一態様を示
してある。この実施態様の場合には鋳型の供給装
置６の上方に、横方向にも縦方向にも相隣接する
ウエハー片２の案内部がある。前記ウエハー片は
横が切断装置の切り幅によつてのみ分離されてい
る。ウエハー片２の縦方向に行われるウエハー片
２の分離案内はリブ状の窪みの縦の間隔に対応す
る間隔迄、第６〜１２図に示した構造と一致す
る。この実施態様のものが今までに記載したもの
と違う点は、リブ状の窪み７に対応する間隔に対
するウエハー片の横方向の間隔のみである。この
実施態様によると静止ドラム２９があり、この静
止ドラムは外周面に案内軌道３０を有し、この案
内軌道は特にありみぞ或いはＴ字形溝などとする
ことができる。そうしてこれらの案内軌道３０は
相隣接するウエハー片２の供給部２８から出て移
動方向を転換しながらドラム周縁の半分にわたつ
て、相隣接するウエハー片２に対応する間隔から
鋳型５のリブ状の窪み７に対応する間隔に拡が
り、鋳型５の軌道の上方に配設された掻き取り装
置２３，２４の所迄続く。この案内軌道３０には
各ウエハー片２の支持体要素３１が突出部３２を
係合する。これらの支持体要素３１はウエハー片
２の保持部材を支持する。

一個の支持体要素３１にはそれぞれ二本の針２
２が保持部材として配設されており、支持体要素
３１の後部突出部３２はウエハー片２が針２２に
刺さつたときそのウエハー片２の後端部の後方に
ある。

支持体要素３１はドラム周縁部に、ドラム軸線
に平行な棒状部材３３によつて相互に離れて並ん
で配設されている。棒状部材３３はドラム２９か
ら横に突き出ていて、固定ドラム軸線に回転可能
に支承されている側板３４をこえて鋳型の供給装
置６によつて駆動可能なケージを形成するように
結合されている。このケージの回転によつて支持
体要素３１は列から列へ案内軌道３０に沿つて摺
動され、案内軌道３０はドラムジヤケツト上を延
びて、支持体要素３１がウエハー片２を収容する
際も、窪み７に入れる際にも相互に平行になるよ
うに配列される。

この発明の一変形では支持体要素は、案内中に
配設された突出部に張出部分があり、この張出部
分は支持体要素がドラム上にある場合に、棒状部
材３３の下側に来るようになつていて、従つて案
内軌道は簡単な溝とすることができ、支持体要素
は案内軌道中に保持される。何となれば棒状部材
が支持体要素の張出部分を上から捕捉するからで
ある。その場合支持体要素の後端部が半円形に丸
くえぐられている。（第１８図及び第１９図）。

第９〜１２図の実施態様の場合にも押下げ部材
が載置板上方に配設可能であり、押下げ部材の前
方縁辺部は端部部分２７の始端部で終つている。
この押下げ部材はウエハー片の裏返しを防止す
る。

ウエハー片、支持体要素の案内軌道の支持体と
してのドラムを好都合な実施例として説明してき
たが、回転無端鎖或いはコンベアベルト又は任意
に形成された案内軌道用支持体を設けることもこ
の発明の思想から外れずに無論できる。同様に、
保持部材として、剛性針の代わりに移動針又はク
ランプも利用できる。また針の横断面の形と数量
もウエハー片の大きさ及び形状に従つて変えるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はウエハーを詰めた板チヨコの横断面、
第２図は、第１図に示した板チヨコの縦断面、第
３図は、ウエハー片支持体としてのドラムを有す
る、この発明による装置の一実施態様の横断面、
第４図は、第３図の実施態様を同図の矢印Ａの方
から見た図、第５図は、第３図の部分の詳細な平
面図、第６〜８図は移動ストツパーと、ウエハー
片支持体の針と協働する、第一実施態様の回動可
能な押え板の連続する運動位相を示す図、第９〜
１２図は、この発明の装置の第２の実施態様の連
続する運動位相を示す図、第１３図は、この発明
による装置の別の実施態様の図、第１４図は、第
１３図に示した実施態様の一部分を同図の矢印Ｂ
の方から見た図、第１５図は、第１４図の部分の
詳細な断面図、第１６図は支持体要素の側面図、
第１７図は、第１６図の支持体要素の平面図、第
１８図は、第１６図のような、支持体要素の別の
実施態様、第１９図は、第１８図の支持体要素の
平面図である。 図中符号、２……ウエハー片、５……鋳型、６
……鋳型の供給装置、７……窪み、８……開拡装
置、９……管路、１１……搬送装置、１２……載
置板、１３……ストツパー、２１……ウエハー片
支持体、２２……ウエハー片の保持部材、２５…
