JPH0198949A - 屈折角測定装置 - Google Patents
屈折角測定装置Info
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- JPH0198949A JPH0198949A JP25667487A JP25667487A JPH0198949A JP H0198949 A JPH0198949 A JP H0198949A JP 25667487 A JP25667487 A JP 25667487A JP 25667487 A JP25667487 A JP 25667487A JP H0198949 A JPH0198949 A JP H0198949A
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- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 5
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は透明物体を透過する光の屈折角を測定する装置
に関し、特に詳細には、長手方向に均一な特性を有する
円柱状透明物体の側面よりその一断面をレーザ収束光に
より走査し、その透過光の屈折角を測定し、当該円柱状
透明物体の内部屈折率分布を求めるための屈折角測定装
置に関する。
に関し、特に詳細には、長手方向に均一な特性を有する
円柱状透明物体の側面よりその一断面をレーザ収束光に
より走査し、その透過光の屈折角を測定し、当該円柱状
透明物体の内部屈折率分布を求めるための屈折角測定装
置に関する。
近年、透明物体内部の屈折率を測定する必要性が高まっ
てきている。これは、例えば光ファイバ、光ファイバの
母材等の品質の確認、不良品の抽出において、特に透明
物体内部の屈折率を測定することが必要となってきてい
るためである。
てきている。これは、例えば光ファイバ、光ファイバの
母材等の品質の確認、不良品の抽出において、特に透明
物体内部の屈折率を測定することが必要となってきてい
るためである。
−膜内に、透明物体内部の屈折率を求めるには、その透
明物体にレーザ収束光等を照射し、その照射光がその透
明物体を透過して出射してくる位置をその照射光のそれ
ぞれに対して測定し、屈折角を測定することにより屈折
率を測定することができる。これは、屈折率が変化して
いる媒質中を光線が進む時、媒質中の各点でｎＸ５ｉｎ
θ−一定、（スネルの法則（ｎは屈折率））が成立する
からであり、この法則にしたがって、光線が屈折するこ
とを利用し、照射光の透明物体の各入射点く初期条件）
に対して、透明物体からの出射点の位置を測定し、これ
らの関係を用いて積分計算することにより被測定物たる
透明物体内部の屈折率分布を求めることができるからで
ある。
明物体にレーザ収束光等を照射し、その照射光がその透
明物体を透過して出射してくる位置をその照射光のそれ
ぞれに対して測定し、屈折角を測定することにより屈折
率を測定することができる。これは、屈折率が変化して
いる媒質中を光線が進む時、媒質中の各点でｎＸ５ｉｎ
θ−一定、（スネルの法則（ｎは屈折率））が成立する
からであり、この法則にしたがって、光線が屈折するこ
とを利用し、照射光の透明物体の各入射点く初期条件）
に対して、透明物体からの出射点の位置を測定し、これ
らの関係を用いて積分計算することにより被測定物たる
透明物体内部の屈折率分布を求めることができるからで
ある。
上記原理を用いて、透明物体を透過した光の屈折角を測
定するための従来の装置の検出光学系を第２（ａ）、（
ｂ）及び（ｃ）図に示す。
定するための従来の装置の検出光学系を第２（ａ）、（
ｂ）及び（ｃ）図に示す。
第２図（ａ）図に示す検出光学系では、内部の屈折率を
測定されるべき被測定物体１に、レーザ発光装置２より
発したレーザ収束光３を照射し、そのレーザ収束光３の
被測定物の透過光をセンサー４により検知する。そして
、このセンサー４を被測定物１の周りで第２（ａ）図に
点線で示すように回転させ、センサー４の受光パワーが
最大となるセンサー４の回転位置から透過光の出射位置
を検知していた。そして、その出射位置から入射したレ
