JPH0184187U - - Google Patents
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- JPH0184187U JPH0184187U JP1988151278U JP15127888U JPH0184187U JP H0184187 U JPH0184187 U JP H0184187U JP 1988151278 U JP1988151278 U JP 1988151278U JP 15127888 U JP15127888 U JP 15127888U JP H0184187 U JPH0184187 U JP H0184187U
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- Japan
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- alarm
- gas
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- 239000000779 smoke Substances 0.000 claims description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims 1
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Landscapes
- Emergency Alarm Devices (AREA)
- Fire Alarms (AREA)
- Fire-Detection Mechanisms (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の概略図、第２図
はその回路図、第３図は光電式煙感知器とイオン
化式煙感知器との特性曲線図である。 １……シランガスボンベ、３……格納箱、６…
…窒化膜形成装置、８……除害装置、１０……検
出箱、１１……排気ダクト、Ｇ１，Ｇ２……ガス
検出器、Ｄ１，Ｄ２……燃焼生成物を検出する火
災感知器。
はその回路図、第３図は光電式煙感知器とイオン
化式煙感知器との特性曲線図である。 １……シランガスボンベ、３……格納箱、６…
…窒化膜形成装置、８……除害装置、１０……検
出箱、１１……排気ダクト、Ｇ１，Ｇ２……ガス
検出器、Ｄ１，Ｄ２……燃焼生成物を検出する火
災感知器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 半導体製造工程など、シランガスなどの有毒
で可燃性の処理ガスを使用する箇所に、該処理ガ
スが漏洩を検出するガス検出器と、該処理ガスの
燃焼生成物を検出する火災感知器とを設け、検出
器または感知器のいずれかの出力変化により警報
を発するとともに消火装置などの防災装置および
半導体製造工程などを制御することを特徴とする
半導体工場などにおける警報および制御装置。 ２ ガス検出器と出力側にインバータを備えた火
災感知器とが排気ダクトに設けられた実用新案登
録請求の範囲第１項記載の半導体工場などにおけ
る警報および制御装置。 ３ ガス検出器と火災感知器とが処理ガスボンベ
が収納された格納箱に設けられた実用新案登録請
求の範囲第１項記載の半導体工場などにおける警
報および制御装置。 ４ ガス検出器は、その検出素子が金属酸化物半
導体よりなる実用新案登録請求の範囲第１項ない
し第３項のいずれかに記載された半導体工場など
における警報および制御装置。 ５ 火災感知器が、イオン化式煙感知器である実
用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項のいず
れかに記載された半導体工場などにおける警報お
よび制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988151278U JPH0413756Y2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988151278U JPH0413756Y2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0184187U true JPH0184187U (ja) | 1989-06-05 |
| JPH0413756Y2 JPH0413756Y2 (ja) | 1992-03-30 |
Family
ID=31425177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988151278U Expired JPH0413756Y2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0413756Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020524403A (ja) * | 2017-06-15 | 2020-08-13 | バーサム マテリアルズ ユーエス，リミティド ライアビリティ カンパニー | ガス供給装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138797U (ja) * | 1974-09-17 | 1976-03-23 | ||
| JPS5396895A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Nitto Electric Ind Co | Gas sensor element |
| JPS5452296U (ja) * | 1977-09-19 | 1979-04-11 | ||
| JPS553510A (en) * | 1978-06-21 | 1980-01-11 | Yasunori Nagao | Inner cylinder for rotary incinerator |
| JPS5721350A (en) * | 1980-05-28 | 1982-02-04 | Naarden International Nv | Perfume composition and use |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP1988151278U patent/JPH0413756Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5138797U (ja) * | 1974-09-17 | 1976-03-23 | ||
| JPS5396895A (en) * | 1977-02-03 | 1978-08-24 | Nitto Electric Ind Co | Gas sensor element |
| JPS5452296U (ja) * | 1977-09-19 | 1979-04-11 | ||
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| JPS5721350A (en) * | 1980-05-28 | 1982-02-04 | Naarden International Nv | Perfume composition and use |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020524403A (ja) * | 2017-06-15 | 2020-08-13 | バーサム マテリアルズ ユーエス，リミティド ライアビリティ カンパニー | ガス供給装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0413756Y2 (ja) | 1992-03-30 |
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