…浄化装置、２６……ローラ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 直線状に連続して搬送される板チヨコ鋳型の
   縦列と横列に相互に間隔をおいて配設された窪み
   に予め切断されたウエハー片を装入するために、
   予め切断されたウエハー片を窪み相互の側方間隔
   に対応する側方間隔をおいて窪みに挿入する方法
   において、予め切断されたウエハー片を縦列と横
   列の鋳型の運動方向と反対向に本質的に相隣接さ
   せて搬送し、側方には窪み相互の側方間隔迄、か
   つその縦方向には前後に相隣接する窪み相互の長
   手間隔迄相互に引き離し、予め切断されたウエフ
   アー片の運動方向を前記側方引き離しの最中また
   はその後に次第に逆転させ、予め切断されたウエ
   ハー片を鋳型の窪みと同期して移動させ、その場
   合この窪みの中に挿入し、更にそれぞれの窪みに
   入れられ、且つその縁部が高く突出するウエハー
   片を縁部の所で突出する分を局部的に圧縮するこ
   とを特徴とする方法。 ２ 予め切断されたウエハー片をその運動中鋳型
   の運動方向と反対向きに側方には窪み相互の側方
   間隔迄相互に引き離し、次に横列毎に予め切断さ
   れたウエハー片をその前端部で鋳型の運動方向に
   対して垂直方向に一直線上に揃え、続いて縦方向
   では窪み相互の相前後して隣接する窪みの長手間
   隔迄引き離し、続いて縦方向と横方向に相互に引
   き離された予め切断されたウエハー片の運動方向
   を次第に逆転させかつ予め切断されたウエハー片
   を窪みの運動と同期してこの窪みの中に挿入す
   る、特許請求の範囲１記載の方法。 ３ 予め切断されたウエハー片をその運動中鋳型
   の運動方向と反対方向にまず横列毎にその縦方向
   では、相前後して隣接する窪み相互の長手間隔迄
   引き離し、続いて縦方向に引き離されてかつ側方
   ではなお相隣接している予め切断されたウエハー
   片をその運動方向を次第に逆転して側方でも窪み
   相互の側方間隔迄、縦方向及び横方向に相互に引
   き離されて窪みの運動方向と同期して窪みの中に
   挿入する前に、相互に引き離す、特許請求の範囲
   １記載の方法。 ４ 鋳型の運動方向と反対方向に移動する予め切
   断されたウエハー片をその縦方向では前後して相
   隣接する窪み相互の長手間隔迄相互に引き離す前
   に横列毎に停止させる、特許請求の範囲１〜３の
   何れか一に記載の方法。 ５ 直線状に連続して搬送される板チヨコ鋳型の
   縦列と横列に相互に間隔をおいて配設された窪み
   に予め切断されたウエハー片を装入するために、
   予め切断されたウエハー片を窪み相互の側方間隔
   に対応する側方間隔をおいて窪みに挿入する方法
   を実施するための装置であつて、縦列と横列に相
   互に間隔をおいて配設された窪みを備えた鋳型の
   供給装置の上方に予め切断されたウエハー片用の
   開拡装置を配設してあり、開拡装置は側方では鋳
   型の窪みの側方間隔迄離れて行く管路を有する装
   置において、開拡装置８は鋳型５の運動方向と反
   対方向に管路９を相互に分離して行くように配設
   してあり、開拡装置８には鋳型５の運動方向と反
   対方向に接続されて、鋳型５の供給装置６によつ
   て駆動される、開拡装置８と供給装置６上に配設
   された鋳型５の窪み７との間の高さの差をカバー
   する引渡し装置を設けてあり、更にこの引渡し装
   置に鋳型５の上にある押圧ローラ２６が鋳型５の
   運動方向に後置配設されていることを特徴とする
   装置。 ６ 引渡し装置が予め切断されたウエハー片２の
   ための開拡装置８と鋳型５の供給装置６との間に
   配設された回転するウエハー片支持体２１を包含
   し、ウエハー片支持体は自体まとまつて予め切断
   されたウエハー片２のための保持部材２２を備え
   た搬送面を有し、この搬送面上に保持部材２２が
   鋳型５の窪み７によつて形成された縦列と横列に
   対応して相互に間隔をおいて配設され、開拡装置
   ８も供給装置６も本質的にウエハー片支持体２１
   の搬送面に対して接線方向に配設され、更にウエ
   ハー片支持体２１の搬送面のための浄化装置２５
   を設けてある、特許請求の範囲５記載の装置。 ７ ウエハー片支持体２１を回転するドラムとし
   て構成してあり、その回転軸を鋳型５の運動方向
   に対して垂直にかつその軌道に対して平行に配設
   してあり、保持部材２２を搬送面を形成するドラ