ーザ収束光の屈折角を求め、その屈折角より屈折率を求
めていた。しかし、このような方法では、レーザ収束光
で被測定物体を走査して、被測定物体への入射点を変え
る毎に、センサー４を被測定物体の周りで機械的に移動
させる必要があり、その為、被測定物体の一断面の屈折
率の分布を測定する際、多くの機械的走査を必要とし、
測定時間がかかるという問題があった。
測定されるべき被測定物体１に、レーザ発光装置２より
発したレーザ収束光３を照射し、そのレーザ収束光３の
被測定物の透過光をセンサー４により検知する。そして
、このセンサー４を被測定物１の周りで第２（ａ）図に
点線で示すように回転させ、センサー４の受光パワーが
最大となるセンサー４の回転位置から透過光の出射位置
を検知していた。そして、その出射位置から入射したレ
ーザ収束光の屈折角を求め、その屈折角より屈折率を求
めていた。しかし、このような方法では、レーザ収束光
で被測定物体を走査して、被測定物体への入射点を変え
る毎に、センサー４を被測定物体の周りで機械的に移動
させる必要があり、その為、被測定物体の一断面の屈折
率の分布を測定する際、多くの機械的走査を必要とし、
測定時間がかかるという問題があった。
また、このようなセンサーの機械的移動を行わない方法
としては、第２（ｂ）図に示すものが知られている。こ
の第２（ｂ）図では、第２（ａ）図に示すセンサー４の
代わりに２次元のイメージセンサ−５を用いて、被測定
物体１の透過光の２次元センサー５上での受光位置を検
知し、その受光位置と被測定物体へのレーザ収束光の入
射位置との関係より被測定物体１への入射に対する屈折
角を求め、それに基づいて、被測定物体内の屈折率の分
布を求めていた。更に、被測定物１の屈折率が大きい場
合には、第２（Ｃ）図のように、第２（ｂ）図の２次元
イメージセンサ−５と被測定物体１との間にレンズ５ａ
を配し、このレンズ５により被測定物体から出射した光
束を２次元イメージセンサ−５の方へ向け、小さな２次
元イメージセンサ−でも、大きな被測定物の屈折率の分
布を測定することが出来るようにしたものも提案されて
いる。
としては、第２（ｂ）図に示すものが知られている。こ
の第２（ｂ）図では、第２（ａ）図に示すセンサー４の
代わりに２次元のイメージセンサ−５を用いて、被測定
物体１の透過光の２次元センサー５上での受光位置を検
知し、その受光位置と被測定物体へのレーザ収束光の入
射位置との関係より被測定物体１への入射に対する屈折
角を求め、それに基づいて、被測定物体内の屈折率の分
布を求めていた。更に、被測定物１の屈折率が大きい場
合には、第２（Ｃ）図のように、第２（ｂ）図の２次元
イメージセンサ−５と被測定物体１との間にレンズ５ａ
を配し、このレンズ５により被測定物体から出射した光
束を２次元イメージセンサ−５の方へ向け、小さな２次
元イメージセンサ−でも、大きな被測定物の屈折率の分
布を測定することが出来るようにしたものも提案されて
いる。
この様な２次元イメージセンサ−を利用する方法では、
被測定物からの出射光の２次元イメージセンサ−上での
位置を短い時間で把えることは出来るが、その位置を画
像処理により認識するためには、その解析プログラムに
工夫を要し、更に、その様なプログラムは複雑となり、
屈折角を測定する時間が長くなるという問題があった。
被測定物からの出射光の２次元イメージセンサ−上での
位置を短い時間で把えることは出来るが、その位置を画
像処理により認識するためには、その解析プログラムに
工夫を要し、更に、その様なプログラムは複雑となり、
屈折角を測定する時間が長くなるという問題があった。
以上の問題点を解決し、比較的短時間で、被測定物体の
各入射点に於ける屈折角を順次測定し、長手方向に均一
な透明な被測定物内部の屈折率を測定を可能にする屈折
角測定装置を提供することを目的とする。
各入射点に於ける屈折角を順次測定し、長手方向に均一
な透明な被測定物内部の屈折率を測定を可能にする屈折
角測定装置を提供することを目的とする。
本発明に従う屈折角測定装置は長手方向に均一な円柱状
の透明体である被測定物にレーザ光を照射する装置と、
被測定物を透過したレーザ光を受光する複数の受光素子
