JPH02100348A - 集積回路の冷却構造 - Google Patents
集積回路の冷却構造Info
- Publication number
- JPH02100348A JPH02100348A JP25353788A JP25353788A JPH02100348A JP H02100348 A JPH02100348 A JP H02100348A JP 25353788 A JP25353788 A JP 25353788A JP 25353788 A JP25353788 A JP 25353788A JP H02100348 A JPH02100348 A JP H02100348A
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- JP
- Japan
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- refrigerant
- integrated circuit
- cooling plate
- circuit elements
- cooling
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- Granted
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- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
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- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract 1
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Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は集積回路の冷却構造、特に集積回路素子で発生
した熱を集積回路素子の近傍に流す液体に効率的に伝播
させる集積回路の冷却構造に関する。
した熱を集積回路素子の近傍に流す液体に効率的に伝播
させる集積回路の冷却構造に関する。
従来、この種の集積回路の冷却構造は、例えば特許公開
番号６２−１２２１５６に示されているように、集積回
路素子と微小間隔を保って固定され、充填された熱伝導
性コンパウンドを介して熱伝導がはかられる伝熱板と、
この伝熱板に密着して設けられ、内部に冷媒を流す冷却
容器とを有している。
番号６２−１２２１５６に示されているように、集積回
路素子と微小間隔を保って固定され、充填された熱伝導
性コンパウンドを介して熱伝導がはかられる伝熱板と、
この伝熱板に密着して設けられ、内部に冷媒を流す冷却
容器とを有している。
上述した従来の冷却構造は、Ｓ積回路素子から発生ずる
熱が多くなる程、冷媒の流量を増大させて対応しなけれ
ばならないため、冷媒の供給装置が大型化し、また伝熱
板と冷媒を流す冷却容器どが別であるため、集積回路素
子と冷媒との熱抵抗を低くしにくいという欠点がある。
熱が多くなる程、冷媒の流量を増大させて対応しなけれ
ばならないため、冷媒の供給装置が大型化し、また伝熱
板と冷媒を流す冷却容器どが別であるため、集積回路素
子と冷媒との熱抵抗を低くしにくいという欠点がある。
本発明の集積回路の冷却構造は、複数の集積回路素子を
基板に実装した４４積回路と、前記基板を保持する基板
枠と、この基板枠に密着して前記複数の集積回路素子の
上面と微小間隔を保って対向する外面を有し、前記集積
回路素子と対向する内面の底部に複数個の柱状突起を設
けた複数のざぐり穴とこれらのざぐり穴を連結する冷媒
流路とを有する冷却板と、この冷却板に密着して設けら
れ、冷媒の取込口と取出口とこの取入口に接続され冷媒
のタンク室となる吸入室と前記取入口と前記冷媒流路と
に接続された排出室と前記吸入室から前記ざぐり穴の底
部に向う複数個のノズルとを有する冷媒容器とを有する
ことにより構成される。
基板に実装した４４積回路と、前記基板を保持する基板
枠と、この基板枠に密着して前記複数の集積回路素子の
上面と微小間隔を保って対向する外面を有し、前記集積
回路素子と対向する内面の底部に複数個の柱状突起を設
けた複数のざぐり穴とこれらのざぐり穴を連結する冷媒
流路とを有する冷却板と、この冷却板に密着して設けら
れ、冷媒の取込口と取出口とこの取入口に接続され冷媒
のタンク室となる吸入室と前記取入口と前記冷媒流路と
に接続された排出室と前記吸入室から前記ざぐり穴の底
部に向う複数個のノズルとを有する冷媒容器とを有する
ことにより構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は第１図の
部分詳細図である。第１図および第２図において、集積
回路素子２は、基板１に実装されて集積回路を構成して
いる。基板１の外周縁部は基板枠３に強固に固着されて
いる。集積回路素子２の上面には微小間隔を保って冷却
板５が設けられ、冷却板５の内面、即ち集積回路と反対
方向の底面に複数の柱状の突起物１５を設けたざぐり穴
４と冷媒流路１４とが設けられている。冷却板５の上に
は冷媒の取入口８と取出口９とを有し、この両者間に仕
切りを入れるため、隔壁ｌＯを設けた冷媒容器１１が密
着されている。また冷媒容器１１にはざぐり穴４に冷媒
６を吐出するノズル７が直向して設けられている。
部分詳細図である。第１図および第２図において、集積
回路素子２は、基板１に実装されて集積回路を構成して
いる。基板１の外周縁部は基板枠３に強固に固着されて
いる。集積回路素子２の上面には微小間隔を保って冷却
板５が設けられ、冷却板５の内面、即ち集積回路と反対
方向の底面に複数の柱状の突起物１５を設けたざぐり穴
４と冷媒流路１４とが設けられている。冷却板５の上に
は冷媒の取入口８と取出口９とを有し、この両者間に仕
切りを入れるため、隔壁ｌＯを設けた冷媒容器１１が密
着されている。また冷媒容器１１にはざぐり穴４に冷媒
６を吐出するノズル７が直向して設けられている。
いま冷媒６が冷媒容器１１の取入口８から図中の矢印の
方向に流入されると、隔壁１０で仕切られた吸入室１２
に充満し、それぞれのノズル７からざぐり穴４の中の突
起物１５にふきつけられる。ふきつけられた冷媒６は冷
媒流路１４を通り排出室１３へ集まり、取出口９から外
部ｌ＼排出される。
方向に流入されると、隔壁１０で仕切られた吸入室１２
に充満し、それぞれのノズル７からざぐり穴４の中の突
起物１５にふきつけられる。ふきつけられた冷媒６は冷
媒流路１４を通り排出室１３へ集まり、取出口９から外
部ｌ＼排出される。
なお集積回路素子２の上面の微小間隔に、従来も用いら
れている熱伝導性コンパウンドを充填しても一向に掬わ
ない。
れている熱伝導性コンパウンドを充填しても一向に掬わ
ない。
以上説明したように本発明は、集積回路素子の上面に微
小間隔を保って設けられた冷却板の内面に設けられた放
熱用の突起物に冷媒を噴流させることによって、冷媒と
冷却板との接触面積を広げ、また冷却板が一体構造であ
るため熱抵抗が小さく、ひいては集積回路素子と冷媒と
の間の熱抵抗が小さくなっているので、集積回路素子か
らの発熱を冷媒の流量を変えることなく効率的に機器外