   ムのジヤケツト外側面上に取りつけてある、特許
   請求の範囲６記載の装置。 ８ 引き渡し装置が鋳型５の軌道の上方に配設さ
   れた、保持部材２２によつて保持された予め切断
   されたウエフアー片２２のための掻き取り装置２
   ３，２４を有する特許請求の範囲５または６記載
   の装置。 ９ 直線状に連続して搬送される板チヨコ鋳型の
   縦列と横列に相互に間隔をおいて配設された窪み
   に予め切断されたウエハー片を装入するために、
   予め切断されたウエハー片を窪み相互の側方間隔
   に対応する側方間隔をおいて窪みに挿入する方法
   を実施するための装置であつて、縦列及び横列に
   相互に間隔をおいて配設された窪みを備えた鋳型
   のための供給装置の上方に少なくとも横の一列に
   配設された予め切断されたウエハー片のための載
   置板と予め切断されたウエハー片のための引き渡
   し装置とを配設し、載置板は相隣接して配設され
   て載置板上に横列に配設された予め切断されたウ
   エハー片に併設されたウエハー片支持体要素を有
   し、ウエハー片支持体要素は鋳型の軌道に沿つて
   も、またこの軌道に対して横方向にも載置板から
   供給装置上に配設された鋳型のそれぞれの窪み迄
   移動可能である装置において、引き渡し装置が鋳
   型５の運動方向に対して横方向に相隣接して配設
   された自体まとまつている位置固定の多数の案内
   軌道３０を有し、その各々が載置板１２上に横列
   に配設されたウエハー片に対応し、案内軌道は予
   め切断されたウエハー片２の自体まとまつた搬送
   面に沿つて配設されており、搬送面に対して載置
   板１２と供給装置６は本質的に接線方向に配設さ
   れており、案内軌道３０相互の側面間隔は載置板
   １２の領域で鋳型５の運動方向に対して横方向に
   載置板上の横列に配設された予め切断されたウエ
   ハー片の側面間隔と、供給装置６の領域で鋳型５
   の窪み７の側面間隔に対応し、各案内軌道３０に
   多数の支持体要素３１を配設してあり、これら支
   持体要素のそれぞれの案内軌道３０に沿う配設は
   供給装置６に沿う長手の一列中の窪み７の配設に
   対応し、鋳型５の供給装置６に連結され、支持体
   要素３１をその案内軌道３０に沿つて押し動かす
   駆動装置３３，３４を設けてあり、特に掻き取り
   装置２３，２４を鋳型５の軌道の上方に配設して
   あり、掻き取り装置には更に鋳型５の上にある押
   圧ロール２６が鋳型５の運動方向に後置されてい
   ることを特徴とする装置。 １０ 支持体要素３１の案内軌道３０が予め切断
   されたウエハー片の、鋳型５の軌道に対して垂直
   方向の、鋳型軌道の長手方向中央平面に関して対
   称に配設され、載置板２８から鋳型５の供給装置
   ６へ本質的に均等に離れて行くように構成した、
   特許請求の範囲９記載の装置。 １１ 駆動装置が案内軌道３０に対して横方向に
   配設された、予め切断されたウエフアー片２の搬
   送面に沿つて移動する駆動要素３３を有し、これ
   らの駆動要素はそれぞれ相隣接して配設されて横
   列を形成するすべての支持体要素３１と係合する
   ように構成した、特許請求の範囲９または１０記
   載の装置。 １２ 相隣接して配設された案内軌道３０が溝と
   して形成され、これらの溝は静止ドラム２９の外
   周面に配設され、静止ドラムの軸線は鋳型５の運
   動方向に対して垂直にかつその軌道に平行に配設
   され、支持体要素３１の駆動装置がドラムを包囲
   し、相互に間隔をおいて配設された棒状部材３３
   から成る、鋳型の供給装置６によつて駆動される
   ケージ状部材３３，３４として構成され、このケ
   ージ状部材の棒状部材の間にそれぞれ突出部３２
   により溝に係合する支持体要素３１を配設する、
   特許請求の範囲９〜１１の何れか一に記載の装
   置。 １３ 各支持体要素３１がそれぞれ溝として形成
   された案内軌道３０に係合する２個の突出部３２
   を有する、特許請求の範囲１２記載の装置。 １４ 各支持体要素３１の後部突出部３２が支持
   体要素３１上に保持された予め切断されたウエハ
   ー片２の後方端部の後方に配設される、特許請求
   の範囲１３記載の装置。 １５ 支持体要素３１が案内軌道３０に駆動部材
   である棒状部材３３によつて保持される、特許請
   求の範囲１１または１２記載の装置。 １６ 駆動部材である棒状部材３３が支持体要素