が被測定物体への入射光に対して直交し、且つ被測定物
体の長手方向に対して直交し、更に入射光と屈折光のな
す平面内に位置するように配置された１次元イメージセ
ンサ−と、−次元イメージセンサ−からの出力とレーザ
照射装置の被測定物体への照射位置との関係よりレーザ
光の被測定物への入射点における屈折角を測定すること
を特徴とする。
の透明体である被測定物にレーザ光を照射する装置と、
被測定物を透過したレーザ光を受光する複数の受光素子
が被測定物体への入射光に対して直交し、且つ被測定物
体の長手方向に対して直交し、更に入射光と屈折光のな
す平面内に位置するように配置された１次元イメージセ
ンサ−と、−次元イメージセンサ−からの出力とレーザ
照射装置の被測定物体への照射位置との関係よりレーザ
光の被測定物への入射点における屈折角を測定すること
を特徴とする。
更に、本発明の屈折率測定装置は、上記１次元イメージ
センサ−の被測定物体の長手方向の幅が１次元イメージ
センサ−の各受光素子のピッチ幅より大きいことを特徴
とする。
センサ−の被測定物体の長手方向の幅が１次元イメージ
センサ−の各受光素子のピッチ幅より大きいことを特徴
とする。
更に、本発明の屈折率測定装置は、１次元イメージセン
サ−と被測定物との間にシリンドリカルレンズを配し、
被測定物からの出射光の長手方向の振れを吸収し、１次
元イメージセンサ−に向けることを特徴とする。
サ−と被測定物との間にシリンドリカルレンズを配し、
被測定物からの出射光の長手方向の振れを吸収し、１次
元イメージセンサ−に向けることを特徴とする。
本発明の適応される屈折角測定装置は、本発明では、被
測定物を透過した光の出射位置の測定及び、信号処理の
時間の短縮のため１次元のイメージセンサ−を使用し、
更に、被測定物の屈折率の不均一性に基づく出射光の振
れを吸収するため、１次元イメージセンサ−の長手方向
に垂直方向の幅を１次元イメージセンサ−の各受光素子
のピッチ間隔に対して大きくし、また、１次元イメージ
センサ−と被測定物との間にシリンドリカルレンズを配
し、出射光の１次元イメージセンサ−の長手方向への出
射を１次元イメージセンサ−へ向は振れを吸収するよう
にする。
測定物を透過した光の出射位置の測定及び、信号処理の
時間の短縮のため１次元のイメージセンサ−を使用し、
更に、被測定物の屈折率の不均一性に基づく出射光の振
れを吸収するため、１次元イメージセンサ−の長手方向
に垂直方向の幅を１次元イメージセンサ−の各受光素子
のピッチ間隔に対して大きくし、また、１次元イメージ
センサ−と被測定物との間にシリンドリカルレンズを配
し、出射光の１次元イメージセンサ−の長手方向への出
射を１次元イメージセンサ−へ向は振れを吸収するよう
にする。
以下図面を参照しつつ本発明に従う走査型屈折率測定装
置について説明する。
置について説明する。
以下に説明する各図において、同一の符号を付した要素
は同一の機能、作用を有する要素であり、したがって、
重複した説明は省略する。
は同一の機能、作用を有する要素であり、したがって、
重複した説明は省略する。
第１（ａ）図は本発明に従う第１の実施例である屈折率
測定装置の構成を示す。第１（ａ）図に示すように本発
明に従う走査型屈折率測定装置はレーザ収束光３を被測
定物体１に照射するレーザ発光装置２と、このレーザ発
光装置２に対して被測定物１を介して反対側に配置され
る１次元イメージセンサ−７とより構成され、この１次
元イメージセンサ−７は複数の受光素子７−１．７−２
、・・・７−ｎより構成され、この１次元イメージセン
サ−７の受光素子が被測定物体１の入射光に対して、か
つ、被測定物体１の長手方向に対して直交するように、
更に、入射光３と屈折光りとのなす平面内に位置するよ
うに配置される。更に、この１次元イメージセンサ−７
はその受光素子の長手方向に垂直方向の幅（第１（ａ）
図上でａ）がその受光素子のピッチ間隔（第１（ａ）図
上でｂ）に対して大きくなっている。
測定装置の構成を示す。第１（ａ）図に示すように本発
明に従う走査型屈折率測定装置はレーザ収束光３を被測
定物体１に照射するレーザ発光装置２と、このレーザ発
光装置２に対して被測定物１を介して反対側に配置され
る１次元イメージセンサ−７とより構成され、この１次
