JPH02103433A - 圧力測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は圧力測定装置に関する。

〔発明の概要１ 本発明は圧力測定装置において、被測定圧力となる第２
の部屋の圧力がダイアフラムの許容できる圧力を超える
過大圧となる場合、距離可変手段により、ダイアフラム
支持板をダイアフラム側へ移動させて、ダイアフラムを
支持することにより、ダイアフラムを過大圧から保護し
、ダイアフラムの劣化を防止した。

〔従来の技術］ 従来は第２図に示す様に、距離可変手段がなく動作検出
手段５は固定されていた。

［発明が解決しようとする課題１ しかしながら従来の構成では、第２の部屋の圧力が過大
圧となると、ダイアフラムに大きな歪みを生じダイアフ
ラムが破壊するあるいは破壊せずとも残留歪が生じて特
性は劣化する等の問題があった。又上記の問題点を解決
するために、被測定圧力がダイアフラムの許容できる圧
力を超える過大圧となる場合には、あらかじめ被測定圧
力と第２の部屋の中間にバルブ等を設け、これを閉じる
ことによりダイアフラムを保護する対策を用いる等、圧
力測定装置の使用法に大きな制約を与えるという欠点が
あった。

［課題を解決するための手段］ 前記問題点を解決するため本発明においては、基準圧力
となる第１の部屋にダイアフラム支持板１０と、前記ダ
イアフラム支持板１０とダイアフラムとの間の距離を可
変させる距離可変手段４を設け、第２の部屋の圧力が過
大圧となる時、距離可変手段４によりダイアフラム支持
板ｌＯをダイアフラム側へ移動せしめ、直接ダイアフラ
ムを支持するようにした。

［作用〕 前記の様な構成によれば、被測定圧力がダイアフラムの
許容できる圧力を超える過大圧となる場合でも、ダイア
フラム支持＠１０を移動させてダイアフラムな支持でき
るため、ダイアフラムの破壊あるいは劣化を防止できる
。

〔実施例１ 以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は本発明を実施した圧力測定装置の構成図である。第
１図において基準圧力となる第１の部屋１と被測定圧力
となる第２の部屋２はダイアフラム３により分離されて
いる。このダイアフラム３と対向して第１の部屋１に動
作検出手段５が位置しており、第１の部屋ｌと第２の部
屋２との圧力差によりダイアフラム３がたわみ、動作検
出手段はこの動きを検出して信号を出力する。この信号
により圧力検出回路９が圧力値を検出する。上記動作検
出手段５は、例えばダイアフラム３との間に静電容量を
持つようにした電極を用いることができる。この場合動
作検出回路８はダイアフラム３の動きに応じて変化する
静電容量を検出する。上記の様な構成の圧力測定装置の
第２の部屋ヘダイアフラム３の許容できる圧力を超える
過大圧が導入され、動作検出回路８の信号が所定の出力
値を超えようとした時、制御回路７は、駆動回路６へ信
号を出力する。駆動回路７は、電源６ａ及び電圧制御回
路６ｂから成り、制御回路７からの信号に応じて、例え
ば圧電素子より成る距離可変手段４を動作させるための
信号を出力する。この信号によりダイアフラム支持板１
０はダイアフラム側へ移動し、ダイアフラムを直接支持
することで、過大圧からダイアフラムを保護する。

第３図ないし第４図は、前記第１図の構成において、ダ
イアフラム支持板１０と動作検出手段８と兼用とし、同
一の距離可変手段４上に配置したものである。ここで第
３図の実施例では制御回路７をはずし、駆動回路６を独
立させた構成にしたもので、外部からの信号により距離
可変手段４を制御できるようにしたものである。なお本
発明は上記実施例に限定されるものではない。例えば、
前記動作検出手段として静電容量の変化の他にうず電流
を利用した距離検出素子等を使用することができる。さ
らに前記距離可変手段も圧電素子の他に、電磁ソレノイ
ドを使用することもできる。

その池水発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実
施することができる。

［発明の効果］ 以上説明した様に、本発明によれば、過大圧がらダイア
フラムを保護することができ、破壊・劣化等を防止でき
るため圧力測定装置の寿命が長くなる。さらに従来の様
に被測定圧力側と圧力測定装置の間にパルプを取り付け
る必要もなくなり、圧力測定装置の取り付はスペースが
小さくなるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の構成図、第２図は従来の圧力
測定装置の構成図、第３図は本発明の第２の実施例の構
成図、第４図は本発明の第３の実施例の構成図である。 ｌ・・・第１の部屋 ・第２の部屋 ・ダイアフラム ・距離可変手段 ・動作検出手段 ・駆動回路 ・制御回路 ・動作検出手段 ・圧力検出回路 ・ダイアフラム支持板 出願人　セイコー電子工業株式会社 代理人　弁理士　　林　　　敏　之　助本宅用の冥艷例
のＭへ図 第１０ 従来の圧７７　；１’１足艮１の構八図弔２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基準圧力となる第１の部屋と、被測定圧力となる
   第２の部屋と、前記第１の部屋と第２の部屋とを分離す
   るダイアフラムと、前記ダイアフラムの動きを検出する
   動作検出手段と、前記ダイアフラムを過大圧から保護す
   るためのダイアフラム支持板と、前記ダイアフラム支持
   板とダイアフラムとの間の距離を可変させる距離可変手
   段と、前記動作検出手段からの信号により前記第２の部
   屋の圧力値を検出する圧力検出回路を備えたことを特徴
   とする圧力測定装置。
2. （２）前記動作検出手段からの信号により、前記第２の
   部屋の圧力値が所定の値を超える時、制御信号を出力す
   る制御回路と、前記制御回路からの制御信号に応じて前
   記距離手段を駆動する駆動信号を出力する駆動回路を備
   えた特許請求範囲第一項記載の圧力測定装置。