   ３１に設けられた張出部分を捕捉している、特許
   請求の範囲１５記載の装置。 １７ 支持体要素３１が特に移動可能なクランプ
   として形成された、予め切断されたウエハー片２
   の保持部材２２を備えた、特許請求の範囲５〜１
   ６の何れか一に記載の装置。 １８ 予め切断されたウエハー片２の支持体要素
   ３１が予め切断されたウエハー片２に挿入可能
   な、保持部材としての針を備える、特許請求の範
   囲５〜１６の何れか一に記載の装置。 １９ 予め切断されたウエハー片２の各々即ち鋳
   型５の窪みの各々に保持部材２２として特に横断
   面が長方形の針を併設した、特許請求の範囲１８
   記載の装置。 ２０ 予め切断されたウエハー片２の各々即ち鋳
   型５の窪みの各々に保持部材２２として２個の針
   を併設した、特許請求の範囲１８記載の装置。 ２１ 引渡し装置が開拡装置８に接続された領域
   に予め切断されたウエハー片２の載置板１２を有
   する、特許請求の範囲５〜８、１７〜２０の何れ
   か一に記載の装置。 ２２ 鋳型５の運動方向と反対方向に向けられた
   載置板１２，１８の端部の領域に予め切断された
   ウエフアー片２のための移動式ストツパー１３を
   設けた特許請求の範囲５〜２１の何れか一に記載
   の装置。 ２３ 鋳型５の運動方向と反対方向に向けられた
   載置板１２，２８の端部の領域でまだストツパー
   １３に接しないで載置板１２，２８上にある予め
   切断されたウエハー片２のための保持装置を設け
   てある、特許請求の範囲２２記載の装置。 ２４ 保持装置を個々の予め切断されたウエハー
   片２を側面から捕捉するクランプにより形成す
   る、特許請求の範囲２３記載の装置。 ２５ 保持装置を載置板１２，２８に対して回動
   可能に支承された、予め切断されたウエフアー片
   ２に挿入可能な針１８によつて形成する、特許請
   求の範囲２３記載の装置。 ２６ 移動式ストツパー１３が載置板１２，２８
   に対して回動可能な双腕レバー１７の折り曲げら
   れた端部に形成されており、このレバーは他端部
   に挿入可能な針１８として形成された保持装置を
   支持している、特許請求の範囲２２、２３、２５
   の何れか一に記載の装置。 ２７ 保持装置が載置板１２，２８上の予め切断
   されたウエハー片２の運動方向に対して横方向に
   配設された一列の針を有し、この一列の針ではそ
   れぞれ横の一列の予め切断されたウエハー片２に
   一個の針１８を併設した、特許請求の範囲２６記
   載の装置。 ２８ 保持装置が二列の針を有し、その各列は予
   め切断されたウエハー片２の連続する二列の横列
   の各々に併設される、特許請求の範囲２７記載の
   装置。 ２９ 載置板１２，２８の上方にこの載置板に対
   して回動可能な、移動式ストツパー１３へ当接し
   た予め切断されたウエハー片２のための押え片１
   ６を設けてあり、押え片は予め切断されたウエハ
   ー片２を少なくとも予め切断されたウエハー片２
   の高さと同じ間隔をおいて針として形成された保
   持部材２２により捕捉する際、載置板１２，２８
   に平行になるように構成した、特許請求の範囲５
   〜２８の何れか一に記載の装置。 ３０ 鋳型５の運動方向と反対方向に向けられた
   載置板１２，２８の端部の領域に載置板１２，２
   ８の回動可能な部分２７を設けてあり、この部分
   ２７と押え片１６の回動によつて予め切断された
   ウエハー片を針として形成された保持部材２２上
   に載置可能な、特許請求の範囲５〜２９の何れか
   一に記載の装置。 ３１ 予め切断されたウエハー片２のための搬送
   面がドラムケーシング上に配設される場合載置板
   １２，２８を上部ドラム頂点に対して接線方向に
   配設し、載置板１２，２８の回動可能な部分２７
   の回動軸受を上部ドラム頂点の領域に配設し、鋳
   型軌道を下部ドラム頂点に対して接線方向に配設
   する、特許請求の範囲３０記載の装置。 ３２ 回動軸受を上部ドラム頂点の±10゜、特に
   ±5゜以内に配設する、特許請求の範囲３１記載の
   装置。 ３３ 予め切断されたウエハー片のための保持部
   材２２が不動の針として形成される場合、載置板
   １２，２８と掻き取り装置２３，２４がスリツト
   を備えた櫛状の板として構成される、特許請求の
   範囲５〜３２の何れか一に記載の装置。