元イメージセンサ−７は複数の受光素子７−１．７−２
、・・・７−ｎより構成され、この１次元イメージセン
サ−７の受光素子が被測定物体１の入射光に対して、か
つ、被測定物体１の長手方向に対して直交するように、
更に、入射光３と屈折光りとのなす平面内に位置するよ
うに配置される。更に、この１次元イメージセンサ−７
はその受光素子の長手方向に垂直方向の幅（第１（ａ）
図上でａ）がその受光素子のピッチ間隔（第１（ａ）図
上でｂ）に対して大きくなっている。
このように１次元センサー７をこのように構成しておく
理由は、長手方向に均一な透明被測定物内部の屈折率の
測定において、必要とされる透過光の出射角は１次光の
ふれ角に関する情報であり、例えば、光フアイバ母材を
被測定物とした場合には、コア母材の製造プロセスに起
因して、母材の長手方向に微細な屈折率変化が存在し、
レーザ収束光で母材を走査したときに透過光の出射は、
第２（ａ）及び（ｂ）図の光束３ａで示すように母材の
長手方向にも若干の角度振れをを生じる。しかし、この
様な被測定物体の長手方向の出射光の振れを吸収するこ
とは好ましいことであり、そのため上記のような出射光
の長手方向の振れを吸収できるように１次元イメージセ
ンサ−７を構成する。
理由は、長手方向に均一な透明被測定物内部の屈折率の
測定において、必要とされる透過光の出射角は１次光の
ふれ角に関する情報であり、例えば、光フアイバ母材を
被測定物とした場合には、コア母材の製造プロセスに起
因して、母材の長手方向に微細な屈折率変化が存在し、
レーザ収束光で母材を走査したときに透過光の出射は、
第２（ａ）及び（ｂ）図の光束３ａで示すように母材の
長手方向にも若干の角度振れをを生じる。しかし、この
様な被測定物体の長手方向の出射光の振れを吸収するこ
とは好ましいことであり、そのため上記のような出射光
の長手方向の振れを吸収できるように１次元イメージセ
ンサ−７を構成する。
ここで、この様ないわゆる幅の広い１次元イメージセン
サ−の代わりに、第１（ｂ）図に示すように、通常の１
次元イメージセンサ−８とその前面に配置したシリンド
リカルレンズ９との組み合わせを用いて、上記出射光の
振れを吸収することもできる。更に、第１（ａ）図に示
す幅の広い１次元イメージセンサ−と第１（ｂ）図に示
すシリンドリカルレンズとを組み合わせて、屈折率の大
きい被測定物体の屈折率分布を測定することも出来る。
サ−の代わりに、第１（ｂ）図に示すように、通常の１
次元イメージセンサ−８とその前面に配置したシリンド
リカルレンズ９との組み合わせを用いて、上記出射光の
振れを吸収することもできる。更に、第１（ａ）図に示
す幅の広い１次元イメージセンサ−と第１（ｂ）図に示
すシリンドリカルレンズとを組み合わせて、屈折率の大
きい被測定物体の屈折率分布を測定することも出来る。
更に、第１（ａ）図では、被測定物体１と１次元イメー
ジセンサ−７との間にレンズを設けていないが、被測定
物体１の屈折角が大きく１次元イメージセンサ−７で全
ての屈折光をカバー出来ない場合には、第２（ｃ）図の
ように一旦口径の大きなレンズ系を介して屈折光を縮小
した後に１次元イメージセンサ−を配してもよい。
ジセンサ−７との間にレンズを設けていないが、被測定
物体１の屈折角が大きく１次元イメージセンサ−７で全
ての屈折光をカバー出来ない場合には、第２（ｃ）図の
ように一旦口径の大きなレンズ系を介して屈折光を縮小
した後に１次元イメージセンサ−を配してもよい。
この１次元イメージセンサ−７はドライバ１０により駆
動され、その各受光素子の受光パワーに応じた出力は順
次読み出され、その出力信号はＡ／Ｄコンバータ１１に
送られ、その最大出力を示す受光素子が特定され、その
受光素子の位置と、レーザ収束光の被測定物体１への入
射位置とより、屈折角を求める演算が実行される。更に
、演算により求められた屈折角より、屈折率を求める。
動され、その各受光素子の受光パワーに応じた出力は順
次読み出され、その出力信号はＡ／Ｄコンバータ１１に
送られ、その最大出力を示す受光素子が特定され、その
受光素子の位置と、レーザ収束光の被測定物体１への入
射位置とより、屈折角を求める演算が実行される。更に
