JPH0185833U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0185833U JPH0185833U JP18250987U JP18250987U JPH0185833U JP H0185833 U JPH0185833 U JP H0185833U JP 18250987 U JP18250987 U JP 18250987U JP 18250987 U JP18250987 U JP 18250987U JP H0185833 U JPH0185833 U JP H0185833U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- suction plate
- frame
- upper frame
- transparent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の実施例による焼枠を示す平面
図、第２図は同断面正面図、第３図は本考案に係
る焼枠の下枠にＰ．Ｗ．Ｂを載置した状態を示す
平面図、第４図は従来の焼枠を示す断面正面図で
ある。 １，２１……上枠、２，７，１０……溝、３，
１１，１８……真空配管、４……支持部材、５…
…固定ネジ、６……マスク吸着板、８……印刷配
線板、９……マスクフイルム、１２……マスク吸
着板位置決めピン、１３，１６……穴、１４……
下枠、１５……パツキン、１７……Ｐ．Ｗ．Ｂ位
置決めピン、１９……保持部材、２０……金具、
２２〜２４……真空ポンプ。
図、第２図は同断面正面図、第３図は本考案に係
る焼枠の下枠にＰ．Ｗ．Ｂを載置した状態を示す
平面図、第４図は従来の焼枠を示す断面正面図で
ある。 １，２１……上枠、２，７，１０……溝、３，
１１，１８……真空配管、４……支持部材、５…
…固定ネジ、６……マスク吸着板、８……印刷配
線板、９……マスクフイルム、１２……マスク吸
着板位置決めピン、１３，１６……穴、１４……
下枠、１５……パツキン、１７……Ｐ．Ｗ．Ｂ位
置決めピン、１９……保持部材、２０……金具、
２２〜２４……真空ポンプ。
Claims (1)
- 透明な上枠と、該上枠の下面に位置決めして交
換可能に装着された透明なマスク吸着板と、ドラ
イフイルムレジストをラミネートした基板を前記
マスク吸着板の真下位置に保持する下枠とを有し
、前記マスク吸着板の下面に、マスクフイルムの
外周縁を真空吸着させる吸着用溝を開口したこと
を特徴とする紫外線照射用焼枠。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18250987U JPH055556Y2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18250987U JPH055556Y2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0185833U true JPH0185833U (ja) | 1989-06-07 |
| JPH055556Y2 JPH055556Y2 (ja) | 1993-02-15 |
Family
ID=31473956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18250987U Expired - Lifetime JPH055556Y2 (ja) | 1987-11-30 | 1987-11-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH055556Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-11-30 JP JP18250987U patent/JPH055556Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH055556Y2 (ja) | 1993-02-15 |