JPH0189455U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0189455U JPH0189455U JP18529787U JP18529787U JPH0189455U JP H0189455 U JPH0189455 U JP H0189455U JP 18529787 U JP18529787 U JP 18529787U JP 18529787 U JP18529787 U JP 18529787U JP H0189455 U JPH0189455 U JP H0189455U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screw
- component
- screw hole
- fastened
- fastening device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る締結装置を示
断面図、第２図は締結装置により締結された部品
としての加速管を示す断面図、第３図Ａ，Ｂはそ
れぞれ従来の締結装置を示す断面図である。 ２０……遮蔽体、２１……第１部品、２２……
第２部品、２３……ねじ穴、２４……貫通穴、２
５……ボルト（ねじ部材）、２６……ねじ部、２
７……頭部、２８……残留空間、２９……連通路
。
断面図、第２図は締結装置により締結された部品
としての加速管を示す断面図、第３図Ａ，Ｂはそ
れぞれ従来の締結装置を示す断面図である。 ２０……遮蔽体、２１……第１部品、２２……
第２部品、２３……ねじ穴、２４……貫通穴、２
５……ボルト（ねじ部材）、２６……ねじ部、２
７……頭部、２８……残留空間、２９……連通路
。
Claims (1)
- 外部から遮蔽され所定の真空度に維持されるか
、或いは空気を除去した後に所定のガスが充填さ
れる内部空間が形成された遮蔽体内に、ねじ部材
を用いて被締結部品を締結するようにした締結装
置において、前記遮蔽体内に設置される第１部品
にねじ孔を形成し、前記第１部品に締結される第
２部品を貫通して前記ねじ孔とねじ結合されるね
じ部と、前記第２部品を押圧する頭部とを有する
ねじ部材に、前記ねじ孔にねじ結合された状態の
下で前記ねじ部の端面と前記ねじ孔とにより形成
される残留空間と、前記遮蔽体内の内部空間とを
連通させる連通路を形成したことを特徴とする締
結装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18529787U JPH0189455U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18529787U JPH0189455U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0189455U true JPH0189455U (ja) | 1989-06-13 |
Family
ID=31476617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18529787U Pending JPH0189455U (ja) | 1987-12-04 | 1987-12-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0189455U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106489194A (zh) * | 2014-07-03 | 2017-03-08 | 应用材料公司 | 基板传送机械手终端受动器 |
-
1987
- 1987-12-04 JP JP18529787U patent/JPH0189455U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106489194A (zh) * | 2014-07-03 | 2017-03-08 | 应用材料公司 | 基板传送机械手终端受动器 |
| KR20170026595A (ko) * | 2014-07-03 | 2017-03-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 이송 로봇 엔드 이펙터 |
| JP2017522738A (ja) * | 2014-07-03 | 2017-08-10 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板移送ロボットエンドエフェクタ |
| CN109727900A (zh) * | 2014-07-03 | 2019-05-07 | 应用材料公司 | 基板传送机械手终端受动器 |
| JP2021048406A (ja) * | 2014-07-03 | 2021-03-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 基板移送ロボットエンドエフェクタ |