、演算により求められた屈折角より、屈折率を求める。
そして順次、レーザ収束光の被測定物体への入射位置を
変え、被測定物体内部の屈折率分布を求めることができ
る。
変え、被測定物体内部の屈折率分布を求めることができ
る。
以上の構成の屈折角測定装置を用いて実際に直径２５ｍ
ｍのシングルモード光ファイバ母材の屈折角の測定結果
と第２（Ｃ）図に示す従来の装置の測定結果との比較を
行った。
ｍのシングルモード光ファイバ母材の屈折角の測定結果
と第２（Ｃ）図に示す従来の装置の測定結果との比較を
行った。
この測定では、マツチングセル内に直径２５ｍｍのシン
グルモード光ファイバ母材を固定し、Ｈｅ−Ｎｅレーザ
収束光を照射した。マツチングセルを、パルスモータス
ステージに載せ、３０μｍステップで移動した時のコア
内の屈折率分布に起因する屈折角を測定した。１次元イ
メージセンサ−としては２５μｍｘ２，５ｍｍの受光素
子を１０００素子並べたもの（２５ｍｍＸ２．５ｍｍ）
を用いた。そして、被測定物体である母材の中心より７
０ｍｍの位置にこの１次元イメージセンサ−を固定し、
屈折角の測定を行った。以下の表に本発明の屈折角測定
装置でおこなった場合と第２（ｃ）図に示す従来の装置
の場合での測定結果の再現性及び測定時間の比較結果を
示す。そして、この表では、従来の装置の場合を１とし
て比較しである。
グルモード光ファイバ母材を固定し、Ｈｅ−Ｎｅレーザ
収束光を照射した。マツチングセルを、パルスモータス
ステージに載せ、３０μｍステップで移動した時のコア
内の屈折率分布に起因する屈折角を測定した。１次元イ
メージセンサ−としては２５μｍｘ２，５ｍｍの受光素
子を１０００素子並べたもの（２５ｍｍＸ２．５ｍｍ）
を用いた。そして、被測定物体である母材の中心より７
０ｍｍの位置にこの１次元イメージセンサ−を固定し、
屈折角の測定を行った。以下の表に本発明の屈折角測定
装置でおこなった場合と第２（ｃ）図に示す従来の装置
の場合での測定結果の再現性及び測定時間の比較結果を
示す。そして、この表では、従来の装置の場合を１とし
て比較しである。
本発明は上記実施例に限定されるものでなく種々の変形
例が考えられ得る。
例が考えられ得る。
表
〔発明の効果〕
上記のように構成することにより、本発明の屈折角測定
装置では、１次元イメージセンサ−を検出器として採用
したことにより、測定データが１次元情報として得られ
その結果、測定時間が前に示した表の如く、従来の装置
と比較して、大巾に短縮される。
装置では、１次元イメージセンサ−を検出器として採用
したことにより、測定データが１次元情報として得られ
その結果、測定時間が前に示した表の如く、従来の装置
と比較して、大巾に短縮される。
更に、幅の広い１次元イメージセンサ−を採用すると、
コア内の長平方向の屈折率の微妙な変化に起因する振れ
た屈折光を捕らえ且つ、受光信号の積算化（平均化）が
行え、その結果、測定値の再現性が先に示した表の如く
大きく向上する。
コア内の長平方向の屈折率の微妙な変化に起因する振れ
た屈折光を捕らえ且つ、受光信号の積算化（平均化）が
行え、その結果、測定値の再現性が先に示した表の如く
大きく向上する。
第１図は、本発明に従う実施例の構成図、第２図は、従
来例の構成図である。 １・・・被測定物体、２・・・レーザ発光装置、３・・
・レーザ収束光、７・・・１次元イメージセンサ−１９
・・・シリンドリカルレンズ。 特許出願人 住友電気工業株式会社
来例の構成図である。 １・・・被測定物体、２・・・レーザ発光装置、３・・
・レーザ収束光、７・・・１次元イメージセンサ−１９
・・・シリンドリカルレンズ。 特許出願人 住友電気工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、屈折角測定装置において 長手方向に均一な円柱状の透明体である被測定物にレー
ザ光を照射する手段と、 被測定物を透過したレーザ光を受光する複数の受光素子
が被測定物体への入射光に対して直交し、且つ被測定物
体の長手方向に対して直交し、更に入射光と屈折光のな
す平面内に位置するように配置された１次元の受光手段
と、 前記受光手段からの出力と照射する手段の被測定物に於