部へ排出できる効果がある。
小間隔を保って設けられた冷却板の内面に設けられた放
熱用の突起物に冷媒を噴流させることによって、冷媒と
冷却板との接触面積を広げ、また冷却板が一体構造であ
るため熱抵抗が小さく、ひいては集積回路素子と冷媒と
の間の熱抵抗が小さくなっているので、集積回路素子か
らの発熱を冷媒の流量を変えることなく効率的に機器外
部へ排出できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は第１図の
部分詳細図である。 １・・・基板、２・・・集積回路、３・・・基板枠、４
・・・ざぐり穴、５・・・冷却板、６・・・冷媒、７・
・・ノズル、８・・・取入口、９・・・取出口、１０・
・・隔壁、１１・・・冷媒容器、１２・・・吸入室、１
３・・・排出室、１４・・・冷媒通路、１５・・・突起
物。
部分詳細図である。 １・・・基板、２・・・集積回路、３・・・基板枠、４
・・・ざぐり穴、５・・・冷却板、６・・・冷媒、７・
・・ノズル、８・・・取入口、９・・・取出口、１０・
・・隔壁、１１・・・冷媒容器、１２・・・吸入室、１
３・・・排出室、１４・・・冷媒通路、１５・・・突起
物。
Claims (1)
- 複数の集積回路素子を基板に実装した集積回路と、前
記基板を保持する基板枠と、この基板枠に密着して前記
複数の集積回路素子の上面と微小間隔を保って対向する
外面を有し、前記集積回路素子と対向する内面の底部に
複数個の柱状突起を設けた複数のざぐり穴とこれらのざ
ぐり穴を連結する冷媒流路とを有する冷却板と、この冷
却板に密着して設けられ、冷媒の取込口と取出口とこの
取入口に接続され冷媒のタンク室となる吸入室と前記取
入口と前記冷媒流路とに接続された排出室と前記吸入室
から前記ざぐり穴の底部に向う複数個のノズルとを有す
る冷媒容器とを有することを特徴とする集積回路の冷却
構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25353788A JPH0732221B2 (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 集積回路の冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25353788A JPH0732221B2 (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 集積回路の冷却構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02100348A true JPH02100348A (ja) | 1990-04-12 |
| JPH0732221B2 JPH0732221B2 (ja) | 1995-04-10 |
Family
ID=17252748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25353788A Expired - Lifetime JPH0732221B2 (ja) | 1988-10-06 | 1988-10-06 | 集積回路の冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0732221B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4220732A1 (de) * | 1991-06-26 | 1993-01-14 | Hitachi Ltd | Halbleiterkuehleinrichtung |
| US6498536B1 (en) | 1999-05-13 | 2002-12-24 | Nec Corporation | Oscillating circuit for producing an output signal synchronous with an input signal |
| US7054403B2 (en) | 2000-03-21 | 2006-05-30 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Phase-Locked Loop |
| JP2006287017A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Hitachi Ltd | 冷却ジャケット |
| JP2008288866A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | New Japan Radio Co Ltd | 周波数掃引発振回路 |
| CN102751250A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 株式会社丰田自动织机 | 冷却装置 |
-
1988
- 1988-10-06 JP JP25353788A patent/JPH0732221B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4220732A1 (de) * | 1991-06-26 | 1993-01-14 | Hitachi Ltd | Halbleiterkuehleinrichtung |
| US6498536B1 (en) | 1999-05-13 | 2002-12-24 | Nec Corporation | Oscillating circuit for producing an output signal synchronous with an input signal |
| US7054403B2 (en) | 2000-03-21 | 2006-05-30 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Phase-Locked Loop |
| JP2006287017A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Hitachi Ltd | 冷却ジャケット |
| JP4551261B2 (ja) * | 2005-04-01 | 2010-09-22 | 株式会社日立製作所 | 冷却ジャケット |
| JP2008288866A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | New Japan Radio Co Ltd | 周波数掃引発振回路 |
| CN102751250A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 株式会社丰田自动织机 | 冷却装置 |
| US8899307B2 (en) | 2011-04-19 | 2014-12-02 | Kabushiki Kaisha Toyota Jidoshokki | Cooling device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0732221B2 (ja) | 1995-04-10 |
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