ける照射位置との関係よりレーザ光の被測定物への入射
点に於ける屈折角を測定することを特徴とする屈折角測
定装置。 ２、前記受光手段が１次元のイメージセンサーであり、
その被測定物側にシリンドリカルレンズを有しているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の屈折角測定
装置。 ３、前記１次元の受光手段の各受光素子の整列方向に垂
直方向の幅がそのピッチ幅より十分大きいことを特徴と
する特許請求の範囲第１項または第２項記載の屈折角測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62256674A JP2577008B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 屈折角測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62256674A JP2577008B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 屈折角測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0198949A true JPH0198949A (ja) | 1989-04-17 |
| JP2577008B2 JP2577008B2 (ja) | 1997-01-29 |
Family
ID=17295892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62256674A Expired - Fee Related JP2577008B2 (ja) | 1987-10-12 | 1987-10-12 | 屈折角測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2577008B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0373822A (ja) * | 1989-04-17 | 1991-03-28 | Rikagaku Kenkyusho | 屈折率分布測定装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4983470A (ja) * | 1972-11-18 | 1974-08-10 | ||
| JPS6170436A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-11 | Univ Kyoto | 円柱内屈折率分布測定方法 |
| JPS61240782A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-27 | Sharp Corp | テレビジヨン受像機 |
-
1987
- 1987-10-12 JP JP62256674A patent/JP2577008B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4983470A (ja) * | 1972-11-18 | 1974-08-10 | ||
| JPS6170436A (ja) * | 1984-09-14 | 1986-04-11 | Univ Kyoto | 円柱内屈折率分布測定方法 |
| JPS61240782A (ja) * | 1985-04-17 | 1986-10-27 | Sharp Corp | テレビジヨン受像機 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0373822A (ja) * | 1989-04-17 | 1991-03-28 | Rikagaku Kenkyusho | 屈折率分布測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2577008B2 (ja) | 1997-01-29 |
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